JP5454289B2 - Hydraulic levitation trapezoidal screw - Google Patents
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Description
モータの回転運動を効率良く直進運動に変換する台形ねじの構造およびその制御方法であり、ダイカストマシンや射出成形機、あるいは工作機械の駆動装置として利用できる。 This is a trapezoidal screw structure that efficiently converts the rotational motion of a motor into straight motion and its control method, and can be used as a drive unit for a die casting machine, an injection molding machine, or a machine tool.
古くから産業用機械などの駆動源として、電気モータが用いられてきた。その電気モータの回転運動を直進運動に変換する機構としてねじ機構が採用され、電気モータの回転速度や回転トルク制御を行なうことにより、直進運動部の速度制御および圧力(推進力)制御を行なう。ねじ機構には、特に台形ねじが多く利用されている。台形ねじは、加工が容易で安価に製作できるという利点があるが、ねじ面(フランク面)同士の金属接触による摺動摩擦抵抗が大きいため、入力した回転エネルギーに対し出力される直進エネルギーの割合が30%前後と、変換効率が非常に悪いという問題点があった。 An electric motor has been used for a long time as a drive source for industrial machines and the like. A screw mechanism is adopted as a mechanism for converting the rotary motion of the electric motor into a straight motion, and the speed control and the pressure (propulsion force) control of the linear motion portion are performed by controlling the rotation speed and torque of the electric motor. In particular, trapezoidal screws are often used for the screw mechanism. Trapezoidal screws have the advantage that they are easy to process and can be manufactured at low cost. However, because the sliding frictional resistance due to metal contact between the thread surfaces (flank surfaces) is large, the ratio of the linear energy output to the input rotational energy is high. There was a problem that the conversion efficiency was very poor, around 30%.
そのような問題を解決するため、ねじ軸とナットのねじ山の間に鋼製のボールを嵌め込み、リターンチューブでボールを循環させる方式のボールねじが開発され、現在広く利用されている。ボールねじでは、ねじ軸とナットの間にボールの転がりが介在するため、摩擦抵抗が非常に小さく、90%を超える変換効率を達成している。そのため、例えば工作機械の送り機構や、電動射出成形機の駆動機構に一般的に利用されている。
しかし、ボールねじの場合、高速で動作するとボール同士の衝突による衝撃でボール自身が破損し、ボールねじおよび機械の故障を引き起こすという問題がある。そのため、ボールねじ軸の外径(Dmm)と回転速度(Nrpm)をかけ合わせた数値(D×N)である周速に限界値があり、ボールねじ軸の太さおよび回転速度が制限される。よって、高速かつ大荷重(ねじ軸が大径になる)の装置には適しておらず、大型機にはボールねじを採用できないという欠点があった。また、ボールねじの本数を複数にして1本当たりの荷重を低くして使用する場合も、軸同士の同調メカニズムあるいは制御が煩雑となり、コストアップの要因となって採用が困難であった。
In order to solve such a problem, a ball screw of a type in which a steel ball is fitted between a screw shaft and a screw thread of a nut and the ball is circulated by a return tube has been developed and widely used. In the ball screw, since the rolling of the ball is interposed between the screw shaft and the nut, the frictional resistance is very small, and a conversion efficiency exceeding 90% is achieved. Therefore, for example, it is generally used for a feed mechanism of a machine tool or a drive mechanism of an electric injection molding machine.
However, in the case of a ball screw, there is a problem in that if the ball screw operates at a high speed, the ball itself is damaged due to an impact caused by the collision between the balls, causing a failure of the ball screw and the machine. Therefore, there is a limit value in the peripheral speed, which is a numerical value (D × N) obtained by multiplying the outer diameter (Dmm) of the ball screw shaft and the rotational speed (N rpm), and the thickness and rotational speed of the ball screw shaft are limited. . Therefore, it is not suitable for a high-speed and heavy load (screw shaft has a large diameter) device, and there is a drawback that a ball screw cannot be used for a large machine. In addition, even when a plurality of ball screws are used and the load per one is lowered, the mechanism or control of the shafts becomes complicated, and it is difficult to adopt it due to an increase in cost.
