JP5465502B2 - フォトマスク、フォトマスク製造方法 - Google Patents
フォトマスク、フォトマスク製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5465502B2 JP5465502B2 JP2009223813A JP2009223813A JP5465502B2 JP 5465502 B2 JP5465502 B2 JP 5465502B2 JP 2009223813 A JP2009223813 A JP 2009223813A JP 2009223813 A JP2009223813 A JP 2009223813A JP 5465502 B2 JP5465502 B2 JP 5465502B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- light shielding
- phase shift
- film
- etching stopper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 149
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 90
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 69
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims description 62
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 32
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 28
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 27
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 26
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 21
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 20
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- CXOWYMLTGOFURZ-UHFFFAOYSA-N azanylidynechromium Chemical compound [Cr]#N CXOWYMLTGOFURZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 10
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 10
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 18
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 12
- XMPZTFVPEKAKFH-UHFFFAOYSA-P ceric ammonium nitrate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[Ce+4].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O XMPZTFVPEKAKFH-UHFFFAOYSA-P 0.000 description 10
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 6
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 6
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFGZSIPAQKLCGR-UHFFFAOYSA-N chromium carbide Chemical compound [Cr]#C[Cr]C#[Cr] UFGZSIPAQKLCGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- -1 heating Chemical compound 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003470 tongbaite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002463 transducing effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/26—Phase shift masks [PSM]; PSM blanks; Preparation thereof
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/50—Mask blanks not covered by G03F1/20 - G03F1/34; Preparation thereof
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/66—Containers specially adapted for masks, mask blanks or pellicles; Preparation thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
- H01L21/0273—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers characterised by the treatment of photoresist layers
