JP5412328B2 - Manufacturing method for suspension for supporting magnetic head and suspension assembly used in the manufacturing method - Google Patents

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Description

本発明は、例えばパーソナルコンピュータなどの情報処理装置に内蔵される磁気ヘッド支持用サスペンションのための製造方法と、ロードビームブランクおよびフレキシャブランクを含むサスペンションアセンブリに関する。   The present invention relates to a manufacturing method for a suspension for supporting a magnetic head built in an information processing apparatus such as a personal computer, and a suspension assembly including a load beam blank and a flexure blank.

図４に、ハードディスク装置(Hard Disc Drive：略してＨＤＤ)１の一部が示されている。このディスク装置１のキャリッジ(Carriage)２は、ボイスコイルモータ(voice coil motor)等のポジショニング用モータ３によって、軸２ａを中心に旋回する。モータ３はマグネット４を含んでいる。キャリッジ２は、マグネット４の近傍に配置されたコイル部５と、アーム６と、サスペンション７と、磁気ヘッド８などによって構成されている。アーム（アクチュエータアームとも称される）６は、コイル部５に固定されている。サスペンション７はアーム６に取付けられている。磁気ヘッド８は、サスペンション７の先端部に配置されている。キャリッジ２をモータ３によって駆動することにより、磁気ヘッド８がディスク９の所望トラック（記録面）まで移動する。   FIG. 4 shows a part of a hard disk drive (Hard Disc Drive: HDD for short) 1. A carriage 2 of the disk device 1 is turned around a shaft 2a by a positioning motor 3 such as a voice coil motor. The motor 3 includes a magnet 4. The carriage 2 includes a coil portion 5 disposed in the vicinity of the magnet 4, an arm 6, a suspension 7, a magnetic head 8, and the like. An arm (also referred to as an actuator arm) 6 is fixed to the coil portion 5. The suspension 7 is attached to the arm 6. The magnetic head 8 is disposed at the tip of the suspension 7. By driving the carriage 2 by the motor 3, the magnetic head 8 moves to a desired track (recording surface) of the disk 9.

磁気ヘッド８は、スライダ１０と、スライダ１０に設けられたトランスジューサ（図示せず）を含んでいる。スライダ１０は、ディスク９の前記トラックと対向可能な位置に設けられている。ディスク９が高速回転すると、ディスク９の表面とスライダ１０との間にエアベアリングが形成されるとともに、スライダ１０がディスク９の表面から僅かに浮上する。この浮上高さがフライハイトと称されている。   The magnetic head 8 includes a slider 10 and a transducer (not shown) provided on the slider 10. The slider 10 is provided at a position that can face the track of the disk 9. When the disk 9 rotates at a high speed, an air bearing is formed between the surface of the disk 9 and the slider 10, and the slider 10 slightly floats from the surface of the disk 9. This flying height is called fly height.

図５に従来のサスペンション７´の一例が示されている。図６はサスペンション７´のジンバル部を示している。サスペンション７´は、ロードビーム(load beam)１１と、ロードビーム１１に固定されたフレキシャ(flexure)１２と、ベースプレート１３を有している。ロードビーム１１は、精密な薄板ばねからなる。フレキシャ１２は、ロードビーム１１よりも薄い板ばねからなる。ベースプレート１３は、ロードビーム１１の基部に固定されている。このロードビーム１１は、フレキシャ１２が固定されるビーム本体部１１ａと、ベースプレート１３が固定される基部１１ｂと、ヒンジ部１１ｃとを含んでいる。ヒンジ部１１ｃは、本体部１１ａと基部１１ｂとをつなぎ、ばねとしての役割を担っている。サスペンションの他の例では、前記本体部１１ａと、基部１１ｂと、ヒンジ部１１ｃとが互いに別体に形成されている。その場合には、本体部１１ａがロードビームと称され、基部１１ｂがベース部材、ヒンジ部１１ｃがヒンジ部材と称されている。   FIG. 5 shows an example of a conventional suspension 7 ′. FIG. 6 shows the gimbal portion of the suspension 7 '. The suspension 7 ′ has a load beam 11, a flexure 12 fixed to the load beam 11, and a base plate 13. The load beam 11 is made of a precise thin plate spring. The flexure 12 is made of a leaf spring that is thinner than the load beam 11. The base plate 13 is fixed to the base of the load beam 11. The load beam 11 includes a beam main body portion 11a to which the flexure 12 is fixed, a base portion 11b to which the base plate 13 is fixed, and a hinge portion 11c. The hinge portion 11c connects the main body portion 11a and the base portion 11b and plays a role as a spring. In another example of the suspension, the main body part 11a, the base part 11b, and the hinge part 11c are formed separately from each other. In this case, the main body portion 11a is called a load beam, the base portion 11b is called a base member, and the hinge portion 11c is called a hinge member.

フレキシャ１２の先端部に形成されたタング部１２ａに、スライダ１０が取付けられている。フレキシャ１２は、ディスク９に対してスライダ１０の浮上時の姿勢が変化できるようにするために、その剛性(stiffness)をかなり小さくしている。ロードビーム１１とフレキシャ１２とは、互いに厚み方向に重なった状態で、レーザ溶接等によって互いに固定される。図６に示すフレキシャ１２は導電部材１２ｂを備えている。いわゆる配線付フレキシャである。   A slider 10 is attached to a tongue 12 a formed at the tip of the flexure 12. The flexure 12 has a considerably small stiffness so that the posture of the slider 10 when it floats with respect to the disk 9 can be changed. The load beam 11 and the flexure 12 are fixed to each other by laser welding or the like in a state where they overlap each other in the thickness direction. The flexure 12 shown in FIG. 6 includes a conductive member 12b. This is a so-called flexure with wiring.

ロードビーム１１の先端部分にディンプル(dimple)１４が設けられている。ディンプル１４はスライダ１０に向かって突出する半球状の凸部であるが、ロードビーム１１の裏面側が窪んでいることから、当業界ではディンプルと称している。ディンプル１４の先端がフレキシャ１２のタング部１２ａに当接する。これにより、磁気ヘッド８は、ディンプル１４を中心として、ピッチング方向（図６に矢印Ｐで示す）と、ローリング方向（矢印Ｒで示す）などの三次元的な変位が可能となっている。なお、ディンプル１４は、ロードビーム１１に設ける代わりに、フレキシャ１２のタング部１２ａに設けることもある。   A dimple 14 is provided at the tip of the load beam 11. The dimple 14 is a hemispherical convex portion that protrudes toward the slider 10. However, since the back surface side of the load beam 11 is recessed, it is called a dimple in the industry. The tip of the dimple 14 abuts on the tongue 12 a of the flexure 12. Thereby, the magnetic head 8 can be displaced three-dimensionally around the dimple 14 in the pitching direction (indicated by the arrow P in FIG. 6) and the rolling direction (indicated by the arrow R). Note that the dimple 14 may be provided on the tongue 12 a of the flexure 12 instead of being provided on the load beam 11.

ロードビーム１１とフレキシャ１２とを固定する際には、ロードビーム１１とフレキシャ１２とを正確に位置決めする必要がある。従来はこの位置決めのために、ロードビーム１１とフレキシャ１２とにそれぞれ基準孔１５，１６（図７に示す）が形成されていた。これら基準孔１５，１６に、治具ピン１７が挿入される。ロードビーム１１とフレキシャ１２は、パッド１８と押さえ部材１９との間にクランプされる。このクランプ状態のもとで、ロードビーム１１とフレキシャ１２とが、レーザ溶接等によって互いに固定されていた。   When the load beam 11 and the flexure 12 are fixed, it is necessary to accurately position the load beam 11 and the flexure 12. Conventionally, for this positioning, reference holes 15 and 16 (shown in FIG. 7) are formed in the load beam 11 and the flexure 12, respectively. Jig pins 17 are inserted into these reference holes 15 and 16. The load beam 11 and the flexure 12 are clamped between the pad 18 and the pressing member 19. Under this clamped state, the load beam 11 and the flexure 12 were fixed to each other by laser welding or the like.

前記従来例においては、治具ピン１７が基準孔１５，１６に挿入される際に、ロードビーム１１やフレキシャ１２が、治具ピン１７によって傷付けられるおそれがある。これを防ぐために、治具ピン１７の外周面と基準孔１５，１６の内周面との間に、それぞれクリアランスが必要であった。その場合、図８に示されるように、治具ピン１７に対して基準孔１５，１６が、クリアランスＣ１，Ｃ２の分だけ左右方向に位置ずれを生じる可能性がある。つまりロードビーム１１とフレキシャ１２とは、最大で（Ｃ１＋Ｃ２）／２の中心ずれを生じる。   In the conventional example, the load beam 11 and the flexure 12 may be damaged by the jig pins 17 when the jig pins 17 are inserted into the reference holes 15 and 16. In order to prevent this, a clearance is required between the outer peripheral surface of the jig pin 17 and the inner peripheral surfaces of the reference holes 15 and 16. In that case, as shown in FIG. 8, there is a possibility that the reference holes 15 and 16 are displaced in the left-right direction by the clearances C <b> 1 and C <b> 2 with respect to the jig pin 17. That is, the load beam 11 and the flexure 12 cause a center misalignment of (C1 + C2) / 2 at the maximum.

