JP5444447B2 - 磁気記録媒体、その製造方法、及び磁気記録再生装置 - Google Patents
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Description
該垂直磁気記録層は、面内方向に規則的に配列されたパターンを有する記録部と非記録部とを含み、
該記録部は、鉄及びコバルトのうち少なくとも1つと、プラチナとを含有し、
該非記録部は、鉄及びコバルトのうち少なくとも1つと、プラチナと、さらに該非磁性下地層の構成成分であるチタン及びシリコンのうち少なくとも1種の元素と、窒素とを含有し、50emu/cc以下の磁化Msを有し、
該非磁性下地層は、前記垂直磁気記録層の非記録部と接触する面から厚さ方向に該非磁性下地層の構成成分の少なくとも一部と前記垂直磁気記録層の構成成分の少なくとも一部とが混合された混合領域を有し、
該混合領域は、鉄及びコバルトのうち少なくとも1つと、プラチナと、チタン及びシリコンのうち1つの元素と、ルテニウムと、窒素とを含有することを特徴とする垂直磁気記録媒体が提供される。
各実施例に使用した非磁性下地層、磁気記録層、及び注入ガスは以下の通りである。
実施例2:非磁性下地層(Ru/RuCr)+磁気記録層(CoPtCr)+N2ガス
実施例3:非磁性下地層(Ru/RuSi)+磁気記録層(CoPtCr)+N2ガス
実施例4:非磁性下地層(Ru/RuTi)+磁気記録層(CoPtCr)+N2−Heガス
実施例5:非磁性下地層(Ru/RuTi)+磁気記録層(CoPtCr)+N2−H2ガス
実施例6:非磁性下地層(Ru/RuTi)+磁気記録層(CoPtCr)+N2−B2H6ガス
比較例1:非磁性下地層(Ru/Ru)+磁気記録層(CoPtCr)+N2ガス
比較例2:非磁性下地層(Ru/RuTi)+磁気記録層(CoPtCr)+Arガス
比較例3:非磁性下地層(Ru/RuCr)+磁気記録層(CoPtCr)+Arガス
比較例4:非磁性下地層(Ru/RuSi)+磁気記録層(CoPtCr)+Arガス
比較例5:非磁性下地層(Ru/Ru)+磁気記録層(CoPtCr-TiO2)+N2ガス
比較例6:非磁性下地層(Ru/Ru)+磁気記録層(CoPtCr-Cr2O3)+N2ガス
比較例7:非磁性下地層(Ru/Ru)+磁気記録層(CoPtCr-SiO2)+N2ガス
比較例8:非磁性下地層(Ru/Ru-TiO2)+磁気記録層(CoPtCr)+N2ガス
比較例9:非磁性下地層(Ru/Ru-Cr2O3)+磁気記録層(CoPtCr)+N2ガス
比較例10:非磁性下地層(Ru/Ru-SiO2)+磁気記録層(CoPtCr)+N2ガス
比較例11:非磁性下地層(Ru/Ru-TiO2)+磁気記録層(CoPtCr-TiO2)+N2ガス
比較例12:非磁性下地層(Ru/Ru-Cr2O3)+磁気記録層(CoPtCr-Cr2O3)+N2ガス
比較例13:非磁性下地層(Ru/Ru-SiO2)+磁気記録層(CoPtCr-SiO2)+N2ガス
実施例1にかかるBPMの製造工程を図3(a)ないし図3(f)を参照して説明する。
各実施例、比較例に用いた非記録部の失活元素濃度は、以下の通りである。
実施例8:非記録部(Ti 10at%含有)
実施例9:非記録部(Ti 15at%含有)
実施例10:非記録部(Ti 20at%含有)
実施例11:非記録部(Ti 25at%含有)
比較例14:非記録部(Ti 0at%含有)
非磁性下地層として、Ruを10nmとRu−50at%Tiを6nm形成し、かつ下記表2のようにイオンの打ち込みの処理時間を変えて、磁気記録層内の非記録部のチタン含有量を0原子%から25原子%まで変化させた以外は実施例1と同様にして、実施例7〜11と比較例14の垂直磁気記録媒体を得た。
各実施例、比較例に用いた非記録部の失活元素濃度は、以下の通りである。
実施例13:非記録部(Cr 20at%含有)
実施例14:非記録部(Cr 25at%含有)
実施例15:非記録部(Cr 30at%含有)
実施例16:非記録部(Cr 35at%含有)
比較例15:非記録部(Cr 10at%含有)
非磁性下地層として、Ruを10nmとRu−50at%Crを6nm形成し、かつ表3のようにイオンの打ち込みの処理時間を変えて、Co−20at%Pt−10at%Cr磁気記録層内の非記録部のクロム含有量を10原子%から35原子%まで変化させた以外は実施例1と同様にして、実施例12〜16と比較例15の垂直磁気記録媒体を得た。
各実施例、比較例に用いた非記録部の失活元素濃度は、以下の通りである。
実施例18:非記録部(N2 10at%含有)
実施例19:非記録部(N2 20at%含有)
実施例20:非記録部(N2 30at%含有)
下記表4のようにイオンの打ち込みガス圧を変えて、磁気記録層内の非記録部の窒素含有量を5原子%から30原子%まで変化させた以外は実施例1と同様にして、実施例17〜20の垂直磁気記録媒体を得た。
気記録層全面に打ち込み処理を行った媒体(全面が非記録部に相当する媒体)を作製して
、磁化を測定した。
各実施例、比較例に用いた非記録部の失活元素濃度は、以下の通りである。
実施例22:非記録部直下の非磁性下地層(Si 40at%含有)
実施例23:非記録部直下の非磁性下地層(Si 30at%含有)
実施例24:非記録部直下の非磁性下地層(Si 25at%含有)
比較例16:非記録部直下の非磁性下地層(Si 50at%含有)
非磁性下地層として、Ruを10nmとRu−50at%Siを6nm形成し、かつ表
5のようにイオンの打ち込みの処理時間を変えて、非記録部直下の非磁性下地層内のシリ
コン含有量を50原子%から25原子%まで変化させた以外は実施例1と同様にして、実
施例21〜24と比較例16の垂直磁気記録媒体を得た。
録部直下および記録部直下の非磁性下地層のシリコン含有量を測定した。実施例21〜2
4および比較例16の媒体において、記録部ではシリコン含有量に変化は見られなかった
。一方、非記録部領域では、実施例21〜24の媒体ではシリコン含有量に変化は観測さ
れ、下記表5の通りになっていることが分かった。
5から分かるように、実施例21〜24の媒体は良好なSNRを示すことが分かった。特
に、非記録部直下と記録部直下の非磁性下地層のシリコン量に5原子%以上の差があると
、非記録部のMsがほぼ0になり、良好なSNRを示していることが分かる。
非磁性基板上に、チタン、及びシリコンからなる群から選択される少なくとも1種、及びルテニウムからなる非磁性下地層、及び該非磁性下地層上に接触するように設けられ、鉄及びコバルトのうち少なくとも1つ、及びプラチナを含有する垂直磁気記録層を積層し、
該垂直磁気記録層上に、面内方向に規則的に配列されたパターンを有するマスク層を設け、
ヘリウム、水素、及びB2H6からなる群から選択される少なくとも1種のガスと窒素ガスの混合ガス、及び窒素ガスのうち一方を用いてガスイオン照射を行なうことにより、前記垂直磁気記録層のうち、該マスク層に覆われていない領域には、該垂直磁気記録層の構成成分の少なくとも一部と該非磁性下地層の構成成分の少なくとも一部とが厚さ方向に混合されることにより非磁性化され、鉄及びコバルトのうち少なくとも1つと、プラチナ、チタン、及びシリコンからなる群から選択される少なくとも1種の元素と、窒素とを含有する非記録部が形成され、該マスク層に覆われた領域には、鉄及びコバルトのうち少なくとも1つとプラチナを含有する記録部が形成された垂直磁気記録媒体。
前記垂直磁気記録層の構成成分の少なくとも一部が混合された、前記非磁性下地層の混合領域は、鉄及びコバルトのうち少なくとも1つと、プラチナ、チタン、及びシリコンからなる群から選択される少なくとも1種の元素と、ルテニウムと、窒素とを含有する[1]に記載の垂直磁気記録媒体。
前記非記録部及び前記混合領域は、各々チタンを含有する[2]に記載の垂直磁気記録媒体。
前記非記録部中のチタン、及びシリコンからなる群から選択される少なくとも1種の元素の含有量は、前記記録部中の該元素の含有量と比べて5at%以上多い[1]に記載の垂直磁気記録媒体。
前記非記録部は、窒化チタン、窒化シリコンから選ばれる少なくとも一つの窒化物を含有する[1]に記載の垂直磁気記録媒体。
前記非記録部は、10at%以上の窒素を含有する[1]に記載の垂直磁気記録媒体。
前記非磁性下地層の混合領域の中のチタン、及びシリコンからなる群から選択される少なくとも1種の元素の含有量は、前記非磁性下地層の該元素の含有量より、5at%以上少ないことを特徴とする[2]に記載の垂直磁気記録媒体。
非磁性基板上にチタン、及びシリコンからなる群から選択される少なくとも1種、及びルテニウムを含有する非磁性下地層を形成する工程、
該非磁性下地層上に接触するように形成され、鉄及びコバルトのうち少なくとも1つ、及びプラチナを含有する磁気記録層を形成する工程、
該垂直磁気記録層上に面内方向に規則的に配列されたパターンを有するマスク層を形成する工程、及び
窒素ガス、またはヘリウム、水素、及びB2H6からなる群から選択される少なくとも1種のガスと窒素ガスとの混合ガスを用いてガスイオン照射を行うことにより、
該マスク層に覆われていない領域の磁気記録層と非磁性下地層を厚さ方向に混合して、非磁性化せしめ、磁気記録層中に、規則的に配列されたパターンを有する記録部と、非磁性化された非記録部とを形成する工程を具備する磁気記録媒体の製造方法。
[1]ないし[7]のいずれかに記載の垂直磁気記録媒体と、
前記垂直磁気記録媒体を支持および回転駆動する機構と、
前記垂直磁気記録媒体に対して情報の記録を行うための素子及び記録された情報の再生を行うための素子を有する磁気ヘッドと、
前記磁気ヘッドを前記垂直磁気記録媒体に対して移動自在に支持したキャリッジアッセンブリとを具備する磁気記録再生装置。
Claims (8)
- 非磁性基板上に形成された、ルテニウムからなる第1の非磁性層、及び該第1の非磁性
層上に形成された、チタン及びシリコンのうち少なくとも1種、及びルテニウムからなる
第2の非磁性層を有する非磁性下地層、及び該非磁性下地層上に接触するように設けられ
、鉄及びコバルトのうち少なくとも1つ、及びプラチナを含有する垂直磁気記録層を含み
、
該垂直磁気記録層は、面内方向に規則的に配列されたパターンを有する記録部と非記録
部とを含み、
該記録部は、鉄及びコバルトのうち少なくとも1つと、プラチナとを含有し、
該非記録部は、鉄及びコバルトのうち少なくとも1つと、プラチナと、さらに該非磁性
下地層の構成成分であるチタン及びシリコンのうち少なくとも1種の元素と、窒素とを含
有し、50emu/cc以下の磁化Msを有し、
該非磁性下地層は、前記垂直磁気記録層の非記録部と接触する面から厚さ方向に該非磁
性下地層の構成成分の少なくとも一部と前記垂直磁気記録層の構成成分の少なくとも一部
とが混合された混合領域を有し、
該混合領域は、鉄及びコバルトのうち少なくとも1つと、プラチナと、チタン及びシリ
コンのうち1つの元素と、ルテニウムと、窒素とを含有することを特徴とする垂直磁気記
録媒体。 - 前記非記録部及び前記混合領域は、各々チタンを含有する請求項1に記載の垂直磁気記
録媒体。 - 前記非記録部中のチタン、及びシリコンからなる群から選択される少なくとも1種の元
素の含有量は、前記記録部中の該元素の含有量と比べて5at%以上多い請求項1に記載
の垂直磁気記録媒体。 - 前記非記録部は、窒化チタン、窒化シリコンから選ばれる少なくとも一つの窒化物を含
有する請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。 - 前記非記録部は、10at%以上の窒素を含有する請求項1に記載の垂直磁気記録媒体
。 - 前記混合領域の中のチタン、及びシリコンからなる群から選択される少なくとも1種の
元素の含有量は、前記非磁性下地層の該元素の含有量より、5at%以上少ないことを特
徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。 - 非磁性基板上に、ルテニウムを含有する第1の非磁性層を形成し、及び該第1の非磁性
層上にチタン、及びシリコンからなる群から選択される少なくとも1種、及びルテニウム
を含有する第2の非磁性層を形成することにより非磁性下地層を形成する工程、
該非磁性下地層上に接触するように形成され、鉄及びコバルトのうち少なくとも1つ、
及びプラチナを含有する磁気記録層を形成する工程、
該磁気記録層上に面内方向に規則的に配列されたパターンを有するマスク層を形成
する工程、及び
窒素ガス、またはヘリウム、水素、及びB2H6からなる群から選択される少なくとも
1種のガスと窒素ガスとの混合ガスを用いてガスイオン照射を行うことにより、
該マスク層に覆われていない領域の磁気記録層と非磁性下地層を厚さ方向に混合して、
非磁性化せしめ、磁気記録層中に、規則的に配列されたパターンを有する記録部と、非磁
性化された非記録部とを形成する工程を具備する磁気記録媒体の製造方法。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体と、
前記垂直磁気記録媒体を支持および回転駆動する機構と、
前記垂直磁気記録媒体に対して情報の記録を行うための素子及び記録された情報の再生
を行うための素子を有する磁気ヘッドと、
前記磁気ヘッドを前記垂直磁気記録媒体に対して移動自在に支持したキャリッジアッセ
ンブリとを具備する磁気記録再生装置。
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