JP5431090B2 - Vacuum pump system and operation method thereof - Google Patents

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Description

本発明は、排気系の真空側に配置したターボ分子ポンプと該排気系の大気側に配置したドライ真空ポンプを備えた真空ポンプシステム及びその運転方法に関する。   The present invention relates to a vacuum pump system including a turbo molecular pump disposed on the vacuum side of an exhaust system, a dry vacuum pump disposed on the atmosphere side of the exhaust system, and an operating method thereof.

従来、図１に示すように、超真空領域を排気するターボ分子ポンプ１００と、大気圧領域から中真空領域にいたる領域を排気するドライ真空ポンプ１１０を備え、ターボ分子ポンプ１００の排気口１０１とドライ真空ポンプ１１０の吸気口１１１を排気管１０３で接続し、反応チャンバー１２０内の排気口にターボ分子ポンプ１００の吸気口を接続し、反応チャンバー１２０内を排気真空にする真空ポンプシステム、即ち排気系の真空側にターボ分子ポンプを大気側にドライ真空ポンプを配置した真空ポンプシステムがある。この真空ポンプシステムでは、ターボ分子ポンプ１００には電源兼用コントローラ１０５から駆動電力を供給し、ドライ真空ポンプ１１０には電源装置１１３から駆動電力を供給している。即ち、ターボ分子ポンプ１００と、ドライ真空ポンプ１１０はそれぞれ別個の電源装置から駆動電力を供給している。   Conventionally, as shown in FIG. 1, a turbo molecular pump 100 that evacuates an ultra-vacuum region and a dry vacuum pump 110 that evacuates a region from an atmospheric pressure region to a middle vacuum region, A vacuum pump system in which the intake port 111 of the dry vacuum pump 110 is connected by an exhaust pipe 103, the intake port of the turbo molecular pump 100 is connected to the exhaust port in the reaction chamber 120, and the reaction chamber 120 is evacuated to vacuum. There is a vacuum pump system in which a turbo molecular pump is arranged on the vacuum side of the system and a dry vacuum pump is arranged on the atmosphere side. In this vacuum pump system, the turbo molecular pump 100 is supplied with driving power from the power supply controller 105, and the dry vacuum pump 110 is supplied with driving power from the power supply device 113. That is, the turbo molecular pump 100 and the dry vacuum pump 110 are each supplied with driving power from separate power supply devices.

図２は従来のターボ分子ポンプシステムの構成例を示すブロック図である。図示するように、ターボ分子ポンプシステムは、力率改善のためのＰＦＣ回路２０１、整流器２０３と平滑コンデンサ２０５、２０６を具備する直流回路２０２、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０８、コントローラ２０９、ターボ分子ポンプ用インバータ回路２１１、ターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２、開閉器２１４、回生電力消費抵抗器２１５を備えている。   FIG. 2 is a block diagram showing a configuration example of a conventional turbomolecular pump system. As shown in the figure, a turbo molecular pump system includes a PFC circuit 201 for power factor improvement, a DC circuit 202 including a rectifier 203 and smoothing capacitors 205 and 206, a DC / DC converter 208, a controller 209, and an inverter for a turbo molecular pump. A circuit 211, a turbo molecular pump driving motor 212, a switch 214, and a regenerative power consumption resistor 215 are provided.

そして交流電源２２０からの交流電力をＰＦＣ回路２０１を通して整流器２０３に供給し、該整流器２０３で直流電力に変換し、該直流電力を直流回路２０２を介してターボ分子ポンプ用インバータ回路２１１に供給し、該ターボ分子ポンプ用インバータ回路２１１でコントローラ２０９の制御により所定周波数の交流電力に変換し、ターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２に供給し、ターボ分子ポンプ１００を運転している。また、直流回路２０２の直流はＤＣ／ＤＣコンバータ２０８を介して所定電圧の直流に変換され、コントローラ２０９やターボ分子ポンプ用インバータ回路２１１の制御電源として供給されている。   Then, AC power from the AC power supply 220 is supplied to the rectifier 203 through the PFC circuit 201, converted into DC power by the rectifier 203, and the DC power is supplied to the turbo molecular pump inverter circuit 211 through the DC circuit 202, The turbo molecular pump inverter circuit 211 converts the AC power into a predetermined frequency under the control of the controller 209 and supplies it to the turbo molecular pump driving motor 212 to operate the turbo molecular pump 100. The direct current of the direct current circuit 202 is converted into direct current of a predetermined voltage via a DC / DC converter 208 and supplied as control power for the controller 209 and the turbo molecular pump inverter circuit 211.

ターボ分子ポンプ１００の運転中に、交流電源２２０からの交流電力が遮断した場合、開閉器２１４を閉じ、ターボ分子ポンプ１００のポンプロータが有する回転エネルギーによりターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路２１１を介して直流電力に変換し、回生電力をターボ分子ポンプ全体の制御電力として利用することで、安全に減速・停止するように構成されている。また、正常運転中にあってポンプ停止工程に入った場合は、前記同様ターボ分子ポンプ１００のポンプロータが有する回転エネルギーを直流電力に変換後、回生電力消費抵抗器２１５に通電し、熱エネルギーとして消費することにより、ターボ分子ポンプに回生制動をかけている。   When the AC power from the AC power source 220 is cut off during the operation of the turbo molecular pump 100, the switch 214 is closed and the turbo molecular pump driving motor 212 generates power by the rotational energy of the pump rotor of the turbo molecular pump 100. The regenerative power is converted into DC power via the turbo-molecular pump inverter circuit 211, and the regenerative power is used as control power for the entire turbo-molecular pump, thereby safely decelerating and stopping. In addition, when the pump stop process is started during normal operation, the rotational energy of the pump rotor of the turbo-molecular pump 100 is converted into DC power, and then the regenerative power consumption resistor 215 is energized as thermal energy. By consuming, regenerative braking is applied to the turbo molecular pump.