ロードビーム１１とフレキシャ１２との間に前記位置ずれ（中心ずれ）が生じると、スライダ１０に働くモーメントにアンバランスが生じる。ディスク９に対するスライダ１０のフライハイト特性は、スライダ１０に働くモーメントに大きく影響されることが知られている。すなわち安定したフライハイト特性を得るためには、特にローリング方向のモーメントにアンバランスが生じないようにする必要がある。   When the position shift (center shift) occurs between the load beam 11 and the flexure 12, an unbalance occurs in the moment acting on the slider 10. It is known that the fly height characteristic of the slider 10 with respect to the disk 9 is greatly influenced by the moment acting on the slider 10. That is, in order to obtain a stable fly height characteristic, it is necessary to prevent unbalance particularly in the moment in the rolling direction.

ローリング方向のモーメントのアンバランスは、静的ロール角およびディンプル位置ずれに起因する。図９に示す例では、フレキシャ１２にディンプル１４が設けられている。この場合、ロードビーム１１に対するフレキシャ１２の中心ずれがそのままディンプル位置ずれΔＤとなり、モーメントにアンバランスが発生する。図１０に示す例では、ロードビーム１１にディンプル１４が設けられている。この場合、ロードビーム１１とフレキシャ１２との中心ずれがモーメントずれΔＭを引き起こす。このため、静的ロール角に起因するモーメントのアンバランスが発生する。   The unbalance of the moment in the rolling direction is caused by the static roll angle and the dimple position shift. In the example shown in FIG. 9, dimples 14 are provided on the flexure 12. In this case, the center shift of the flexure 12 with respect to the load beam 11 becomes the dimple position shift ΔD as it is, and an unbalance occurs in the moment. In the example shown in FIG. 10, dimples 14 are provided on the load beam 11. In this case, the center deviation between the load beam 11 and the flexure 12 causes a moment deviation ΔM. For this reason, moment imbalance resulting from the static roll angle occurs.

従って、安定したフライハイト特性を得るためには、ロードビーム１１とフレキシャ１２との中心ずれを極力小さくする必要がある。つまり、サスペンションを構成する部材どうしの相対位置（アライメント）が非常に重要である。特に、スライダを取付けるフレキシャの前記タング部とディンプルとの相対位置に関し、高いアライメント精度が求められている。しかし実際には、ロードビーム１１とフレキシャ１２との組付精度にばらつき等が存在するため、安定したフライハイト特性を得ることが難しいのが現状である。   Therefore, in order to obtain a stable fly height characteristic, it is necessary to reduce the center deviation between the load beam 11 and the flexure 12 as much as possible. That is, the relative position (alignment) between members constituting the suspension is very important. In particular, high alignment accuracy is required for the relative position between the tongue and the dimple of the flexure to which the slider is attached. However, in reality, there are variations in assembling accuracy between the load beam 11 and the flexure 12, and it is difficult to obtain a stable fly height characteristic.

ロードビーム１１とフレキシャ１２との相対位置関係がずれていると、以下に述べるような問題も生じる。近年は、ヘッドの小形化の要求に伴って、配設付きフレキシャ(suspension with conductors)が実用化されている。例えば図６に示されるように、導電部材１２ｂを有するサスペンションでは、電極パッド１２ｃがフレキシャ１２に取付けられている。このため、ロードビーム１１に対するフレキシャ１２の位置ずれは、電極パッド１２ｃの位置ずれの原因となる。この位置ずれにより、ヘッド８の端子８ａと電極パッド１２ｃとの接続に支障をきたすことがある。   If the relative positional relationship between the load beam 11 and the flexure 12 is deviated, the following problem also occurs. In recent years, suspension with conductors have been put into practical use in accordance with the demand for a smaller head. For example, as shown in FIG. 6, in the suspension having the conductive member 12 b, the electrode pad 12 c is attached to the flexure 12. For this reason, the positional deviation of the flexure 12 with respect to the load beam 11 causes the positional deviation of the electrode pad 12c. This misalignment may interfere with the connection between the terminal 8a of the head 8 and the electrode pad 12c.

日本の特開２０００−１６３９０４号公報（特許文献１）に、ロードビームとフレキシャとの位置決めが可能なサスペンションが開示されている。そのサスペンションでは、図１１に示されるように、ロードビーム１１とフレキシャ１２との一方に、一対の基準孔２０，２１が形成されている。そして他方には、凸縁２２ａ，２３ａを有する一対のバーリング加工孔２２，２３が形成されている。これらバーリング加工孔２２，２３の凸縁２２ａ，２３ａを基準孔２０，２１に挿入することにより、ロードビーム１１とフレキシャ１２との位置決めがなされる。   Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-163904 (Patent Document 1) discloses a suspension capable of positioning a load beam and a flexure. In the suspension, as shown in FIG. 11, a pair of reference holes 20 and 21 are formed in one of the load beam 11 and the flexure 12. On the other side, a pair of burring holes 22 and 23 having convex edges 22a and 23a are formed. By inserting the convex edges 22a and 23a of these burring holes 22 and 23 into the reference holes 20 and 21, the load beam 11 and the flexure 12 are positioned.

特許文献１のサスペンションのように、ロードビーム１１あるいはフレキシャ１２にバーリング加工孔２２，２３を形成すると、その加工の際に孔２２，２３の周りに発塵(contamination)が生じる可能性がある。また凸縁２２ａ，２３ａを基準孔２０，２１に挿入する際にも発塵が生じるおそれがある。発塵はディスク装置にとって有害である。また最近はサスペンションのさらなる小形化に伴って、基準孔２０，２１間のピッチがきわめて小さくなっているため、十分な位置決め精度を得にくくなってきた。   When the burring holes 22 and 23 are formed in the load beam 11 or the flexure 12 as in the suspension of Patent Document 1, there is a possibility that contamination occurs around the holes 22 and 23 during the processing. Further, dust may be generated when the convex edges 22a, 23a are inserted into the reference holes 20, 21. Dust generation is harmful to the disk device. Recently, with further downsizing of the suspension, since the pitch between the reference holes 20 and 21 has become extremely small, it has become difficult to obtain sufficient positioning accuracy.

日本の特開２００２−１３３８０８号公報（特許文献２）に、基準孔間のピッチを大きくとることができるサスペンションが開示されている。   Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2002-133808 (Patent Document 2) discloses a suspension that can increase the pitch between reference holes.

特開２０００−１６３９０４号公報JP 2000-163904 A 特開２００２−１３３８０８号公報JP 2002-133808 A

特許文献２のサスペンションは、図１２Ａに示されるように、ロードビーム１１と連結部１１ｄとに、それぞれ基準孔１５ａ，１５ｂが形成されている。フレキシャ１２と延出部１２ｆにも、それぞれ基準孔１６ａ，１６ｂが形成されている。ヒンジ部１１ｃはロードビーム１１とは別体に形成されている。図１２Ｂに示すようにロードビーム１１とフレキシャ１２とを重ね、この状態のもとで第１の治具ピンが基準孔１５ａ，１６ａに挿入され、第２の治具ピンが基準孔１５ｂ，１６ｂに挿入される。この状態でロードビーム１１とフレキシャ１２とがレーザ溶接される。そののち枠部１１ｄが切断され、図１２Ｃに示されるサスペンションが完成する。しかしこの例も、基準孔と治具ピンとの前記クリアランスの問題が解決されていない。   In the suspension of Patent Document 2, as shown in FIG. 12A, reference holes 15a and 15b are formed in the load beam 11 and the connecting portion 11d, respectively. Reference holes 16a and 16b are also formed in the flexure 12 and the extending portion 12f, respectively. The hinge portion 11 c is formed separately from the load beam 11. As shown in FIG. 12B, the load beam 11 and the flexure 12 are overlapped, and in this state, the first jig pin is inserted into the reference holes 15a and 16a, and the second jig pin is inserted into the reference holes 15b and 16b. Inserted into. In this state, the load beam 11 and the flexure 12 are laser welded. Thereafter, the frame portion 11d is cut to complete the suspension shown in FIG. 12C. However, also in this example, the problem of the clearance between the reference hole and the jig pin is not solved.

またロードビーム１１とヒンジ部１１ｃとが互いに別々に形成されるサスペンションにおいては、ロードビーム１１とヒンジ部１１ｃに対してフレキシャ１２の位置決めを高精度になすことが求められている。   In addition, in a suspension in which the load beam 11 and the hinge portion 11c are formed separately from each other, it is required to position the flexure 12 with high accuracy with respect to the load beam 11 and the hinge portion 11c.

従って本発明の目的は、磁気ヘッド支持用サスペンションを構成する部材どうし、具体的にはロードビームとフレキシャとの相対位置を正確に規制することができ、特に、一方の部材に設けられたディンプルと、他方の部材との相対位置を正確に規制することができ、かつ、発塵を抑制できるサスペンションの製造方法と、サスペンションアセンブリを提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to accurately regulate the relative positions of the members constituting the suspension for supporting the magnetic head, specifically, the load beam and the flexure, and in particular, the dimple provided on one member It is an object of the present invention to provide a suspension manufacturing method and a suspension assembly that can accurately regulate the relative position with respect to the other member and can suppress dust generation.

