JP5416226B2 - 弾性膜および流体制御部を備えたポンプ - Google Patents

Description

本発明は、流体的に制御される膜ポンプに関し、より具体的にはピストンと膜との間に存在する中間室内の液体を適切な体積に維持するためのデバイスに関する。

中間室内に存在する液体の体積が減少するのは、次の３つの主要な理由のためである。すなわち、漏洩の発生、ポンプ性能に影響する溶解気体の存在、および過剰圧力の場合に流体を吐出できるようにする安全弁の存在である。

したがって、このタイプのポンプによれば、一般的に補助タンクから当該中間室に補給する補給システムを設ける必要がある。補償システムと称されるこのシステムは、あらゆる作動条件下において、膜を損傷するリスクまたは流れを阻害するリスクを冒すことなく、ピストンによって掃かれるシリンダ容量に対応する距離にわたって膜が移動できるように、中間室内の液体の体積を維持すべきである。

公知の補給デバイスは２つの主要なタイプのもの、すなわち自動式デバイスまたは制御式デバイスである。自動式デバイスは、或るレベルの減圧に対してタンクから中間室までを開放する単純な定格吸引弁によって構成される。制御デバイスは、膜の動作によって機械的に開放されるとともに膜が極限の後方位置に在るときのみに補給が行われうるようにする、１つまたは２つ以上の弁を備えている。

いずれの場合も、膜は顕著な剛性または弾性を呈することなく変形可能であり、それによりポンプの吸込レベルが中間室内の圧力の関数になる。このような条件下において、自動式システムは、ポンプの吸込能力が、ピストンポンプのそれと比較して大きく低下する不利益を被る。なぜなら、中間室内でキャビテーションが起こる前において可能な限り遅く弁が開放されるとともに、その開放動作が生じた時点で直ちに吸込動作が終了されるように、弁を定格化する必要があるからである。膜が全吸込行程にわたって移動しなかった場合、ポンプのシリンダ容量が影響を受ける。

或る公知の制御システムは、固定弁座と協働する弁を備えており、補給ダクトがこの弁座を通じて中間室まで開放されており、弁はバネによって弁座に対して付勢されるとともに、ポンプ吸込行程の端部を越えて移動する傾向がある場合には膜によって開放される。ほとんどの状況において、膜は、実質的に剛性を有さずに可撓性を呈する。

或る低流量ポンプにおいて、用いられる膜は弾性変形可能な半球または錐体の形態を有していて、高い剛性を呈するとともに、吸込行程の端部に対応する静的形状（ｒｅｓｔ ｓｈａｐｅ）の記憶能力を有しており、圧力が中間室内に存在しなくなったときに、膜は静的形状に弾性的に戻る。

かかるポンプのシリンダ容量が小さいことは、補給機能を実行する公知のデバイスを単純に置き換えることを妨げている。したがって、補償システムをかかるポンプが動作する特定の状況に適応させるのが適切である。本発明は、この適応をなして作動室を補償する回路の小型化につながるとともに、利点、特に大流量を呈するポンプにおける寸法の小形化をもたらす。

したがって、本発明によると、流体的に制御される膜ポンプであって、当該ポンプの吸込行程の端部における状態に対応する静的形状から弾性変形可能な膜によって形成される可動壁部とともに、ポンプヘッドとポンプ本体との間に形成されるポンプ室と、前記膜と同じ高さの前記ポンプ室に隣接して前記ポンプ本体に形成される定積流体中間室とを備え、該中間室は、該中間室内部において往復運動を伴って駆動されるピストンを具備しており、さらに、前記中間室からの漏洩を補償する漏洩補償体積部を備え、前記中間室は、定格化されていなくて流体を作動室に向かって通過せしめる解放された逆止弁を介して、補給チャネルによって前記補償体積部に連結されている、ポンプにおいて、前記逆止弁と、前記漏洩補償体積部の少なくとも一部とが、前記ポンプの動作位置における前記流体中間室の高所において、前記ポンプ本体に嵌合される被嵌合体内に収容されることを特徴とする、ポンプが提供される。

組立上の理由から、前記被嵌合体は、２つの部分、すなわち解放された前記逆止弁の弁座を担持する下方仕切要素と、前記仕切要素を保持するとともに補償体積部のタンクおよびその閉塞部を形成する、保持要素とからなる。

