JP5444971B2 - 圧電アクチュエータの製造方法、圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッド及び画像形成装置 - Google Patents
圧電アクチュエータの製造方法、圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッド及び画像形成装置 Download PDFInfo
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圧電材料と内部電極が積層された積層型圧電部材に対して端から順番に溝加工を行うことにより複数の柱を形成し、前記複数の柱の少なくとも一部を変形可能とした圧電アクチュエータの製造方法において、
前記複数の柱が等ピッチで加工されている領域を有し、
前記等ピッチで加工される領域の溝加工は、一方向に等ピッチの溝加工を行い、
最初に加工される溝の少なくとも前記一方向側の側面に内部電極が存在しない領域から溝加工を開始する
構成とした。
圧電材料と内部電極が積層された積層型圧電部材に対して溝加工を行うことにより複数の柱を形成し、前記複数の柱の少なくとも一部を変形可能とした圧電アクチュエータにおいて、
等ピッチで加工されている領域の一番端に形成される柱の少なくとも一番端に形成される溝に面する側面に内部電極が露出していない
構成とした。
圧電材料と内部電極が積層された積層型圧電部材に対して溝加工を行うことにより複数の柱を形成し、前記複数の柱の少なくとも一部を変形可能とした圧電アクチュエータにおいて、
等ピッチで加工されている領域の一番端に最初に形成される柱の少なくとも一番端に形成される溝に面する側面に露出されている内部電極の数が、中央部に位置する柱の側面に露出されている内部電極の数よりも少ない
構成とした。
この比較例の圧電部材12は、図4(a)に示すように、内部電極3A、3Bが存在しない領域1Cを有していないものである。そこで、図4(b)に示すように、中央部領域1Aと端部領域1B1との間に1本目の加工溝10を形成すると、加工溝10の周辺部分31は1本目の加工溝10aを形成する際、溝や隙間など加工時の応力の逃げ場が存在しないために、ブレードの負荷を全面に受けてしまうことにより、ダメージを受けてしまう。
ここでは、1本目の溝10aの両側面21、22に内部電極3A、3Bが存在しない構成としている。このように構成しても、上記第1実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
上述した各実施形態の圧電アクチュエータにおいて、柱を1本おきに駆動させるバイピッチ方式の場合、図6に示すように、圧電素子柱11に駆動波形を与える配線部材(例えばFPC)15の個別配線電極16A、共通配線電極16Bが圧電部材1の個別電極4、共通電極5Bに接続される。このとき、誤って図7に示すように、個別配線電極16Aを柱一つ分位置ずれして配線部材15を接合した場合においても、端に位置する圧電素子柱11aは内部電極3Aの面積が、他の柱11の内部電極3Aの面積よりも小さく、静電容量が異なるために、電気検査で不良を簡単に検出することができる。
ここでは、1本目の溝10aの側面21には内部電極3A、3Bが露出していないが、最後の加工溝10(これを「溝10z」とする。)を含めた1本目以外の加工溝10の側面には内部電極3A、3Bが露出している。上述のように、加工時のダメージを受けやすいのは1本目のみであるため、2本目以降の溝加工は内部電極が露出されていても、先に加工した溝の存在により加工時の応力を逃がすことができる。また、このようにすることで最後の加工溝10zで形成される最後の圧電素子柱までを駆動圧電素子として用いることができ、圧電部材を無用に長尺化することを防止し、コストを低下させることができる。
ここでは、溝加工により形成された1本目の圧電素子柱11aの両側面には内部電極が存在していない構成としている。このようにすることで、溝加工時の負荷の大きな高速加工などを行ったとしても、1本目に加工される圧電素子に内部電極がなく、柱倒れの起点となる圧電素子と電極の界面がないため、確実に柱倒れを防止でき、生産性を向上することができる。
ここでは、図10に示すように、溝加工により形成された1本目の圧電素子柱11aの側面に露出している内部電極3A、3Bの数を、中央部の圧電素子柱11の内部電極3A、3Bの露出数よりも少なくしている。このように構成しても、1本目の溝加工を行うときに、柱倒れの起点となる圧電層と内部電極の界面の数が中央部よりも少なくなり、柱倒れの発生を低減することができる。
フランジ42に保持されたダイシングブレード9が時計回りに30000rpmの速度で回転している。ワークとなるベース部材8に接合された圧電部材1は、治具43に固定された状態で、加工時は図12の右から左方向に移動する。ダイシングソーはY方向(紙面に垂直方向)の位置精度を高精度に設定可能であるため、微細ピッチの加工には優れている。ワイヤーソーの場合は、ワイヤー径が最小でも約50μm程度であるため、50μmピッチ以下の加工は不可能である。ダイシングソーの場合は、10〜15μmのブレードの製作が可能であるため、約40μmの加工ピッチにおいても対応可能である。したがって、溝加工手段としてはダインシングソーが好ましい。
この圧電アクチュエータは、加工ピッチ:42μm(圧電素子柱幅:22μm、加工溝幅:20μm)であり、加工溝深さが360μmの圧電アクチュエータである。圧電素子柱のアスペクト比が15以上になると、1本目の柱倒れが顕著に発生する傾向があり、このような圧電アクチュエータに本発明を適用することは極めて効果的である。
この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板221A、221Bに横架したガイド部材である主従のガイドロッド231、232でキャリッジ233を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向(キャリッジ主走査方向)に移動走査する。
この画像形成装置は、ライン型画像形成装置であり、装置本体401の内部に画像形成部402等を有し、装置本体401の下方側に多数枚の記録媒体(用紙)403を積載可能な給紙トレイ404を備え、この給紙トレイ404から給紙される用紙403を取り込み、搬送機構405によって用紙403を搬送しながら画像形成部402によって所要の画像を記録した後、装置本体401の側方に装着された排紙トレイ406に用紙403を排紙する。
1C 内部電極のない領域
2 圧電層
3A、3B 内部電極
10 溝
10a 1本目の溝
11 圧電素子柱
11a 1本目の圧電素子柱
100 圧電アクチュエータ
101 流路基板
102 振動板部材
103 ノズル板
106 加圧液室
233 キャリッジ
234a、234b 記録ヘッド(液体吐出ヘッド)
411k、411c、411m、411y 記録ヘッド(液体吐出ヘッド)
Claims (10)
- 圧電材料と内部電極が積層された積層型圧電部材に対して端から順番に溝加工を行うことにより複数の柱を形成し、前記複数の柱の少なくとも一部を変形可能とした圧電アクチュエータの製造方法において、
前記複数の柱が等ピッチで加工されている領域を有し、
前記等ピッチで加工される領域の溝加工は、一方向に等ピッチの溝加工を行い、
最初に加工される溝の少なくとも前記一方向側の側面に内部電極が存在しない領域から溝加工を開始する
ことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 - 前記等ピッチで加工される領域の最後の溝加工は、前記内部電極が存在する領域に行われることを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
- ダイシングソーを用いて溝加工することを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の製造法方法で製造したことを特徴とする圧電アクチュエータ。
- 圧電材料と内部電極が積層された積層型圧電部材に対して溝加工を行うことにより複数の柱を形成し、前記複数の柱の少なくとも一部を変形可能とした圧電アクチュエータにおいて、
等ピッチで加工されている領域の一番端に形成される柱の少なくとも一番端に形成される溝に面する側面に内部電極が露出していない
ことを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 圧電材料と内部電極が積層された積層型圧電部材に対して溝加工を行うことにより複数の柱を形成し、前記複数の柱の少なくとも一部を変形可能とした圧電アクチュエータにおいて、
等ピッチで加工されている領域の一番端に最初に形成される柱の少なくとも一番端に形成される溝に面する側面に露出されている内部電極の数が、中央部に位置する柱の側面に露出されている内部電極の数よりも少ない
ことを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 1番最初に形成される柱の少なくとも一番端に形成される溝に面する側面に露出されている内部電極は、中央部に位置する柱の側面に露出されている内部電極と比べて、柱の根元側の内部電極が少ないことを特徴とする請求項6に記載の圧電アクチュエータ。
- 等ピッチで加工されている領域の柱のアスペクト比が15以上であることを特徴とする請求項4ないし7のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
- 請求項4ないし8のいずれかに記載の圧電アクチュエータを備えていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
- 請求項9に記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
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