本発明に係る第１の製造方法は、ロードビームにディンプルを設けるサスペンションに適用され、前記ロードビームと該ロードビームに連なるフレーム部とを含むロードビームブランクを形成すること、前記フレキシャと該フレキシャに連なるフレーム部とを含むフレキシャブランクを形成すること、前記ロードビームの一部で前記フレキシャのタング部と対応した位置にディンプルを形成するとともに前記ロードビームブランクの前記フレーム部に位置決め用部分を形成すること、前記フレキシャブランクの一部で前記位置決め用部分と対応した位置に該位置決め用部分と嵌合可能な嵌合部を形成すること、前記ロードビームブランクまたは該ロードビームブランクに結合される部材に回り止め部を形成すること、前記フレキシャブランクの一部で前記回り止め部と対応した位置に該回り止め部と嵌合可能な受け部を形成すること、前記ロードビームブランクと前記フレキシャブランクとを重ねかつ前記位置決め用部分を前記嵌合部に嵌合させること、前記回り止め部を前記受け部に嵌合させること、前記フレキシャを前記ロードビームに固定すること、前記固定後に前記ロードビームブランクのフレーム部から前記ロードビームを切り離しかつ前記フレキシャブランクのフレーム部から前記フレキシャを切り離すことを具備している。   A first manufacturing method according to the present invention is applied to a suspension provided with dimples on a load beam, and forms a load beam blank including the load beam and a frame portion connected to the load beam. The flexure and the flexure Forming a flexure blank including a continuous frame portion; forming a dimple at a position corresponding to the tongue portion of the flexure at a part of the load beam; and forming a positioning portion at the frame portion of the load beam blank Forming a fitting portion that can be fitted to the positioning portion at a position corresponding to the positioning portion at a part of the flexure blank, and coupled to the load beam blank or the load beam blank. Forming a non-rotating portion on the member, the flexure blank; Forming a receiving part that can be fitted to the rotation preventing part at a position corresponding to the rotation preventing part in part, overlapping the load beam blank and the flexure blank, and positioning the positioning part to the fitting part; Fitting the locking part to the receiving part, fixing the flexure to the load beam, separating the load beam from the frame part of the load beam blank and fixing the flexure after the fixing. Separating the flexure from the frame portion of the shear blank.

本発明に係る第２の製造方法は、フレキシャにディンプルを設けるサスペンションに適用され、前記ロードビームと該ロードビームに連なるフレーム部とを含むロードビームブランクを形成すること、前記フレキシャと該フレキシャに連なるフレーム部とを含むフレキシャブランクを形成すること、前記フレキシャにディンプルを形成するとともに前記フレキシャブランクの前記フレーム部に位置決め用部分を形成すること、前記フレキシャブランクの一部で前記位置決め用部分とは異なる位置に回り止め部を形成すること、前記ロードビームブランクの一部で前記位置決め用部分と対応した位置に該位置決め用部分と嵌合可能な嵌合部を形成すること、前記ロードビームブランクまたは該ロードビームブランクに結合される部材に前記回り止め部と嵌合可能な受け部を形成すること、前記ロードビームブランクと前記フレキシャブランクとを重ねかつ前記位置決め用部分を前記嵌合部に嵌合させること、前記回り止め部を前記受け部に嵌合させること、前記フレキシャを前記ロードビームに固定すること、前記固定後に前記ロードビームブランクのフレーム部から前記ロードビームを切り離しかつ前記フレキシャブランクのフレーム部から前記フレキシャを切り離すことを具備している。   The second manufacturing method according to the present invention is applied to a suspension provided with dimples on a flexure, and forms a load beam blank including the load beam and a frame portion connected to the load beam. The flexure and the flexure are connected. Forming a flexure blank including a frame portion, forming dimples in the flexure and forming a positioning portion in the frame portion of the flexure blank, and the positioning portion in a part of the flexure blank Forming a non-rotating portion at a position different from that of the load beam blank, forming a fitting portion capable of fitting with the positioning portion at a position corresponding to the positioning portion in a part of the load beam blank, the load beam Around the blank or a member coupled to the load beam blank. Forming a receiving portion that can be fitted to the fitting portion, overlapping the load beam blank and the flexure blank, and fitting the positioning portion to the fitting portion, and setting the detent portion to the receiving portion Fitting the flexure to the load beam, detaching the load beam from the frame portion of the load beam blank and fixing the flexure from the frame portion of the flexure blank after the fixing. ing.

これらの製造方法において、さらに、前記ロードビームにヒンジ部材を固定する工程を含んでいてもよい。また前記ディンプルと前記位置決め用部分とが、１つの金型セットによって１工程で成形されてもよい。また前記ディンプルが１つの金型セットによって第１の工程で成形され、前記位置決め用部分が前記金型セットによって第２の工程で成形されてもよい。あるいは前記ディンプルと前記位置決め用部分とが、２台の金型セットによって別々に成形されてもよい。   These manufacturing methods may further include a step of fixing a hinge member to the load beam. Further, the dimple and the positioning portion may be formed in one step by one mold set. The dimple may be formed in a first step by one mold set, and the positioning portion may be formed in a second step by the mold set. Alternatively, the dimple and the positioning portion may be separately molded by two mold sets.

本発明に係る第１のサスペンションアセンブリのロードビームブランクは、ディンプルを有するロードビームと、該ロードビームに連なりかつ該ロードビームから切り離されるべき切断予定部を有するフレーム部と、該フレーム部に形成され前記フレキシャブランクとの位置決めをなすための位置決め用部分（例えば位置決め用突起）と、前記フレキシャブランクとの回り止めをなすための回り止め部とを有している。   A load beam blank of a first suspension assembly according to the present invention is formed on a load beam having dimples, a frame portion having a planned cutting portion that is connected to the load beam and should be separated from the load beam, and the frame portion. It has a positioning portion (for example, positioning protrusion) for positioning with the flexure blank and a rotation preventing portion for preventing rotation with the flexure blank.

第１のサスペンションアセンブリのフレキシャブランクは、前記ディンプルに接するタング部を有するフレキシャと、該フレキシャに連なりかつ該フレキシャから切り離されるべき切断予定部を有するフレーム部と、該フレーム部の一部で前記位置決め用部分と対応した位置に形成され該位置決め用部分と嵌合可能な嵌合部（例えば基準孔）と、前記回り止め部と対応した位置に形成され該回り止め部と嵌合可能な受け部とを有している。   The flexure blank of the first suspension assembly includes a flexure having a tongue portion that contacts the dimple, a frame portion having a to-be-cut portion that is connected to the flexure and is to be separated from the flexure, and a part of the frame portion. A fitting portion (for example, a reference hole) that is formed at a position corresponding to the positioning portion and can be fitted to the positioning portion, and a receiver that is formed at a position corresponding to the rotation preventing portion and can be fitted to the rotation preventing portion. Part.

本発明に係る第２のサスペンションアセンブリのフレキシャブランクは、ディンプルを有するフレキシャと、該フレキシャに連なりかつ該フレキシャから切り離されるべき切断予定部を有するフレーム部と、該フレーム部に形成され前記ロードビームブランクとの位置決めをなすための位置決め用部分（例えば位置決め用突起）と、前記ロードビームブランクとの回り止めをなすための回り止め部とを有している。   A flexure blank of a second suspension assembly according to the present invention includes a flexure having dimples, a frame portion having a planned cutting portion connected to the flexure and to be separated from the flexure, and the load beam formed on the frame portion. A positioning portion (for example, positioning protrusion) for positioning with the blank and a rotation preventing portion for preventing rotation with the load beam blank are provided.

第２のサスペンションアセンブリのロードビームブランクは、前記ディンプルに接する部分を有するロードビームと、該ロードビームに連なりかつ該ロードビームから切り離されるべき切断予定部を有するフレーム部と、前記位置決め用部分と対応した位置に形成され該位置決め用部分と嵌合可能な嵌合部（例えば基準孔）と、前記回り止め部と対応した位置に形成され該回り止め部と嵌合可能な受け部とを有している。   The load beam blank of the second suspension assembly corresponds to the load beam having a portion in contact with the dimple, a frame portion having a portion to be cut that is connected to the load beam and to be separated from the load beam, and the positioning portion. A fitting portion (for example, a reference hole) that is formed at a position that can be fitted with the positioning portion, and a receiving portion that is formed at a position corresponding to the rotation prevention portion and can be fitted with the rotation prevention portion. ing.

第１の製造方法によれば、サスペンションのジンバル部を構成するディンプルとフレキシャのタング部との相対位置の精度が向上する。このため、スライダが装着されるタング部とディンプルとの高いアライメント精度を得ることができる。   According to the first manufacturing method, the accuracy of the relative position between the dimples constituting the gimbal portion of the suspension and the tongue portion of the flexure is improved. For this reason, it is possible to obtain high alignment accuracy between the tongue portion on which the slider is mounted and the dimples.