中間室（または作動室）の体積は、往復運動するピストンの端部によって掃かれる主体積と、ポンプ本体が、作動室を形成するように一緒に組立てられる複数の部品から構成される故に存在する機能的空間部、および極めて短い補給ダクトによって形成される、より小さな副体積との間に分割される。したがって、この体積は、ポンプの動作に必要な最小限まで減少し、死体積が小さくなるとともに、高圧にさらされて変形して作動室の体積を変更する傾向のある、いかなる封止ガスケットも実用上設けられていない。作動室の副体積の部分を形成するチャネルは断面積が小さくてもよい。なぜなら、ここで用いられる流体は、何らの固体粒子をも含まず、かつ溶解気体をほとんど含まない非常に高品質なものだからである。

したがって、本発明によると、流体中間室に補給するのに必要な流体の補償体積部の容量を数立方センチメートルまで低減できる。補償体積部は、ポンプ本体内、例えば作動ピストンを案内する軸受面に隣接するポンプ本体の部分において、半径方向に設置されるタンクを形成することによって、この体積部の主要部分を含んでいる、被嵌合体と、作動ピストンを案内する軸受面の近傍に在るとともにタンクに連通している、大気圧における種々の機能的間隙およびチャネルとの間においても分割されている。

本発明の意味するところでは、解放された逆止弁は、復帰力が重力によってもたらされる場合に起こりうるように、逆止弁をその座部に対して付勢するいかなるバネからも完全に解放されていてもよいし、或いは、例えば重力の作用によって弁部材が弁座から離れて移動するようになっている場合において、重力の作用を補償する機能を有するバネによって閉塞作用が助勢される弁であってもよい。

さらに、作動室は、吐出チャネルを通って、作動室内の圧力が定格値を下回る場合にチャネルを閉塞する定格安全弁を介して補償体積部のタンクにも接続される。前述した被嵌合体は、この吐出チャネルを仕切要素における解放された弁に対して並列に備えている。

さらに、排出チャネルが、流体中間室と補償体積部のタンクとの間において定格安全弁に対して並列に設けられる。
被嵌合体の頂壁は透明であることに留意されたい。
有利には、安全弁が、作動室内の過剰圧力の存在を示唆するインジケータを構成する自由端を有するロッドを備えるのが有利である。

最後に、補償体積部の一部を形成する空間部がピストンとそのガイドスリーブとの間に設けられていて、ピストンとスリーブとの間の漏洩を収集する収集手段を形成する。
本発明の他の特徴および利点は、本発明の実施形態の以下の説明から分かるであろう。

本発明のポンプを機能的に示す図である。 図１のポンプの第１の実施形態の断面図である。 図２の部分拡大図である。 本発明の好適な変更実施形態の部分拡大図である。

添付図面を参照する。
図１を参照すると、膜２と協働してポンプ室３を形成するポンプヘッド１を備えた、流体的に制御されるポンプヘッドが分かる。膜２は、ポンプの吸込行程の端部における形状に対応する静的形状（図示された形状）から弾性変形可能である。膜の剛性は、ポンプの吸込力が膜それ自体で静的位置に戻ろうとする能力によって定まるようになっている。より具体的には、ポンプは小流量でかつ中圧または高圧のポンプである。

ポンプ室は、吸込チャネル４および移送チャネル５を介して外部に接続されており、これら吸込チャネル４および移送チャネル５には、バルブボックス６，７に内包される逆止弁がそれぞれ嵌合されている。

膜は、ポンプの本体９に形成される中間流体室８の変形可能な壁部を構成している。ピストン１０は、公知であるモータおよびトランスミッションによって機械的に駆動されて中間室８において往復運動する。中間室８の体積は理論的には一定であり、ピストン１０によって掃かれる中間室内の体積は、ポンプ室３の体積の変動分に対応する。室内に含まれる流体は実際に非圧縮性の流体であるものの、ピストンと、ピストンの往復運動をポンプ本体内部で案内する案内部との間で漏洩する結果として、流体の体積が変動する。さらに、作動流体は、作動流体がさらされる加圧−減圧のサイクルに際して放出された溶解気体を含有している。最後に、安全弁は、ポンプ室において閉塞作用が生じた場合に、流体を中間室から排出できるようになっている。したがって、中間室８の体積は一定でなく、ピストン１０の吸込行程の間に十分な量の流体を吸い込ませることによって、失われた流体を補償する対策を講じるのが適切である。

この目的のため、中間室８が、２つのチャネル１２ａ，１２ｂを介して補償タンク１１に連通している。チャネル１２ａは、作動室を補償タンク１１に接続する補給チャネルである。チャネル１２ａは解放された逆止弁１３を備えている。すなわち、この弁部材は拘束されずに弁座に落ち込むようになっているか、または非常に弱い補助バネによって弁座に対して付勢されている。流れ方向は補償タンク１１から中間室８に向かっている。

チャネル１２ｂは吐出チャネルであり、前述した中間室８用の安全弁を構成する定格弁１５を備えている。この弁は、中間室８内の圧力が、例えばネジ１６によって弁の定格を調整することによって調整可能な閾値を超えた場合に、流体を中間室８から補償タンク１１まで通過させる。中間室８内に含まれる気体を排出するための排出路は、例えばチャネル１４によって表わされるように、安全弁１５に対して並列に設けられうる。

ピストン１０の後方への行程によって、膜３が静的位置まで弾性的に復帰できることが理解されうる。ピストンが後方死点に到達する前に膜が静的位置に到達した場合には、吸込作用が中間室８において発生し、タンク１１から逆止弁１３を介して或る体積の液体が吸い込まれるようになる。さらに、ポンプが動作している際において、中間室８の作動流体に含まれる気体は、圧縮サイクルおよび吸込サイクルの間、チャネル１４を介して連続して排出される。念のため、気体が中間室の高所へ自然に集積されることを利用して、チャネル１２ａが中間室８の上方に配置されている。最後に、ポンプ室において閉塞作用が生じた場合、中間室８内の流体はチャネル１２ｂを通って、タンク１１まで開放されている安全弁１５を介して排出されうる。

流れ方向において逆止弁１３の下流に位置するチャネル１２ａの部分は、従来技術に係るポンプにおいて、ポンプのシリンダ容量の損失を補償する必要性を満足するのに寄与する。チャネルのこの部分は、継手によって一緒に連結された独立のパイプの形態をなして一般に形成されているものの、流体は、ポンプが動作している際に圧力変動にさらされるとともに、この流体が小流量ポンプの作動室の体積と比較して大きな体積を呈すると仮定すると、これら継手はこれらパイプに含まれる流体の漏洩を生じさせる。

本発明は、強化された封止作用のもと限定される流体の「死」容積を最小化して、ポンプの作動室における補償の必要性を低下させることを１つの利点とする、構造上の対策に関する。

図２および図２Ａは前述したような所定の要素を示しており、それら要素には同一の参照符号が付されている。ピストン１０はポンプ本体９に嵌合されるガイドスリーブ１７に褶動可能に取付けられ、それによりこのガイド１７がガイド１７を受容するポンプ本体９と協働して、環状空間１８を中間室８の近傍に形成しており、この環状空間１８は中間室８に開放されているとともに、チャネル１２ａの一部または中間室８の一部を形成している。
この実施形態において、スリーブ１７はピストン１０とも協働し、作動液体の漏洩分を収集する収集室１９を形成している。

中間室８、環状空間１８および収集室１９は、チャネル２０，２１によって、ポンプ本体９に形成されたキャビティ２２まで接続されており、このキャビティ２２内には、筒状仕切要素２３が収容されている。キャビティ２２内のこの仕切要素は室２４を形成しており、漏洩収集室１９から延びているチャネル２０がこの室２４に対して開放されている。

筒状仕切要素２３の底部は、室２４に連通する中央チャネル２５を有している。このチャネルは、仕切要素のハウジング２６に対して開放されており、安全弁１５がこのハウジング２６に収容されている。この安全弁１５の弁座は、チャネル２５の出口周りのハウジング２６の底部によって構成されている。この弁座の上方において、安全弁１５が環状室２７をハウジング２６内に形成しており、仕切要素２３に形成されたチャネル２１の延長部２８が、このハウジング２６に対して開放されている。

安全弁１５に形成された室２９は、逆止弁１３が備え付けられたチャネル３０を介してチャネル２５に、ひいては室２４に連通しており、この逆止弁は流体を室２４から室２９に向けて通過させる。

