JP5457821B2 - Active vibration isolator - Google Patents
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Description
本発明は、アクティブ除振装置に関し、より詳細には、精密加工、計測等の分野における各種機器の搭載テーブルを外乱から絶縁する空気圧制御式のアクティブ除振装置に関する。 The present invention relates to an active vibration isolator, and more particularly to a pneumatically controlled active vibration isolator that insulates a mounting table of various devices from disturbances in the fields of precision machining, measurement, and the like.
近年、半導体デバイス製造システムや極微小領域計測システムでは、急速に高精度化、高性能化してきており、これらのシステムにおいて、振動等の外乱を除去するための除振、防振装置の重要性が増大してきている。このような除振装置で除去すべき振動外乱は、設置床からの振動に起因する地動外乱と、装置の防振部材に入力される直動外乱とに大きく分けることができる。前者には低剛性の機構が適しており、後者には高剛性の機構が適している。 In recent years, semiconductor device manufacturing systems and ultra-small area measurement systems have rapidly increased in accuracy and performance, and in these systems, the importance of vibration isolation and vibration isolation devices for removing disturbances such as vibrations is important. Is increasing. Such vibration disturbances to be removed by the vibration isolator can be broadly divided into ground disturbances caused by vibrations from the installation floor and linear motion disturbances input to the vibration isolation member of the apparatus. A low-rigidity mechanism is suitable for the former, and a high-rigidity mechanism is suitable for the latter.
従来の除振装置として、地動外乱を絶縁して除振するパッシブ型除振装置が知られている。ここで、床からの振動伝達率を低くするためにばね定数を小さくしてばね剛性を低くすると、除振テーブル上の質量変化や、除振テーブルに作用する荷重の変化等のばね上での外乱に対して弱くなってしまう。このため、ばね上での外乱に対してはある程度ばね剛性を高くする必要がある。しかし、パッシブ型の除振装置では、ばね上での外乱に対して高い剛性を確保することは困難であることから、アクティブ型除振装置が提案されている。 As a conventional vibration isolator, a passive vibration isolator that isolates and isolates ground disturbance is known. Here, if the spring constant is reduced and the spring rigidity is lowered in order to reduce the vibration transmissibility from the floor, the mass change on the vibration isolation table, the load acting on the vibration isolation table, etc. It becomes weak against disturbance. For this reason, it is necessary to increase the spring rigidity to some extent against disturbance on the spring. However, since it is difficult for a passive vibration isolator to secure high rigidity against disturbance on a spring, an active vibration isolator has been proposed.
このアクティブ型除振装置によれば、空気ばねの内圧を制御する圧力制御弁等のアクチュエータに対して、除振台の振動をセンサで検出してフィードバック回路によるフィードバック制御を行い、制御対象に直接または間接に制御力を加えることにより、能動的な振動制御を行うことができる(例えば、特許文献1を参照)。 According to this active vibration isolator, an actuator such as a pressure control valve that controls the internal pressure of the air spring detects the vibration of the vibration isolation table with a sensor and performs feedback control using a feedback circuit, and directly controls the control target. Alternatively, active vibration control can be performed by indirectly applying a control force (see, for example, Patent Document 1).
しかしながら、空気ばねの内圧を制御する空気圧制御式のアクチュエータは1次遅れ系のため、ダンピング効果を得るためには制御対象の加速度信号を検出する必要があり、一般的にはサーボ型加速度センサが用いられている。従来の空気圧制御式のアクティブ型除振装置では、一般的に、制御対象の加速度を検出するサーボ型加速度センサ、制御対象の相対変位を検出する非接触変位センサ、圧力制御弁によるアクチュエータ、及び制御コントローラ等が必要となり、装置のトータルコストが高いものになってしまうという問題がある。サーボ型加速度センサは比較的高価であり、通常の場合、1つの装置で9〜10個程度使用するため、コストを押し上げる大きな要因となっている。 However, since the pneumatic control actuator that controls the internal pressure of the air spring is a first-order lag system, it is necessary to detect the acceleration signal to be controlled in order to obtain a damping effect. It is used. In a conventional pneumatically controlled active vibration isolator, generally, a servo-type acceleration sensor that detects acceleration of a controlled object, a non-contact displacement sensor that detects relative displacement of the controlled object, an actuator using a pressure control valve, and control There is a problem that a controller or the like is required and the total cost of the apparatus becomes high. Servo-type acceleration sensors are relatively expensive, and usually 9 to 10 pieces are used in one device, which is a major factor that increases the cost.