第２の製造方法によれば、サスペンションのジンバル部を構成するディンプルとロードビームとの相対位置の精度が向上する。このため、フレキシャのタング部に装着されるスライダとディンプルとの高いアライメント精度を得ることができる。   According to the second manufacturing method, the accuracy of the relative position between the dimples constituting the gimbal portion of the suspension and the load beam is improved. For this reason, it is possible to obtain high alignment accuracy between the slider and the dimple attached to the tongue portion of the flexure.

本発明の一実施形態に係るロードビームブランクの曲げ加工前の平面図。The top view before the bending process of the load beam blank which concerns on one Embodiment of this invention. 図１Ａに示されたロードビームブランクの曲げ加工後の平面図。The top view after the bending process of the load beam blank shown by FIG. 1A. 図１Ｂに示されたロードビームブランクの一部と、金型セットの断面図。FIG. 1B is a cross-sectional view of a part of the load beam blank shown in FIG. 1B and a mold set. 本発明の一実施形態に係るフレキシャブランクの平面図。The top view of the flexure blank which concerns on one Embodiment of this invention. ベースプレートの平面図。The top view of a baseplate. 前記ロードビームブランクと前記フレキシャブランクと前記ベースプレートとからなるサスペンションアセンブリの平面図。The top view of the suspension assembly which consists of the said load beam blank, the said flexure blank, and the said base plate. 完成したサスペンションの平面図。The top view of the completed suspension. 図２Ｃに示されたサスペンションアセンブリにおいてディンプルとフレキシャの一部を示す断面図。2D is a cross-sectional view showing a part of the dimple and the flexure in the suspension assembly shown in FIG. 2C. FIG. 図２Ｃに示されたサスペンションアセンブリにおいて位置決め用突起と基準孔を示す断面図。2C is a cross-sectional view showing a positioning protrusion and a reference hole in the suspension assembly shown in FIG. 2C. FIG. 本発明の他の実施形態に係るサスペンションのフレキシャとロードビームの一部を示す断面図。Sectional drawing which shows a part of suspension flexure and load beam which concern on other embodiment of this invention. ハードディスク装置の一例を示す断面図。Sectional drawing which shows an example of a hard-disk apparatus. 従来のサスペンションの斜視図。The perspective view of the conventional suspension. 図５に示されたサスペンションのジンバル部の分解斜視図。FIG. 6 is an exploded perspective view of a gimbal portion of the suspension shown in FIG. 5. 従来のサスペンションのロードビームとフレキシャとクランプ用の部材を示す断面図。Sectional drawing which shows the load beam of a conventional suspension, a flexure, and the member for clamping. 従来のサスペンションの基準孔と治具ピンとの間のクリアランスを表した断面図。Sectional drawing showing the clearance between the reference | standard hole of a conventional suspension, and a jig | tool pin. 従来のサスペンションのヘッド部のディンプルずれを示す正面図。The front view which shows the dimple shift | offset | difference of the head part of the conventional suspension. 従来のサスペンションのヘッド部のモーメントずれを示す正面図。The front view which shows the moment shift | offset | difference of the head part of the conventional suspension. 位置決め用の基準孔とバーリング孔とを有する従来のサスペンションの平面図。The top view of the conventional suspension which has the reference | standard hole for positioning, and a burring hole. 他の従来例のサスペンションを構成する部材を分解した状態で示した平面図。The top view shown in the state which decomposed | disassembled the member which comprises the suspension of another prior art example. 図１２Ａに示された各部材を重ねた状態の平面図。The top view in the state where each member shown in Drawing 12A was piled up. 図１２Ａに示された各部材によって得られたサスペンションの平面図。The top view of the suspension obtained by each member shown by FIG. 12A.

以下に、本発明の１つの実施形態について、図１から図４を参照して説明する。
図２Ｄは磁気ヘッド支持用サスペンション７の一例を示している。このサスペンション７は、ベースプレート３０と、ロードビーム３１と、配線付きフレキシャ(flexure with conductors)３２などを備えている。ベースプレート３０のボス部３０ａは、キャリッジ２（図４に示す）のアーム６に固定される。図２Ｃは、このサスペンション７が製造される過程で得られるサスペンションアセンブリ７Ａを示している。 Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 4.
FIG. 2D shows an example of the magnetic head support suspension 7. The suspension 7 includes a base plate 30, a load beam 31, a flexure with conductors 32, and the like. The boss 30a of the base plate 30 is fixed to the arm 6 of the carriage 2 (shown in FIG. 4). FIG. 2C shows a suspension assembly 7A obtained in the process in which the suspension 7 is manufactured.

ロードビーム３１は、ベースプレート３０に固定される基部３１ａと、厚さ方向に撓むことができるヒンジ部３１ｂと、先端部３１ｃとを含んでいる。ロードビーム３１の先端部３１ｃの近くにディンプル４０が設けられている。フレキシャ３２は、ロードビーム３１の軸線Ｘ１（図１Ｂに示す）に沿う方向に延びている。フレキシャ３２の一部はロードビーム３１に重なり、レーザ溶接等の固定手段によってロードビーム３１に固定されている。図２Ｄ中の符号Ｗ１は、ベースプレート３０とロードビーム３１との溶接部を示している。図２Ｄ中の符号Ｗ２は、ロードビーム３１とフレキシャ３２との溶接部を示している。フレキシャ３２の先端付近にタング部３２ａが形成されている。タング部３２ａは、ディンプル４０を中心として、ローリング方向とピッチング方向等に揺動可能である。タング部３２ａとディンプル４０とは、フレキシャ３２のジンバル部を構成している。フレキシャ３２の後部に形成された延出部３２ｂは、ベースプレート３０に固定される。   The load beam 31 includes a base portion 31a fixed to the base plate 30, a hinge portion 31b that can be bent in the thickness direction, and a tip portion 31c. A dimple 40 is provided near the tip 31 c of the load beam 31. The flexure 32 extends in a direction along the axis X1 (shown in FIG. 1B) of the load beam 31. A part of the flexure 32 overlaps the load beam 31 and is fixed to the load beam 31 by fixing means such as laser welding. Reference sign W <b> 1 in FIG. 2D indicates a welded portion between the base plate 30 and the load beam 31. Reference sign W <b> 2 in FIG. 2D indicates a welded portion between the load beam 31 and the flexure 32. A tongue portion 32 a is formed near the tip of the flexure 32. The tongue portion 32a can swing around the dimple 40 in the rolling direction and the pitching direction. The tongue portion 32 a and the dimple 40 constitute a gimbal portion of the flexure 32. An extension part 32 b formed at the rear part of the flexure 32 is fixed to the base plate 30.

ディンプル４０はロードビーム３１またはフレキシャ３２のどちらに設けることも可能である。図３Ａに示す例では、ロードビーム３１にディンプル４０が形成されている。以下に説明する実施形態は、ロードビーム３１にディンプル４０が設けられている場合である。これに対し図３Ｃに示すサスペンションは、フレキシャ３２にディンプル４０が設けられ、ロードビーム３１はディンプル４０に接する部分３１ｆを有している。このようにフレキシャ３２にディンプル４０が設けられている場合も、ディンプル４０の位置関係以外は下記の実施形態と共通であるから説明を省略する。   The dimple 40 can be provided on either the load beam 31 or the flexure 32. In the example shown in FIG. 3A, dimples 40 are formed on the load beam 31. In the embodiment described below, a dimple 40 is provided on the load beam 31. On the other hand, in the suspension shown in FIG. 3C, the dimple 40 is provided on the flexure 32, and the load beam 31 has a portion 31 f in contact with the dimple 40. Even when the dimple 40 is provided in the flexure 32 as described above, the description is omitted because it is common to the following embodiments except for the positional relationship of the dimple 40.

図１Ａは、曲げ加工前のロードビーム３１を含むロードビームブランク５０を示している。ロードビームブランク５０は、エッチングやプレス加工などの周知の加工方法によって、金属板（薄板ばね）から形成されている。このロードビームブランク５０は、製品となるロードビーム３１と、製品外のスクラップ部分であるフレーム部５０ａとを有している。   FIG. 1A shows a load beam blank 50 including a load beam 31 before bending. The load beam blank 50 is formed from a metal plate (thin plate spring) by a known processing method such as etching or pressing. The load beam blank 50 includes a load beam 31 that is a product and a frame portion 50a that is a scrap portion outside the product.

図１Ｂは、曲げ加工後のロードビームブランク５０を示している。曲げ加工において、ロードビーム３１の両側縁３１ｄや、曲げ部３１ｅなどがプレスの金型によって成形される。ロードビームブランク５０のフレーム部５０ａは、ロードビーム３１とフレキシャ３２とが組合わされてサスペンション７が完成する過程で、ロードビーム３１から切り離される。図１Ｂ中の２点鎖線Ｌ１は、その切断予定部を示している。ロードビームブランク５０のフレーム部５０ａは、図１Ａ，図１Ｂに示すようなロードビーム３１を囲む形状に限ることはなく、例えば突片状をなしていてもよい。   FIG. 1B shows the load beam blank 50 after bending. In the bending process, both side edges 31d of the load beam 31, the bent portion 31e, and the like are formed by a press die. The frame portion 50a of the load beam blank 50 is separated from the load beam 31 in the process in which the load beam 31 and the flexure 32 are combined to complete the suspension 7. A two-dot chain line L1 in FIG. 1B indicates the planned cutting portion. The frame portion 50a of the load beam blank 50 is not limited to the shape surrounding the load beam 31 as shown in FIGS. 1A and 1B, and may be, for example, a protruding piece shape.