図３は従来のドライ真空ポンプシステムの構成例を示すブロック図である。図示するように、ドライ真空ポンプシステムは、全波整流器２２２、平滑コンデンサ２２６を具備する直流回路２２４、ＤＣ／ＤＣコンバータ２２８、コントローラ２２９、ドライ真空ポンプ用インバータ回路２３１、ドライ真空ポンプ駆動用電動機２３２を備えている。   FIG. 3 is a block diagram showing a configuration example of a conventional dry vacuum pump system. As shown, the dry vacuum pump system includes a full-wave rectifier 222, a DC circuit 224 having a smoothing capacitor 226, a DC / DC converter 228, a controller 229, a dry vacuum pump inverter circuit 231, and a dry vacuum pump drive motor 232. It has.

そして交流電源２２０からの交流電力を全波整流器２２２で直流電力に変換し、該直流電力を直流回路２２４を介してドライ真空用インバータ回路２３１に供給し、コントローラ２２９の制御によりドライ真空ポンプ用インバー回路タ２３１で所定周波数の交流電力に変換し、ドライ真空ポンプ駆動用電動機２３２に供給し、ドライ真空ポンプ１１０を運転している。   Then, AC power from the AC power supply 220 is converted into DC power by the full-wave rectifier 222, the DC power is supplied to the dry vacuum inverter circuit 231 through the DC circuit 224, and the inverter for the dry vacuum pump is controlled by the controller 229. The circuit 231 converts the AC power into a predetermined frequency and supplies it to the dry vacuum pump drive motor 232 to operate the dry vacuum pump 110.

交流電源２２０からの交流電力が遮断した場合、一般的なドライ真空ポンプ１１０は電力遮断直後にドライ真空ポンプ駆動用電動機２３２の回転駆動を停止する。しかしながら、ターボ分子ポンプ１００は高真空領域で使用することを前提としているため、ターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２は高速回転で運転しており、急激な回転減速をすることができない。これはターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２の回転保持力を原因とする現象で、一般的にターボ分子ポンプ１００は回転保持力を消費するために減速時ターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２が発電する回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路２１１で直流電力に変換し回生電力消費抵抗器２１５に通電し熱変換して消費するか、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０８でコントローラ２０９内の駆動電力に変換することで消費している。   When the AC power from the AC power supply 220 is cut off, the general dry vacuum pump 110 stops the rotational drive of the dry vacuum pump driving motor 232 immediately after the power is cut off. However, since the turbo molecular pump 100 is assumed to be used in a high vacuum region, the turbo molecular pump driving motor 212 is operated at a high speed and cannot be rapidly decelerated. This is a phenomenon caused by the rotation holding force of the turbo molecular pump driving motor 212. Generally, the turbo molecular pump 100 consumes the rotation holding force, so that the regenerative power generated by the turbo molecular pump driving motor 212 during deceleration is consumed. Is converted to DC power by the inverter circuit 211 for the turbo molecular pump and energized through the regenerative power consumption resistor 215 for heat conversion or consumed by conversion to drive power in the controller 209 by the DC / DC converter 208. ing.

特許第４０００６１１号公報Japanese Patent No. 4000611

しかしながら、ターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２が減速完了していない状態で、大気側のドライ真空ポンプ１１０が停止してしまうと、ターボ分子ポンプ１００の排気側圧力が急激に変動するため、ターボ分子ポンプ１００が破損する等の危険性がある。即ち、基本的にはターボ分子ポンプ１００が停止するまで、ドライ真空ポンプ１１０は継続して運転されることが求められる。   However, if the dry vacuum pump 110 on the atmosphere side stops when the electric motor 212 for driving the turbo molecular pump has not been decelerated, the exhaust side pressure of the turbo molecular pump 100 will fluctuate abruptly. There is a risk of 100 being damaged. That is, basically, the dry vacuum pump 110 is required to be continuously operated until the turbo molecular pump 100 stops.

一方、ドライ真空ポンプ１１０（ドライ真空ポンプ駆動用電動機２３２）とターボ分子ポンプ１００（ターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２）が同一電源ライン上に接続された真空ポンプシステムにおいて、停電等により電源の遮断が発生した場合、回生電力を用いた予備電源に切り替わるターボ分子ポンプに比べ、ドライ真空ポンプでの減速停止は、電源遮断直後に回避することはできないから、ターボ分子ポンプ１００が停止するまで、ドライ真空ポンプ１１０は継続して運転させることができない。   On the other hand, in the vacuum pump system in which the dry vacuum pump 110 (dry vacuum pump driving motor 232) and the turbo molecular pump 100 (turbo molecular pump driving motor 212) are connected on the same power supply line, the power supply is cut off due to a power failure or the like. When it occurs, compared to a turbo molecular pump that switches to a standby power source using regenerative power, a deceleration stop with a dry vacuum pump cannot be avoided immediately after the power is cut off, so a dry vacuum is required until the turbo molecular pump 100 stops. The pump 110 cannot be operated continuously.

本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、ドライ真空ポンプとターボ分子ポンプが同一電源ライン上に接続された真空ポンプシステムにおいて停電等により電源の遮断が発生した場合に、ターボ分子ポンプが停止するまで、ドライ真空ポンプが継続して運転できる真空ポンプシステム、及びその運転方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above points, and in the vacuum pump system in which the dry vacuum pump and the turbo molecular pump are connected on the same power supply line, when the power interruption occurs due to a power failure or the like, the turbo molecular pump is An object of the present invention is to provide a vacuum pump system in which a dry vacuum pump can be continuously operated until it stops, and an operation method thereof.