本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたものであり、空気圧制御式のアクティブ除振装置において、サーボ型加速度センサの代わりに、比較的安価な動電型速度センサで加速度を検出することにより、構造をシンプルにして低コスト化を実現できるようにしたこと、を目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and in a pneumatically controlled active vibration isolator, acceleration is detected by a relatively inexpensive electrodynamic speed sensor instead of a servo acceleration sensor. Therefore, the object is to realize a low cost by simplifying the structure.
上記課題を解決するために、請求項1の発明は、空気圧制御式のアクティブ除振装置であって、機器の搭載を可能とした機器搭載テーブルと、該機器搭載テーブルを設置基準面に対して支持する支持手段と、前記機器搭載テーブルと前記支持手段との間に設けられ且つ前記機器搭載テーブルを駆動するアクチュエータと、前記機器搭載テーブルの振動を検出する動電型速度センサと、該動電型速度センサの出力信号を加速度信号に変換する制御手段とを備え、前記機器搭載テーブルが前記動電型速度センサの固有振動数以下の振動数で振動している場合、前記制御手段は、前記動電型速度センサから出力される加加速度信号を積分して加速度信号に変換し、前記機器搭載テーブルが前記動電型速度センサの固有振動数より大きな振動数で振動している場合、前記制御手段は、前記動電型速度センサから出力される速度信号を微分して加速度信号に変換することを特徴としたものである。 In order to solve the above-described problems, the invention of claim 1 is a pneumatically controlled active vibration isolator, an equipment mounting table capable of mounting equipment, and the equipment mounting table with respect to an installation reference plane. supporting means for supporting an actuator and driving the device mounting table disposed between said support means and said device mounting table, and electrodynamic velocity sensors for detecting vibration of the device mounting table, animal electrostatic Control means for converting the output signal of the mold speed sensor into an acceleration signal, and when the device mounting table vibrates at a frequency equal to or lower than the natural frequency of the electrodynamic speed sensor, the control means includes: The jerk signal output from the electrodynamic speed sensor is integrated and converted into an acceleration signal, and the device mounting table vibrates at a frequency greater than the natural frequency of the electrodynamic speed sensor. If it has, the control means is obtained by the features that you converted into acceleration signals by differentiating the velocity signal output from the electro-dynamic velocity sensor.
請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記動電型速度センサの固有振動数が8Hz以上の範囲であることを特徴としたものである。
The invention of
本発明によれば、空気圧制御式のアクティブ除振装置において、サーボ型加速度センサの代わりに、比較的安価な動電型速度センサを用いることにより、構造をシンプルにして低コスト化を実現することができる。 According to the present invention, in a pneumatically controlled active vibration isolator, by using a relatively inexpensive electrodynamic speed sensor instead of a servo-type acceleration sensor, the structure can be simplified and the cost can be reduced. Can do.
以下、添付図面を参照しながら、本発明のアクティブ除振装置に係る好適な実施の形態について説明する。 DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments according to an active vibration isolation device of the invention will be described with reference to the accompanying drawings.
