JP5417517B2 - ディンプル位置検出装置 - Google Patents
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Description
図1に示すハードディスク装置(HDD)10は、記録媒体としてのディスク11と、ヘッド部12を搭載する複数のディスク装置用サスペンション13と、これらサスペンション13を取付けるアーム(アクチュエータアーム)14などを備えている。ヘッド部12は、ディスク11の記録面に情報を磁気的に書込んだり読取ったりする機能を担っている。
図4に示すステップS1においては、前記照明装置55からサスペンション13のディンプル33付近に向ってディンプル33の裏側から照明光を照射し、その反射光を撮像素子53によって撮像する。
20…ロードビーム
23…フレキシャ
24…タング部
33…ディンプル
50…ディンプル位置検出装置
54…カメラ(撮像装置)
55…照明装置
60…画像処理部
61…表示部
Claims (1)
- ディスク装置用サスペンションのロードビームに形成されたディンプルの位置を検出する装置であって、前記ディンプルは椀形に凹んだ形状の裏面を有し、
前記装置は、前記ディスク装置用サスペンションを保持するためのワーク固定治具を有し、該ワーク固定治具によって保持される前記サスペンションは、前記ロードビームと、該ロードビームに固定され前記ディンプルの頂点が接するタング部を備えたフレキシャとを有し、
前記ワーク固定治具によって保持された前記サスペンションの前記ディンプルの前記裏面に向けて照明光を前記ディンプルの軸線に沿って照射する照明装置と、
前記ディンプルの前記裏面で反射し前記ディンプルの頂点の位置に対応したピークを有する反射光を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置によって撮像された画像を処理する画像処理部とを有し、
前記画像処理部は、
前記反射光の画像を二値化する手段と、
前記二値化によって得られた光点領域の面積が所定値となるよう二値化レベルを変化させる手段と、
前記光点領域の面積が前記所定値に達した状態において前記光点領域に基いてディンプル頂点の位置を求める手段と、
前記二値化レベルを最小値まで下げても該二値化レベルを越える光点領域の面積が所定値を超えない場合にエラー処理をする手段と、
を具備したことを特徴とするディンプル位置検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012228032A JP5417517B2 (ja) | 2012-10-15 | 2012-10-15 | ディンプル位置検出装置 |
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JP2012228032A JP5417517B2 (ja) | 2012-10-15 | 2012-10-15 | ディンプル位置検出装置 |
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JP2008153118A Division JP5153466B2 (ja) | 2008-06-11 | 2008-06-11 | ディンプル位置検出方法 |
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JP2013011628A JP2013011628A (ja) | 2013-01-17 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2816240B2 (ja) * | 1990-06-18 | 1998-10-27 | 株式会社日立製作所 | 高さ測定方法 |
JP3299193B2 (ja) * | 1998-08-21 | 2002-07-08 | 日本電気株式会社 | バンプ検査方法/装置、情報記憶媒体 |
JP2005038178A (ja) * | 2003-07-15 | 2005-02-10 | Mega Trade:Kk | 検査対象物の基準マーク検査装置 |
JP3828532B2 (ja) * | 2003-10-29 | 2006-10-04 | Tdk株式会社 | 検査装置および検査方法 |
JP2005164579A (ja) * | 2004-10-29 | 2005-06-23 | Alps Electric Co Ltd | 境界線の位置の検出方法およびこの検出方法を用いた磁気ヘッドの位置決め方法および位置決め装置 |
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JP2013011628A (ja) | 2013-01-17 |
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