上記課題を解決するために、本発明は、排気系の真空側に配置したターボ分子ポンプと、該排気系の大気側に配置したドライ真空ポンプとを備え、交流電源からの交流電力を整流器で直流電力に変換し、直流回路に供給し、該直流回路に並列に接続されたターボ分子ポンプ用インバータ回路と、ドライ真空ポンプ用インバータ回路により所定周波数の交流電力に変換し、それぞれ前記ターボ分子ポンプを駆動するターボ分子ポンプ駆動用電動機、ドライ真空ポンプを駆動するドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給するように構成された真空ポンプシステムであって、ターボ分子ポンプの排気口とドライ真空ポンプの吸気口との間に開閉弁を設けない構成とし、ターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプの運転中に、交流電源の交流電力が遮断された場合、ターボ分子ポンプのポンプロータの有する回転エネルギーによりターボ分子ポンプ駆動用電動機で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路を介して直流電力に変換し、直流回路に供給すると共に、ドライ真空ポンプ用インバータ回路を介して交流電力に変換しドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給するように構成し、ターボ分子ポンプの減速工程とドライ真空ポンプの減速工程で、各々の減速レートを連動して制御し、真空領域から大気圧領域に至る圧力レートに大きな変動を発生させず、ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプを安定して停止させる制御手段を設けたことを特徴とする。 In order to solve the above problems, the present invention includes a turbo molecular pump disposed on the vacuum side of an exhaust system and a dry vacuum pump disposed on the atmosphere side of the exhaust system, and AC power from an AC power source is supplied by a rectifier. Converted into direct current power, supplied to the direct current circuit, and converted into alternating current power of a predetermined frequency by an inverter circuit for a turbo molecular pump connected in parallel to the direct current circuit and an inverter circuit for a dry vacuum pump, respectively, the turbo molecular pump A vacuum pump system configured to supply an electric motor for driving a turbo molecular pump and an electric motor for driving a dry vacuum pump for driving a dry vacuum pump, the exhaust port of the turbo molecular pump and the intake port of the dry vacuum pump a structure without the opening and closing valve, during operation of the turbo molecular pump and a dry vacuum pump, AC power of the AC power supply is cut off between the In this case, the regenerative power generated by the turbo molecular pump drive motor by the rotational energy of the pump rotor of the turbo molecular pump is converted to DC power via the turbo molecular pump inverter circuit and supplied to the DC circuit. It is configured to convert to AC power via the inverter circuit for the vacuum pump and to supply it to the motor for driving the dry vacuum pump. In the deceleration process of the turbo molecular pump and the deceleration process of the dry vacuum pump, the respective deceleration rates are linked. Control means is provided for controlling and stably stopping the turbo molecular pump and the dry vacuum pump without causing a large fluctuation in the pressure rate from the vacuum region to the atmospheric pressure region.

また、本発明は、排気系の真空側に配置したターボ分子ポンプと、該排気系の大気側に配置したドライ真空ポンプとを備え、交流電源からの交流電力を整流器で直流電力に変換して直流回路に供給し、該直流回路から直流電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路と、ドライ真空ポンプ用インバータ回路に供給し、該ターボ分子ポンプ用インバータ回路と、ドライ真空ポンプ用インバータ回路でそれぞれ所定周波数の交流電力に変換し、ターボ分子ポンプを駆動するターボ分子ポンプ駆動用電動機、ドライ真空ポンプを駆動するドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給するように構成された真空ポンプシステムのターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプの運転中に交流電力が遮断した際、ターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプを停止させる真空ポンプシステムの運転方法であって、ターボ分子ポンプの排気口とドライ真空ポンプの吸気口との間に開閉弁を設けない構成とし、ターボ分子ポンプのポンプロータの有する回転エネルギーによりターボ分子ポンプ駆動用電動機で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路を介して直流電力に変換し、該直流電力をドライ真空ポンプ用インバータ回路を介して所定周波数の交流電力に変換しドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給し、ターボ分子ポンプの減速工程とドライ真空ポンプの減速工程で、各々の減速レートを連動して制御し、真空領域から大気圧領域に至る圧力レートに大きな変動を発生させず、ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプを安定して停止させることを特徴とする。 The present invention also includes a turbo molecular pump disposed on the vacuum side of the exhaust system and a dry vacuum pump disposed on the atmosphere side of the exhaust system, and converts AC power from an AC power source into DC power by a rectifier. DC power is supplied to the DC circuit, and DC power is supplied from the DC circuit to the turbo molecular pump inverter circuit and the dry vacuum pump inverter circuit. The turbo molecular pump inverter circuit and the dry vacuum pump inverter circuit each have a predetermined frequency. The turbo molecular pump and the dry vacuum of the vacuum pump system configured to supply to the electric motor for driving the turbo molecular pump that converts the AC power of the turbo pump and the electric motor for driving the dry vacuum pump that drives the dry vacuum pump Truth to stop turbo molecular pump and dry vacuum pump when AC power is cut off during pump operation A method of operating a pump system, a structure without the opening and closing valve between the outlet and the inlet of the dry vacuum pump of the turbomolecular pump, for driving a turbo molecular pump by the rotation energy of the pump rotor of a turbomolecular pump A regenerative electric power generated by an electric motor is converted into a direct current power through an inverter circuit for a turbo molecular pump, and the direct current power is converted into an alternating current power of a predetermined frequency through an inverter circuit for a dry vacuum pump to drive an electric motor for driving a dry vacuum pump In the deceleration process of the turbo molecular pump and the deceleration process of the dry vacuum pump, the respective deceleration rates are controlled in conjunction with each other, so that there is no significant fluctuation in the pressure rate from the vacuum region to the atmospheric pressure region. The pump and the dry vacuum pump are stably stopped.

また、本発明は、上記真空ポンプシステムの運転方法において、ターボ分子ポンプの減速工程とドライ真空ポンプの減速工程で、ターボ分子ポンプの回生電力をドライ真空ポンプの動力として利用することで、回生電力を熱変換することなく消費することが可能となるため、ポンプコントローラ内の温度を上昇させることなく安全に且つ短時間に両ポンプを減速させることが可能となる。   Further, the present invention provides a method for operating the vacuum pump system, wherein the regenerative power of the turbo molecular pump is used as the power of the dry vacuum pump in the turbo molecular pump deceleration process and the dry vacuum pump deceleration process. Therefore, both pumps can be decelerated safely and in a short time without increasing the temperature in the pump controller.

