JP5459867B2 - 分析方法および分析システム - Google Patents
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Description
しかし、以下の理由によりプラズマ分析に際してはキャリアガスとしてアルゴンガスが好ましく用いられている。すなわち、ヘリウムガスはアルゴンガスに比べてイオン化電圧が高いことから、プラズマを保つためにイオン化するのに必要な電力が増大し、分析装置の負荷が増大し、また、プラズマ中のイオン密度が低くなる。さらに、ヘリウムガスを用いるとアルゴンガスに比べてプラズマが不安定になり、分析時における最適測定条件の選定が煩雑になり、複数種類の元素を高感度かつ精度良く安定的に測定することが困難になるので、操作性が低下し、分析の迅速性、簡便性が損なわれる。すなわち、従来はレーザーアブレーション装置とプラズマ分析装置を用いた分析の最適化がキャリアガスの特性によって妨げられていた。
本発明の分析方法によれば、レーザーアブレーションに際しての試料の雰囲気として第1ガスを用い、第1ガスから置換された第2ガスを含むキャリアガスにより微粒子をプラズマ分析装置のプラズマまで搬送できる。
また、そのレーザーアブレーションにおいて、試料の構成成分に起因して、プラズマ分析の感度低下や測定を妨げる気体成分が発生しても、その気体成分をガス置換装置によるガス置換により除去することができる。
本発明の分析システムによれば、本発明方法を実施することができる。
また、レーザーアブレーションにおいて、試料αの構成成分に起因して、プラズマ分析の感度低下や測定を妨げる気体成分が発生しても、その気体成分をガス置換装置5によるガス置換により除去することができる。
プラズマ分析装置6は、GBC 社製のICP-TOFMS (OPTIMA-9500 )を用いた。
プラズマ分析装置6に導入されるアルゴンガスの流量は800ml/minの一定とした。
ガス置換装置5は、多孔性隔壁52Aの材質をシラス多孔質ガラス、各孔径を0.1μm、気孔率を70%、肉厚を0.7mm、外径を10mm、長さを420mmとし、内管52の両端近傍部位52B、52Cと外管53の材質を石英ガラスとし、外管53の内径を16mmとしたものを用いた。
試料αは、30mmφのガラス標準試料であり、銀(Ag)22ppm 、鉛(Pb)38.6ppm 、ウラン(U )37.4ppm 、タリウム(Tl)15.7ppm 、を含有するものを用いた。
なお、事前の別試験により、実施例のシステムと比較例のシステムにおいて微粒子含有ガスを通過させた際の微粒子量を比較測定したところ、ガス置換装置5に吸着等されることによる微粒子の損失は認められなかった。
図4、図5から、比較例ではヘリウムガスの流量変動により試料αの構成元素の相対感度が大きく変動するのに対して、本発明の実施例では流量が変動しても相対感度の変動が少なく、最適測定条件の選定が容易に行えることを確認できる。
また、第1ガスと第2ガスは、上記実施形態や実施例のように互いに異なる種類であっってもよいし、あるいは、第1ガスと第2ガスを共に例えばアルゴンガスのような同一の種類としてもよい。
また、上記実施例ではガス付加装置7によりプラズマ分析装置に導入される第2ガス流量を一定にしているが、第2ガス流量を調節する必要がなければガス付加装置7はなくてもよい。
Claims (4)
- 第1ガスの雰囲気の中で試料をレーザーアブレーション装置によって微粒子とし、
前記第1ガスをキャリアガスとして、前記微粒子を前記レーザーアブレーション装置からガス置換装置まで搬送し、
前記ガス置換装置によって、前記キャリアガスの少なくとも一部を前記第1ガスから第2ガスにガス置換し、
そのガス置換されたキャリアガスによって前記微粒子を前記ガス置換装置からプラズマ分析装置まで搬送し、
前記プラズマ分析装置によって前記微粒子の構成元素を分析する分析方法。 - 前記第1ガスはヘリウムガスであり、前記第2ガスはアルゴンガスである請求項1に記載の分析方法。
- 第1ガスを供給する第1ガス供給源と、
前記第1ガス供給源から供給される前記第1ガスの雰囲気の中で、試料をレーザーアブレーションにより微粒子とするレーザーアブレーション装置とを備え、
前記レーザーアブレーション装置は、前記第1ガスをキャリアガスとして前記微粒子と共に流出させる第1キャリアガス出口を有し、
第2ガスを供給する第2ガス供給源を備え、
前記第1キャリアガス出口から流出する前記第1ガスを前記微粒子と共に導入するための第1キャリアガス入口と、前記第2ガス供給源から供給される第2ガスを導入するための第2ガス入口と、前記キャリアガスの少なくとも一部を前記第1ガスから前記第2ガスにガス置換するガス置換部と、そのガス置換されたキャリアガスを前記微粒子と共に流出させる第2キャリアガス出口とを有するガス置換装置と、
前記第2キャリアガス出口から流出する前記キャリアガスを前記微粒子と共に導入するための第2キャリアガス入口を有し、前記キャリアガスと共に導入される前記微粒子の構成元素の分析用プラズマを生成するプラズマ分析装置とを備える分析システム。 - 前記第1ガス供給源により前記第1ガスとしてヘリウムガスが供給され、前記第2ガス供給源により前記第2ガスとしてアルゴンガスが供給される請求項3に記載の分析システム。
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