この実施形態における逆止弁１３は、チャネル３０から室２９への出口において定格弁１５によって担持される弁座に対して移動するボールを有する弁であることが分かる。この逆止弁の行程は、安全弁１５に収容された隣接部１３ａによって制限される。この室２９は、ボールの上方かつ隣接部１３ａの下方に在る。

環状室２７は、安全弁１５の本体を貫通するチャネル２９ａを介して室２９に常時連通している。ハウジング２６の底部に対向する安全弁１５の端部は円錐形であり、それにより、室２９内、ひいては中間室８内に存在する圧力が室２７ａにも存在しうるとともに、その圧力が安全弁１５の大きな作動領域に対して付与されうるようになる。環状室２７の上方において、安全弁１５がハウジング２６内を褶動する。
仕切要素２３の内部において、安全弁１５はバネＲによってその弁座に対して付勢されている。

筒状要素３１は補償タンク３４の筐体を形成していて、キャビティ２２のネジ形成部２２ａにねじ込まれて協働し、それにより、仕切要素２３をキャビティ底部において堅固に保持している。この筒状要素は、穿孔された横断仕切部３２を担持しており、この横断仕切部３２は、安全弁１５の復帰バネの定格を調整するためのネジ１６を支持している。
したがって、バネＲは、補償体積部１１の主要部である補償タンク３４を構成している筒状要素３１の内部空間において、ネジ１６と安全弁１５との間に延在している。

仕切要素２３に形成されたチャネル３３は、補償タンク３４を室２４まで常時接続している。ガスケット３５はチャネル２１とチャネル２８との間の連結部に設けられている。

取外し可能な透明カバー３６が組立体の頂部に嵌合されていて、補償体積部を閉塞するとともに、必要に応じて油を付加できるように、また、ポンプの動作に際して種々の確認を行えるようにもするように補償体積部へのアクセスを付与している。作動油の高さ、すなわち中間流体室および補償体積部内に含まれる流体の高さは、穿孔された仕切部３２の上方に機能的に在るように調整される。

逆止弁１３の下流に在る補給チャネル１２ａの一部（図１参照）が、ここでは室２９、孔２９ａ、チャネル２８およびチャネル２１を備えているとともに、吐出チャネル１２ｂの上流部分が、前述したチャネルおよび空間に加えて室２７および室２７ａをも備えていることに留意すべきである。補償体積部は、大気圧の流体回路のすべての部位、すなわち室１９，２４、チャネル２０，２５，３０，３３、体積部３４およびオリフィスから構成される。

この実施形態における排出チャネル１４は、逆止弁１３の隣接部１３ａと安全弁１５の内面との間に存在する円筒状の機能的間隙によって、および安全弁１５と仕切要素２３のハウジング２６との間に存在する機能的間隙によって構成される。

動作に際して、ピストン１０が吸込方向Ａに移動すると、膜が静止状態に向かって弾性的に戻れるようになる。一般に、中間室８内の圧力は大気圧よりも大きい。しかしながら、中間室８内の液体の体積は、作動室内の体積（当然ながら、流体が常時漏洩することおよび排出作用の結果として、中間室８に自由に連通するすべての補助チャネルおよび補助室の体積分を加えた体積）より小さくてもよい。このような状況において、ピストンの吸込行程の最後の部分によって、室内における圧力低下を生ぜしめ、逆止弁１３が開放されうる。したがって、追加の液体が中間流体室８へと進入可能になり、ポンプのシリンダ容量が保たれる。したがって、補償流量が、必要なときに流体室に供給される。

移送行程（図面における方向Ｃ）の間、中間室８内の圧力は非常に高く、それにより逆止弁１３が閉塞されるようになる。漏洩が生じるのは、この行程の部分の間である。圧力が安全弁１５の定格に対応する臨界値よりも高い場合、この安全弁１５の弁部材が開放され、過剰な圧力がダクト２５，２４，３３を通って仕切要素２３上方の空間部３４へと吐出される。補償タンク３４の表面の油に結果的に生じる乱流が、操作者によってこの異常を示すものとして観測される。この実施形態において必要な場合には、作動流体は、ポンプの各行程において、逆止弁１３の隣接部１３ａと安全弁１５の弁部材との間に存在する毛細管１４に沿って排出される。

図３は、本発明に係る変更した好適な実施形態を示す。この実施形態の相違点は、ポンプ本体９に嵌合される被嵌合体に関する。仕切要素２３は、２つの直列のボール型逆止弁４０，４１を担持している。これら逆止弁は、もはや安全弁１５の本体内部に設けられていない。チャネル２８によって延長されるチャネル２１は、第２の逆止弁４１の周りに位置する室２９の部分２９ｂに連通している。室２９は要素２３の上方に位置しているとともに、スライダ４２の安全弁１５の弁部材の座ぐり面のように抉られて開口しており、室２９の高所から延在するチャネル４３が形成されている。

過剰圧力の作用のもと、スライダは復帰バネＲの作用に抗して上昇する。過剰圧力は作動室８内に発生しうる圧力であり、チャネル２１，２８を通って室２９に到達する。スライダ４２はもはや安全弁に適切に伝えられず（ｎｏ ｌｏｎｇｅｒ ｐｒｏｐｅｒｌｙ ｓｐｅａｋｉｎｇ）、過剰圧力の流体がこの安全弁を通過する。スライダを内部において摺動可能に案内する要素３１とともに、スライダは拡大室を構成する体積可変の容量部を構成しており、チャネル内の圧力をバネＲの定格化によって設定される圧力に制限している。バネＲは、スライダ４２を仕切要素２３に対して押圧するよう付勢されており、以て室２９の体積を最小化している。機能的間隙が、スライダ４２と要素３１との間において、チャネル４３からの出口における排出チャネル１４として作用する。

この実施形態を図１の実施形態と比較すると、チャネル１２ａの加圧部分は、チャネル２１，２８と、部分２９ｂ（さらに、ブラインドチャネル（ｂｌｉｎｄ ｃｈａｎｎｅｌ）４３の体積部）を有する室２９とを備えており、それとともに、チャネル１２ｂの加圧部分は、チャネル２８，４３および空間部２９ｂ，２９を備えており、空間部２９，２９ｂは可変体積空間である。

最後に、有色でもよく、かつ作動室内の過剰圧力、ひいてはポンプの異常動作を示唆するインジケータを構成する端部４４ａを有するロッド４４が、スライダ４２に設けられていることが指摘されるべきである。操作者は、透明な窓部３６を介して、例えばポンプの移送回路が閉塞されていることを示唆する、この壁部下方におけるロッド４４の端部４４ａのいかなる破損（ｂｅａｔｉｎｇ）をも容易に観察できる。そうして、操作者は迅速に介入できる。このインジケータが視認可能であることを保証するために、安全弁を定格化するネジ１６が、この変更例においては中空ネジ１６ａに置換されている。

高圧および周期的な変動にさらされる流体の体積が、変形可能ではない壁部、すなわちＯリング型ガスケット３５以外に、いかなるガスケットをもチャネル２１とチャネル２８との間の結合部に備えていない壁部によって、制限されることが分かっている。この配列は、ポンプのシリンダ容量が長期間にわたって安定したままであることに寄与する。

この変更された実施形態は次のように動作する。流体が吸込行程の端部においてポンプの作動体積部から失われている場合には、室２９内の圧力は大気圧よりも低くなる。逆止弁４０，４１は開放されており、作動体積部に補給される。移送行程の間において、逆止弁４０，４１は、移送圧力によってそれらの弁座に対して押圧され、作動流体は作動室内に閉じ込められるよう保持されており、量が少なく、かつ続く吸込行程の間に補償される漏洩は無視される。

これら実施形態の１つの利点は組立体のコンパクトさにあり、補償室は、ポンプ本体に、主として補償弁および安全弁を内包する被嵌合体に形成される種々のハウジングの間で共有される。したがって、ピストンの作動方向に占められる空間が減少する。なぜなら、ピストンに作用するモータと作動室との間のポンプのケーシングに収容されるように従来は用いられていた補償体積部が、ここではケーシング外部に位置する体積部の主要部分を有しているからである。