図１Ｂに示すように、ロードビームブランク５０のロードビーム３１に、ディンプル４０が形成されている。ディンプル４０とフレキシャ３２のタング部３２ａとは、サスペンション７の磁気ヘッド８を支持するためのジンバル部を構成する。またこのロードビームブランク５０のフレーム部５０ａに、位置決め用突起５１が形成されている。位置決め用突起５１は、この発明で言う位置決め用部分の一例であり、ロードビーム３１とフレキシャ３２との位置決めに使用される。   As shown in FIG. 1B, dimples 40 are formed on the load beam 31 of the load beam blank 50. The dimple 40 and the tongue portion 32 a of the flexure 32 constitute a gimbal portion for supporting the magnetic head 8 of the suspension 7. A positioning projection 51 is formed on the frame portion 50 a of the load beam blank 50. The positioning protrusion 51 is an example of the positioning portion referred to in the present invention, and is used for positioning the load beam 31 and the flexure 32.

図１Ｃに示すように、ディンプル４０と位置決め用突起５１とは、パンチ５５ａとダイ５５ｂとを有する金型セット５５によって同時に成形される。この明細書で言う「同時に成形する」とは、ロードビームブランク５０の保持状態を変更しないで成形を行うことを意味する。よって、ディンプル４０と位置決め用突起５１との成形に時間的なずれがあってもよい。また、ディンプル４０と位置決め用突起５１とを、２台の金型セットによって別々に形成してもよい。あるいは、１台の金型セットによって第１の工程でディンプル４０を形成したのち、金型セットまたはロードビームブランク５０を移動させ、第２の工程において位置決め用突起５１を形成してもよい。加工精度を高め、かつ、加工時間を短くするためには、ディンプル４０と位置決め用突起５１とを１つの金型セットを用いて１工程で成形することが望ましい。   As shown in FIG. 1C, the dimple 40 and the positioning projection 51 are simultaneously formed by a mold set 55 having a punch 55a and a die 55b. In this specification, “simultaneously molding” means that molding is performed without changing the holding state of the load beam blank 50. Therefore, there may be a time lag in molding the dimple 40 and the positioning projection 51. Further, the dimple 40 and the positioning projection 51 may be separately formed by two mold sets. Alternatively, the dimple 40 may be formed in the first step by using a single mold set, and then the mold set or the load beam blank 50 may be moved to form the positioning protrusions 51 in the second step. In order to increase the processing accuracy and shorten the processing time, it is desirable to form the dimple 40 and the positioning projection 51 in one step using one mold set.

図１Ｂに示されるように、ディンプル４０はロードビーム３１の先端部３１ｃの近くに形成されている。また位置決め用突起５１は、フレーム部５０ａのうち、ディンプル４０に最も近い位置付近に形成されている。こうすることにより、ディンプル４０とフレキシャ３２のタング部３２ａとの位置決め精度をさらに高めることができる。本実施形態の場合、ロードビーム３１の長手方向に沿う軸線Ｘ１上に、ディンプル４０と位置決め用突起５１とが形成されている。ディンプル４０と位置決め用突起５１を形成する工程は、ロードビーム３１の前記曲げ加工と同時に行われるとよいが、ロードビーム３１の曲げ加工とは別工程で行われてもよい。   As shown in FIG. 1B, the dimple 40 is formed near the tip portion 31 c of the load beam 31. The positioning protrusion 51 is formed in the vicinity of the position closest to the dimple 40 in the frame portion 50a. By doing so, the positioning accuracy between the dimple 40 and the tongue portion 32a of the flexure 32 can be further increased. In the present embodiment, the dimple 40 and the positioning projection 51 are formed on the axis X1 along the longitudinal direction of the load beam 31. The step of forming the dimple 40 and the positioning projection 51 may be performed simultaneously with the bending process of the load beam 31, but may be performed in a process different from the bending process of the load beam 31.

図３Ａに示すようにディンプル４０の一例は、ほぼ半球形（ドーム形）をなす凸部である。図３Ｂに示すように位置決め用突起５１も、ドーム形に形成されている。位置決め用突起５１の突出方向は、ディンプル４０の突出方向と同じである。なお、位置決め用突起５１は円柱形であってもよいし、あるいは、内周に凸縁を有するバーリング加工孔であってもよい。要するに、位置決め用突起５１は、後述する基準孔６１に嵌合できる形状であればよく、突起５１の形状や大きさは問わない。   As shown in FIG. 3A, an example of the dimple 40 is a convex portion having a substantially hemispherical shape (dome shape). As shown in FIG. 3B, the positioning protrusion 51 is also formed in a dome shape. The protruding direction of the positioning protrusion 51 is the same as the protruding direction of the dimple 40. The positioning projection 51 may be a cylindrical shape, or may be a burring hole having a convex edge on the inner periphery. In short, the positioning protrusion 51 may have any shape that can be fitted into a reference hole 61 described later, and the shape and size of the protrusion 51 are not limited.

ロードビームブランク５０には、位置決め用突起５１とは別に、回り止め部５２（図２Ｃと図２Ｄに示す）が設けられている。回り止め部５２の一例は、ロードビームブランク５０の厚さ方向に突出する凸部である。この回り止め部５２は、ロードビーム３１に設けられてもよいし、フレーム部５０ａに結合される別部材（図示せず）に設けられてもよい。回り止め部５２は、後述するフレキシャブランク６０の回り止め用の受け部６２に挿入される。   In addition to the positioning projection 51, the load beam blank 50 is provided with a detent portion 52 (shown in FIGS. 2C and 2D). An example of the rotation preventing portion 52 is a convex portion protruding in the thickness direction of the load beam blank 50. The rotation stopper 52 may be provided on the load beam 31 or may be provided on another member (not shown) coupled to the frame 50a. The anti-rotation part 52 is inserted into the anti-rotation receiving part 62 of the flexure blank 60 described later.

回り止め部５２は、位置決め用突起５１と同様に半球形の凸部、あるいは凸縁を有するバーリング加工孔の形態であってもよい。凸部からなる回り止め部５２は、孔あるいはスリットからなる受け部６２に挿入可能な形状であればよいため、その具体的な形状や大きさは問わない。ディンプル４０から回り止め部５２までの距離は、ディンプル４０から位置決め用突起５１までの距離Ｓ１（図１Ｂに示す）の２倍以上である。   The anti-rotation portion 52 may be in the form of a hemispherical convex portion or a burring hole having a convex edge, like the positioning projection 51. The anti-rotation part 52 made of a convex part may be of any shape as long as it can be inserted into the receiving part 62 made of a hole or a slit. The distance from the dimple 40 to the anti-rotation portion 52 is at least twice the distance S1 (shown in FIG. 1B) from the dimple 40 to the positioning protrusion 51.

図２Ａはフレキシャブランク６０を示している。フレキシャブランク６０は、金属板（薄板ばね）からエッチングやプレス加工などの周知の加工方法によって形成されている。このフレキシャブランク６０は、製品となるフレキシャ３２と、製品外のスクラップ部分であるフレーム部６０ａとを有している。フレキシャ３２は、フレーム部６０ａに連なっている。フレーム部６０ａは、ロードビーム３１とフレキシャ３２とが組合わされてサスペンション７が完成する過程で、フレキシャ３２から切り離される。図２Ａ中の２点鎖線Ｌ２は、その切断予定部を示している。フレーム部６０ａは、図２Ａに示された形状に限ることはなく、例えば突片状をなしていてもよい。   FIG. 2A shows a flexure blank 60. The flexure blank 60 is formed from a metal plate (thin plate spring) by a known processing method such as etching or pressing. The flexure blank 60 includes a flexure 32 that is a product and a frame portion 60a that is a scrap portion outside the product. The flexure 32 is connected to the frame portion 60a. The frame 60 a is separated from the flexure 32 in the process in which the load beam 31 and the flexure 32 are combined to complete the suspension 7. A two-dot chain line L2 in FIG. 2A indicates the planned cutting portion. The frame part 60a is not limited to the shape shown in FIG. 2A, and may have a protruding piece shape, for example.

