JP5425267B2 - 座標測定装置 - Google Patents
座標測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5425267B2 JP5425267B2 JP2012138707A JP2012138707A JP5425267B2 JP 5425267 B2 JP5425267 B2 JP 5425267B2 JP 2012138707 A JP2012138707 A JP 2012138707A JP 2012138707 A JP2012138707 A JP 2012138707A JP 5425267 B2 JP5425267 B2 JP 5425267B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- coordinate measuring
- series
- workpieces
- inspecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
- G01B11/005—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/042—Calibration or calibration artifacts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/045—Correction of measurements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Measuring Or Testing Involving Enzymes Or Micro-Organisms (AREA)
- Steroid Compounds (AREA)
Description
(a)前記ワークピースに近似した特徴、寸法および部位を有し、前記座標測定装置とは別の装置を用いて動的誤差の影響を受けない較正が行われた加工品を準備する工程と、
(b)前記座標測定装置を用い、前記ワークピース検出プローブを、動的誤差を生じさせる速度で前記加工品に対して移動させることで前記加工品を測定する工程であって、当該移動の速度が、当該加工品の測定に続いて前記一連のワークピースにおける同等のワークピースを測定するときにも適用される速度である当該工程と、
(c)前記別の装置を用いた、動的誤差の影響を受けていない前記加工品の較正値および前記動的誤差の影響を受けている加工品の測定値の差に対応する誤差マップまたは誤差関数を生成する工程と、
(d)前記座標測定装置により、動的誤差を生じさせる前記速度で前記同等のワークピースを測定する工程と、
(e)当該同等のワークピースの測定値を前記誤差マップまたは誤差関数を用いて補正することで、動的誤差および静的誤差の双方を除去もしくは低減する工程と、
を適宜の順序で実行するように構成されている座標測定装置を提供する。
Claims (9)
- 同等の一連のワークピースを検査するための座標測定装置であって、各ワークピースと位置検出関係をもつ読み取り位置に移動可能なワークピース検出プローブを具え、
(a)前記ワークピースに近似した特徴、寸法および部位を有し、前記座標測定装置とは別の装置を用いて動的誤差の影響を受けない較正が行われた加工品を準備する工程と、
(b)前記座標測定装置を用い、前記ワークピース検出プローブを、動的誤差を生じさせる速度で前記加工品に対して移動させることで前記加工品を測定する工程であって、当該移動の速度が、当該加工品の測定に続いて前記一連のワークピースにおける同等のワークピースを測定するときにも適用される速度である当該工程と、
(c)前記別の装置を用いた、動的誤差の影響を受けていない前記加工品の較正値および前記動的誤差の影響を受けている加工品の測定値の差に対応する誤差マップまたは誤差関数を生成する工程と、
(d)前記座標測定装置により、動的誤差を生じさせる前記速度で前記同等のワークピースを測定する工程と、
(e)当該同等のワークピースの測定値を前記誤差マップまたは誤差関数を用いて補正することで、動的誤差および静的誤差の双方を除去もしくは低減する工程と、
を適宜の順序で実行するように構成されている座標測定装置。 - 前記加工品は、前記同等の一連のワークピースの内の一つのワークピースである請求項1に係る一連のワークピースを検査するための座標測定装置。
- 前記加工品は前記ワークピースと同じ表面処理が施されたものである請求項1または請求項2に係る一連のワークピースを検査するための座標測定装置。
- 前記加工品の表面処理は前記ワークピースの表面処理を模倣したものである請求項1または請求項2に係る一連のワークピースを検査するための座標測定装置。
- 前記座標測定装置は幾何学的誤差について補正されるものである請求項1ないし請求項4のいずれかに係る一連のワークピースを検査するための座標測定装置。
- 前記座標測定装置は幾何学的誤差について補正されないものである請求項1ないし請求項4のいずれかに係る一連のワークピースを検査するための座標測定装置。
- 前記加工品に対して部分座標系がセットアップされ、該部分座標系内に前記ワークピースの誤差データおよび測定値がストアされる請求項1ないし請求項6のいずれかに係る一連のワークピースを検査するための座標測定装置。
- 前記ワークピース検出プローブが接触プローブである請求項1ないし請求項7のいずれかに係る一連のワークピースを検査するための座標測定装置。
- 前記ワークピース検出プローブが非接触プローブである請求項1ないし請求項7のいずれかに係る一連のワークピースを検査するための座標測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GBGB0205332.0A GB0205332D0 (en) | 2002-03-06 | 2002-03-06 | Dynamic artefact comparison |
GB0205332.0 | 2002-03-06 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003573382A Division JP2005519277A (ja) | 2002-03-06 | 2003-03-06 | 動的な加工品比較法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012198241A JP2012198241A (ja) | 2012-10-18 |
JP5425267B2 true JP5425267B2 (ja) | 2014-02-26 |
Family
ID=9932465
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003573382A Pending JP2005519277A (ja) | 2002-03-06 | 2003-03-06 | 動的な加工品比較法 |
JP2012138707A Expired - Fee Related JP5425267B2 (ja) | 2002-03-06 | 2012-06-20 | 座標測定装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003573382A Pending JP2005519277A (ja) | 2002-03-06 | 2003-03-06 | 動的な加工品比較法 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7079969B2 (ja) |
EP (2) | EP1528355B1 (ja) |
JP (2) | JP2005519277A (ja) |
CN (1) | CN1295484C (ja) |
AT (1) | ATE289407T1 (ja) |
AU (1) | AU2003216997A1 (ja) |
DE (1) | DE60300331T3 (ja) |
GB (1) | GB0205332D0 (ja) |
WO (1) | WO2003074968A1 (ja) |
Families Citing this family (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6990743B2 (en) * | 2002-08-29 | 2006-01-31 | Micron Technology, Inc. | Process for monitoring measuring device performance |
GB0228371D0 (en) * | 2002-12-05 | 2003-01-08 | Leland E C E | Workpiece inspection method |
GB0322115D0 (en) | 2003-09-22 | 2003-10-22 | Renishaw Plc | Method of error compensation |
GB0322362D0 (en) * | 2003-09-24 | 2003-10-22 | Renishaw Plc | Measuring methods for use on machine tools |
EP1596160A1 (en) * | 2004-05-10 | 2005-11-16 | Hexagon Metrology AB | Method of inspecting workpieces on a measuring machine |
FR2871228B1 (fr) * | 2004-06-08 | 2006-09-15 | Equip Et Services De Process I | Procede et dispositif de mesure tridimensionnelle |
US7320911B2 (en) * | 2004-12-06 | 2008-01-22 | Micron Technology, Inc. | Methods of forming pluralities of capacitors |
GB2425840A (en) | 2005-04-13 | 2006-11-08 | Renishaw Plc | Error correction of workpiece measurements |
CN101427100B (zh) * | 2006-04-21 | 2012-05-30 | 瑞尼斯豪公司 | 误差校正方法 |
GB0608235D0 (en) * | 2006-04-26 | 2006-06-07 | Renishaw Plc | Differential calibration |
JP5203028B2 (ja) * | 2007-05-30 | 2013-06-05 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定機構の異常検出方法及び形状測定機構 |
CN101821582B (zh) * | 2007-06-28 | 2013-04-17 | 海克斯康测量技术有限公司 | 用于确定测量机中的动态误差的方法 |
US7912572B2 (en) * | 2007-09-20 | 2011-03-22 | General Electric Company | Calibration assembly for an inspection system |
FR2930818B1 (fr) * | 2008-04-30 | 2010-06-18 | Peugeot Citroen Automobiles Sa | Procede de determination de la precision d'un capteur de mesure de forme |
US7905031B1 (en) * | 2009-03-06 | 2011-03-15 | Florida Turbine Technologies, Inc. | Process for measuring a part |
US7905027B2 (en) * | 2009-07-01 | 2011-03-15 | Hexagon Metrology, Inc. | Method and apparatus for probe tip diameter calibration |
GB201003363D0 (en) | 2010-03-01 | 2010-04-14 | Renishaw Plc | Measurement method and apparatus |
KR101126808B1 (ko) * | 2010-03-02 | 2012-03-23 | 경북대학교 산학협력단 | 다축 제어 기계의 오차 평가 방법 및 장치 |
GB201003599D0 (en) | 2010-03-04 | 2010-04-21 | Renishaw Plc | Measurement method and apparatus |
EP2492635B1 (de) * | 2011-02-22 | 2013-05-29 | Siemens Aktiengesellschaft | Kalibrierverfahren für einen kugelförmigen Messtaster |
GB201113715D0 (en) | 2011-08-09 | 2011-09-21 | Renishaw Plc | Method and apparatus for inspecting workpieces |
TWI515455B (zh) * | 2011-11-10 | 2016-01-01 | 鴻海精密工業股份有限公司 | 星型探針量測校正系統及方法 |
US20170363403A1 (en) * | 2012-03-21 | 2017-12-21 | Renishaw Plc | Method and apparatus for inspecting workpieces |
GB201204947D0 (en) * | 2012-03-21 | 2012-05-02 | Renishaw Plc | Method and apparatus for inspecting workpieces |
CN103377300A (zh) * | 2012-04-27 | 2013-10-30 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 探针校准路径模拟***及方法 |
JP6325768B2 (ja) * | 2012-12-27 | 2018-05-16 | 川崎重工業株式会社 | 計測システム、及びその計測方法 |
GB201308467D0 (en) | 2013-05-10 | 2013-06-19 | Renishaw Plc | Method and Apparatus for Inspecting Workpieces |
EP3189302B1 (en) | 2014-09-02 | 2021-03-24 | Renishaw Plc. | Coordinate measuring method and apparatus for inspecting workpieces, comprising generating measurement correction values using a reference shape that is known not to deviate substantially from a perfect form |
US10331105B2 (en) * | 2015-08-07 | 2019-06-25 | Spm Automation (Canada) Inc. | Machine for self-adjusting its operation to compensate for part-to-part variations |
CN105423919B (zh) * | 2015-12-18 | 2018-01-02 | 重庆德新机器人检测中心有限公司 | 利用固液相快速转换材料投影成像检测机器人精度的方法 |
DE102016206986B4 (de) * | 2016-04-25 | 2020-10-29 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Rundheit-Formmessabweichung sowie Lehrring |
EP3715977A1 (en) | 2019-03-27 | 2020-09-30 | Renishaw PLC | Calibration method and method of obtaining workpiece information |
JP2020159911A (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | 三菱日立パワーシステムズ株式会社 | ゲージ、その製造方法、形状測定機の精度評価方法、及び測定データの補正方法 |
TWI754888B (zh) * | 2020-01-21 | 2022-02-11 | 財團法人工業技術研究院 | 校準方法及校準系統 |
CN112082512B (zh) * | 2020-09-08 | 2023-04-14 | 深圳广成创新技术有限公司 | 一种相位测量偏折术的标定优化方法、装置及计算机设备 |
JP6917096B1 (ja) | 2020-12-25 | 2021-08-11 | リンクウィズ株式会社 | 情報処理方法、情報処理システム、プログラム |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6123906A (ja) * | 1984-07-13 | 1986-02-01 | Toyota Motor Corp | ワークの偏差測定装置 |
GB8705301D0 (en) * | 1987-03-06 | 1987-04-08 | Renishaw Plc | Calibration of machines |
GB8713715D0 (en) * | 1987-06-11 | 1987-07-15 | Renishaw Plc | Workpiece inspection method |
US5257460A (en) * | 1991-06-18 | 1993-11-02 | Renishaw Metrology Limited | Machine tool measurement methods |
US5426861A (en) * | 1993-04-19 | 1995-06-27 | Advanced Metrological Development | Method and apparatus for inspecting parts for dimensional accuracy outside a laboratory environment |
JPH07204991A (ja) * | 1994-01-13 | 1995-08-08 | Japan Small Corp | 変位検出形測定ヘッドを用いた測定システム |
DE59510796D1 (de) * | 1994-05-27 | 2003-10-23 | Zeiss Carl | Koordinatenmessung an Werkstücken mit einer Korrektur des durch die Messkraft abhängigen Biegeverhaltens des Koordinatenmessgerätes |
DE4436507A1 (de) * | 1994-10-13 | 1996-04-18 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur Koordinatenmessung an Werkstücken |
DE19539148A1 (de) * | 1995-10-20 | 1997-04-24 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur Koordinatenmessung von Werkstücken |
JPH10111126A (ja) * | 1996-10-03 | 1998-04-28 | Nissan Motor Co Ltd | 計測部材補正付き距離検出装置 |
US6131301A (en) * | 1997-07-18 | 2000-10-17 | Renishaw Plc | Method of and apparatus for measuring workpieces using a coordinate positioning machine |
DE19830646C2 (de) † | 1998-07-09 | 2003-11-27 | Leitz Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Korrektur von geometrischen Ablauffehlern einer Koordinatenmeßmaschine |
JP3474448B2 (ja) * | 1998-09-01 | 2003-12-08 | 株式会社リコー | 座標軸直角度誤差の校正方法及び三次元形状測定装置 |