図1は、本発明によるアクティブ除振装置の構成例を示すブロック図で、図中、1はアクティブ除振装置を示す。アクティブ除振装置1は、空気圧制御式のアクティブ型除振装置であって、大きく分けて、本体部2、コントローラ3、排気ポート4、レギュレータ5で構成される。
FIG. 1 is a block diagram showing an example of the configuration of an active vibration isolator according to the present invention. In the figure, 1 indicates an active vibration isolator. The active vibration isolator 1 is a pneumatically controlled active vibration isolator, and is roughly composed of a
本体部2は、機器の搭載を可能とした機器搭載テーブル21と、機器搭載テーブル21を設置基準面に対して支持する支持手段に相当する架台22と、機器搭載テーブル21と架台22との間に設けられ且つ機器搭載テーブル21を駆動する空気アクチュエータ23とを備える。
The
また、本体部2は、機器搭載テーブル21の振動を検出する振動センサに相当する第1の速度センサ24と、第1の速度センサ24の出力を増幅する第1のアンプ25と、架台22の振動を検出する第2の速度センサ26と、第2の速度センサ26の出力を増幅する第2のアンプ27と、設置基準面に対する機器搭載テーブル21の相対変位gを検出する変位センサ28と、空気アクチュエータ23の内圧を制御するサーボバルブ29とを備える。なお、設置基準面とは例えば本体部2を設置する床面であり、相対変位gはこの床面に対する機器搭載テーブル21の相対的な変位量である。
The
空気アクチュエータ23は、ピストン23aと、空気ばね室23bとで構成され、サーボバルブ29により空気ばね室23bの内圧を調整することでピストン23aを動作させ、機器搭載テーブル21の位置や振動を制御する。サーボバルブ29には、空気を排気する排気ポート4と、空気を供給するレギュレータ5とが接続され、コントローラ3による制御に基づいて空気ばね室23bに対する空気の排気/供給を制御する。
The
上記において、第1の速度センサ24及び第2の速度センサ26は以下の図2に示すような動電型の速度センサで構成される。
図2は、本発明に係る動電型速度センサを模式的に示した図である。ここでは、第1の速度センサ24を例示して説明するが、第2の速度センサ26も同様の構成であるものとする。第1の速度センサ24は、ケース241、コイル242、磁石243、ばね244、おもり245、ダンパ246を備える。この第1の速度センサ24は、センサが持つ固有振動数以下では加加速度信号を出力し、また、固有振動数より大きい振動数では速度信号を出力するように構成されている。
In the above, the
FIG. 2 is a diagram schematically showing an electrodynamic speed sensor according to the present invention. Here, the
図2のような、ばね-質量系について説明する。ケース241の絶対変位と、ケース241とおもり245の相対変位の関係を考える。これは、おもり245とばね244とから決定される固有振動数によって異なる。すなわち、この固有振動数以下の周波数でケース241が振動した場合、おもり245には慣性力が働き、ケース241の絶対加速度に比例してばね244が変位する。つまり、ケース241とおもり245の相対変位は、ケース241の絶対加速度に比例する。一方、固有振動数より大きい周波数でケース241が振動した場合、おもり245は慣性により絶対座標で静止する。つまり、ケース241とおもり245の相対変位は、ケース241の絶対変位に比例する。
A spring-mass system as shown in FIG. 2 will be described. Consider the relationship between the absolute displacement of the
上記により、ケース241とおもり245の相対変位を観測することで、固有振動数以下ではケース241の絶対加速度を、固有振動数より大きい場合にはケース241の絶対変位を検出できる。これを時間微分すると、ケース241とおもり245の相対速度(すなわち、ケース241のおもり245に対する相対速度)を観測することで、固有振動数以下ではケース241の絶対加加速度を、固有振動数より大きい場合にはケース241の絶対速度を検出できると言うことができる。
As described above, by observing the relative displacement between the
具体的には、第1の速度センサ24に外力が印加され、この外力により加速度A(t)が発生すると、慣性力mA(t)(mはおもり245の質量)が発生する。数式で記述すると以下の通りである。
Specifically, when an external force is applied to the
ケース241の絶対変位をx0、おもり245の絶対変位をx1、おもり245の質量をm、ばね244のばね剛性をk、ダンパ246の粘性係数をcとする。おもり245のケース241に対する相対変位をy1とすると、
y1=x1−x0 ・・・式(1)