図２Ａに示すように、フレキシャブランク６０のフレーム部６０ａに、基準孔６１が形成されている。基準孔６１は、この発明で言う嵌合部の一例であり、ロードビームブランク５０の位置決め用突起５１と対応した位置に形成されている。フレキシャ３２の延出部３２ｂに、回り止め用の受け部６２が形成されている。受け部６２の一例は、フレキシャ３２の軸線Ｘ２（図２Ａに示す）に沿う長円形の孔である。この受け部６２に、回り止め部５２を挿入することにより、ロードビーム３１に対するフレキシャ３２の回り止めがなされる。この回り止め用の受け部６２は、回り止め部５２と対応した位置に形成されていればよいから、フレキシャブランク６０の前記以外の位置に形成されていてもよい。図２Ｂはベースプレート３０の一例を示している。ベースプレート３０は、ロードビーム３１の基部３１ａに固定される。   As shown in FIG. 2A, a reference hole 61 is formed in the frame portion 60 a of the flexure blank 60. The reference hole 61 is an example of a fitting portion referred to in the present invention, and is formed at a position corresponding to the positioning projection 51 of the load beam blank 50. The extension portion 32b of the flexure 32 is formed with a receiving portion 62 for preventing rotation. An example of the receiving portion 62 is an oval hole along the axis X2 (shown in FIG. 2A) of the flexure 32. By inserting the rotation preventing portion 52 into the receiving portion 62, the rotation of the flexure 32 with respect to the load beam 31 is prevented. Since the stopper 62 for the rotation prevention is only required to be formed at a position corresponding to the rotation stopper 52, it may be formed at a position other than the above of the flexure blank 60. FIG. 2B shows an example of the base plate 30. The base plate 30 is fixed to the base 31 a of the load beam 31.

以上説明したロードビームブランク５０と、フレキシャブランク６０と、ベースプレート３０とによって、図２Ｃに示すサスペンションアセンブリ７Ａが構成される。サスペンションアセンブリ７Ａを組立てる際、ロードビームブランク５０とフレキシャブランク６０とを厚さ方向に重ねるとともに、ロードビームブランク５０のフレーム部５０ａの位置決め用突起５１が、フレキシャブランク６０のフレーム部６０ａの基準孔６１に挿入される。   The load beam blank 50, the flexure blank 60, and the base plate 30 described above constitute a suspension assembly 7A shown in FIG. 2C. When assembling the suspension assembly 7A, the load beam blank 50 and the flexure blank 60 are stacked in the thickness direction, and the positioning projection 51 of the frame portion 50a of the load beam blank 50 is used as a reference for the frame portion 60a of the flexure blank 60. It is inserted into the hole 61.

このようにロードビームブランク５０とフレキシャブランク６０が厚さ方向に重ねられると、図３Ａに示すように、ディンプル４０の先端がフレキシャ３２のタング部３２ａに当接する。また図３Ｂに示すように、位置決め用突起５１が基準孔６１に嵌合する。位置決め用突起５１は、その基部５１ａから先端５１ｂに向かって外径が小さくなる形状となっている。基部５１ａの外径は基準孔６１の内径と同等以上である。このため位置決め用突起５１の高さ方向の途中の部分５１ｃが基準孔６１の内周縁に係合することにより、ロードビームブランク５０とフレキシャブランク６０との位置決めがなされる。この場合、位置決め用突起５１と基準孔６１との間にクリアランスは生じない。   When the load beam blank 50 and the flexure blank 60 are thus stacked in the thickness direction, the tip of the dimple 40 comes into contact with the tongue portion 32a of the flexure 32 as shown in FIG. 3A. Further, as shown in FIG. 3B, the positioning projection 51 is fitted into the reference hole 61. The positioning projection 51 has a shape in which the outer diameter decreases from the base 51a toward the tip 51b. The outer diameter of the base 51 a is equal to or greater than the inner diameter of the reference hole 61. Therefore, the load beam blank 50 and the flexure blank 60 are positioned by engaging the portion 51 c in the height direction of the positioning projection 51 with the inner peripheral edge of the reference hole 61. In this case, there is no clearance between the positioning projection 51 and the reference hole 61.

前記したように、位置決め用突起５１が基準孔６１に挿入され、かつ、回り止め部５２が受け部６２に挿入される。回り止め部５２は、位置決め用突起５１とは異なる位置に設けられている。回り止め部５２が受け部６２と嵌合することにより、ロードビームブランク５０とフレキシャブランク６０との回り止めがなされる。このためロードビームブランク５０とフレキシャブランク６０との相対位置が正確に定まる。   As described above, the positioning projection 51 is inserted into the reference hole 61, and the rotation preventing portion 52 is inserted into the receiving portion 62. The rotation stopper 52 is provided at a position different from the positioning protrusion 51. When the rotation preventing portion 52 is fitted to the receiving portion 62, the load beam blank 50 and the flexure blank 60 are prevented from rotating. For this reason, the relative position of the load beam blank 50 and the flexure blank 60 is accurately determined.

前記以外の実施の形態として、フレキシャブランク６０のフレーム部６０ａまたはフレキシャ３２に、凸形の回り止め部を形成し、ロードビームブランク５０のフレーム部５０ａまたはロードビーム３１に、孔からなる受け部を形成してもよい。以上説明した各実施形態では、ロードビームブランク５０またはフレキシャブランク６０の一方に形成された回り止め部を、他方に形成された受け部に嵌合させることによって、ロードビームブランク５０に対するフレキシャブランク６０の回り止めが実現される。   As an embodiment other than the above, a convex detent portion is formed in the frame portion 60a or the flexure 32 of the flexure blank 60, and a receiving portion made of a hole is formed in the frame portion 50a or the load beam 31 of the load beam blank 50. May be formed. In each embodiment described above, the anti-rotation portion formed on one of the load beam blank 50 or the flexure blank 60 is fitted to the receiving portion formed on the other, whereby the flexure blank for the load beam blank 50 is obtained. A detent of 60 is realized.

なお、ロードビームブランクとフレキシャブランクにそれぞれ回り止め用の孔を形成し、これらの孔に治具ピンを挿入することにより、ロードビームブランクに対するフレキシャブランクの回り止めをなしてもよい。要するに本発明に係るサスペンションアセンブリは、位置決め用部分と嵌合部との嵌合によって、ロードビームブランクとフレキシャブランクとの位置決めをなすとともに、回り止め部と受け部との嵌合によって、両者の相対回動を防止している。このような目的にかなう位置決め用部分と嵌合部であれば、それらの具体的な形態は問わない。また回り止め部および受け部についても、具体的な形態は問わない。   Alternatively, the load beam blank and the flexure blank may each be provided with anti-rotation holes, and jig pins may be inserted into these holes to prevent the flexure blank from rotating relative to the load beam blank. In short, the suspension assembly according to the present invention positions the load beam blank and the flexure blank by fitting the positioning portion and the fitting portion, and also fits both of the rotation preventing portion and the receiving portion by fitting. Relative rotation is prevented. As long as it is a positioning part and a fitting part that serve such purposes, their specific forms are not limited. Moreover, a concrete form is not ask | required about a rotation stop part and a receiving part.

図２Ｃのようにロードビームブランク５０とフレキシャブランク６０との位置決めがなされた状態で、ロードビーム３１とフレキシャ３２とが、接着あるいはレーザ溶接によって互いに固定される。そののち、ロードビームブランク５０のフレーム部５０ａがロードビーム３１から切り離される。またフレキシャブランク６０のフレーム部６０ａがフレキシャ３２から切り離されることにより、図２Ｄに示すサスペンション７が完成する。   With the load beam blank 50 and the flexure blank 60 positioned as shown in FIG. 2C, the load beam 31 and the flexure 32 are fixed to each other by bonding or laser welding. Thereafter, the frame portion 50 a of the load beam blank 50 is separated from the load beam 31. Further, the frame portion 60a of the flexure blank 60 is separated from the flexure 32, whereby the suspension 7 shown in FIG. 2D is completed.

前記実施形態では、ロードビームブランク５０に設けるディンプル４０と位置決め用突起５１とが、金型セット５５（図１Ｃに示す）によって同時に成形される。図３Ｂに示すように、位置決め用突起５１が基準孔６１に嵌合することにより、ロードビーム３１に対するフレキシャ３２の位置決めがなされる。位置決め用突起５１は、ロードビームブランク５０のフレーム部５０ａの一部でディンプル４０に近い位置に形成されている。このためディンプル４０とフレキシャ３２のタング部３２ａとの相対位置精度が非常に高くなる。よって、タング部３２ａとディンプル４０とは、精度の高いジンバル部を構成することができる。   In the embodiment, the dimple 40 and the positioning projection 51 provided on the load beam blank 50 are simultaneously formed by the mold set 55 (shown in FIG. 1C). As shown in FIG. 3B, the flexure 32 is positioned with respect to the load beam 31 by fitting the positioning projection 51 into the reference hole 61. The positioning projection 51 is formed at a position close to the dimple 40 in a part of the frame portion 50 a of the load beam blank 50. For this reason, the relative positional accuracy between the dimple 40 and the tongue portion 32a of the flexure 32 becomes very high. Therefore, the tongue part 32a and the dimple 40 can constitute a highly accurate gimbal part.

図１２に示す従来のサスペンションでは、２対の基準孔にそれぞれ治具ピンを挿入していたため、各治具ピンと基準孔の内面との間に比較的大きなクリアランスが必要であった。これに対し本実施形態のサスペンション７では、ロードビームブランク５０のフレーム部５０ａに形成された位置決め用突起５１がフレキシャブランク６０の基準孔６１に挿入され、回り止め部５２が受け部６２に挿入される。このことにより、従来必要としていた前記クリアランスを不要にすることができた。しかも位置決め用突起５１と基準孔６１がいずれもフレーム部（スクラップ部分）５０ａ，６０ａに形成される。このため、位置決めの際にロードビーム３１やフレキシャ３２に傷が付くことを回避でき、サスペンション７の品質が向上する。しかもサスペンション７にとって最も高精度が要求されるディンプル４０とフレキシャ３２のタング部３２ａとの相対位置をきわめて高くすることができる。よって、スライダ１０を取付けるタング部３２ａとディンプル４０との相対位置に関して，高いアライメント精度を得ることができる。   In the conventional suspension shown in FIG. 12, since jig pins are inserted into the two pairs of reference holes, a relatively large clearance is required between each jig pin and the inner surface of the reference hole. On the other hand, in the suspension 7 of the present embodiment, the positioning projection 51 formed on the frame portion 50 a of the load beam blank 50 is inserted into the reference hole 61 of the flexure blank 60, and the detent portion 52 is inserted into the receiving portion 62. Is done. As a result, the above-described clearance which has been conventionally required can be eliminated. Moreover, both the positioning protrusion 51 and the reference hole 61 are formed in the frame portions (scrap portions) 50a and 60a. For this reason, it is possible to avoid scratching the load beam 31 and the flexure 32 during positioning, and the quality of the suspension 7 is improved. In addition, the relative position between the dimple 40 and the tongue portion 32a of the flexure 32 that require the highest accuracy for the suspension 7 can be made extremely high. Therefore, high alignment accuracy can be obtained with respect to the relative position between the tongue portion 32a to which the slider 10 is attached and the dimple 40.

図２Ｃに示すようにロードビームブランク５０とフレキシャブランク６０との組立てが終了し両者が固定されたのちに、フレーム部５０ａ，６０ａが、それぞれロードビーム３１とフレキシャ３２とから切り離される。このため、発塵の原因となる突起５１と孔６１との嵌合部が、完成したサスペンション７に残ることを回避できる。このため、完成したサスペンション７にバリやコンタミネーションが生じる可能性が低減する。   As shown in FIG. 2C, after the assembly of the load beam blank 50 and the flexure blank 60 is completed and both are fixed, the frame portions 50a and 60a are separated from the load beam 31 and the flexure 32, respectively. For this reason, it can avoid that the fitting part of the processus | protrusion 51 and the hole 61 which causes dust generation remains in the completed suspension 7. FIG. For this reason, possibility that a burr | flash and contamination will arise in the completed suspension 7 reduces.

本実施形態では、ロードビーム３１の外側に位置するフレーム部５０ａに位置決め用突起５１が形成され、フレキシャ３２の外側に位置するフレーム部６０ａに基準孔６１が形成される。このため、位置決め用突起５１から回り止め部５２までの距離を大きくとることができる。よって、ロードビーム３１とフレキシャ３２との相対位置精度を高くすることができる。   In the present embodiment, the positioning projection 51 is formed on the frame portion 50 a located outside the load beam 31, and the reference hole 61 is formed on the frame portion 60 a located outside the flexure 32. For this reason, the distance from the protrusion 51 for positioning to the rotation prevention part 52 can be taken large. Therefore, the relative positional accuracy between the load beam 31 and the flexure 32 can be increased.

前記実施形態では、ロードビームとフレキシャとの位置決めを例にあげて説明した。しかし本発明は、ロードビームとヒンジ部材とが別々に構成されるサスペンションにおいて、ロードビームとヒンジ部材との位置決めにも適用できる。その場合、ロードビームとフレキシャとを固定する工程に加えて、ヒンジ部材をロードビームに固定する工程が行われる。そして位置決め用突起から離れた位置に、回り止め部が形成される。こうすることにより、ロードビームとフレキシャとヒンジ部材との相対位置を高精度に規制できる。   In the embodiment, the positioning of the load beam and the flexure has been described as an example. However, the present invention can also be applied to positioning of the load beam and the hinge member in a suspension in which the load beam and the hinge member are configured separately. In that case, in addition to the step of fixing the load beam and the flexure, a step of fixing the hinge member to the load beam is performed. Then, a detent portion is formed at a position away from the positioning projection. By doing so, the relative positions of the load beam, the flexure, and the hinge member can be regulated with high accuracy.

なお本発明は、前記の実施形態に限定されることはなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で様々な形態で実施することが可能である。また本発明はハードディスク装置以外のディスク装置のサスペンションに適用することもできる。前記実施形態では、１台の金型セットによって、ディンプルと位置決め用突起とが同時に形成される。しかし他の形態では、ディンプルが１つの金型セットによって第１の工程で成形され、位置決め用部分が第２の工程で成形されてもよい。あるいは、ディンプルと位置決め用部分とが、２台の金型セットによって別々に成形されてもよい。また、フレキシャブランクのフレーム部に位置決め用部分として機能する突起を形成し、ロードビームブランクのフレーム部に嵌合部として機能する孔を形成してもよい。あるいはヒンジ部材に位置決め用突起が形成されてもよい。   The present invention is not limited to the embodiment described above, and can be implemented in various forms without departing from the gist of the present invention. The present invention can also be applied to a suspension of a disk device other than the hard disk device. In the above-described embodiment, the dimple and the positioning protrusion are simultaneously formed by one mold set. However, in another form, the dimple may be formed in the first step by one mold set, and the positioning portion may be formed in the second step. Alternatively, the dimple and the positioning portion may be separately molded by two mold sets. Further, a protrusion that functions as a positioning portion may be formed in the frame portion of the flexure blank, and a hole that functions as a fitting portion may be formed in the frame portion of the load beam blank. Alternatively, positioning protrusions may be formed on the hinge member.

７…サスペンション
３１…ロードビーム
３２…フレキシャ
３２ａ…タング部
４０…ディンプル
５０…ロードビームブランク
５０ａ…フレーム部
５１…位置決め用突起（位置決め用部分）
５２…回り止め部
６０…フレキシャブランク
６０ａ…フレーム部
６１…基準孔（嵌合部）
６２…受け部
Ｌ１，Ｌ２…切断予定部 7 ... Suspension 31 ... Load beam 32 ... Flexure 32a ... Tongue part 40 ... Dimple 50 ... Load beam blank 50a ... Frame part 51 ... Positioning protrusion (positioning part)
52 ... Detent 60: Flexure blank 60a ... Frame 61 ... Reference hole (fitting part)
62 ... Receiving part L1, L2 ... Scheduled cutting part

Claims (20)

ロードビームと該ロードビームに固定されるフレキシャとを含む磁気ヘッド用サスペンション、の製造方法であって、
前記ロードビームと該ロードビームに連なるフレーム部とを含むロードビームブランクを形成すること、
前記フレキシャと該フレキシャに連なるフレーム部とを含むフレキシャブランクを形成すること、
前記ロードビームの一部で前記フレキシャのタング部と対応した位置にディンプルを形成するとともに前記ロードビームブランクの前記フレーム部に位置決め用部分を形成すること、
前記フレキシャブランクの一部で前記位置決め用部分と対応した位置に該位置決め用部分と嵌合可能な嵌合部を形成すること、
前記ロードビームブランクまたは該ロードビームブランクに結合される部材に回り止め部を形成すること、
前記フレキシャブランクの一部で前記回り止め部と対応した位置に該回り止め部と嵌合可能な受け部を形成すること、
前記ロードビームブランクと前記フレキシャブランクとを重ねかつ前記位置決め用部分を前記嵌合部に嵌合させること、
前記回り止め部を前記受け部に嵌合させること、
前記フレキシャを前記ロードビームに固定すること、
前記固定後に前記ロードビームブランクのフレーム部から前記ロードビームを切り離しかつ前記フレキシャブランクのフレーム部から前記フレキシャを切り離すこと、
を具備している。 A suspension for a magnetic head including a load beam and a flexure fixed to the load beam,
Forming a load beam blank including the load beam and a frame portion connected to the load beam;
Forming a flexure blank including the flexure and a frame portion connected to the flexure;
Forming a dimple at a position corresponding to the tongue portion of the flexure at a part of the load beam and forming a positioning portion at the frame portion of the load beam blank;
Forming a fitting portion capable of fitting with the positioning portion at a position corresponding to the positioning portion in a part of the flexure blank;
Forming a rotation stopper in the load beam blank or a member coupled to the load beam blank;
Forming a receiving part that can be fitted to the rotation preventing part at a position corresponding to the rotation preventing part in a part of the flexure blank;
Stacking the load beam blank and the flexure blank and fitting the positioning portion to the fitting portion;
Fitting the detent portion to the receiving portion;
Fixing the flexure to the load beam;
Separating the load beam from the frame portion of the load beam blank after the fixing and separating the flexure from the frame portion of the flexure blank;
It has. 請求項１に記載された製造方法であって、さらに、
前記ロードビームにヒンジ部材を固定する工程を含んでいる。 The manufacturing method according to claim 1, further comprising:
A step of fixing a hinge member to the load beam. 請求項１に記載された製造方法において、
前記ディンプルと前記位置決め用部分とが、１つの金型セットによって１工程で成形される。 The manufacturing method according to claim 1,
The dimple and the positioning portion are molded in one step by one mold set. 請求項１に記載された製造方法において、
前記ディンプルが１つの金型セットによって第１の工程で成形され、前記位置決め用部分が前記金型セットによって第２の工程で成形される。 The manufacturing method according to claim 1,
The dimple is formed in a first step by one mold set, and the positioning portion is formed in a second step by the mold set. 請求項１に記載された製造方法において、
前記ディンプルと前記位置決め用部分とが、２台の金型セットによって別々に成形される。 The manufacturing method according to claim 1,
The dimple and the positioning portion are separately molded by two mold sets. 磁気ヘッド支持用サスペンションのためのロードビームブランクとフレキシャブランクとを含むサスペンションアセンブリであって、
前記ロードビームブランクは、
ディンプルを有するロードビームと、該ロードビームに連なりかつ該ロードビームから切り離されるべき切断予定部を有するフレーム部と、該フレーム部に形成され前記フレキシャブランクとの位置決めをなすための位置決め用部分と、前記フレキシャブランクとの回り止めをなすための回り止め部とを有し、
前記フレキシャブランクは、
前記ディンプルに接するタング部を有するフレキシャと、該フレキシャに連なりかつ該フレキシャから切り離されるべき切断予定部を有するフレーム部と、該フレーム部の一部で前記位置決め用部分と対応した位置に形成され該位置決め用部分と嵌合可能な嵌合部と、前記回り止め部と対応した位置に形成され該回り止め部と嵌合可能な受け部とを有している。 A suspension assembly including a load beam blank and a flexure blank for a suspension for supporting a magnetic head,
The load beam blank is
A load beam having dimples, a frame portion having a planned cutting portion to be cut off from the load beam, and a positioning portion formed on the frame portion for positioning with the flexure blank A detent for making a detent with the flexure blank,
The flexure blank is
A flexure having a tongue portion in contact with the dimple, a frame portion having a to-be-cut portion to be disconnected from the flexure and connected to the flexure, and a portion of the frame portion formed at a position corresponding to the positioning portion; A fitting portion that can be fitted to the positioning portion, and a receiving portion that is formed at a position corresponding to the rotation preventing portion and can be fitted to the rotation preventing portion. 請求項６に記載されたサスペンションアセンブリにおいて、
前記位置決め用部分が位置決め用突起である。 The suspension assembly according to claim 6.
The positioning portion is a positioning projection. 請求項７に記載されたサスペンションアセンブリにおいて、
前記嵌合部が前記位置決め用突起と嵌合可能な基準孔である。 The suspension assembly according to claim 7, wherein
The fitting portion is a reference hole that can be fitted with the positioning protrusion. 請求項６に記載されたサスペンションアセンブリにおいて、
前記位置決め用部分が前記ディンプルの近傍に形成されている。 The suspension assembly according to claim 6.
The positioning portion is formed in the vicinity of the dimple. 請求項９に記載されたサスペンションアセンブリにおいて、
前記ディンプルから前記回り止め部までの距離が、前記ディンプルから前記位置決め用部分までの距離よりも大である。 The suspension assembly according to claim 9, wherein
The distance from the dimple to the detent portion is larger than the distance from the dimple to the positioning portion. ロードビームと該ロードビームに固定されるフレキシャとを含む磁気ヘッド用サスペンション、の製造方法であって、
前記ロードビームと該ロードビームに連なるフレーム部とを含むロードビームブランクを形成すること、
前記フレキシャと該フレキシャに連なるフレーム部とを含むフレキシャブランクを形成すること、
前記フレキシャにディンプルを形成するとともに前記フレキシャブランクの前記フレーム部に位置決め用部分を形成すること、
前記フレキシャブランクの一部で前記位置決め用部分とは異なる位置に回り止め部を形成すること、
前記ロードビームブランクの一部で前記位置決め用部分と対応した位置に該位置決め用部分と嵌合可能な嵌合部を形成すること、
前記ロードビームブランクまたは該ロードビームブランクに結合される部材に前記回り止め部と嵌合可能な受け部を形成すること、
前記ロードビームブランクと前記フレキシャブランクとを重ねかつ前記位置決め用部分を前記嵌合部に嵌合させること、
前記回り止め部を前記受け部に嵌合させること、
前記フレキシャを前記ロードビームに固定すること、
前記固定後に前記ロードビームブランクのフレーム部から前記ロードビームを切り離しかつ前記フレキシャブランクのフレーム部から前記フレキシャを切り離すこと、
を具備している。 A suspension for a magnetic head including a load beam and a flexure fixed to the load beam,
Forming a load beam blank including the load beam and a frame portion connected to the load beam;
Forming a flexure blank including the flexure and a frame portion connected to the flexure;
Forming dimples on the flexure and forming a positioning portion on the frame portion of the flexure blank;
Forming a detent portion at a position different from the positioning portion in a part of the flexure blank;
Forming a fitting portion that can be fitted to the positioning portion at a position corresponding to the positioning portion in a part of the load beam blank;
Forming the load beam blank or a receiving portion that can be fitted to the rotation stop portion on a member coupled to the load beam blank;
Stacking the load beam blank and the flexure blank and fitting the positioning portion to the fitting portion;
Fitting the detent portion to the receiving portion;
Fixing the flexure to the load beam;
Separating the load beam from the frame portion of the load beam blank after the fixing and separating the flexure from the frame portion of the flexure blank;
It has. 請求項１１に記載された製造方法であって、さらに、
前記ロードビームにヒンジ部材を固定する工程を含んでいる。 The manufacturing method according to claim 11, further comprising:
A step of fixing a hinge member to the load beam. 請求項１１に記載された製造方法において、
前記ディンプルと前記位置決め用部分とが、１つの金型セットによって１工程で成形される。 The manufacturing method according to claim 11,
The dimple and the positioning portion are molded in one step by one mold set. 請求項１１に記載された製造方法において、
前記ディンプルが１つの金型セットによって第１の工程で成形され、前記位置決め用部分が前記金型セットによって第２の工程で成形される。 The manufacturing method according to claim 11,
The dimple is formed in a first step by one mold set, and the positioning portion is formed in a second step by the mold set. 請求項１１に記載された製造方法において、
前記ディンプルと前記位置決め用部分とが、２台の金型セットによって別々に成形される。 The manufacturing method according to claim 11,
The dimple and the positioning portion are separately molded by two mold sets. 磁気ヘッド支持用サスペンションのためのロードビームブランクとフレキシャブランクとを含むサスペンションアセンブリであって、
前記フレキシャブランクは、
ディンプルを有するフレキシャと、該フレキシャに連なりかつ該フレキシャから切り離されるべき切断予定部を有するフレーム部と、該フレーム部に形成され前記ロードビームブランクとの位置決めをなすための位置決め用部分と、前記ロードビームブランクとの回り止めをなすための回り止め部とを有し、
前記ロードビームブランクは、
前記ディンプルに接する部分を有するロードビームと、該ロードビームに連なりかつ該ロードビームから切り離されるべき切断予定部を有するフレーム部と、前記位置決め用部分と対応した位置に形成され該位置決め用部分と嵌合可能な嵌合部と、前記回り止め部と対応した位置に形成され該回り止め部と嵌合可能な受け部とを有している。 A suspension assembly including a load beam blank and a flexure blank for a suspension for supporting a magnetic head,
The flexure blank is
A flexure having dimples, a frame portion connected to the flexure and having a planned cutting portion to be cut off from the flexure, a positioning portion formed on the frame portion for positioning the load beam blank, and the load A detent for making a detent with the beam blank,
The load beam blank is
A load beam having a portion in contact with the dimple; a frame portion having a portion to be cut that is connected to the load beam and to be separated from the load beam; And a receiving portion that is formed at a position corresponding to the anti-rotation portion and can be fitted to the anti-rotation portion. 請求項１６に記載されたサスペンションアセンブリにおいて、
前記位置決め用部分が位置決め用突起である。 The suspension assembly according to claim 16, wherein
The positioning portion is a positioning projection. 請求項１７に記載されたサスペンションアセンブリにおいて、
前記嵌合部が前記位置決め用突起と嵌合可能な基準孔である。 The suspension assembly according to claim 17,
The fitting portion is a reference hole that can be fitted with the positioning protrusion. 請求項１６に記載されたサスペンションアセンブリにおいて、
前記位置決め用部分が前記ディンプルの近傍に形成されている。 The suspension assembly according to claim 16, wherein
The positioning portion is formed in the vicinity of the dimple. 請求項１９に記載されたサスペンションアセンブリにおいて、
前記ディンプルから前記回り止め部までの距離が、前記ディンプルから前記位置決め用部分までの距離よりも大である。 The suspension assembly according to claim 19,
The distance from the dimple to the detent portion is larger than the distance from the dimple to the positioning portion.
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