他に、台形ねじのナットの内部から、フランク面間に流体を供給するきり孔加工を施し、空気や作動油など流体の圧力を適切に供給して、フランク面での金属接触力を少なくする静圧ねじが利用されている。
例えば、特許文献1には、外筒の内周部とナットの外周部の間に設けた周段部(絞りすきま)とナットに設けられた小孔を経由して、両フランク面に油圧を供給し、軸方向荷重の変動に対応した油圧をバランス良く発生させることにより、フランク面に一定の厚さの流体膜を生じさせることが可能な静圧ねじが開示されている。
次に、特許文献2には、ナット側からフランク面に供給した圧力空気を、ねじ軸の軸芯上に設けた長手方向排気孔から排出し、排出量を充分に確保することによって必要な空気膜を形成可能となる、静圧空気ねじが開示されている。
さらに、特許文献3では、軸方向の荷重を軸受け部分に設けた2個の圧力検出器によって検知し、検知信号を差動増幅器で増幅した後、直接サーボ弁へ信号入力して軸方向荷重に対応した油圧をナットの各フランク面に供給する静圧ねじ装置技術が開示されている。
In addition, drill holes for supplying fluid between the flank surfaces from the inside of the trapezoidal screw nut are provided, and fluid pressure such as air and hydraulic oil is supplied appropriately to reduce the metal contact force on the flank surface. Static pressure screws are used.
For example, in
Next, in Patent Document 2, the pressure air supplied from the nut side to the flank surface is discharged from a longitudinal exhaust hole provided on the axis of the screw shaft, and the necessary air is ensured by sufficiently securing the discharge amount. A hydrostatic air screw that can form a membrane is disclosed.
Furthermore, in Patent Document 3, the axial load is detected by two pressure detectors provided in the bearing portion, and after the detection signal is amplified by a differential amplifier, a signal is directly input to the servo valve to obtain the axial load. A hydrostatic screw device technology for supplying corresponding hydraulic pressure to each flank surface of a nut is disclosed.
しかしながら、特許文献1記載のねじでは、絞りすきまによってフランク面の圧力を調整するため、絞りすきまの高さの製作誤差や作動油温度の変動によって、発生圧力にバラ付きが生じ、常に適切な大きさの圧力を発生できるとは限らなかった。
また、特許文献2記載のねじでは、排気孔から圧力が抜けるため、高い圧力が必要な高荷重のねじ装置では圧力が立たず、適していなかった。
さらに、特許文献3記載のねじでは、圧力検出器から出てきた電気信号により直接サーボ弁を操作するため、低負荷から高負荷の範囲の荷重に対して、フランク面の圧力を適切に制御することが困難であった。
よって本願発明は、台形ねじのフランク面に軸方向荷重に対応した油圧を供給して浮かせ、フランク面同士を確実に非接触とすることで、動力伝達効率が極めて高く、高速大荷重の装置においても採用可能な、油圧浮上式の台形ねじ及びその制御方法を提供するものである。
However, in the screw described in
In addition, the screw described in Patent Document 2 is not suitable for a high-load screw device that requires a high pressure because the pressure is released from the exhaust hole.
Furthermore, in the screw described in Patent Document 3, the servo valve is directly operated by an electric signal output from the pressure detector, so that the pressure on the flank surface is appropriately controlled with respect to loads ranging from low loads to high loads. It was difficult.
Therefore, the invention of the present application supplies the hydraulic pressure corresponding to the axial load to the flank surface of the trapezoidal screw and floats it, thereby ensuring that the flank surfaces are not in contact with each other. The present invention also provides a hydraulically levitated trapezoidal screw and a control method thereof.
本願における第1の発明においては、ねじ軸とナットからなる台形ねじであって、ねじ軸の外径部とナットのねじ底部の間をシールする外径シール材と、ねじ軸の谷径部とナットの内径部をシールする内径シール材と、ナットの両端部においてねじ軸のフランク面とナットのフランク面の間をシールするフランク面シール材とによって封止され、ねじ軸のフランク面とナットのフランク面との間に形成される螺旋状のaグループ油室およびbグループ油室と、aグループ油室とおよび前記bグループ油室に、個別に圧力制御された作動油を供給する油圧制御装置と、aグループ油室およびbグループ油室と連通し、油圧制御装置からの油圧を供給するためにナットに施された流路孔と、ねじ軸とナットの軸方向の相対位置を測定するねじ位置センサーと、から構成され、台形ねじの動作中にねじ位置センサーの測定値をフィードバックし、ねじ軸のねじ山の両側に形成される、フランク面の間の間隔が略同一になるよう、油圧制御装置によってaグループ油室およびbグループ油室に供給する作動油の圧力を個別に制御する台形ねじとする。
また、第2の発明においては、油圧制御装置が、2つの独立した作動油吐出ラインを有し、それぞれの作動油吐出ラインに、作動油吐出手段及び圧力制御手段を備える台形ねじとする。
さらに、第3の発明においては、ねじ軸は電気モータの回転軸と連結し、ナットは回転が拘束された状態で摺動運動可能とする。
そして、第4の発明においては、モータの回転運動を直進運動に変換して駆動動作するダイカストマシンまたは射出成形機に用いる。
In the first invention of the present application, a trapezoidal screw composed of a screw shaft and a nut, an outer diameter sealing material that seals between an outer diameter portion of the screw shaft and a screw bottom portion of the nut, a root diameter portion of the screw shaft, Sealed by an inner diameter sealing material that seals the inner diameter portion of the nut, and a flank surface sealing material that seals between the flank surface of the screw shaft and the flank surface of the nut at both ends of the nut. Hydraulic control device for supplying hydraulic oil individually controlled in pressure to spiral a group oil chamber and b group oil chamber, a group oil chamber and b group oil chamber formed between the flank surfaces A passage hole provided in the nut for communicating with the a-group oil chamber and the b-group oil chamber and supplying hydraulic pressure from the hydraulic control device, and a screw for measuring the axial position of the screw shaft and the nut. position It is composed of a Nsa, and feeding back the measured values of the screw position sensor during operation of the trapezoidal thread, is formed on both sides of the threads of the screw shaft, so that the spacing between the flanks is substantially the same, the hydraulic control and trapezoidal screw that controls individually the pressure of the hydraulic fluid supplied to a group oil chamber and b group oil chamber by the device.
In the second invention, the hydraulic control device has two independent hydraulic oil discharge lines, and each hydraulic oil discharge line is a trapezoidal screw provided with hydraulic oil discharge means and pressure control means.
Furthermore , in the third invention, the screw shaft is connected to the rotating shaft of the electric motor, and the nut is slidable in a state where the rotation is restricted.
And in 4th invention, it uses for the die-casting machine or injection molding machine which converts the rotational motion of a motor into a rectilinear motion, and drives.
(1)周速等の制限が無いので、高速移動が可能で且つ大きな推進力を発揮可能なねじ送り機構を実現できる。
(2)ねじのフランク面における金属摺動による摩擦抵抗が無くなるので、モータの回転トルクを効率的に直進運動力(推進力)に変換できる。
(1) Since there is no restriction on the peripheral speed or the like, it is possible to realize a screw feed mechanism that can move at high speed and can exert a large propulsive force.
(2) Since the frictional resistance due to metal sliding on the flank surface of the screw is eliminated, the rotational torque of the motor can be efficiently converted into a linear motion force (propulsion force).
以下、図面にもとづいて、本発明に係る油圧浮上式台形ねじに関する実施例を詳細に説明する。 Embodiments relating to a hydraulically levitated trapezoidal screw according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
図1は、本願発明に係る台形ねじを、機械装置に組み込む際の構造の実施例を示したものである。
機械装置のフレーム18上に、軸受け固定部材23が固着されている。軸受け固定部材23には電気モータ20がモータ取付けブラケット22を介して固定されており、電気モータ20の回転軸はカップリング21によってねじ軸10と連結している。ねじ軸10の図1における左端部は、スラスト軸受け24、アンギュラ軸受け25、その間のスペーサ、軸受けナット26が組み付けられており、回転自在且つ軸方向には拘束された状態で、軸受け固定部材23に支持されている。ねじ軸10に左方向のスラスト荷重が作用するとスラスト軸受け24によって荷重を受け、右方向の力が作用するとアンギュラ軸受け25によって荷重を受けるようになっている。また、アンギュラ軸受け25は軸受け押さえ27によって、軸受け固定部材23に押さえ付けられている。
一方、ねじ軸10の右端部には押さえナット32によって軸受け31が取付けられており、フレーム18上に固着された軸受け支持部材30に回転自在に支持されている。
FIG. 1 shows an embodiment of a structure when a trapezoidal screw according to the present invention is incorporated in a mechanical device.