さらに、円筒状仕切要素２３は２つの弁を収容しており、この円筒状仕切要素２３それ自体は、ピストン１０の軸線に対して直交して延在する、ポンプ本体の窪み２２に収容されている。補償機能、安全機能および排出機能、加えて表示機能は、ポンプ本体９の横方向の窪み２２においてカートリッジのように取付けられた組立体、すなわち円筒状仕切要素２３と、２つの逆止弁４０，４１と、バネＲと、補償体積部の主要タンク３４を閉塞する前記仕切要素をポンプ本体のキャビティ２２に固着する筒状要素３１とによってもたらされ、このカートリッジは、安全弁か、または拡大室内を摺動するスライダを定格化する定格化手段を担持するとともに、透明カバー３６によりデバイスの動作をモニタできるように、特にポンプの移送圧力を視覚的検査により判断できるできるようにしている。

Claims (10)

1. 流体的に制御される膜ポンプであって、
   当該膜ポンプの吸込行程の端部における状態に対応する静的形状から弾性変形可能な膜（２）によって形成される可動壁部とともに、ポンプヘッド（１）とポンプ本体（９）との間に形成されるポンプ室（３）と、
   前記膜（２）と同じ高さの前記ポンプ室（３）に隣接して前記ポンプ本体に形成される定積流体中間室（８）とを備え、該中間室（８）は、該中間室（８）内部において往復運動を伴って駆動されるピストン（１０）を具備しており、
   さらに、
   前記中間室（８）からの漏洩を補償する漏洩補償体積部（１１）を備え、前記中間室（８）は、流体を中間室（８）に向かって通過せしめる定格化されていなくて解放された逆止弁（１３）を介して、補給チャネル（１２ａ）によって前記補償体積部に連結されている、膜ポンプにおいて、
   前記逆止弁（１３）と、前記漏洩補償体積部の少なくとも一部（３４）とが、前記膜ポンプの動作位置における前記流体中間室（８）の高所において、前記ポンプ本体に嵌合される被嵌合体（２３，３１）内に収容されることを特徴とする、膜ポンプ。
2. 前記被嵌合体が２つの部分、すなわち解放された前記逆止弁（１３）の弁座を担持する下方仕切要素（２３）と、前記仕切要素を保持するとともに前記補償体積部のタンクおよびその閉塞部を形成する、保持要素（３１）とからなることを特徴とする、請求項１に記載の膜ポンプ。
3. 前記被嵌合体（２３，３１）が吐出チャネルを形成し、該吐出チャネルは、圧力が定格値を下回るときに閉塞する定格安全弁（１５）を介して、かつ解放された前記逆止弁（１３）に対して並列に、前記中間室を前記補償体積部のタンク（３４）に接続することを特徴とする、請求項２に記載の膜ポンプ。
4. 排出チャネル（１４）が、前記流体中間室（８）と前記補償体積部（１１）の前記タンク（３４）との間において、前記定格安全弁（１５）に対して並列に設けられることを特徴とする、請求項１から３のいずれか１項に記載の膜ポンプ。
5. 解放された前記逆止弁（１３）の弁座が前記安全弁（１５）の本体によって担持されることを特徴とする、請求項１から４のいずれか１項に記載の膜ポンプ。
6. 前記弁（１３，１５）が、作動する前記ピストン（１０）の軸線に対して直交して向けられる共通の軸線上に位置することを特徴とする、請求項１から５のいずれか１項に記載の膜ポンプ。
7. 前記被嵌合体（２３，３１）が吐出チャネルを形成し、該吐出チャネルは、前記中間室（８）を解放された前記逆止弁（１３）に対して並列に拡大室（２９，２９ｂ）まで接続するとともに、前記拡大室の体積を減少させるように付勢するバネ（Ｒ）の作用を受けて前記保持要素（３１）において褶動するスライダ（４２）によって形成されることを特徴とする、請求項２に記載の膜ポンプ。
8. 前記補償体積部のタンク（３４）が、内容物を視覚的に検査できるようにする透明の外壁部（３６）によって閉塞されることを特徴とする、請求項１から７のいずれか１項に記載の膜ポンプ。
9. 前記補償体積部（１１）の一部（１９）が前記ピストン（１０）とその案内スリーブ（１７）との間に備え付けられ、前記ピストン（１０）と前記スリーブ（１７）との間に漏洩収集室（１９）を構成することを特徴とする、請求項１から８のいずれか１項に記載の膜ポンプ。
10. 前記安全弁（４２）が、前記中間室（８）における過剰圧力の存在を示唆するインジケータを構成する自由端（４４ａ）を有するロッド（４４）を備えることを特徴とする、請求項１から９のいずれか１項に記載の膜ポンプ。

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