本発明は、真空ポンプシステムのターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプの運転中に交流電力が遮断した際、ターボ分子ポンプのポンプロータ等の有する回転エネルギーによりターボ分子ポンプ駆動用電動機で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路を介して直流電力に変換し、該直流電力をドライ真空ポンプ用インバータ回路を介して所定周波数の交流電力に変換しドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給するようにし、ターボ分子ポンプの減速工程とドライ真空ポンプの減速工程で、各々の減速レートを連動して制御し、真空領域から大気圧領域に至る圧力レートに大きな変動を発生させず、ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプを安定して停止させるので、ターボ分子ポンプの排気口とドライ真空ポンプの吸気口との間に開閉弁を設けない構成としても、ドライ真空ポンプの急減速による大気解放とその大気解放によるターボ分子ポンプの故障を未然に防止することができる。 The present invention relates to regenerative electric power generated by a turbo molecular pump driving motor by rotational energy of a pump rotor of a turbo molecular pump or the like when AC power is cut off during operation of a turbo molecular pump and a dry vacuum pump of a vacuum pump system. Is converted into DC power through an inverter circuit for a turbo molecular pump, the DC power is converted into AC power of a predetermined frequency through an inverter circuit for a dry vacuum pump, and is supplied to an electric motor for driving a dry vacuum pump. The molecular pump decelerating process and the dry vacuum pump decelerating process control the respective decelerating rates in conjunction with each other, and the turbo molecular pump and the dry vacuum pump do not cause a large fluctuation in the pressure rate from the vacuum region to the atmospheric pressure region. since stably stops, between the outlet and the inlet of the dry vacuum pump of the turbomolecular pump Not be provided off valve, it is possible to prevent the failure of the turbo-molecular pump air opening and by that the air opening by rapid deceleration of the dry vacuum pump.

図１は従来の真空ポンプシステムの概念図である。FIG. 1 is a conceptual diagram of a conventional vacuum pump system. 図２は従来のターボ分子ポンプシステムの構成例を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing a configuration example of a conventional turbomolecular pump system. 図３は従来のドライ真空ポンプシステムの構成例を示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram showing a configuration example of a conventional dry vacuum pump system. 図４は本発明に係る真空ポンプシステムの概念図である。FIG. 4 is a conceptual diagram of a vacuum pump system according to the present invention. 図５は電源兼用コントローラのシステム構成を示すブロック図である。FIG. 5 is a block diagram showing the system configuration of the power supply controller. 図６は交流電力遮断時の電源兼用コントローラの動作を説明するための図である。FIG. 6 is a diagram for explaining the operation of the power supply controller when AC power is cut off. 図７はターボ分子ポンプとドライ真空ポンプのポンプ始動時とポンプ減速停止時の加速、減速回転数レートを示す図である。FIG. 7 is a diagram showing acceleration and deceleration rotational speed rates when the turbo molecular pump and the dry vacuum pump are started and when the pump is decelerated and stopped. 図８は本発明に係る真空ポンプシステムで運転中のターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプへの駆動電力が同時に遮断された場合の減速回転数レートを示す図である。FIG. 8 is a graph showing the decelerating rotation rate when the driving power to the turbo molecular pump and the dry vacuum pump that are operating in the vacuum pump system according to the present invention is cut off at the same time.

以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。図４は本発明に係る真空ポンプシステムの概念図である。図示するように、本真空ポンプシステム１０はターボ分子ポンプ１２と、ドライ真空ポンプ１４を備え、ターボ分子ポンプ１２の排気口１６とドライ真空ポンプ１４の吸気口１８を排気管２０で接続し、反応チャンバー２２の排気口にターボ分子ポンプ１２の吸気口を接続し、反応チャンバー２２内を排気真空にする真空ポンプシステムである。ターボ分子ポンプ１２は排気系の真空側に接続され、ドライ真空ポンプ１４は排気系の大気側に接続されている。ターボ分子ポンプ１２及びドライ真空ポンプ１４は１個の電源兼用コントローラ２４で制御され、且つ駆動電力が供給されるようになっている。なお、２３、２５は電源兼用コントローラ２４からターボ分子ポンプ１２及びドライ真空ポンプ１４との間で制御信号や駆動電力を送受するためのケーブルである。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail. FIG. 4 is a conceptual diagram of a vacuum pump system according to the present invention. As shown in the figure, the present vacuum pump system 10 includes a turbo molecular pump 12 and a dry vacuum pump 14, and an exhaust port 20 of the turbo molecular pump 12 and an intake port 18 of the dry vacuum pump 14 are connected by an exhaust pipe 20 to react. This is a vacuum pump system in which the suction port of the turbo molecular pump 12 is connected to the exhaust port of the chamber 22 to evacuate the inside of the reaction chamber 22. The turbo molecular pump 12 is connected to the vacuum side of the exhaust system, and the dry vacuum pump 14 is connected to the atmosphere side of the exhaust system. The turbo molecular pump 12 and the dry vacuum pump 14 are controlled by a single power-supply controller 24 and are supplied with driving power. Reference numerals 23 and 25 denote cables for transmitting and receiving control signals and driving power from the power source controller 24 to the turbo molecular pump 12 and the dry vacuum pump 14.

図５は電源兼用コントローラ２４のシステム構成を示すブロック図である。電源兼用コントローラ２４は、力率改善のためのＰＦＣ回路２６、整流器３２と平滑コンデンサ２８、３０を具備する直流回路３４、ＤＣ／ＤＣコンバータ３６、コントローラ３８、ドライ真空ポンプ用インバータ回路４０、ターボ分子ポンプ用インバータ回路４２を備えている。   FIG. 5 is a block diagram showing a system configuration of the power supply controller 24. The power supply controller 24 includes a PFC circuit 26 for power factor improvement, a DC circuit 34 including a rectifier 32 and smoothing capacitors 28, 30, a DC / DC converter 36, a controller 38, an inverter circuit 40 for a dry vacuum pump, a turbo molecule. A pump inverter circuit 42 is provided.