A
On the other hand, a
ねじ軸10と螺合するナット11には機械装置の移動部材13が取付けられており、電気モータ20の回転駆動が機械装置の直進運動として伝えられる。移動部材13には、スライドブロック34が取付けられており、フレーム18に取付けられているスライドレール33と組み合わされて摺動自在となるので、ナット11および移動部材13は、回転が拘束された状態でかつ直進運動が可能となっている。
A moving
図2は、ねじ軸10とナット11の螺合部の断面図及びねじのフランク面間に油圧を供給する油圧回路を示す図である。
ねじ軸10の外周部とナット11の内周部には、お互い螺合し合う台形ねじが形成されている。台形ねじは、フランク面の間に隙間があるあまねじなっており、軸方向でδmmづつの空間に作動油を導くことができる。隙間は、両側を合わせた2δが0.1mm程度であることが好ましい。ナット11の内径部11bには、内径シール材51を収納する溝が加工されており、ナット11の内径部11bとねじ軸10の谷径部10bの間をシールできるようになっている。また、ナット11のねじ底部11aには、外径シール材52を収納する溝が加工されており、ナット11のねじ底部11aとねじ軸10の外径部10aの間をシールできるようになっている。さらに、ナット11の両端部において、フランク面の間をシールするフランク面シール材70が2組装着されている。よって、フランク面間の隙間であるa1、a2、a3、a4、a5からなり周囲がシール(封止)された螺旋状のaグループ油室と、同様にb1、b2、b3、b4、b5からなるbグループ油室が形成される。aグループ油室はナット11が図の矢印A方向からの荷重を受けると油室が小さくなり、またbグループ油室は図の矢印B方向からの荷重を受けると油室が小さくなる。内径シール材51と外径シール材52は螺旋状になっている。aグループ油室とbグループ油室は1つのねじ山の両側に形成される。
FIG. 2 is a cross-sectional view of the threaded portion of the
A trapezoidal screw that is screwed together is formed on the outer periphery of the
aグループ油室は、ナット11に施されたaライン流路孔47を介して、外部配管であるaラインを経由して、油圧装置と接続されている。また、bグループ油室もbライン流路孔48を介して油圧装置と接続している。aラインは、ポンプ用モータ45によって回転駆動を受けるaラインポンプ43と接続するとともに、途中で分岐してaライン電磁圧力制御弁41およびタンク46と接続している。よって、aラインポンプ43から吐出された作動油は、aライン電磁圧力制御弁41によって圧力制御され、所望の圧力の作動油をaグループ油室に供給できる。aライン電磁圧力制御弁41は、電気的に図示せぬ制御装置と接続しており、制御装置からの指令によって設定圧力を自由に変えることができる。
同様にbグループ油室も、bライン流路孔48及びbラインを介して、bラインポンプ44及びbライン電磁圧力制御弁42、タンク46と回路接続し、油圧を制御できるようになっている。
The a-group oil chamber is connected to the hydraulic device via the a-line which is an external pipe through the
Similarly, the b group oil chamber is also connected to the
aラインポンプ43とbラインポンプ44は、ポンプ用モータ45によって回転し、タンク46から作動油を吸い上げて、aラインとbラインに吐出する。aグループ油室およびbグループ油室は、各シール材によってシール(封止、密閉)されているため圧力が確実に上がり、また高圧油の漏れがほとんど無い、aラインポンプ43とbラインポンプ44およびポンプ用モータ45の容量を小さくすることができる。従って、ポンプ用モータ45の消費電力は小さくなる。
The
ナット11の端面には、ねじ位置センサー60が取付けられており、ねじ軸10のねじ山との間の距離を測定することができる。それにより、ねじ軸10とナット11の軸方向の相対位置が測定できるようになっており、aグループ油室およびbグループ油室の各隙間を検知できる。ねじ位置センサー60も制御装置と電気的に接続しており、測定値を瞬時にかつ連続的に送信できるようになっている。
A
図3に、フランク面シール部分の詳細を示す。スリット溝73を持つ略円柱状のシールアダプター71が、ナット11に埋め込まれて固定されている。シールアダプター71のスリット溝73には板状のフランク面シール材70が摺動自在かつ隙間がほとんど無い状態で嵌め込まれており、ばね72によってねじ軸10のフランク面に押し当てられている。ねじ軸10の材質には鉄鋼が適しているので、フランク面シール70は銅製であることが好ましい。銅は鉄鋼より若干柔らかいので、ねじ軸10が回転した際フランク面シール70材とねじ軸10のフランク面は擦れ合うが、適度に馴染んでフランク面を傷付けることがなく、効果的にシールすることができる。
FIG. 3 shows details of the flank face seal portion. A substantially
図4に、図3におけるシールアダプター71の中心線を矢視Pから見た断面を示す。シールアダプター71の下部は、スリット溝73が加工されており、そこにフランク面シール材70が挿入され支持されるとともに、上からばね72によって下方に押し付けられている。シールアダプター71は、ナット11に組み込まれた状態で内径部にねじ山加工を施せば、ナット11と連続的な台形ねじを形成することができる。その後シールアダプター71を取り出し、スリット溝73を加工すると良い。ここでは、フランク面シール材70をねじ軸10のフランク面に押し付けるためにばね72を利用したが、例えば、フランク面油室に供給される作動油をフランク面シール70の上側に導き、油圧の力によってフランク面に押し付ける構造にすることも可能である。
FIG. 4 shows a cross section of the center line of the
次に、上で述べた油圧浮上台形ねじの運転制御方法について説明する。
運転開始信号が制御装置に入力されると、まずポンプ用モータ45を回転駆動しaラインポンプ43およびbラインポンプ44から作動油を吐出する。この時、aライン電磁圧力制御弁41とbライン電磁圧力制御弁42は、低い圧力に設定しておく。このことにより、aグループ油室とbグループ油室には低い圧力が供給される。この状態でねじ位置センサー60によって、フランク面間の隙間を測定する。そして、それぞれの隙間が中間値のδmmとなるよう、隙間が小さい方のラインの圧力を少し上げて調整する。そして、ナット11および移動部材13を直進移動させるため電気モータ20を回転させる。この時、移動部材13に作用する力の変動によって隙間が変わるので、常時ねじ位置センサー60によって相対位置を監視し、適宜aライン電磁圧力制御弁41とbライン電磁圧力制御弁42の指令値を変更し、各ラインの圧力を増減させる。例えば、ねじ位置センサー60の測定値が小さくなった場合、矢印A方向の荷重を受けaグループ油室の隙間が小さくなり作動油がaライン電磁圧力制御弁41を介してタンク46に落ちていることになるので、aライン電磁圧力制御弁41の設定圧力を高くする。
このようなことを、短いサンプリング間隔で繰り返し、両側の隙間が常にδmm近辺に維持できるように制御する。
Next, the operation control method of the hydraulic levitation trapezoidal screw described above will be described.
When the operation start signal is input to the control device, the
Such a process is repeated at a short sampling interval, and control is performed so that the gap on both sides can always be maintained around δ mm.
ここで、機械装置の推進力(荷重)と油室の圧力との関係を述べる。
軸方向の推進力をQ、ねじ軸の外径をd、噛み合っているねじ山の高さをh、フランク面に圧力が供給されるねじ山数をZとすると、フランク面(油室)に供給する作動油の圧力qは、次の計算式となる。
q=Q÷{π・Z・h・(d−h)}
以上の計算式より、機械装置の最高推進力の仕様値より最大圧力を計算し、その最大圧力を供給できる油圧回路を設計する。
Here, the relationship between the propulsive force (load) of the mechanical device and the pressure of the oil chamber will be described.
If the axial thrust is Q, the outer diameter of the screw shaft is d, the height of the engaged threads is h, and the number of threads that supply pressure to the flank is Z, the flank (oil chamber) The pressure q of the hydraulic oil to be supplied is as follows.
q = Q ÷ {π · Z · h · (d−h)}
From the above formula, the maximum pressure is calculated from the specification value of the maximum propulsive force of the mechanical device, and a hydraulic circuit that can supply the maximum pressure is designed.
以上のようなの構成の台形ねじを作成し運転制御することにより、フランク面間に常に作動油が介在しフランク面同士の金属接触が無くなるので、滑らかに回転するねじ装置となる。また、ボールねじのようなボール同士の衝突を軽減するための周速制限が無く、高速かつ高荷重で動作する大型装置を駆動することが可能となる。さらに、ねじ部の油室がシール材により密封されているため高圧作動油の漏れが少なく、ポンプ用モータの消費電力を小さくすることができる。
このようなことから、ダイカストマシンや射出成形機の大型機(例えば型締力が500トン以上)の駆動装置としても利用でき、型締装置や射出装置を動かすことが可能となる。
By creating and controlling the trapezoidal screw having the above-described configuration, the hydraulic oil is always interposed between the flank surfaces, and the metal contact between the flank surfaces is eliminated, so that the screw device rotates smoothly. Further, there is no peripheral speed limitation for reducing the collision between balls such as a ball screw, and it becomes possible to drive a large apparatus that operates at high speed and with a high load. Furthermore, since the oil chamber of the screw portion is sealed with the sealing material, there is little leakage of the high-pressure hydraulic oil, and the power consumption of the pump motor can be reduced.