- H01L21/0274—Photolithographic processes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/033—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers
- H01L21/0334—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers characterised by their size, orientation, disposition, behaviour, shape, in horizontal or vertical plane
- H01L21/0337—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers characterised by their size, orientation, disposition, behaviour, shape, in horizontal or vertical plane characterised by the process involved to create the mask, e.g. lift-off masks, sidewalls, or to modify the mask, e.g. pre-treatment, post-treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
- H01L21/30604—Chemical etching
Landscapes
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Description
近年パターン線幅を細くかつシャープに形成するためCr遮光膜とCrの酸化膜や窒化膜である半透光膜(位相シフト膜)を積層した構成で、光をほとんど遮光する部分と、光を半分程度透過させる部分と、光をほとんど透過させる部分とから成るパターンをマスク上に形成するものが多くなっている。
これはガラス基板の上にまずCr遮光膜をスパッタ法により成膜し、その上にレジスト塗布、レーザー照射による感光後、不要部分のレジストを除去してパターンを形成し、ウェットエッチングにより不要部分のCr遮光膜を除去する。
ついでその基板上に再度Cr酸化膜や窒化膜である半透光膜をスパッタ法により成膜し、同じように不要な部分の半透光膜の部分をウェットエッチングで除去するという複雑な工程を経て製造されている。
このため各プロセスをおこなう処理装置を何度も行き来し、マスクヘのパーティクル付着の確率も高く歩留まりを劣化させる主な要因になっている。
また、本発明は、前記位相シフト層は酸化クロム膜で構成され、前記エッチングストッパ層は炭素膜で構成され、前記遮光層は金属クロム膜又は窒化クロム膜のいずれか一方で構成されたフォトマスクである。
また、本発明は、透明基板上に半透明な位相シフト層を形成し、前記位相シフト層上にクロム薄膜から成る接着層を形成し、炭素を含有し燃焼可能な材料から成るエッチングストッパ層を前記接着層上に形成し、遮光性を有し前記エッチングストッパ層をエッチングしない遮光層エッチング液でエッチングされる遮光層を前記エッチングストッパ層上に形成し、前記遮光層エッチング液で前記遮光層を部分的にエッチング除去し、底面に前記エッチングストッパ層が露出する複数の開口を形成し、前記開口底面に露出する前記エッチングストッパ層を酸素と化合させて除去し、前記開口底面に前記接着層を露出させると共に、前記露出した部分の前記接着層を半透明な酸化物膜にして前記開口底面に前記酸化物膜を露出させ、一部の前記開口をレジスト膜で覆い、他の前記開口底面に位置する前記酸化物膜と前記位相シフト層とを前記位相シフト層のエッチング液でエッチング除去するフォトマスク製造方法である。
また、本発明は、前記位相シフト層を酸化クロム膜で構成し、前記エッチングストッパ層を炭素膜で構成し、前記遮光層を金属クロム膜又は窒化クロム膜のいずれか一方で構成するフォトマスク製造方法である。
特に各層をスパッタリング法によって形成する場合、スパッタ装置は、真空に排気したり大気圧に戻す際にチャンバー内のパーティクルを巻き上げ基板にパーティクルを付着させる主原因となるため、真空雰囲気への搬出入が1回ですむことにより大幅にパーティクルを低減でき、その結果製品の歩留まりを高く維持できる。
ガラス基板から成る透明基板をスパッタリング装置の真空槽内に搬入し、真空槽内を真空排気しながらArガスから成るスパッタリングガスとO2ガスから成る第一の反応性ガスを真空槽内に導入し、Crターゲットをスパッタし、反応性スパッタリング法によって、透明基板表面に膜厚25nmの酸化物膜(ここでは酸化クロム:Cr2O3膜)から成る半透明な位相シフト層11を形成した。
次いで、真空槽内への第一の反応性ガス(O2ガス)の導入を停止し、前記スパッタリングガスによって同じCrターゲットをスパッタし、金属Cr膜から成る接着層12を位相シフト層11表面に形成した。
次いで、スパッタリングガスと、N2ガスから成る第二の反応性ガスを真空槽内に導入しながらCrターゲットをスパッタリングし、エッチングストッパ層13表面に膜厚80nmの窒化クロム(CrN)膜から成る遮光層14を形成し、図1(a)のフォトマスクブランクス3を得た。なお、遮光層14は、真空槽内に第二の反応性ガスを導入せずに金属クロム膜で構成することもできる。
同図符号10は透明基板、符号11は位相シフト層、符号12は接着層、符号13はエッチングストッパ層、符号14は遮光層である。
炭素薄膜はこのエッチング液には溶解しないので、図1(c)に示すように、レジスト膜21の開口23底面の遮光層14が除去され、エッチングストッパ層13の表面が露出したところで、エッチングは終了する。同図符号24は、レジスト膜21の開口23の底面下に位置し、遮光層14に形成された開口を示している。