そして交流電源５０からの交流電力をＰＦＣ回路２６と通して整流器３２に供給し、該整流器３２で直流電力に変換し、該直流電力を直流回路３４を介してドライ真空ポンプ用インバータ回路４０、ターボ分子ポンプ用インバータ回路４２に供給している。該ドライ真空ポンプ用インバータ回路４０及びターボ分子ポンプ用インバータ回路４２で直流回路３４からの直流電力をコントローラ３８の制御により所定周波数の交流電力に変換し、それぞれドライ真空ポンプ駆動用電動機４４及びターボ分子駆動用電動機４６に供給し、ドライ真空ポンプ１４、ターボ分子ポンプ１２を運転している。また、直流回路３４の直流はＤＣ／ＤＣコンバータ３６を介して所定電圧の直流に変換され、制御用電圧としてコントローラ３８やドライ真空ポンプ用インバータ回路４０やターボ分子ポンプ用インバータ回路４２に供給されている。   Then, AC power from the AC power supply 50 is supplied to the rectifier 32 through the PFC circuit 26, converted into DC power by the rectifier 32, and the DC power is converted to the inverter circuit 40 for the dry vacuum pump, the turbo through the DC circuit 34. This is supplied to the inverter circuit 42 for the molecular pump. The dry vacuum pump inverter circuit 40 and the turbo molecular pump inverter circuit 42 convert the DC power from the DC circuit 34 into AC power of a predetermined frequency under the control of the controller 38, respectively. Supplying to the drive motor 46, the dry vacuum pump 14 and the turbo molecular pump 12 are operated. The direct current of the direct current circuit 34 is converted into direct current of a predetermined voltage via the DC / DC converter 36 and supplied to the controller 38, the dry vacuum pump inverter circuit 40, and the turbo molecular pump inverter circuit 42 as a control voltage. Yes.

上記構成の電源兼用コントローラ２４において、ターボ分子ポンプ１２（ターボ分子ポンプ駆動用電動機４６）及びドライ真空ポンプ１４（ドライ真空ポンプ駆動用電動機４４）の運転中に、上記電源装置に供給される交流電力が遮断された場合、図６の太い破線で示すように、ターボ分子ポンプ１２のポンプロータの有する回転エネルギーによりターボ分子ポンプ駆動用電動機４６で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路４２を介して直流電力に変換し、直流回路３４に供給すると共に、ドライ真空ポンプ用インバータ回路４０を介して所定周波数の交流電力に変換しドライ真空ポンプ駆動用電動機４４に供給する。   In the dual-purpose power supply controller 24 configured as described above, the AC power supplied to the power supply device during the operation of the turbo molecular pump 12 (the turbo molecular pump driving motor 46) and the dry vacuum pump 14 (the dry vacuum pump driving motor 44). As shown by a thick broken line in FIG. 6, the regenerative power generated by the turbo molecular pump driving motor 46 by the rotational energy of the pump rotor of the turbo molecular pump 12 is converted into the turbo molecular pump inverter circuit 42 as shown by the thick broken line in FIG. Is converted into DC power and supplied to the DC circuit 34, and is converted to AC power of a predetermined frequency via the dry vacuum pump inverter circuit 40 and supplied to the dry vacuum pump driving motor 44.

図７はターボ分子ポンプとドライ真空ポンプのポンプ始動時とポンプ減速停止時の加速、減速回転数レートを示す図であり、図７（ａ）はポンプ始動時の加速回転数レートを、図７（ｂ）はポンプ減速停止時の減速回転数レートを示す。通常はドライ真空ポンプを先に、次いでターボ分子ポンプを始動する。ドライ真空ポンプは図７（ａ）のＢに示すように、時刻ｔ１でドライ真空ポンプ駆動用電動機４４で駆動電力の供給が開始すると短時間（数秒〜数十秒）で略５，０００（ｒｐｍ）の定格回転数に達する。これに対してターボ分子ポンプは図７（ａ）のＡに示すように、時刻ｔ２でターボ分子ポンプ駆動用電動機４６に駆動電力の供給が開始すると時間ｔの経過に比例し増速し、数分〜１０分程度の時間を経て略２５，０００（ｒｐｍ）の定格回転数に達する。   FIG. 7 is a diagram showing acceleration and deceleration rotational speed rates when the turbo molecular pump and the dry vacuum pump are started and when the pump is decelerated and stopped. FIG. 7A shows the acceleration rotational speed rates when the pump is started. (B) shows the deceleration speed rate at the time of pump deceleration stop. Usually, the dry vacuum pump is started first, and then the turbo molecular pump is started. As shown in B of FIG. 7A, the dry vacuum pump is approximately 5,000 (rpm) in a short time (several seconds to several tens of seconds) when the supply of drive power is started by the dry vacuum pump drive motor 44 at time t1. ) Reach the rated speed. On the other hand, as shown in A of FIG. 7A, when the supply of driving power to the turbo molecular pump driving motor 46 starts at time t2, the turbo molecular pump increases in proportion to the elapse of time t. The rated rotational speed of about 25,000 (rpm) is reached after a time of about 10 minutes to 10 minutes.