For this reason, it can be used as a driving device for a large-sized machine such as a die casting machine or an injection molding machine (for example, a clamping force of 500 tons or more), and the clamping apparatus and the injection apparatus can be moved.
上記の実施の形態は本発明の例であり、本発明は、該実施の形態により制限されるものではなく、請求項に記載される事項によってのみ規定されており、上記以外の実施の形態も実施可能である。 The above-described embodiment is an example of the present invention, and the present invention is not limited by the embodiment, but is defined only by matters described in the claims, and other embodiments than the above are also possible. It can be implemented.
サーボモータとねじの組み合わせにより駆動を行なう、ダイカストマシンや射出成形機に利用できる。 It can be used in die casting machines and injection molding machines that are driven by a combination of servo motors and screws.
10 ねじ軸
10a 外径部
10b 谷径部
11 ナット
11a ねじ底部
11b 内径部
13 移動部材
18 フレーム
20 電気モータ
21 カップリング
22 モータ取付けブラケット
23 軸受け固定部材
24 スラスト軸受け
25 アンギュラ軸受け
26 軸受けナット
27 軸受け押さえ
30 軸受け支持部材
31 軸受け
32 押さえナット
33 スライドレール
34 スライドブロック
41 aライン電磁圧力制御弁
42 bライン電磁圧力制御弁
43 aラインポンプ
44 bラインポンプ
45 ポンプ用モータ
46 タンク
47 aライン流路孔
48 bライン流路孔
51 外径シール材
52 内径シール材
60 ねじ位置センサー
70 フランク面シール材
71 シールアダプター
72 ばね
73 スリット溝
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記ねじ軸の外径部と前記ナットのねじ底部の間をシールする外径シール材と、前記ねじ軸の谷径部と前記ナットの内径部をシールする内径シール材と、前記ナットの両端部において前記ねじ軸のフランク面と前記ナットのフランク面の間をシールするフランク面シール材と、によって封止され、前記ねじ軸のフランク面と前記ナットのフランク面との間に形成される螺旋状のaグループ油室およびbグループ油室と、
前記aグループ油室とおよび前記bグループ油室に、個別に圧力制御された作動油を供給する油圧制御装置と、
前記aグループ油室および前記bグループ油室と連通し、前記油圧制御装置からの油圧を供給するために前記ナットに施された流路孔と、
前記ねじ軸と前記ナットの軸方向の相対位置を測定するねじ位置センサーと、
から構成され、
前記台形ねじの動作中に前記ねじ位置センサーの測定値をフィードバックし、前記ねじ軸のねじ山の両側に形成される、前記フランク面の間の間隔が略同一になるよう、前記油圧制御装置によって前記aグループ油室および前記bグループ油室に供給する作動油の圧力を個別に制御することを特徴とする台形ねじ。 A trapezoidal screw consisting of a screw shaft and a nut,
An outer diameter sealing material that seals between an outer diameter portion of the screw shaft and a screw bottom portion of the nut, an inner diameter sealing material that seals a valley diameter portion of the screw shaft and an inner diameter portion of the nut, and both end portions of the nut And a flank sealing material that seals between the flank surface of the screw shaft and the flank surface of the nut, and is formed between the flank surface of the screw shaft and the flank surface of the nut. A group oil chamber and b group oil chamber,
A hydraulic control device for supplying hydraulic oil individually pressure-controlled to the a group oil chamber and the b group oil chamber;
A flow path hole provided in the nut for communicating with the a group oil chamber and the b group oil chamber, and supplying hydraulic pressure from the hydraulic control device;
A screw position sensor for measuring the relative position of the screw shaft and the nut in the axial direction;
Consisting of
The hydraulic control device feeds back the measured value of the screw position sensor during the operation of the trapezoidal screw so that the distance between the flank surfaces formed on both sides of the thread of the screw shaft is substantially the same. wherein a group oil chamber and trapezoidal screw which is characterized that you individually control the pressure of hydraulic fluid supplied to the b group oil chamber.
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