JP5438439B2 - 気体供給システム - Google Patents
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Description
(1−1)フッ素ガス供給システムの構成
図1は、第1の実施の形態に係るフッ素ガス供給システム100の構成を示す模式図である。図1に示すように、フッ素ガス供給システム100は、複数のフッ素ガス供給系100aおよび制御装置90を備える。各フッ素ガス供給系100aは、複数(本例では8つ)のCVD(化学気相成長)装置を含むCVD装置群100bに接続される。
図2は、図1のフッ素ガス供給システム100における制御系の一部を示すブロック図である。図2に示すように、制御装置90には、圧力計5a〜5dおよび異常検知センサ10,11の出力信号が与えられる。制御装置90は、圧力計5a〜5dおよび異常検知センサ10,11から与えられる出力信号に基づいて、開閉バルブ3b,3cを制御する。
本実施の形態ではフッ素ガス供給システム100の動作時に、制御装置90により以下の供給経路切替処理が行われる。これにより、フッ素ガス供給系100aが正常である場合とフッ素ガス供給系100aに異常が発生した場合とでフッ素ガスの供給経路が切り替えられる。
第1の実施の形態に係るフッ素ガス供給システム100においては、全てのフッ素ガス供給系100aが正常である場合、1つのフッ素ガス発生装置50から複数のCVD装置8にフッ素ガスがそれぞれ供給される。この場合、いずれかのCVD装置8において金属汚染が発生した場合に、メンテナンスを行うべき異常供給系100aを容易に特定することができる。したがって、正常供給系100aのフッ素ガス発生装置50を稼動させた状態で、異常供給系100aのフッ素ガス発生装置50のメンテナンスを効率よく行うことができる。
図3の例では、いずれかのフッ素ガス供給系100aで異常が発生した場合、その異常供給系100aに隣り合う2つのフッ素ガス供給系100aのうち一方のフッ素ガス供給系100aから異常供給系100aにフッ素ガスが供給される。この場合、異常供給系100aに隣り合う2つのフッ素ガス供給系100aがともに正常であれば、その両方の正常供給系100aから異常供給系100aにフッ素ガスが供給されてもよい。それにより、異常供給系100aに接続されたCVD装置8に十分なフッ素ガスが供給される。
本発明の第2の実施の形態に係るフッ素ガス供給システム100について、上記第1の実施の形態のフッ素ガス供給システム100と異なる点を説明する。
図4は、第2の実施の形態に係るフッ素ガス供給システム100の構成を示す模式図である。図4に示すように、第2の実施の形態に係るフッ素ガス供給システム100は、バックアップ用のフッ素ガス発生装置40を備える。フッ素ガス発生装置40は、フッ素ガス発生装置50と同様の構成を有する。なお、フッ素ガス発生装置40は、バッファタンク2を有さなくてもよい。
図5は、図4のフッ素ガス供給システム100における制御系の一部を示すブロック図である。図5に示すように、制御装置90には、圧力計5a〜5dおよび異常検知センサ10,11から出力信号が与えられる。制御装置90は、圧力計5a〜5dおよび異常検知センサ10,11から与えられる出力信号に基づいて、開閉バルブ3b,3c,42aを制御する。
第2の実施の形態では、全てのフッ素ガス供給系100aが正常に動作している場合、全ての開閉バルブ3bが開かれるとともに、全ての開閉バルブ3c,42aが閉じられる。それにより、全てのフッ素ガス供給系100aのフッ素ガス発生装置50により発生されたフッ素ガスが配管4,7を通して複数のCVD装置8に供給される。
第2の実施の形態に係るフッ素ガス供給システム100においては、いずれかのフッ素ガス供給系100aに異常が発生した場合、その異常供給系100aのフッ素ガス発生装置50から複数のCVD装置8へのフッ素ガスの供給が停止されるとともに、バックアップ用のフッ素ガス発生装置40からその異常供給系100aに接続された複数のCVD装置8にフッ素ガスが供給される。そのため、異常供給系100aに接続された複数のCVD装置8に継続的にフッ素ガスを供給しつつ、異常供給系100aのメンテナンスを行うことができる。その結果、異常供給系100aに接続された複数のCVD装置8における基板の処理を中断することなく、異常供給系100aを正常な状態に復旧させることができる。
上記第1の実施の形態と同様に、いずれかのフッ素ガス供給系100aで異常が発生した場合、対応する開閉バルブ3cが選択的に開かれることにより、正常供給系100aから異常供給系100aに接続された複数のCVD装置8にフッ素ガスが供給されてもよい。この場合、異常供給系100aに接続された複数のCVD装置8に十分な量のフッ素ガスが供給される。
第3の実施の形態に係るフッ素ガス供給システム100について、上記第1の実施の形態のフッ素ガス供給システム100と異なる点を説明する。
図7は、第3の実施の形態に係るフッ素ガス供給システム100の構成を示す模式図である。図7に示すように、第3の実施の形態に係るフッ素ガス供給システム100は、バックアップ用のフッ素ガス発生装置60を備える。フッ素ガス発生装置60は、フッ素ガス発生装置50と同様の構成を有する。なお、フッ素ガス発生装置60は、バッファタンク2を有さなくてもよい。フッ素ガス発生装置60には、配管65が接続される。また、各フッ素ガス供給系100aの配管4は、圧力計5bの下流側の位置で配管61を介して配管65に接続される。各配管61には開閉バルブ63が介挿される。配管61との接続点よりも下流側における配管4の位置に開閉バルブ64が介挿される。開閉バルブ64と配管7との間の配管4の部分には、圧力計5jが取り付けられる。開閉バルブ63と配管65との間における配管61の部分には圧力計5iが取り付けられる。
図8は、図7のフッ素ガス供給システム100における制御系の一部を示すブロック図である。図8に示すように、制御装置90には、圧力計5a,5b,5i,5jおよび異常検知センサ10,11の出力信号が与えられる。制御装置90は、圧力計5a,5b,5i,5jおよび異常検知センサ10,11から与えられる出力信号に基づいて、開閉バルブ3b,63,64を制御する。
第3の実施の形態では、全てのフッ素ガス供給系100aが正常に動作している場合、全ての開閉バルブ3b,64が開かれるとともに、全ての開閉バルブ63が閉じられる。それにより、全てのフッ素ガス供給系100aのフッ素ガス発生装置50により発生されたフッ素ガスが配管4,7を通して複数のCVD装置8に供給される。
接続された複数のCVD装置8にフッ素ガスが十分に供給されているか否かが判定される。供給圧力値P7がしきい値T1よりも高い場合、制御装置90は、ステップS1の処理に戻る。
第3の実施の形態に係るフッ素ガス供給システム100においては、いずれかのフッ素ガス供給系100aに異常が発生した場合、異常供給系100aのフッ素ガス発生装置50からのフッ素ガスの供給が停止されるとともに、バックアップ用のフッ素ガス発生装置60から異常供給系100aに接続された複数のCVD装置8にフッ素ガスが供給される。そのため、異常供給系100aに接続された複数のCVD装置8に継続的にフッ素ガスを供給しつつ、異常供給系100aのメンテナンスを行うことができる。その結果、異常供給系100aに接続された複数のCVD装置8における基板の処理を中断することなく、異常供給系100aを正常な状態に復旧させることができる。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応関係の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
40,50,60 フッ素ガス発生装置
2 バッファタンク
3,4,4a,7,41,42,61,65 配管
3b,3c,42a,63,64 開閉バルブ
5a,5b,5c,5d,5i,5j 圧力計
8 CVD装置
10,11 異常検知センサ
90 制御装置
100 フッ素ガス供給システム
100a フッ素ガス供給系
100b CVD装置群
Claims (10)
- 気体を用いた処理を行う複数の処理装置に気体を供給する気体供給システムであって、
気体を発生させる複数の第1の気体発生装置と、
前記複数の第1の気体発生装置にそれぞれ接続され、前記複数の第1の気体発生装置により発生された気体を前記複数の処理装置に供給するための複数の第1の配管と、
前記複数の第1の配管にそれぞれ設けられ、流路を開閉するための複数の第1の開閉手段と、
各第1の配管と他の第1の配管との間に接続される第2の配管と、
前記第2の配管に設けられ、流路を開閉するための第2の開閉手段とを備え、
前記複数の第1の配管は、前記複数の第1の気体発生装置が、互いに異なる処理装置に接続されるように構成されることを特徴とする気体供給システム。 - 前記複数の第1の開閉手段および第2の開閉手段の開閉を制御する制御手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記複数の第1の配管のうち一の第1の配管に設けられた第1の開閉手段を閉止状態にした場合、前記一の第1の配管に接続される処理装置に他の第1の配管に接続される第1の気体発生装置から気体が供給されるように前記第2の開閉手段を開放状態にするように構成されていることを特徴とする請求項1記載の気体供給システム。 - 前記制御手段は、前記一の第1の配管に設けられた第1の開閉手段を閉止状態にした場合、前記第2の開閉手段を上流側の圧力が下流側の圧力よりも高くなったときに前記第2の開閉手段を開放状態にするように構成されていることを特徴とする請求項2記載の気体供給システム。
- 気体を用いた処理を行う複数の処理装置に気体を供給する気体供給システムであって、
気体を発生させる複数の第1の気体発生装置と、
前記複数の第1の気体発生装置にそれぞれ接続され、前記複数の第1の気体発生装置により発生された気体を前記複数の処理装置に供給するための複数の第1の配管と、
前記複数の第1の配管にそれぞれ設けられ、流路を開閉するための複数の第1の開閉手段と、
前記複数の処理装置に共通に設けられ、気体を発生させる第2の気体発生装置と、
前記第2の気体発生装置により発生された気体を前記複数の処理装置にそれぞれ供給するための複数の第3の配管と、
前記複数の第3の配管にそれぞれ設けられ、流路を開閉するための複数の第3の開閉手段とを備え、
前記複数の第1の配管は、前記複数の第1の気体発生装置が、互いに異なる処理装置に接続されるように構成されることを特徴とする気体供給システム。 - 前記複数の第1の開閉手段および前記複数の第3の開閉手段の開閉動作を制御する制御手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記複数の第1の配管のうち一の第1の配管に設けられた第1の開閉手段を閉止状態にした場合、前記一の第1の配管に接続される処理装置に前記第2の気体発生装置から気体が供給されるように前記一の第1の配管に対応する第3の開閉手段を開放状態にするように構成されていることを特徴とする請求項4記載の気体供給システム。 - 気体を用いた処理を行う複数の処理装置に気体を供給する気体供給システムであって、
気体を発生させる複数の第1の気体発生装置と、
前記複数の第1の気体発生装置にそれぞれ接続され、前記複数の第1の気体発生装置により発生された気体を前記複数の処理装置に供給するための複数の第1の配管と、
前記複数の第1の配管にそれぞれ設けられ、流路を開閉するための複数の第1の開閉手段と、
前記複数の処理装置に共通に設けられ、気体を発生させる第3の気体発生装置と、
前記第3の気体発生装置に接続される第4の配管と、
前記第4の配管と前記複数の第1の開閉手段の下流側における前記複数の第1の配管の部分との間にそれぞれ接続される複数の第5の配管と、
前記複数の第5の配管にそれぞれ設けられ、流路を開閉するための複数の第4の開閉手段とを備え、
前記複数の第1の配管は、前記複数の第1の気体発生装置が、互いに異なる処理装置に接続されるように構成されることを特徴とする気体供給システム。 - 前記複数の第1の開閉手段および前記複数の第4の開閉手段の開閉動作を制御する制御手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記複数の第1の配管のうち一の第1の配管に設けられた第1の開閉手段を閉止状態にした場合、前記一の第1の配管に接続される処理装置に前記第3の気体発生装置から気体が供給されるように前記一の第1の配管に対応する第4の開閉手段を開放状態にするように構成されていることを特徴とする請求項6記載の気体供給システム。 - 前記制御手段は、前記一の第1の配管に設けられた第1の開閉手段を閉止状態にした場合、前記一の第1の配管に対応する第4の開閉手段の上流側の圧力が下流側の圧力よりも高くなったときに前記一の第1の配管に対応する第4の開閉手段を開放状態にするように構成されていることを特徴とする請求項7記載の気体供給システム。
- 前記制御手段は、前記一の第1の配管に対応する第4の開閉手段を開放状態にした場合、前記第4の配管内の圧力が予め定められた値よりも低い場合に、前記一の第1の配管に接続される処理装置に他の第1の配管に接続される第1の気体発生装置から気体が供給されるように前記他の第1の配管に対応する第4の開閉手段を開放状態にするように構成されていることを特徴とする請求項7または8記載の気体供給システム。
- 前記制御手段は、前記一の第1の配管に対応する第4の開閉手段を開放状態にした場合、前記他の第1の配管に対応する第4の開閉手段の上流側の圧力が下流側の圧力よりも高くなったときに前記他の第1の配管に対応する第4の開閉手段を開放状態にするように構成されていることを特徴とする請求項9記載の気体供給システム。
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