おもり245の運動方程式は、
m(d2/dt2)x1+c(d/dt)y1+k・y1=0 ・・・式(2)
ラプラス変換して、
(m・s2+c・s+k)X1=(c・s+k)X0 ・・・式(3)
The absolute displacement of the
y 1 = x 1 -x 0 ··· formula (1)
The equation of motion of the
m (d 2 / dt 2 ) x 1 + c (d / dt) y 1 + k · y 1 = 0 Equation (2)
Laplace transform
(M · s 2 + c · s + k) X 1 = (c · s + k) X 0 Formula (3)
ここで、X1(s)、X0(s)はそれぞれx1、x0のラプラス変換である。式(3)より、
X1=X0・(c・s+k)/(m・s2+c・s+k) ・・・式(4)
Here, X 1 (s) and X 0 (s) are Laplace transforms of x 1 and x 0 , respectively. From equation (3),
X 1 = X 0 · (c · s + k) / (m · s 2 + c · s + k) (4)
よって、
Y=X1−X0=X0・(m・s2)/(m・s2+c・s+k) ・・・式(5)
Therefore,
Y = X 1 −X 0 = X 0 · (m · s 2 ) / (m · s 2 + c · s + k) (5)
ここで、ωn=√(k/m)、ζ=c/(2・√(m・k))とおくと、
Y=X0・s2/(s2+2ζ・ωn・s+ωn 2) ・・・式(6)
Here, when ω n = √ (k / m) and ζ = c / (2 · √ (m · k)),
Y = X 0 · s 2 / (s 2 + 2ζ · ω n · s + ω n 2 ) (6)
よって、
ω≫ωnのとき Y=X0 ・・・式(7)
ω≪ωnのとき Y=X0・s2/ωn 2 ・・・式(8)
となる。
Therefore,
When ω >> ω n Y = X 0 Expression (7)
When ω«ω n Y = X 0 · s 2 /
It becomes.
上記において、式(7)は、ケース241の振動数ωが第1の速度センサ24の固有振動数ωnより十分高いときは相対変位yはケース241の絶対変位に比例することを示す。また、式(8)は、ケース241の振動数ωが第1の速度センサ24の固有振動数ωnより十分低いときは、相対変位yはケース241の絶対加速度に比例することを示す。
In the above, equation (7) indicates that the relative displacement y is proportional to the absolute displacement of the
次に、動電型速度センサの検出原理について説明する。ケース241には磁石243が固定され、おもり245にはコイル242が巻回されており、外力によりおもり245が磁石243間の磁束を横切る方向に運動する際に運動の速度に比例した誘導起電力をコイル242に発生させる。すなわち、おもり245が運動すると、おもり245に巻回されたコイル242には、V=vBL(V:誘導起電力、v:コイル242の運動速度、B:磁石243間の磁束密度、L:コイル242のコイル長)で示される誘導起電力Vが発生する。そして、図示しない検出部がこの誘導起電力Vを検出し、検出した誘導起電力Vから速度を得ることができる。つまり、誘導起電力Vはケース241のおもり245に対する相対速度に比例する。
Next, the detection principle of the electrodynamic speed sensor will be described. A
以上により、誘導起電力Vを測定することでケース241のおもり245に対する相対速度を求めることができるため、固有振動数以下ではケース241の絶対加加速度を、また、固有振動数より大きい場合にはケース241の絶対速度を検出することができる。
As described above, the relative speed of the
ここで、第1の速度センサ24は、ケース241内に収められたおもり245及びそのおもり245を支持するばね244で定まる固有振動数を持つが、機器搭載テーブル21が第1の速度センサ24の固有振動数以下の振動数で振動している場合、第1の速度センサ24は、出力信号として、加加速度信号を出力する。この場合、本発明の制御手段に相当するコントローラ3は、第1の速度センサ24から出力された加加速度信号を一階積分して加速度信号に変換する。
Here, the
また、機器搭載テーブル21が第1の速度センサ24の固有振動数より大きな振動数で振動している場合、第1の速度センサ24は、出力信号として、速度信号を出力する。この場合、コントローラ3は、第1の速度センサ24から出力された速度信号を一階微分して加速度信号に変換する。そして、コントローラ3は、このようにして得られた加速度信号に基づいて機器搭載テーブル21の振動制御を行う。
When the device mounting table 21 vibrates at a frequency greater than the natural frequency of the
