JP5390496B2 - 微細加工可能な材料から作られる自由に搭載されるホイール・セットおよびそれを製作する方法 - Google Patents
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Description
−前記第2の端部に、前記ホイール・セットを部分的に覆う、第2のカラーが軸と一体に取り付けられる。
−前記第1のホイール・セットの第2段を形成するように、前記第2のカラーに歯が付けられる。
−前記第1のホイール・セットが、少なくとも部分的に外部被覆を有する。
−前記軸が低摩擦材料から作られる。
−微細加工可能な材料はシリコン・ベースである。
a)微細加工可能な材料から作られ、中間層によって互いに固定される頂部層および底部層を含む基板を準備するステップ、
b)第1のホイール・セットに属する少なくとも1つの第1のキャビティを形成するように、底部層が露出されるまで頂部層および中間層内に少なくとも1つのパターンをエッチングするステップ、
c)前記少なくとも1つの第1のキャビティの少なくとも底部を導電性被覆で被覆するステップ、
d)前記少なくとも1つの第1のキャビティの少なくとも底部内に材料を電気鋳造するステップ、
e)第2のホイール・セットに属する少なくとも1つの第2のキャビティを形成するように、前記導電性材料の被覆のところまで底部層内に第2のパターンをエッチングするステップ、
f)底部層の底部上に感光性樹脂を構造化し、前記少なくとも1つの第2のキャビティの壁上に鞘を形成し、前記少なくとも1つの第2のキャビティから同軸にラッパ状に広がって出る少なくとも1つの凹部を形成するステップ、
g)前記少なくとも1つの第1のキャビティを充填するようにステップd)で開始した電気鋳造ステップを続け、かつ、カラーが取り付けられた軸を形成するように、前記少なくとも1つの第2のキャビティおよび前記少なくとも1つの凹部内に、材料を電気鋳造することを開始するステップ、
h)感光性樹脂を除去するステップ、
i)第1のホイール・セットと第2のホイール・セットを分離するように中間層を除去するステップ、
j)製作されたホイール・セットを基板から解放するステップ。
−ステップf)は、前記カラーの形成を改善するように、前記少なくとも1つの凹部の少なくとも底部を第2の導電性被覆で被覆する段階k)も含む。
−ステップd)に先立ってこの方法は、頂部層の上方に電気鋳造された材料の平面を形成するように、前記少なくとも1つの第1のキャビティから同軸にラッパ状に広がって出る少なくとも1つの他の凹部を形成するように、基板の頂部上に一部分を搭載するステップl)を含む。
−ステップc)によって、前記少なくとも1つの他の凹部の少なくとも底部を前記導電性被覆で被覆するのも可能になる。
−ステップc)の後で本方法は、将来のギア・トレイン内に孔を形成するように、前記少なくとも1つの第1のキャビティ内にピンを搭載するステップm)を含む。
−ステップg)に先立って本方法は、将来のギア・トレイン内に孔を形成するように、前記少なくとも1つの第2のキャビティ内にピンを搭載するステップn)を含む。
−ステップb)およびe)は、エッチングされる予定の層上に少なくとも1つの保護マスクを構造化する段階と、前記少なくとも1つの保護マスクによって覆われていない部分にわたり前記層の異方性エッチングを実施する段階と、この保護マスクを除去する段階を含む。
−いくつかのギア・トレインが同じ基板上で製作される。
−各被覆が少なくとも1つの金の層を含む。
−前記微細加工可能な材料がシリコン・ベースである。
35 第1のキャビティ; 36 保護マスク; 37 被覆; 38 一部分(感光性樹脂); 39 凹部; 40 ピン(感光性樹脂); 41 堆積; 42 ピン(感光性樹脂); 43 感光性樹脂; 44 パターン; 45 第2のキャビティ; 46 保護マスク; 47 被覆; 48 一部分(感光性樹脂) ;49 第2の凹部; 50 鞘; 51、51’ ギア・トレイン; 52、52’ カラー; 53、53’ 軸; 54、54’ 軸孔; 55、55’ 第1のホイール・セット; 56’
カラー; 57、57’ 第2のホイール・セット; 58、58’ 開口部。
Claims (17)
- a)シリコン・ベース材料、結晶アルミナ、結晶シリコンまたは炭化珪素からなる微細加工可能な材料から作られ、中間層(32)によって互いに固定される頂部層(31)および底部層(33)を含む基板(29)を準備するステップ(2)と、
b)第1のホイール・セット(55、55’)に属する少なくとも1つの第1のキャビティ(35)を形成するように、前記底部層(33)が露出されるまで前記頂部層(31)および前記中間層(32)内に少なくとも1つのパターン(34)をエッチングするステップ(3)と、
c)前記少なくとも1つの第1のキャビティ(35)の少なくとも前記底部を導電性被覆(37)で被覆するステップ(5)と、
d)前記少なくとも1つの第1のキャビティ(35)の少なくとも前記底部内に材料を電気鋳造するステップ(9)と、
e)第2のホイール・セット(57、57’)に属する少なくとも1つの第2のキャビティ(45)を形成するように、前記導電性材料の前記被覆(37)のところまで前記底部層(33)内に第2のパターン(44)をエッチングするステップ(13)と、
f)前記底部層(33)の前記底部上に感光性樹脂(42、43、48)を構造化し、前記少なくとも1つの第2のキャビティ(45)の壁上に鞘(50)と、前記少なくとも1つの第2のキャビティ(45)から同軸にラッパ状に広がって出る少なくとも1つの凹部(49)を形成するステップ(16)と、
g)前記少なくとも1つの第1のキャビティ(35)を充填するようにステップd)で開始した前記電気鋳造ステップを継続し、カラー(52、52’)が取り付けられた軸(53、53’)を形成するように、前記少なくとも1つの第2のキャビティ(45)および前記少なくとも1つの凹部(49)内に材料を電気鋳造することを開始するステップ(19)と、
