JP5428441B2 - カラーフィルタ基板の検査装置及び欠陥検査方法 - Google Patents
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Description
2、2’ 偏光フィルタ
3 カラーフィルタ基板
4、4’ 偏光フィルタ
5、5’ 透過照明光源
6 画像処理部
7 ピンホール
8、9 異物
301 ラックマトリクス
302 Rレジスト
303 Gレジスト
304 Bレジスト
305 配向膜
306 位相差膜
Claims (8)
- 位相差膜を有するカラーフィルタ基板において位相差膜起因の欠陥を検出する検査装置であって、
前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に配置された第1の偏光フィルタ及び第2の偏光フィルタと、
前記第1の偏光フィルタの外側に配置された第1の透過照明光源と、
前記第2の偏光フィルタの外側に配置された第1の撮像手段と、
前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に配置された第3の偏光フィルタ及び第4の偏光フィルタと、
前記第3の偏光フィルタの外側に配置された第2の透過照明光源と、
前記第4の偏光フィルタの外側に配置された第2の撮像手段と、
前記第1の撮像手段及び第2の撮像手段がそれぞれ取得した画像データに対して所定の画像処理を行い、欠陥を検出する画像処理手段とを有し、
前記第1の偏光フィルタと第2の偏光フィルタはその偏光光軸方向が互いに平行に配置され、前記第3の偏光フィルタと第4の偏光フィルタはその偏光光軸方向が互いに垂直に配置されていることを特徴とするカラーフィルタ基板の検査装置。 - 請求項1に記載のカラーフィルタ基板の検査装置において、
前記透過照明光源は、赤外光域スペクトルを有する光源を有し、
前記撮像手段は、赤外光検出可能なイメージセンサを有することを特徴とするカラーフィルタ基板の検査装置。 - 位相差膜を有するカラーフィルタ基板において位相差膜起因の欠陥を検出する検査方法であって、
前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に第1の偏光フィルタ及び第2の偏光フィルタを配置するステップと、
前記第1の偏光フィルタの外側に配置された透過照明光源から前記カラーフィルタ基板に照明光を照射する照明光照射ステップと、
前記第2の偏光フィルタの外側に配置された撮像手段により、前記第1及び第2の偏光フィルタの偏光光軸方向が互いに平行な状態で、前記カラーフィルタ基板の画像データを取得する第1の撮像ステップと、
前記撮像手段により、前記第1及び第2の偏光フィルタの偏光光軸方向が互いに垂直な状態で、前記カラーフィルタ基板の画像データを取得する第2の撮像ステップと、
前記第1及び第2の撮像ステップで取得した画像データそれぞれに対して所定の画像処理を行い、欠陥を検出する画像処理ステップと、
を有することを特徴とするカラーフィルタ基板の検査方法。 - 請求項3に記載のカラーフィルタ基板の検査方法の前記画像処理ステップにおいて、
前記第1及び第2の偏光フィルタの偏光光軸方向が互いに平行な状態で得た前記カラーフィルタ基板の画像データに対しては、前記位相差膜の位相差領域上のピンホール欠陥及び無位相差領域上の異物欠陥を検出し、
前記第1及び第2の偏光フィルタの偏光光軸方向が互いに垂直な状態で得た前記カラーフィルタ基板の画像データに対しては、前記位相差膜の位相差領域上のピンホール欠陥及び異物欠陥を検出することを特徴とするカラーフィルタ基板の検査方法。 - 位相差膜を有するカラーフィルタ基板において位相差膜起因の欠陥を検出する検査方法であって、
前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に配置された第1の偏光フィルタ及び第2の偏光フィルタを配置するステップと、
前記第1の偏光フィルタの外側に配置された第1の透過照明光源から、前記カラーフィルタ基板に照明光を照射する照明光照射ステップと、
前記第2の偏光フィルタの外側に配置された第1の撮像手段により、前記カラーフィルタ基板の画像データを取得する撮像ステップと、
前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に配置された第3の偏光フィルタ及び第4の偏光フィルタを配置するステップと、
前記第3の偏光フィルタの外側に配置された第2の透過照明光源から、前記カラーフィルタ基板に照明光を照射する照明光照射ステップと、
前記第4の偏光フィルタの外側に配置された第2の撮像手段により、前記カラーフィルタ基板の画像データを取得する撮像ステップと、
前記第1の撮像手段及び第2の撮像手段がそれぞれ取得した画像データに対して所定の画像処理を行い、欠陥を検出する画像処理ステップと、を有し、
前記第1の偏光フィルタと第2の偏光フィルタはその偏光光軸方向が互いに平行に配置され、前記第3の偏光フィルタと第4の偏光フィルタはその偏光光軸方向が互いに垂直に配置されていることを特徴とするカラーフィルタ基板の検査方法。 - 請求項5記載のカラーフィルタ基板の検査方法の前記画像処理ステップにおいて、
偏光光軸方向が互いに平行な状態である前記第1及び第2の偏光フィルタを使用して得た前記カラーフィルタ基板の画像データに対しては、前記位相差膜の位相差領域上のピンホール欠陥及び無位相差領域上の異物欠陥を検出し、
偏光光軸方向が互いに垂直な状態である前記第3及び第4の偏光フィルタを使用して得た前記カラーフィルタ基板の画像データに対しては、前記位相差膜の位相差領域上のピンホール欠陥及び異物欠陥を検出することを特徴とするカラーフィルタ基板の検査方法。 - 位相差膜を有するカラーフィルタ基板において位相差膜起因の欠陥を検出する検査方法であって、
前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に第1の偏光フィルタ及び第2の偏光フィルタを配置するステップと、
前記第1の偏光フィルタの外側に配置された透過照明光源から前記カラーフィルタ基板に照明光を照射する照明光照射ステップと、
前記第1及び第2の偏光フィルタの偏光光軸方向が互いに45°の角度をなす状態で、前記第2の偏光フィルタの外側に配置された撮像手段により、前記カラーフィルタ基板の画像データを取得する撮像ステップと、
前記撮像ステップで取得した画像データに対して所定の画像処理を行い、欠陥を検出する画像処理ステップと、
を有することを特徴とするカラーフィルタ基板の検査方法。 - 請求項3、5、7のいずれかに記載のカラーフィルタ基板の検査方法において、
前記透過照明光源は、赤外光域スペクトルを有する光源を有し、
前記撮像手段は、赤外光検出可能なイメージセンサを有することを特徴とするカラーフィルタ基板の検査方法。
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