処理対象物5を2分間O2プラズマに曝すと、遮光層14表面のレジスト膜21と開口23の底面に露出するエッチングストッパ層13が燃焼し、二酸化炭素などの気体となって除去され、図1(d)に示すように、遮光層の開口24底面下のエッチングストッパ層13の部分に、その開口24と連通する開口25が形成される。
エッチングストッパ層13が除去されると酸素プラズマに曝されてしまう。
ここでは接着層12は膜厚が10nm以下の金属クロム薄膜であり、酸素プラズマに曝されると半透明な酸化物膜(ここでは位相シフト層と同じ膜であり酸化クロム膜である)16に変化する。
このフォトマスク8の表面又は裏面に照射される露光光は、透光領域26を通過し、露光対象物に入射するが、遮光領域27を通過できず、遮光領域27で遮光される。
位相シフト領域28を通過した露光光は位相がシフトされ、透光領域26を通過した露光光と逆位相となり、干渉によりエッジの強調や像の分離が可能となる。
また、フォトマスク8上の0.3μm以上のパーティクル増加数は0個であった。
エッチングストッパ層13と接着層12を形成せず、O2プラズマによる処理も行なわなかった他は同じ構造のフォトマスクブランクスを作成し、遮光層14を残した遮光領域27と、位相シフト層11を残して遮光層14を除去した位相シフト領域28と、両方を除去した透光領域26とを作成しようとしたところ(エッチング液は硝酸第二セリウムアンモニウム水溶液)、遮光層14(CrN)の膜厚はエッチング前と同じ80nmであったが、位相シフト層11(Cr2O3膜)は、遮光層14をエッチングする際に厚み方向が全部エッチングで除去されていたため、位相シフト層11の膜厚は0nmであった。
炭素薄膜に替え、膜厚10nmの金属チタン薄膜から成るエッチングストッパ層13を形成した他は、上記実施例と同じ構造のフォトマスクブランクスを作成し、遮光領域27と位相シフト領域28と透光領域26を作成しようとしたところ(エッチング液は硝酸第二セリウムアンモニウム水溶液)、遮光層14(CrN)の膜厚はエッチング前と同じ80nmであったが、位相シフト層11(Cr2O3膜)は12nmであり、エッチング前の膜厚の約半分になっていた。
これはTi薄膜では、硝酸第二セリウムアンモニウム水溶液に対するエッチングストッパ層13としての機能が十分ではなく、遮光層14をエッチングする際に、位相シフト層11の表面部分もエッチングされてしまったためと考えられる。
スパッタリング法により、ガラスから成る透明基板上にCrN膜から成る遮光層を成膜し、真空雰囲気から取り出してパターニングしたレジスト膜を配置してエッチングし、透明基板が露出する複数の開口を形成した後レジスト膜を除去し、スパッタリング法によってCr2O3膜から成る位相シフト層を形成した。
再度真空雰囲気から取り出し、パターニングしたレジスト膜を配置してエッチングし、レジスト膜を除去して開口底面に透明基板表面が露出する透光部と、開口内に位相シフト層が位置し、位相シフト層と透明基板が密着している位相シフト領域と、遮光膜が位置する遮光領域を形成したところ、各層をそれぞれ独立してエッチングを行っているため、位相シフト層の膜厚と遮光層の膜厚は、それぞれエッチング前と同じ25nmと80nmであったが、0.3μm以上のパーティクル増加数が135個で、欠陥多数のためフォトマスクとしては不良となってしまった。
上記実施例と同じ構造のフォトマスクブランクス3のエッチングストッパ層13を一部除去して位相シフト層11表面を露出させる際に、O2プラズマによる燃焼に替え、200WのUVランプにより、炭素薄膜から成るエッチングストッパ層13を一部露出させて大気中で中でUV光を10分間照射し、エッチングストッパ層13の露出部分を燃焼させて除去した。
他の工程は同じにしてフォトマスク8を作成したところ、位相シフト層11(Cr2O3膜)は25nm、遮光層14(CrN膜)は80nmであり、エッチング前と同じであった。またフォトマスク上の0.3μm以上のパーティクル増加数は0個であった。
遮光膜は、金属クロム膜、窒化クロム膜の他、クロムの炭化膜を用いることもできる。
8……フォトマスク
10……透明基板
11……位相シフト層
12……接着層
13……エッチングストッパ層
14……遮光層
22……レジスト膜
24……開口
26……透光領域
27……遮光領域
28(24)……位相シフト領域
Claims (4)
- 透明基板と、前記透明基板上に配置されたマスク層とを有し、
前記マスク層には、露光光を遮光する遮光領域と、前記露光光を透過させる透光領域と、前記露光光の位相をシフトさせる位相シフト領域とが形成されたフォトマスクであって、
前記マスク層は、
前記透明基板上に配置された半透明な位相シフト層と、
前記位相シフト層上に配置されたエッチングストッパ層と、
前記エッチングストッパ層上に配置された遮光性を有する遮光層とを有し、
前記エッチングストッパ層は、炭素を含有し燃焼可能な材料で構成され、且つ、前記遮光層をエッチングする遮光層エッチング液ではエッチングされない材料で形成され、
前記基板上で前記遮光層が残された部分で前記遮光領域が形成され、
前記基板上で前記遮光層と前記エッチングストッパ層と前記位相シフト層が除去された部分で前記透光領域が形成され、
前記基板上で前記遮光層が残され前記位相シフト層が残された部分で前記位相シフト領域が形成され、
前記遮光領域に位置する前記位相シフト層と前記エッチングストッパ層の間にはクロム薄膜から成る接着層が前記位相シフト層と前記エッチングストッパ層と密着して配置され、
前記位相シフト領域では、前記接着層が酸化された薄膜が露出されたフォトマスク。 - 前記位相シフト層は酸化クロム膜で構成され、前記エッチングストッパ層は炭素膜で構成され、前記遮光層は金属クロム膜又は窒化クロム膜のいずれか一方で構成された請求項1記載のフォトマスク。
- 透明基板上に半透明な位相シフト層を形成し、
前記位相シフト層上にクロム薄膜から成る接着層を形成し、
炭素を含有し燃焼可能な材料から成るエッチングストッパ層を前記接着層上に形成し、