h)前記感光性樹脂(38、40、42、43、48)を除去するステップ(21)と、
i)前記第1のホイール・セット(55、55’)と第2のホイール・セット(57、57’)を分離するように前記中間層(32)を除去するステップ(23)と、
j)前記製作されたホイール・セット(51、51’)を前記基板(29)から解放するステップ(25)とを含む、ギア・トレイン(51、51’)を製作する方法(1)。 - ステップf)が以下の段階、
k)前記カラーの形成を改善するように、前記少なくとも1つの凹部(49)の少なくとも前記底部を第2の導電性被覆(47)で被覆するステップ(15)も含むことを特徴とする、請求項1に記載の方法。 - ステップd)に先立って以下のステップ、
I)前記少なくとも1つの第1のキャビティ(35)から同軸にラッパ状に広がって出る少なくとも1つの他の凹部(39)を形成して、前記頂部層(31)の上方に電気鋳造された材料の平面を形成させるようにする、前記基板(29)の前記頂部上に一部分(38)を搭載するステップ
を含むことを特徴とする、請求項1または2に記載の方法。 - ステップc)によって、前記少なくとも1つの他の凹部(39)の少なくとも前記底部を前記導電性被覆(37)で被覆するのも可能になることを特徴とする、請求項3に記載の方法。
- ステップc)の後で以下のステップ、
m)前記将来のギア・トレイン(51、51’)内に孔(54、54’)を形成するように、前記少なくとも1つの第1のキャビティ(35)内にピン(40)を搭載するステップ(7)を含むことを特徴とする、請求項1から4のいずれか一項に記載の方法。 - ステップg)に先立って以下のステップ、
n)前記将来のギア・トレイン(51、51’)内に孔(54、54’)を形成するように、前記少なくとも1つの第2のキャビティ(45)内にピン(42)を搭載するステップ(17)を含むことを特徴とする、請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。 - ステップb)およびe)が以下の段階、
エッチングされる予定の前記層(31、33)上に少なくとも1つの保護マスク(36、46)を構造化するステップと、
前記少なくとも1つの保護マスクによって覆われていない部分にわたり前記層の異方性エッチングを実施するステップと、
前記マスクを除去するステップを含むことを特徴とする、請求項1から6のいずれか一項に記載の方法。 - いくつかのギア・トレイン(51、51’)が前記同じ基板(29)上に製作されることを特徴とする、請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。
- 各被覆(37、47)が少なくとも1つの金の層を含むことを特徴とする、請求項1から8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記微細加工可能な材料がシリコン・ベースであることを特徴とする、請求項1から9のいずれか一項に記載の方法。
- 金属からなりカラー(52、52’)が一体に設けられた第1の端部を持つ軸(53、53’)と、前記軸(53、53’)の第2の端部上に嵌合されたシリコン・ベース材料、結晶アルミナ、結晶シリコンまたは炭化珪素からなる微細加工可能な材料から作られた第1のホイール・セット(55、55’)とを含むギア・トレイン(51、51’)であって、
前記第1のホイール・セットの動きとは独立であり、前記第1のホイール・セットと同じ微細加工可能な材料製の第2のホイール・セット(57、57’)を備え、その第2のホイール・セット(57、57’)には、前記軸(53、53’)が貫通できるように、開口部(58、58’)が設けられ、その開口部(58、58’)には前記軸(53、53’)に対向する壁面がある、ことを特徴とする、ギア・トレイン。 - 前記第2の端部に前記軸(53’)と一体に、前記第1のホイール・セット(55’)を部分的に覆う第2のカラー(56’)が取り付けられることを特徴とする、請求項11に記載のギア・トレイン。
- 前記第2のカラー(56’)に、前記第1のホイール・セット(55’)の第2段を形成するように歯が付けられることを特徴とする、請求項12に記載のギア・トレイン。
- 前記第1のホイール・セット(55、55’)が、少なくとも部分的に、外部被覆(37)を含むことを特徴とする、請求項11から13のいずれか一項に記載のギア・トレイン。
- 前記軸(53、53’)が低摩擦材料から作られることを特徴とする、請求項11から14のいずれか一項に記載のギア・トレイン。
- 前記微細加工可能な材料がシリコン・ベースであることを特徴とする、請求項11から15のいずれか一項に記載のギア・トレイン。
- 請求項11から16のいずれか一項に記載の少なくとも1つのギア・トレインを含むことを特徴とする、時計。
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US6434086B1 (en) * | 1998-07-03 | 2002-08-13 | Citizen Watch Co., Ltd. | Analog electronic timepiece |
US6307815B1 (en) * | 1998-07-23 | 2001-10-23 | Sandia Corporation | Microelectromechanical timer |
TW571505B (en) * | 2001-08-09 | 2004-01-11 | Asulab Sa | Piezoelectric motor |
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