ポンプ減速停止においては、ターボ分子ポンプのロータが高速回転しており、ドライ真空ポンプを停止させることができる所定回転数以下に減速するのに時間がかかることから、通常、図７（ｂ）のＡに示すように、ターボ分子ポンプ駆動用電動機４６への駆動電力を時刻ｔ３で停止し、ターボ分子ポンプの回転数が所定回転数以下になった時刻ｔ４でドライ真空ポンプ駆動用電動機４４への駆動電力を停止し、ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプが略同時に停止するようにしている。従って、ターボ分子ポンプ駆動用電動機への駆動電力停止とドライ真空ポンプ駆動用電動機４４への駆動電力停止を同時にしたのでは、ターボ分子ポンプのロータが高速回転しているうちにターボ分子ポンプ内が大気に開放されることになることになり、ターボ分子ポンプが破損するおそれがある。   In the pump decelerating stop, the turbo molecular pump rotor is rotating at high speed, and it takes time to decelerate to a predetermined number of rotations or less that can stop the dry vacuum pump. As shown in A, the drive power to the turbo molecular pump drive motor 46 is stopped at time t3, and at time t4 when the rotation speed of the turbo molecular pump becomes equal to or lower than the predetermined rotation speed, the drive power to the dry vacuum pump drive motor 44 is supplied. The driving power is stopped, and the turbo molecular pump and the dry vacuum pump are stopped almost simultaneously. Therefore, if the drive power to the turbo molecular pump drive motor is stopped and the drive power to the dry vacuum pump drive motor 44 is stopped at the same time, the inside of the turbo molecular pump is moved while the rotor of the turbo molecular pump is rotating at high speed. There will be a risk of damage to the turbo molecular pump due to the release to the atmosphere.

本電源兼用コントローラ２４では、上記のようにターボ分子ポンプ駆動用電動機４６及びドライ真空ポンプ駆動用電動機４４の運転中に、電源装置に供給される交流電力が遮断された場合、図６の太い破線で示すように、ターボ分子ポンプ１２のポンプロータの有する回転エネルギーによりターボ分子ポンプ駆動用電動機４６で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路４２を介して直流電力に変換し、直流回路３４に供給すると共に、ドライ真空ポンプ用インバータ回路４０を介して所定周波数の交流電力に変換しドライ真空ポンプ駆動用電動機４４に供給するので、図８のＡ、Ｂに示すように、ターボ分子ポンプの減速工程とドライ真空ポンプの減速工程で、各々の減速レートを連動し、真空領域から大気圧領域に至る圧力レートに大きな変動を発生させることなく、ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプを安定して停止させることができる。   When the AC power supplied to the power supply device is cut off during the operation of the turbo molecular pump driving motor 46 and the dry vacuum pump driving motor 44 as described above, the power source controller 24 has a thick broken line in FIG. As shown, the regenerative power generated by the turbo molecular pump drive motor 46 by the rotational energy of the pump rotor of the turbo molecular pump 12 is converted into DC power via the turbo molecular pump inverter circuit 42, and the DC circuit 34. 8 and converted into alternating current power of a predetermined frequency via the dry vacuum pump inverter circuit 40 and supplied to the dry vacuum pump drive motor 44, as shown in FIGS. In the deceleration process and the deceleration process of the dry vacuum pump, the pressure from the vacuum area to the atmospheric pressure area is linked with each deceleration rate. Without generating large fluctuations in the rate, the turbo molecular pump and a dry vacuum pump can be stably stopped.

図８において、時刻ｔ１で交流電力が遮断されると、ターボ分子ポンプ１２のポンプロータの回転エネルギーにより、ターボ分子ポンプ駆動用電動機４６で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路４２で直流電力に変換し、更にドライ真空ポンプ用インバータ回路４０で交流電力に変換しドライ真空ポンプ駆動用電動機４４に供給するので、Ｂに示すように、ドライ真空ポンプ１４の回転数ＮＤはターボ分子ポンプ１２の回転数ＮＴが所定回転数に減速される時刻ｔ２まで略定格回転数に維持され、それ以降急激に減速され停止する。また、ターボ分子ポンプ１２の回転数ＮＴは回生電力をドライ真空ポンプ駆動用電動機４４に供給することにより、強い回生制動がかかりＡに示すように時刻ｔ１以降急勾配で減速され停止する。   In FIG. 8, when AC power is cut off at time t <b> 1, the regenerative power generated by the turbo molecular pump driving motor 46 is converted to DC by the turbo molecular pump inverter circuit 42 by the rotational energy of the pump rotor of the turbo molecular pump 12. Since it is converted into electric power and further converted into AC power by the inverter circuit 40 for the dry vacuum pump and supplied to the electric motor 44 for driving the dry vacuum pump, the rotational speed ND of the dry vacuum pump 14 is determined by the turbo molecular pump 12 as shown in B. The rotational speed NT is maintained at the substantially rated rotational speed until time t2 when the rotational speed NT is decelerated to the predetermined rotational speed, and thereafter, the rotational speed NT is rapidly decelerated and stopped. Further, the rotational speed NT of the turbo molecular pump 12 is supplied with regenerative electric power to the dry vacuum pump driving motor 44, whereby strong regenerative braking is applied, and as shown by A, it is decelerated with a steep slope after time t1 and stopped.

上記のように、本真空ポンプシステムでは、電源装置に入力される交流電力が予期せず停止した場合、ターボ分子ポンプ駆動用電動機４６で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路４２を介して直流電力に変換し、直流回路３４に供給することで、真空ポンプシステム全体を制御する制御電源のみならず、ドライ真空ポンプ駆動用電動機４４も駆動することが可能となる。即ち、真空ポンプシステムの電源が停止した場合、本来ターボ分子ポンプより後に停止することが望まれるドライ真空ポンプの駆動電力を、ターボ分子ポンプの回生電力を利用することで、ドライ真空ポンプの回転維持が期待でき、且つ回生電力を電気熱変換する特殊な放熱素子を削減或いは減少させることができる。   As described above, in the present vacuum pump system, when the AC power input to the power supply device stops unexpectedly, the regenerative power generated by the turbo molecular pump driving motor 46 is passed through the turbo molecular pump inverter circuit 42. By converting to DC power and supplying it to the DC circuit 34, it is possible to drive not only a control power source for controlling the entire vacuum pump system but also a dry vacuum pump driving motor 44. That is, when the power supply of the vacuum pump system is stopped, the dry vacuum pump drive power that is originally desired to stop after the turbo molecular pump is used to maintain the rotation of the dry vacuum pump by using the regenerative power of the turbo molecular pump. And a special heat dissipating element that converts regenerative power into electrothermal energy can be reduced or reduced.

なお、真空ポンプシステムでは、制御部及び電源装置が一体であればよく、ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプの駆動用電動機本体は一体であっても、別体であってもよい。   In the vacuum pump system, the control unit and the power supply device need only be integrated, and the drive motor main body of the turbo molecular pump and the dry vacuum pump may be integrated or separate.

以上、本発明の実施形態例を説明したが、本発明は上記実施形態例に限定されるものではなく、特許請求の範囲、及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内において種々の変形が可能である。なお、直接明細書及び図面に記載がない何れの形状や構造であっても、本願発明の作用効果を奏する以上、本願発明の技術範囲である。   The embodiments of the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope of the technical idea described in the claims and the specification and drawings. Can be modified. Note that any shape or structure not directly described in the specification and drawings is within the technical scope of the present invention as long as the effects of the present invention are achieved.

本発明は、真空ポンプシステムのターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプの運転中に交流電力が遮断した際、ターボ分子ポンプのポンプロータの有する回転エネルギーによりターボ分子ポンプ駆動用電動機で発電される回生電力でドライ真空ポンプ駆動用電動機を駆動するので、ターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプを連動して減速し、停止することになり、ドライ真空ポンプの急減速による大気解放とその大気解放によるターボ分子ポンプの故障を未然に防止することができるターボ分子ポンプとドライ真空ポンプを備えた真空ポンプシステムを提供できる。   The present invention is a regenerative electric power generated by a motor for driving a turbo molecular pump by the rotational energy of the pump rotor of the turbo molecular pump when AC power is cut off during operation of the turbo molecular pump and the dry vacuum pump of the vacuum pump system. Since the electric motor for driving the dry vacuum pump is driven, the turbo molecular pump and the dry vacuum pump are decelerated and stopped, and the atmosphere is released due to sudden deceleration of the dry vacuum pump and the turbo molecular pump is broken due to the air release. Therefore, it is possible to provide a vacuum pump system including a turbo molecular pump and a dry vacuum pump that can prevent the above.

１０ 真空ポンプシステム
１２ ターボ分子ポンプ
１４ ドライ真空ポンプ
１６ 排気口
１８ 吸気口
２０ 排気管
２２ 反応チャンバー
２３，２５ ケーブル
２４ 電源兼用コントローラ
２６ ＰＦＣ回路
２８ 平滑コンデンサ
３０ 平滑コンデンサ
３２ 整流器
３４ 直流回路
３６ ＤＣ／ＤＣコンバータ
３８ コントローラ
４０ ドライ真空ポンプ用インバータ回路
４２ ターボ分子ポンプ用インバータ回路
４４ ドライ真空ポンプ駆動用電動機
４６ ターボ分子ポンプ駆動用電動機 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Vacuum pump system 12 Turbo molecular pump 14 Dry vacuum pump 16 Exhaust port 18 Intake port 20 Exhaust pipe 22 Reaction chamber 23,25 Cable 24 Power supply controller 26 PFC circuit 28 Smoothing capacitor 30 Smoothing capacitor 32 Rectifier 34 DC circuit 36 DC / DC Converter 38 Controller 40 Inverter circuit for dry vacuum pump 42 Inverter circuit for turbo molecular pump 44 Electric motor for driving dry vacuum pump 46 Electric motor for driving turbo molecular pump

Claims (2)