遮光性を有し前記エッチングストッパ層をエッチングしない遮光層エッチング液でエッチングされる遮光層を前記エッチングストッパ層上に形成し、
前記遮光層エッチング液で前記遮光層を部分的にエッチング除去し、底面に前記エッチングストッパ層が露出する複数の開口を形成し、
前記開口底面に露出する前記エッチングストッパ層を酸素と化合させて除去し、前記開口底面に前記接着層を露出させると共に、前記露出した部分の前記接着層を半透明な酸化物膜にして前記開口底面に前記酸化物膜を露出させ、
一部の前記開口をレジスト膜で覆い、他の前記開口底面に位置する前記酸化物膜と前記位相シフト層とを前記位相シフト層のエッチング液でエッチング除去するフォトマスク製造方法。 - 前記位相シフト層を酸化クロム膜で構成し、前記エッチングストッパ層を炭素膜で構成し、前記遮光層を金属クロム膜又は窒化クロム膜のいずれか一方で構成する請求項3記載のフォトマスク製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009223813A JP5465502B2 (ja) | 2009-09-29 | 2009-09-29 | フォトマスク、フォトマスク製造方法 |
TW099130318A TWI485507B (zh) | 2009-09-29 | 2010-09-08 | 光罩製造方法 |
CN201010298454.3A CN102033417B (zh) | 2009-09-29 | 2010-09-29 | 光掩模坯、光掩模以及光掩模制造方法 |
KR1020100094068A KR20110035948A (ko) | 2009-09-29 | 2010-09-29 | 포토마스크 블랭크, 포토마스크, 포토마스크 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009223813A JP5465502B2 (ja) | 2009-09-29 | 2009-09-29 | フォトマスク、フォトマスク製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011075607A JP2011075607A (ja) | 2011-04-14 |
JP5465502B2 true JP5465502B2 (ja) | 2014-04-09 |
Family
ID=43886488
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009223813A Expired - Fee Related JP5465502B2 (ja) | 2009-09-29 | 2009-09-29 | フォトマスク、フォトマスク製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5465502B2 (ja) |
KR (1) | KR20110035948A (ja) |
CN (1) | CN102033417B (ja) |
TW (1) | TWI485507B (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108267927B (zh) * | 2011-12-21 | 2021-08-24 | 大日本印刷株式会社 | 大型相移掩膜 |
JP5661973B2 (ja) * | 2012-06-20 | 2015-01-28 | アルバック成膜株式会社 | 位相シフトマスクの製造方法 |
JP5948495B2 (ja) * | 2013-04-17 | 2016-07-06 | アルバック成膜株式会社 | 位相シフトマスクの製造方法および位相シフトマスク |
KR102252049B1 (ko) * | 2014-08-04 | 2021-05-18 | 삼성디스플레이 주식회사 | 노광용 마스크, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 기판의 제조 방법 |
CN105467499A (zh) * | 2016-01-15 | 2016-04-06 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种金属线栅偏振片及其制造方法、显示面板及显示装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3280074B2 (ja) * | 1992-06-30 | 2002-04-30 | キヤノン株式会社 | X線マスク製造方法 |
JPH08213303A (ja) * | 1995-02-03 | 1996-08-20 | Nikon Corp | 反射型x線マスク及びその製造法 |
US6653026B2 (en) * | 2000-12-20 | 2003-11-25 | Numerical Technologies, Inc. | Structure and method of correcting proximity effects in a tri-tone attenuated phase-shifting mask |
US20030228529A1 (en) * | 2002-06-10 | 2003-12-11 | Dupont Photomasks, Inc. | Photomask and method for repairing defects |
TWI375114B (en) * | 2004-10-22 | 2012-10-21 | Shinetsu Chemical Co | Photomask-blank, photomask and fabrication method thereof |
JP2008203373A (ja) * | 2007-02-16 | 2008-09-04 | Clean Surface Gijutsu:Kk | ハーフトーンブランクス及びハーフトーンブランクスの製造方法 |
JP5044262B2 (ja) * | 2007-04-10 | 2012-10-10 | 株式会社エスケーエレクトロニクス | 多階調フォトマスク及びその製造方法 |
-
2009
- 2009-09-29 JP JP2009223813A patent/JP5465502B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-09-08 TW TW099130318A patent/TWI485507B/zh active
- 2010-09-29 KR KR1020100094068A patent/KR20110035948A/ko not_active Application Discontinuation
- 2010-09-29 CN CN201010298454.3A patent/CN102033417B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102033417A (zh) | 2011-04-27 |
TWI485507B (zh) | 2015-05-21 |
CN102033417B (zh) | 2014-11-26 |
TW201128295A (en) | 2011-08-16 |
KR20110035948A (ko) | 2011-04-06 |
JP2011075607A (ja) | 2011-04-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6367401B2 (ja) | 位相シフトマスクブランク及びその製造方法、位相シフトマスク及びその製造方法、並びに表示装置の製造方法 | |
TWI470342B (zh) | 相位移光罩的製造方法、平面顯示器的製造方法、及相位移光罩 | |
TWI651583B (zh) | 光罩基底、光罩基底之製造方法、相移光罩、相移光罩之製造方法、及半導體裝置之製造方法 | |
JP6625692B2 (ja) | フォトマスクブランクおよびその製造方法、フォトマスクの製造方法、並びに表示装置の製造方法 | |
JP5306507B2 (ja) | ブランクマスク及びフォトマスク | |
JP5465502B2 (ja) | フォトマスク、フォトマスク製造方法 | |
JP2005128278A (ja) | 位相シフトマスクブランク、位相シフトマスク及びパターン転写方法 | |
JP2009258357A (ja) | フォトマスク用基板及びフォトマスクとその製造方法 | |
JP2002196475A (ja) | フォトマスクブランク及びフォトマスク | |
JP2011164200A (ja) | マスクブランクス及びハーフトーンマスク | |
KR102553992B1 (ko) | 위상 시프트 마스크 블랭크, 위상 시프트 마스크 및 위상 시프트 마스크의 제조 방법 | |
KR20120086710A (ko) | 전사용 마스크, 전사용 마스크의 제조 방법 및 반도체 디바이스의 제조 방법 | |
TWI758324B (zh) | 光罩基底、相位偏移光罩、相位偏移光罩之製造方法及半導體裝置之製造方法 | |
JP4766507B2 (ja) | 位相シフトマスクブランク及び位相シフトマスクの製造方法 | |
KR20170102811A (ko) | 포토마스크 블랭크 및 포토마스크의 제조 방법 | |
JP2011095787A (ja) | 位相シフトフォトマスクブランクス及び位相シフトフォトマスク並びに半導体装置の製造方法 | |
JP2005234209A (ja) | ハーフトーン位相シフトマスクブランクの製造方法、ハーフトーン位相シフトマスクブランク、ハーフトーン位相シフトマスク及びパターン転写方法 | |
KR102168151B1 (ko) | 위상 시프트 마스크 및 그의 제조방법 | |
JP7184558B2 (ja) | 位相シフトマスクブランク、位相シフトマスク及び位相シフトマスクの製造方法 | |
JP2012003152A (ja) | 多階調フォトマスク、多階調フォトマスク用ブランク及びパターン転写方法 | |
JP2001290257A (ja) | ハーフトーン位相シフトフォトマスク及びそのためのハーフトーン位相シフトフォトマスク用ブランクス並びにこれを用いたパターン形成方法 | |
KR102637346B1 (ko) | 포토마스크 블랭크 및 그 제조 방법 | |
TW201922489A (zh) | 光罩坯料、光罩、曝光方法、及元件製造方法 | |
TW202141169A (zh) | 光罩基底、光罩之製造方法及顯示裝置之製造方法 | |
KR20220002118A (ko) | 포토마스크의 제조 방법 및 포토마스크 블랭크 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120524 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130812 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130820 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20131010 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131010 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140107 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140122 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5465502 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |