JP5417737B2 - 慣性力センサ - Google Patents
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Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
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Description
34 ICチップ
35 基板
36 コンデンサ
38 パッケージ
39 蓋部
40 載置部
41 接続部
42 金属配線パターン
47 段差部
48 入出力電極
50 入出力電極
54 ワイヤ
55 金属バンプ
Claims (4)
- 慣性力を検出する素子と、前記素子から出力される出力信号を処理するICチップと、前記素子および前記ICチップを載置した基板と、前記素子および前記ICチップおよび前記基板を収納するパッケージを備え、
前記ICチップは表面または裏面のいずれか一方の面に配置した入出力電極を有し、
前記素子は表面または裏面のいずれかの面に配置した入出力電極を有し、
前記基板の裏面に配置した金属配線パターンを有し、
前記ICチップの入出力電極と前記基板の金属配線パターンとをワイヤボンディングまたは金属バンプにより電気的に接続し、
前記ICチップの入出力電極と前記素子の入出力電極とをワイヤボンディングまたは金属バンプにより電気的に接続し、
前記パッケージは段差部を有し、
前記基板は、前記素子および前記ICチップを載置する載置部と、前記載置部の外周に配置した接続部と、を有し、
前記基板は、前記載置部を中空保持させつつ前記接続部を前記段差部に接続し、
前記パッケージの底面部と前記基板との間に前記段差部の高さ以下の電子部品を配置し、
前記載置部および前記接続部は絶縁フィルムで形成し、
前記載置部の裏面と前記接続部の裏面との間に前記金属配線パターンを接着配置し、
前記金属配線パターンはMgとCuの合金またはAlとCuの合金を用いた慣性力センサ。 - 前記基板の表面に前記ICチップを積層するとともに前記ICチップに前記素子を積層し、前記ICチップの入出力電極と前記基板の金属配線パターンとを前記ワイヤボンディングにより電気的に接続し、前記ICチップの入出力電極と前記素子の入出力電極とを前記金属バンプを介して電気的に接続した請求項1記載の慣性力センサ。
- 前記基板の表面に前記素子を積層するとともに前記基板の裏面に前記ICチップを積層し、前記ICチップの入出力電極と前記基板の金属配線パターンとを電極バンプを介して電気的に接続し、前記基板の金属配線パターンに設けた貫通孔を介して前記ICチップの入出力電極と前記素子の入出力電極とを前記ワイヤボンディングにより電気的に接続した請求項1記載の慣性力センサ。
- 前記ICチップと前記素子と前記基板とは、互いに重畳するように、液状樹脂を介在させて硬化させた請求項1記載の慣性力センサ。
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