排気系の真空側に配置したターボ分子ポンプと、該排気系の大気側に配置したドライ真空ポンプとを備え、交流電源からの交流電力を整流器で直流電力に変換し、直流回路に供給し、該直流回路に並列に接続されたターボ分子ポンプ用インバータ回路と、ドライ真空ポンプ用インバータ回路により所定周波数の交流電力に変換し、それぞれ前記ターボ分子ポンプを駆動するターボ分子ポンプ駆動用電動機、前記ドライ真空ポンプを駆動するドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給するように構成された真空ポンプシステムであって、
前記ターボ分子ポンプの排気口と前記ドライ真空ポンプの吸気口との間に開閉弁を設けない構成とし、
前記ターボ分子ポンプ及び前記ドライ真空ポンプの運転中に、前記交流電源の交流電力が遮断された場合、前記ターボ分子ポンプのポンプロータの有する回転エネルギーにより前記ターボ分子ポンプ駆動用電動機で発電される回生電力を前記ターボ分子ポンプ用インバータ回路を介して直流電力に変換し、前記直流回路に供給すると共に、前記ドライ真空ポンプ用インバータ回路を介して交流電力に変換し前記ドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給するように構成し、
前記ターボ分子ポンプの減速工程と前記ドライ真空ポンプの減速工程で、各々の減速レートを連動して制御し、真空領域から大気圧領域に至る圧力レートに大きな変動を発生させず、前記ターボ分子ポンプと前記ドライ真空ポンプを安定して停止させる制御手段を設けたことを特徴とする真空ポンプシステム。 A turbo molecular pump disposed on the vacuum side of the exhaust system and a dry vacuum pump disposed on the atmosphere side of the exhaust system, and converts AC power from an AC power source into DC power by a rectifier and supplies it to a DC circuit, The turbo molecular pump inverter circuit connected in parallel to the DC circuit, and the dry vacuum pump inverter circuit converts the AC power into a predetermined frequency and drives the turbo molecular pump, respectively. A vacuum pump system configured to supply an electric motor for driving a dry vacuum pump that drives a vacuum pump,
It is configured not to provide an on-off valve between the exhaust port of the turbo molecular pump and the intake port of the dry vacuum pump,
When the AC power of the AC power supply is cut off during the operation of the turbo molecular pump and the dry vacuum pump, the regenerative power generated by the turbo molecular pump driving motor is generated by the rotational energy of the pump rotor of the turbo molecular pump. Electric power is converted to DC power via the turbo molecular pump inverter circuit and supplied to the DC circuit, and is converted to AC power via the dry vacuum pump inverter circuit and supplied to the dry vacuum pump driving motor. Configured to
In the turbo molecular pump deceleration step and the dry vacuum pump deceleration step, the respective deceleration rates are controlled in conjunction with each other, and the turbo molecular pump does not cause a large fluctuation in the pressure rate from the vacuum region to the atmospheric pressure region. And a control means for stably stopping the dry vacuum pump. 排気系の真空側に配置したターボ分子ポンプと、該排気系の大気側に配置したドライ真空ポンプとを備え、交流電源からの交流電力を整流器で直流電力に変換して直流回路に供給し、該直流回路から直流電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路と、ドライ真空ポンプ用インバータ回路に供給し、該ターボ分子ポンプ用インバータ回路と、ドライ真空ポンプ用インバータ回路でそれぞれ所定周波数の交流電力に変換し、前記ターボ分子ポンプを駆動するターボ分子ポンプ駆動用電動機、前記ドライ真空ポンプを駆動するドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給するように構成された真空ポンプシステムの前記ターボ分子ポンプ及び前記ドライ真空ポンプの運転中に前記交流電力が遮断した際、前記ターボ分子ポンプ及び前記ドライ真空ポンプを停止させる真空ポンプシステムの運転方法であって、
前記ターボ分子ポンプの排気口と前記ドライ真空ポンプの吸気口との間に開閉弁を設けない構成とし、
前記ターボ分子ポンプのポンプロータの有する回転エネルギーにより前記ターボ分子ポンプ駆動用電動機で発電される回生電力を前記ターボ分子ポンプ用インバータ回路を介して直流電力に変換し、該直流電力を前記ドライ真空ポンプ用インバータ回路を介して所定周波数の交流電力に変換し前記ドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給し、
前記ターボ分子ポンプの減速工程と前記ドライ真空ポンプの減速工程で、各々の減速レートを連動して制御し、真空領域から大気圧領域に至る圧力レートに大きな変動を発生させず、前記ターボ分子ポンプと前記ドライ真空ポンプを安定して停止させることを特徴とする真空ポンプシステムの運転方法。 A turbo molecular pump disposed on the vacuum side of the exhaust system and a dry vacuum pump disposed on the atmosphere side of the exhaust system, and the AC power from the AC power source is converted into DC power by a rectifier and supplied to the DC circuit, DC power is supplied from the DC circuit to the turbo molecular pump inverter circuit and the dry vacuum pump inverter circuit, and the turbo molecular pump inverter circuit and the dry vacuum pump inverter circuit respectively convert the DC power into AC power having a predetermined frequency. A turbo molecular pump driving electric motor for driving the turbo molecular pump, a turbo molecular pump of a vacuum pump system configured to supply the dry molecular pump driving electric motor for driving the dry vacuum pump, and the dry vacuum pump When the AC power is cut off during operation, the turbo molecular pump and the dry vacuum pump are A method of operating a vacuum pumping system for sealed,
It is configured not to provide an on-off valve between the exhaust port of the turbo molecular pump and the intake port of the dry vacuum pump,
The regenerative electric power generated by the electric motor for driving the turbo molecular pump by the rotational energy of the pump rotor of the turbo molecular pump is converted into direct current power through the inverter circuit for the turbo molecular pump, and the direct current power is converted into the dry vacuum pump. Converted to AC power of a predetermined frequency via an inverter circuit for supply to the dry vacuum pump drive motor,
In the turbo molecular pump deceleration step and the dry vacuum pump deceleration step, the respective deceleration rates are controlled in conjunction with each other, and the turbo molecular pump does not cause a large fluctuation in the pressure rate from the vacuum region to the atmospheric pressure region. And a method of operating the vacuum pump system, wherein the dry vacuum pump is stably stopped.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110487029A (en) * 2019-08-23 2019-11-22 老肯医疗科技股份有限公司 A kind of drying means of medical instrument

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2974412B1 (en) * 2011-04-21 2013-06-07 Adixen Vacuum Products METHOD FOR CONTROLLING A LEAK DETECTOR AND LEAK DETECTOR
JP6043950B2 (en) * 2012-06-22 2016-12-14 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 Washing and drying machine
JP6086001B2 (en) * 2013-03-13 2017-03-01 株式会社島津製作所 Vacuum pump
JP2017145726A (en) * 2016-02-16 2017-08-24 株式会社荏原製作所 Dry vacuum pump device, control method for the same and control program
KR102234374B1 (en) * 2015-02-19 2021-03-31 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 Dry vacuum pump apparatus, control method thereof and control program
JP5918406B1 (en) * 2015-02-19 2016-05-18 株式会社荏原製作所 Dry vacuum pump device and control method thereof
CN106982016B (en) * 2016-01-15 2021-11-26 松下知识产权经营株式会社 Turbo compressor device
JP7424772B2 (en) * 2019-08-23 2024-01-30 株式会社アルバック Vacuum exhaust equipment and its operating method

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002147386A (en) * 2000-11-16 2002-05-22 Shimadzu Corp Exhaust device using turbo-molecular pump
JP2007113455A (en) * 2005-10-19 2007-05-10 Tokki Corp Evacuation system
JP2009203823A (en) * 2008-02-26 2009-09-10 Fujitsu Microelectronics Ltd Control device and vacuum processing device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110487029A (en) * 2019-08-23 2019-11-22 老肯医疗科技股份有限公司 A kind of drying means of medical instrument
CN110487029B (en) * 2019-08-23 2021-12-31 老肯医疗科技股份有限公司 Drying method of medical instrument

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