上記において、加速度信号を得るために、速度信号を微分処理するよりも、加加速度信号を積分処理するほうが、ノイズを少なくすることができる。また、空気圧制御式のアクティブ除振装置の場合、一般的に、制御対象の振動数として、1〜8Hzの範囲を精度良く振動制御することが重要となる。そこで、8Hz以上の固有振動数を持つ動電型速度センサを使用することが望ましい。これにより動電型速度センサからは1〜8Hzの範囲で加加速度信号が出力されるため、ノイズを減らし、高精度な振動制御を行うことができる。 In the above, in order to obtain the acceleration signal, the noise can be reduced by integrating the jerk signal rather than differentiating the speed signal. In the case of a pneumatically controlled active vibration isolator, it is generally important to accurately control vibration within the range of 1 to 8 Hz as the frequency of the controlled object. Therefore, it is desirable to use an electrodynamic speed sensor having a natural frequency of 8 Hz or higher. Accordingly, since the jerk signal is output in the range of 1 to 8 Hz from the electrodynamic speed sensor, noise can be reduced and highly accurate vibration control can be performed.
ここで特筆すべきことは、通常、動電型速度センサを使用する場合、固有振動数より大きい振動数域においてのみ使用し、固有振動数以下の加加速度が出力される振動数域の信号を使用しないのに対し、本発明では通常使用されない加加速度信号を1階積分することで活用していることである。もちろん固有振動数より大きい振動数域も利用するのは言うまでもない。動電型速度センサは固有振動数及び減衰比に若干の個体差を有し、加加速度域を積分し、あるいは、速度域を微分した後の加速度信号としての特性に若干の個体差が生じ、特性がフラットでない可能性がある。アクティブ除振装置の性能で重要なのは1〜8Hz付近であり、この振動数域よりも高い固有振動数の動電型速度センサを用いることで、上記のように特性がフラットでないことによる影響が除振性能に与える変動があったとしてもそれがアクティブ除振装置の性能に深刻な影響を与えないようにすることができる。 What should be noted here is that when an electrokinetic speed sensor is used, it is usually used only in a frequency range higher than the natural frequency, and a signal in the frequency range where a jerk below the natural frequency is output. In contrast to the fact that it is not used, in the present invention, a jerk signal that is not normally used is utilized by first-order integration. Needless to say, a frequency range larger than the natural frequency is also used. The electrodynamic speed sensor has a slight individual difference in the natural frequency and damping ratio, and there is a slight individual difference in the characteristics as an acceleration signal after integrating the jerk region or differentiating the speed region, The characteristic may not be flat. What is important in the performance of the active vibration isolator is around 1 to 8 Hz. By using an electrodynamic speed sensor with a natural frequency higher than this frequency range, the influence due to the non-flat characteristics as described above is eliminated. Even if there is a fluctuation in the vibration performance, it can be prevented from seriously affecting the performance of the active vibration isolator.
ここで、従来のサーボ型加速度センサの場合、信号処理アンプにおいて、DC成分をカットするためのHPF(ハイパスフィルタ)を必要とし、また、高周波ノイズをカットするためのLPF(ローパスフィルタ)も必要としていた。これに対して、動電型速度センサの場合、DC成分を検出しないため、信号処理アンプにHPFを必要としない。また、構造上電気回路を内蔵しないため外部電源も必要としない。そのため、自身からノイズを発生する恐れもなく、出力インピーダンスが低いため外部からのノイズの影響を受けにくい。したがって、LPFを不要にすることもできる。このように動電型速度センサの場合、従来のサーボ型加速度センサと比較して、センサ自体の構造がシンプル且つ安価なことに加えて、信号処理アンプのフィルタを不要にできるため、装置の低コスト化を実現することができる。 Here, in the case of a conventional servo acceleration sensor, the signal processing amplifier requires an HPF (high pass filter) for cutting a DC component, and also requires an LPF (low pass filter) for cutting high frequency noise. It was. On the other hand, in the case of an electrodynamic speed sensor, since no DC component is detected, no HPF is required for the signal processing amplifier. In addition, since no electric circuit is built in the structure, no external power source is required. Therefore, there is no fear of generating noise from itself, and since the output impedance is low, it is difficult to be influenced by external noise. Therefore, the LPF can be eliminated. In this way, in the case of an electrodynamic speed sensor, the structure of the sensor itself is simple and inexpensive as compared with a conventional servo type acceleration sensor. Cost reduction can be realized.
また、図1において、コントローラ3は、第1の速度センサ24から出力された加加速度信号を一階積分して加速度信号に変換し、また、第1の速度センサ24から出力された速度信号を一階微分して加速度信号に変換する微分/積分部31と、予め定められた空気アクチュエータ23の浮上目標値から変位センサ28により検出された相対変位gを減算して偏差を算出する偏差算出部32と、偏差算出部32で算出された偏差と第1の速度センサ24からの出力値(加速度信号)とに基づいて位置制御及び振動制御を行うFB(フィードバック)制御部33と、第2の速度センサ26からの出力値(加速度信号)に基づいて床からの振動制御を行う床FF(フィードフォワード)制御部34とを備える。
Further, in FIG. 1, the controller 3 performs first-order integration of the jerk signal output from the
また、コントローラ3は、FB制御部33からの出力値と床FF制御部34からの出力値とを加算する加算部35と、加算部35からの出力に基づいてサーボバルブ29を駆動するサーボアンプ36と、偏差算出部32,微分/積分部31,及び加算部35からの出力をモニタするアナログモニタ37とを備える。このコントローラ3は、AC電源6から電力が供給されるものとする。
The controller 3 also includes an
アナログモニタ37は、オシロスコープやFFT(Fast Fourier Transform)等と接続され、オシロスコープやFFT(Fast Fourier Transform)等は、アナログモニタ37からの各種出力を表示することができる。
The analog monitor 37 is connected to an oscilloscope, FFT (Fast Fourier Transform), or the like, and the oscilloscope, FFT (Fast Fourier Transform), or the like can display various outputs from the
アクティブ除振装置1のフィードバック(FB)制御系について説明する。
まず、変位センサ28は、設置基準面に対する機器搭載テーブル21の相対変位gを検出する。そして、偏差算出部32は、予め定められた空気アクチュエータ23の浮上目標値から、変位センサ28で検出された相対変位gを減算して偏差を算出する。FB制御部33は、偏差算出部32で算出された偏差がゼロになるように位置制御を行い、機器搭載テーブル21を一定の位置に制御する。また、FB制御部32は、微分/積分部31から出力された加速度信号に基づいて、機器搭載テーブル21の振動を抑制するように制御する。
A feedback (FB) control system of the active vibration isolator 1 will be described.
