JP5438476B2 - 距離画像センサ - Google Patents
距離画像センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5438476B2 JP5438476B2 JP2009266510A JP2009266510A JP5438476B2 JP 5438476 B2 JP5438476 B2 JP 5438476B2 JP 2009266510 A JP2009266510 A JP 2009266510A JP 2009266510 A JP2009266510 A JP 2009266510A JP 5438476 B2 JP5438476 B2 JP 5438476B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charge
- region
- transfer
- unnecessary
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 208
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 34
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 17
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 11
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 9
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 9
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 2
- 101100484930 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) VPS41 gene Proteins 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Description
図1は、第1実施形態に係る距離画像センサの撮像領域の概略平面図である。図2は、撮像領域のII−II線に沿った断面構成を示す図であり、図3は、撮像領域のIII−III線に沿った断面構成を示す図である。
第1半導体領域3:厚さ10〜1000μm/不純物濃度1×1012〜1019cm−3
第2半導体領域5:厚さ1〜50μm/不純物濃度1×1012〜1015cm−3
第3半導体領域9a,9b及び第4半導体領域11:厚さ0.1〜1μm/不純物濃度1×1018〜1020cm−3
図11は、第2実施形態に係る距離画像センサの撮像領域の概略平面図である。図12は、撮像領域のXII−XII線に沿った断面構成を示す図であり、図13は、撮像領域のXIII−XIII線に沿った断面構成を示す図である。図11では、導体13の図示を省略している。
Claims (6)
- 一次元状又は二次元状に配置された複数のユニットからなる撮像領域を半導体基板上に備え、前記ユニットから出力される電荷量に基づいて、距離画像を得る距離画像センサであって、
各前記ユニットは、
入射光に応じて電荷が発生する電荷発生領域と、
空間的に離間して配置され、前記電荷発生領域からの信号電荷を収集する少なくとも2つの信号電荷収集領域と、
前記信号電荷収集領域のそれぞれに設けられ、異なる位相の電荷転送信号が与えられる転送電極と、
空間的に離間して配置され、前記電荷発生領域からの不要電荷を収集する少なくとも2つの不要電荷収集領域と、
前記不要電荷収集領域のそれぞれの周囲に該不要電荷収集領域を囲んで設けられ、前記電荷発生領域から前記不要電荷収集領域への不要電荷の流れの遮断及び開放を選択的に行う不要電荷収集ゲート電極と、を備え、
前記電荷発生領域の周辺に複数の前記不要電荷収集ゲート電極が位置すると共に、前記不要電荷収集ゲート電極の周辺に複数の前記電荷発生領域が位置しており、
前記不要電荷収集領域が、該不要電荷収集領域の周囲に位置する複数の前記電荷発生領域で共有化されていることを特徴とする距離画像センサ。 - 前記転送電極は、前記信号電荷収集領域のそれぞれの周囲に該信号電荷収集領域を囲んで設けられていることを特徴とする請求項1に記載の距離画像センサ。
- 前記電荷発生領域から前記信号電荷収集領域への信号電荷の転送方向と、前記電荷発生領域から前記不要電荷収集領域への不要電荷の転送方向と、は直交していることを特徴とする請求項2に記載の距離画像センサ。
- 前記不要電荷収集ゲート電極の形状は、環状であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の距離画像センサ。
- 前記転送電極の形状は、環状であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の距離画像センサ。
- 前記複数のユニットは、二次元状に配置されており、
前記電荷発生領域と、前記信号電荷収集領域及び前記転送電極と、は、二次元配置におけるX軸方向及びY軸方向に沿って交互に配置され、
前記電荷発生領域と、前記不要電荷収集領域及び前記不要電荷収集ゲート電極と、は、二次元配置におけるX軸方向及びY軸方向に沿って交互に配置され、
前記不要電荷収集領域及び前記不要電荷収集ゲート電極は、X軸に平行な2方向及びY軸に平行な2方向において、4つの前記電荷発生領域に挟まれて位置していることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の距離画像センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009266510A JP5438476B2 (ja) | 2009-11-24 | 2009-11-24 | 距離画像センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009266510A JP5438476B2 (ja) | 2009-11-24 | 2009-11-24 | 距離画像センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011112382A JP2011112382A (ja) | 2011-06-09 |
JP5438476B2 true JP5438476B2 (ja) | 2014-03-12 |
Family
ID=44234844
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009266510A Active JP5438476B2 (ja) | 2009-11-24 | 2009-11-24 | 距離画像センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5438476B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6026755B2 (ja) * | 2012-02-28 | 2016-11-16 | 浜松ホトニクス株式会社 | 距離センサ及び距離画像センサ |
JP5932400B2 (ja) * | 2012-03-02 | 2016-06-08 | 浜松ホトニクス株式会社 | 距離センサ及び距離画像センサ |
CN107340509B (zh) * | 2012-03-09 | 2020-04-14 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体装置的驱动方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19830179B4 (de) * | 1998-07-06 | 2009-01-08 | Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des öffentlichen Rechts | MOS-Transistor für eine Bildzelle |
JP3829832B2 (ja) * | 2003-09-09 | 2006-10-04 | セイコーエプソン株式会社 | 固体撮像装置及びその駆動方法 |
JP5110520B2 (ja) * | 2005-08-30 | 2012-12-26 | 国立大学法人静岡大学 | 半導体測距素子及び固体撮像装置 |
JP4720434B2 (ja) * | 2005-10-31 | 2011-07-13 | 日本ビクター株式会社 | 固体撮像装置 |
JP5356726B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2013-12-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | 距離センサ及び距離画像センサ |
-
2009
- 2009-11-24 JP JP2009266510A patent/JP5438476B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011112382A (ja) | 2011-06-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5558999B2 (ja) | 距離センサ及び距離画像センサ | |
JP5244076B2 (ja) | 距離センサ及び距離画像センサ | |
JP5356726B2 (ja) | 距離センサ及び距離画像センサ | |
WO2011065279A1 (ja) | 距離センサ及び距離画像センサ | |
WO2020209009A1 (ja) | センサチップ及び電子機器 | |
CN109690777B (zh) | 距离传感器及距离图像传感器 | |
JP5438476B2 (ja) | 距離画像センサ | |
JP5502694B2 (ja) | 距離センサ及び距離画像センサ | |
US20220238470A1 (en) | Semiconductor element, apparatus, and chip | |
WO2021124697A1 (ja) | 半導体装置及び電子機器 | |
JP5357291B2 (ja) | 距離センサ及び距離画像センサ | |
JP6315679B2 (ja) | 距離画像センサ | |
TW202205686A (zh) | 光檢出器及電子機器 | |
JP5443700B2 (ja) | 撮像素子 | |
JP5632423B2 (ja) | 距離センサ及び距離画像センサ | |
WO2022254773A1 (ja) | 光検出装置及び電子機器 | |
JP4951212B2 (ja) | 撮像素子 | |
JPWO2019180898A1 (ja) | 固体撮像素子 | |
JP2020096147A (ja) | 光電変換装置、光電変換システム、移動体 | |
JP2012083219A (ja) | 距離センサ及び距離画像センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120910 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130828 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130903 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131029 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131119 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131213 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5438476 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |