JP5412196B2 - 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 - Google Patents
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Description
(1) 磁気的に分離された磁気記録パターンを有する磁気記録媒体の製造方法であって、
非磁性基板の少なくとも一方の面上に磁性層を形成する工程と、
前記磁性層の面上を覆うマスク層を形成する工程と、
前記マスク層の上に前記磁気記録パターンに対応した形状にパターニングされたレジスト層を形成する工程と、
前記レジスト層を用いて前記マスク層を前記磁気記録パターンに対応した形状にパターニングする工程と、
前記磁性層の前記マスク層で覆われていない箇所を部分的に除去することにより凹部を形成する工程と、
前記凹部が形成された面上を覆う非磁性層を形成する工程と、
前記マスク層が表出するまで前記非磁性層の表面を平坦化する工程と、
前記表出されたマスク層を除去する工程と、
前記凹部の内側から前記磁性層の表面よりも外側に突き出した非磁性層の突起部分を除去する工程と、
前記突起部分が除去された面上を覆う保護層を形成する工程とを含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
(2) 前記非磁性層を前記凹部に埋め込むのに十分な厚みで形成し、前記非磁性層の突起部分を除去する際は、前記凹部に埋め込まれた非磁性層及び前記磁性層の表面を平坦化することを特徴とする前項(1)に記載の磁気記録媒体の製造方法。
(3) 前記マスク層を形成する工程において、下部マスク層と上部マスク層とを積層して形成することを特徴とする前項(1)又は(2)に記載の磁気記録媒体の製造方法。
(4) 前記下部マスク層として、Cr,Ni,Tiの何れかを含む合金膜を形成し、前記上部マスク層として、炭素膜を形成することを特徴とする前項(3)に記載の磁気記録媒体の製造方法。
(5) 前項(1)〜(4)の何れか一項に記載の製造方法により製造された磁気記録媒体と、
前記磁気記録媒体を記録方向に駆動する媒体駆動部と、
前記磁気記録媒体に対する記録動作と再生動作とを行う磁気ヘッドと、
前記磁気ヘッドを磁気記録媒体に対して相対移動させるヘッド移動手段と、
前記磁気ヘッドへの信号入力と前記磁気ヘッドから出力信号の再生とを行うための記録再生信号処理手段とを備えることを特徴とする磁気記録再生装置。
(磁気記録媒体の製造方法)
本実施形態では、本発明を適用した磁気記録媒体の製造方法として、ディスクリート型磁気記録媒体を製造する場合を例に挙げて具体的に説明する。
本発明を適用した磁気記録媒体の製造方法は、磁気的に分離された磁気記録パターンを有する磁気記録媒体を製造する際に、非磁性基板1の少なくとも一方の面上に磁性層2を形成する工程Aと、磁性層2の面上を覆うマスク層3を形成する工程Bと、マスク層3の上にレジスト層4を形成する工程Cと、スタンプ5を用いてレジスト層4を磁気記録パターンに対応した形状にパターニングする工程Dと、レジスト層4を用いてマスク層3を磁気記録パターンに対応した形状にパターニングする工程Eと、磁性層2のマスク層3で覆われていない箇所を部分的に除去することにより凹部6を形成する工程Fと、凹部6が形成された面上を覆う非磁性層7を形成する工程Gと、マスク層3が表出するまで非磁性層7の表面を平坦化する工程Hと、表出されたマスク層3を除去する工程Iと、凹部6の内側から磁性層2の表面よりも外側に突き出した非磁性層7の突起部分7aを除去する工程Jと、突起部分7aが除去された面上を覆う保護層8を形成する工程Kとを含むことを特徴とする。
次に、本発明を適用した磁気記録再生装置(HDD)の一構成例を図6に示す。
本発明を適用した磁気記録再生装置は、図3に示すように、上記本発明を適用して製造された磁気記録媒体30と、この磁気記録媒体を回転駆動する回転駆動部(磁気記録媒体を記録方向に駆動する媒体駆動部)31と、磁気記録媒体30に対する記録動作と再生動作とを行う磁気ヘッド32と、磁気ヘッド32を磁気記録媒体30の径方向に移動させるヘッド駆動部(磁気ヘッドを磁気記録媒体に対して相対移動させるヘッド移動手段)33と、磁気ヘッド32への信号入力と磁気ヘッド32から出力信号の再生とを行うための記録再生信号処理系(記録再生信号処理手段)34とを備えている。
実施例1では、上記図2及び図3に示す工程A〜Kに従って磁気記録媒体を製造した。具体的には、HD用ガラス基板をセットした真空チャンバをあらかじめ1.0×10−5Pa以下に真空排気した。ここで使用したガラス基板はLi2Si2O5、Al2O3−K2O、Al2O3−K2O、MgO−P2O5、Sb2O3−ZnOを構成成分とする結晶化ガラスを材質とし、外径65mm、内径20mm、平均表面粗さ(Ra)は2オングストロームである。
実施例2では、上記図2及び図5に示す工程A〜F,G’〜K’に従って磁気記録媒体を製造した。具体的には、非磁性層として膜厚45nmのCrTi膜を形成し、この非磁性層を凹部に埋め込むのに十分な厚みで形成した以外は、実施例1と同様の条件にて磁気記録媒体を製造した。
比較例1では、上記図2及び図4に示す工程A〜F,L〜Pに従って磁気記録媒体を製造した。具体的には、磁性層に凹部を形成した後に、マスク層をエッチングにより除去し、マスク層が除去された面上を覆う非磁性層を形成し、磁性層が表出するまで非磁性層の表面を平坦化し、平坦化された面上を覆う保護層を形成した以外は、実施例1と同様の条件にて磁気記録媒体を製造した。
また、実施例2の磁気記録媒体では、信号強度が7140μVpp、電磁変換特性が13.2dBであった。
一方、比較例1の磁気記録媒体では、信号強度が6621μVpp、電磁変換特性が12.6dBであった。
200…軟磁性層及び中間層
300…磁性領域
400…非磁性領域
500…保護層
1…非磁性基板
2…磁性層
3…マスク層
4…レジスト層
5…スタンプ
6…凹部
7…非磁性層
7a…バリ(突起部分)
8…保護層
9…ネガパターン(凹部)
10…凹部
30…磁気記録媒体
31…媒体駆動部
32…磁気ヘッド
33…ヘッド駆動部
34…記録再生信号系
Claims (5)
- 磁気的に分離された磁気記録パターンを有する磁気記録媒体の製造方法であって、
非磁性基板の少なくとも一方の面上に磁性層を形成する工程と、
前記磁性層の面上を覆うマスク層を形成する工程と、
前記マスク層の上に前記磁気記録パターンに対応した形状にパターニングされたレジスト層を形成する工程と、
前記レジスト層を用いて前記マスク層を前記磁気記録パターンに対応した形状にパターニングする工程と、
前記磁性層の前記マスク層で覆われていない箇所を部分的に除去することにより凹部を形成する工程と、
前記凹部が形成された面上を覆う非磁性層を形成する工程と、
前記マスク層が表出するまで前記非磁性層の表面を平坦化する工程と、
前記表出されたマスク層を除去して、前記磁性層と接する箇所において、前記非磁性層の一部を、前記磁性層の表面よりも外側に突き出させる工程と、
前記磁性層の表面よりも外側に突き出した非磁性層の突起部分を除去する工程と、
前記突起部分が除去された面上を覆う保護層を形成する工程とを含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 前記非磁性層を前記凹部に埋め込むのに十分な厚みで形成し、前記非磁性層の突起部分を除去する際は、前記凹部に埋め込まれた非磁性層及び前記磁性層の表面が平らな面を形成するまで平坦化を行うことを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記マスク層を形成する工程において、下部マスク層と上部マスク層とを積層して形成することを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記下部マスク層として、Cr,Ni,Tiの何れかを含む合金膜を形成し、前記上部マスク層として、炭素膜を形成することを特徴とする請求項3に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 請求項1〜4の何れか一項に記載の製造方法により製造された磁気記録媒体と、
前記磁気記録媒体を記録方向に駆動する媒体駆動部と、
前記磁気記録媒体に対する記録動作と再生動作とを行う磁気ヘッドと、
前記磁気ヘッドを磁気記録媒体に対して相対移動させるヘッド移動手段と、
前記磁気ヘッドへの信号入力と前記磁気ヘッドから出力信号の再生とを行うための記録再生信号処理手段とを備えることを特徴とする磁気記録再生装置。
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