First, the
また、アクティブ除振装置1の床フィードフォワード(FF)制御系について説明する。
上記のFB制御系における振動制御は、機器搭載テーブル21の振動を抑制するのに対して、この床FF制御系は、架台22から機器搭載テーブル21へ振動が伝わらないように制御するようにしたものである。すなわち、架台22に設置された第2の速度センサ26から出力される加加速度信号または速度信号を微分/積分部31で加速度信号に変換する。床FF制御部34は、微分/積分部31から出力された加速度信号に基づいて、架台22から機器搭載テーブル21に伝わる振動を打ち消すように制御することにより、架台22から機器搭載テーブル21へ伝わる振動が抑制される。なお、床FF制御系は、単独で用いられることはなく、FB制御系と併用して用いられる。
A floor feedforward (FF) control system of the active vibration isolator 1 will be described.
The vibration control in the above FB control system suppresses the vibration of the equipment mounting table 21, whereas the floor FF control system controls the vibration so that the vibration is not transmitted from the
加算部35は、FB制御部33からの出力値と床FF制御部34からの出力値とを加算して出力し、サーボアンプ36は、加算部35からの出力値に基づいて、サーボバルブ29を駆動する。サーボバルブ29は、空気ばね室23bの内圧を調整することでピストン23aを動作させ、機器搭載テーブル21の位置や振動を制御する。
The adding
このように本発明によれば、空気圧制御式のアクティブ除振装置において、サーボ型加速度センサの代わりに、比較的安価な動電型速度センサを用いることにより、構造をシンプルにして低コスト化を実現することができる。 As described above, according to the present invention, in a pneumatically controlled active vibration isolator, a relatively inexpensive electrodynamic speed sensor is used instead of a servo acceleration sensor, thereby simplifying the structure and reducing the cost. Can be realized.
1…アクティブ除振装置、2…本体部、3…コントローラ、4…排気ポート、5…レギュレータ、21…機器搭載テーブル、22…架台、23…空気アクチュエータ、23a…ピストン、23b…空気ばね室、24…第1の速度センサ、25…第1のアンプ、26…第2の速度センサ、27…第2のアンプ、28…変位センサ、29…サーボバルブ、31…微分/積分部、32…偏差算出部、33…FB制御部、34…床FF制御部、35…加算部、36…サーボアンプ、37…アナログモニタ。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Active vibration isolator, 2 ... Main-body part, 3 ... Controller, 4 ... Exhaust port, 5 ... Regulator, 21 ... Equipment mounting table, 22 ... Mount, 23 ... Air actuator, 23a ... Piston, 23b ... Air spring chamber, 24 ...
Claims (2)
機器の搭載を可能とした機器搭載テーブルと、該機器搭載テーブルを設置基準面に対して支持する支持手段と、前記機器搭載テーブルと前記支持手段との間に設けられ且つ前記機器搭載テーブルを駆動するアクチュエータと、前記機器搭載テーブルの振動を検出する動電型速度センサと、該動電型速度センサの出力信号を加速度信号に変換する制御手段とを備え、
前記機器搭載テーブルが前記動電型速度センサの固有振動数以下の振動数で振動している場合、前記制御手段は、前記動電型速度センサから出力される加加速度信号を積分して加速度信号に変換し、
前記機器搭載テーブルが前記動電型速度センサの固有振動数より大きな振動数で振動している場合、前記制御手段は、前記動電型速度センサから出力される速度信号を微分して加速度信号に変換することを特徴とするアクティブ除振装置。 A pneumatically controlled active vibration isolator,
A device mounting table capable of mounting devices, a support means for supporting the device mounting table with respect to an installation reference plane, and provided between the device mounting table and the support means and driving the device mounting table comprising an actuator for the electrodynamic velocity sensors for detecting vibration of the device mounting table, and control means for converting the output signal of the animal electrodynamic velocity sensors acceleration signal,
When the device mounting table vibrates at a frequency less than or equal to the natural frequency of the electrodynamic speed sensor, the control means integrates the jerk signal output from the electrodynamic speed sensor to obtain an acceleration signal Converted to
When the device mounting table vibrates at a frequency greater than the natural frequency of the electrodynamic speed sensor, the control means differentiates the speed signal output from the electrodynamic speed sensor into an acceleration signal. active anti-vibration apparatus is characterized that you conversion.
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