JP2000081329A (ja) * | 1998-09-04 | 2000-03-21 | Nikon Corp | 形状測定方法及び装置 |
GB9907868D0 (en) * | 1999-04-08 | 1999-06-02 | Renishaw Plc | Method of calibrating a scanning system |
DE10050795C2 (de) * | 1999-12-23 | 2002-11-07 | Klingelnberg Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Scannen auf einem Koordinatenmessgerät |
JP3851046B2 (ja) * | 2000-01-18 | 2006-11-29 | 株式会社ミツトヨ | 測定機の真直精度補正方法および測定機 |
-
2002
- 2002-03-06 GB GBGB0205332.0A patent/GB0205332D0/en not_active Ceased
-
2003
- 2003-03-06 CN CNB03805194XA patent/CN1295484C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2003-03-06 JP JP2003573382A patent/JP2005519277A/ja active Pending
- 2003-03-06 US US10/498,124 patent/US7079969B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-03-06 AT AT03712319T patent/ATE289407T1/de not_active IP Right Cessation
- 2003-03-06 WO PCT/GB2003/000961 patent/WO2003074968A1/en active IP Right Grant
- 2003-03-06 DE DE60300331T patent/DE60300331T3/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-03-06 EP EP05002765.5A patent/EP1528355B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-03-06 AU AU2003216997A patent/AU2003216997A1/en not_active Abandoned
- 2003-03-06 EP EP03712319A patent/EP1446636B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2012
- 2012-06-20 JP JP2012138707A patent/JP5425267B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE60300331T2 (de) | 2005-06-30 |
EP1446636A1 (en) | 2004-08-18 |
WO2003074968A1 (en) | 2003-09-12 |
CN1295484C (zh) | 2007-01-17 |
DE60300331D1 (de) | 2005-03-24 |
GB0205332D0 (en) | 2002-04-17 |
ATE289407T1 (de) | 2005-03-15 |
EP1528355A3 (en) | 2005-08-17 |
EP1528355B1 (en) | 2017-09-27 |
JP2012198241A (ja) | 2012-10-18 |
AU2003216997A1 (en) | 2003-09-16 |
EP1446636B2 (en) | 2011-12-14 |
EP1528355A2 (en) | 2005-05-04 |
EP1446636B1 (en) | 2005-02-16 |
DE60300331T3 (de) | 2012-02-09 |
JP2005519277A (ja) | 2005-06-30 |
CN1639541A (zh) | 2005-07-13 |
US20050005465A1 (en) | 2005-01-13 |
US7079969B2 (en) | 2006-07-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5425267B2 (ja) | 座標測定装置 | |
JP4504818B2 (ja) | 加工物検査方法 | |
JP2527996B2 (ja) | 加工物検査方法および装置 | |
US7543393B2 (en) | Method of calibrating a scanning system | |
JP5069287B2 (ja) | 誤差補正の方法 | |
JP3827548B2 (ja) | 倣いプローブの校正方法および校正プログラム | |
US7318284B2 (en) | Method of calibrating a scanning system | |
JP2010032474A (ja) | 形状測定装置、及び形状測定方法 | |
JP7113814B2 (ja) | 物体を測定するための方法および装置 | |
CN106796095B (zh) | 操作坐标测量设备的方法、坐标测量设备和计算机程序 | |
JP6197261B2 (ja) | 測定機の校正方法及びその装置 | |
KR101823052B1 (ko) | 자동 선반 가공 후 자동 보정을 위한 가공물 측정 방법 | |
EP3101384B1 (en) | Calibration method for calibrating the drive axis of a machine tool | |
Traylor | CMM Gaging |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130402 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130628 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130703 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131002 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131029 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131126 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5425267 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |