JP5388823B2 - 軌跡測定装置 - Google Patents
軌跡測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5388823B2 JP5388823B2 JP2009274745A JP2009274745A JP5388823B2 JP 5388823 B2 JP5388823 B2 JP 5388823B2 JP 2009274745 A JP2009274745 A JP 2009274745A JP 2009274745 A JP2009274745 A JP 2009274745A JP 5388823 B2 JP5388823 B2 JP 5388823B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- machine
- acceleration
- error
- trajectory
- detected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Numerical Control (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
特許文献2には、工作機械を円運動させたときのフィードバックされた位置信号から、円弧軌跡を算出して目標軌跡との誤差を拡大して表示する方法が示されている。
図1は、本発明に係る軌跡測定装置が適用される数値制御工作機械の実施の形態1の概略構成を示す斜視図である。図1において、X軸、Y軸およびZ軸方向に運動を案内された複数の可動軸を有し、各可動軸はモータ1x、1y、1zと送りねじ2x、2y、2zから成る駆動機構によって駆動される。モータ1x、1y、1zの回転角度は回転角度検出器3x、3y、3zによりそれぞれ検出され、モータ制御装置にフィードバックされる。モータ駆動方法として、モータ1x、1y、1zと送りねじ2x、2y、2zの代わりにリニアモータを用い、回転角度検出器3x、3y、3zの代わりにリニアスケールを用いる場合もある。
数値制御工作機械においては、主軸頭7の先端に取付けられる工具とワークテーブル4との相対変位が重要であり、相対変位を予め測定して、指令生成部11またはモータ駆動部12において機械に存在する誤差を補正することが一般的に行われている。誤差の原因として、可動軸間の直角度や送りねじ2yのピッチ誤差といった静的な誤差があり、これらは機械を組立てる段階で測定および調整が行われ、通常使用中に変化することは少ない。
図5の構成では、測定対象である機械がもつ誤差要因に起因する誤差波形が、加速度計13a、13bの設置誤差および積分誤差により生じる誤差波形と同じ数式で表される場合には、本来測定対象である機械誤差も加速度計13a、13bの設置誤差や積分誤差と区別できずに取り除かれる。
図10は、本発明に係る軌跡測定装置が適用される数値制御工作機械の実施の形態3の架台の加速度を測定する加速度計13の設置例を示す側面図である。図10において、可動軸を支える架台21にはワークテーブル4の運動に伴う反力が作用して振動が発生する。そのような場合、加速度計13bにより測定される加速度は絶対加速度であるため、その情報には架台21の振動加速度が含まれ、可動軸の変位を正しく解析することができなくなる。
図11は、本発明に係る軌跡測定装置が適用される数値制御工作機械の実施の形態4のワークテーブル側と主軸側に加速度計を設置した例を示す斜視図である。図11において、工作機械のように3次元的な相対運動が問題となる場合には、相対運動を行う2つの機械要素にそれぞれ直交する3方向の加速度を測定するための加速度計22a、22bを備え、2つの機械要素に設置した加速度計22a,22bの感度方向が略一致するように設置するとともに、図3の運動軌跡解析部14は、2つの機械要素における各方向の加速度から相対加速度を算出し、相対加速度を2回積分して2つの機械要素間の相対変位を求めることにより、2つの機械要素間の3次元的な相対変位をより正確に測定できるようになる。
図3において、機械に加速度計13a、13bを設置する場合、加速度計13a、13bの感度が事前に正しく校正されているとは限らないし、加速度計13a、13bの正負方向が測定対象とする可動軸の正負方向に一致しているとは限らない。さらに、複数の加速度信号を伝達するための複数のケーブルが、その入力チャンネルに正しい順番で接続されているとも限らない。
2x、2y、2z 送りねじ
3x、3y、3z 回転角度検出器
4 ワークテーブル
5 コラム
6 ラム
7 主軸頭
8y カップリング
9y ナット
10y サポートベアリング
11 指令生成部
12 モータ駆動部
13a〜13c 加速度計
14 運動軌跡解析部
14a 加速度積分部
14b 誤差補正部
15 運動軌跡表示部
16 工具
17 工作物
18 X軸加速度計
19 Y軸加速度計
21 架台
22a、22b 3軸加速度計
23 誤差波形近似部
K1、K2 減算器
30 感度校正処理
31 符号校正処理
32 入力チャンネル補正処理
33 誤差補正処理
34 弾性変形推定処理
Claims (11)
- 可動軸を駆動するモータの検出位置が指令位置に追従するように機械位置が制御される機械の運動軌跡を測定する軌跡測定装置であって、
前記機械の加速度を測定する加速度計と、
前記指令位置または前記検出位置ないしはその両方と前記加速度に基づいて前記機械の運動軌跡を解析する運動軌跡解析部とを備え、
前記運動軌跡解析部は、
前記加速度の積分結果に基づいて機械位置を算出する加速度積分部と、
前記指令位置または前記検出位置ないしはその両方に基づいて、前記機械位置を補正する誤差補正部とを備え、
さらに前記誤差補正部は、前記機械位置と、前記検出位置ないしは前記指令位置から推定される位置とを比較することで、前記加速度の測定誤差と積分誤差を分離して前記機械位置を補正することを特徴とする軌跡測定装置。 - 可動軸を駆動するモータの検出位置が指令位置に追従するように機械位置が制御される機械の運動軌跡を測定する軌跡測定装置であって、
前記機械の加速度を測定する加速度計と、
前記指令位置または前記検出位置ないしはその両方と前記加速度に基づいて前記機械の運動軌跡を解析する運動軌跡解析部とを備え、
前記運動軌跡解析部は、前記加速度計の感度方向が、測定対象とする可動軸の方向に対して偏向していることで、測定対象とした可動軸以外の可動軸の運動による測定誤差が発生する場合において、前記測定誤差を解析的または数値的に求め、求めた誤差分だけ前記加速度または前記機械位置を補正することを特徴とする軌跡測定装置。 - 可動軸を駆動するモータの検出位置が指令位置に追従するように機械位置が制御される機械の運動軌跡を測定する軌跡測定装置であって、
前記機械の加速度を測定する加速度計と、
前記指令位置または前記検出位置ないしはその両方と前記加速度に基づいて前記機械の運動軌跡を解析する運動軌跡解析部とを備え、
前記運動軌跡解析部は、加速度を2回積分して機械位置を求め、数値積分による積分誤差が生じる場合において、前記積分誤差を指令位置から解析的または数値的に求め、求めた誤差分だけ前記機械位置を補正することを特徴とする軌跡測定装置。 - 可動軸を駆動するモータの検出位置が指令位置に追従するように機械位置が制御される機械の運動軌跡を測定する軌跡測定装置であって、
前記機械の加速度を測定する加速度計と、
前記指令位置または前記検出位置ないしはその両方と前記加速度に基づいて前記機械の運動軌跡を解析する運動軌跡解析部とを備え、
前記加速度計の設置誤差および積分誤差の両方が存在した場合に生じる誤差波形を複数のパラメータを持つ数式として前記指令位置から求めるとともに、加速度を2回積分して求めた前記機械位置と前記検出位置または前記指令位置から推定される機械位置との差を前記数式で近似することで、前記加速度計の設置誤差および積分誤差を同定し、同定された誤差分だけ前記機械位置を補正することを特徴とする軌跡測定装置。 - 前記加速度計の設置誤差および積分誤差により生じる誤差波形が、測定対象である機械がもつ誤差要因に起因する誤差波形と同じ数式として表される場合には、前記指令位置または前記検出位置から前記機械の誤差要因に起因する誤差量を推定して前記機械位置に加算することを特徴とする請求項4に記載の軌跡測定装置。
- 前記誤差波形は、円運動と同じ周期をもつ正弦波を近似するn次多項式で表現されることを特徴とする請求項5に記載の軌跡測定装置。
- 機械の可動軸を支える架台の加速度を測定する第2の加速度計を備え、
前記第2の加速度計は、その感度方向が前記可動軸の運動方向と略一致するように設置され、
前記運動軌跡解析部は、前記可動軸の加速度と前記架台の加速度との相対加速度を算出し、前記相対加速度を前記機械の加速度として前記機械の運動軌跡を解析することを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の軌跡測定装置。 - 前記加速度計は、直交する3方向の加速度を測定するものであるとともに、相対運動を行う2つの機械要素のそれぞれに前記加速度計の感度方向が略一致するように設置され、
前記運動軌跡解析部は、前記2つの機械要素における各方向の加速度から相対加速度を算出し、前記相対加速度を前記機械の加速度として前記機械の運動軌跡を解析することを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の軌跡測定装置。 - 前記可動軸の加速度と同一可動軸の検出位置を2回微分して求めた検出加速度、または前記加速度を1回積分して求めた機械速度と前記検出位置を1回微分して求めた検出速度、ないしは前記加速度を2回積分して求めた機械位置と前記検出位置とを比較し、前記加速度と前記検出加速度の波形における振幅、または前記機械速度と前記検出速度の波形における振幅、ないしは前記機械位置と前記検出位置の波形における振幅が一致するように、前記可動軸の加速度の振幅、または前記機械速度の振幅、ないしは前記機械位置の振幅を補正することを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の軌跡測定装置。
- 前記可動軸の加速度と同一可動軸の検出位置を2回微分して求めた検出加速度、または前記加速度を1回積分して求めた機械速度と前記検出位置を1回微分して求めた検出速度、ないしは前記加速度を2回積分して求めた機械位置と前記検出位置との誤差を求め、前記誤差の振幅が、前記指令位置または前記検出位置から算出される加速度の振幅、または前記指令位置または前記検出位置から算出される速度の振幅、ないしは前記指令位置または前記検出位置の振幅より大きい場合に、前記可動軸の加速度、前記機械速度、または前記機械位置の符号を反転することを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の軌跡測定装置。
- 複数の可動軸の加速度と前記複数の可動軸の検出位置を2回微分して求めた検出加速度、または前記加速度を1回積分して求めた機械速度と前記検出位置を1回微分して求めた検出速度、ないしは前記加速度を2回積分して求めた機械位置と前記検出位置とを比較し、N(Nは正の整数)番目の可動軸の加速度と検出加速度、または前記N番目の可動軸の機械速度と検出速度、ないしは前記N番目の可動軸の機械位置と検出位置の変動波形との間に、位相差が存在する場合には、N番目の機械速度データとN+1番目の機械速度データとを入れ替えることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の軌跡測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009274745A JP5388823B2 (ja) | 2009-12-02 | 2009-12-02 | 軌跡測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009274745A JP5388823B2 (ja) | 2009-12-02 | 2009-12-02 | 軌跡測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011115885A JP2011115885A (ja) | 2011-06-16 |
JP5388823B2 true JP5388823B2 (ja) | 2014-01-15 |
Family
ID=44281835
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009274745A Active JP5388823B2 (ja) | 2009-12-02 | 2009-12-02 | 軌跡測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5388823B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4270769A4 (en) * | 2020-12-23 | 2024-06-05 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | FEATURE CALCULATION DEVICE, FEATURE CALCULATION METHOD AND PROGRAM |
EP4270777A4 (en) * | 2020-12-23 | 2024-06-05 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | FAULT DETERMINATION DEVICE, MOTOR CONTROL DEVICE, FAULT DETERMINATION METHOD, AND PROGRAM |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9921568B2 (en) | 2013-12-05 | 2018-03-20 | Mitsubishi Electric Corporation | Trajectory measuring device, numerical control device, and trajectory measuring method |
JP6298672B2 (ja) * | 2014-03-20 | 2018-03-20 | Dmg森精機株式会社 | 運動誤差測定装置及びこれを備えた工作機械 |
EP3176657A1 (de) * | 2015-12-02 | 2017-06-07 | Siemens Aktiengesellschaft | Bestimmung der steifigkeit eines antriebsstranges einer maschine, insbesondere einer werkzeug- oder produktionsmaschine |
DE112016006602T5 (de) * | 2016-03-16 | 2018-12-13 | Mitsubishi Electric Corporation | Maschinenbewegungsbahnverlaufsmessvorrichtung |
EP3569367B1 (de) | 2018-05-17 | 2022-08-03 | Siemens Aktiengesellschaft | Rechnergestütztes ermitteln einer bewegung einer vorrichtung |
JP7257870B2 (ja) * | 2019-05-08 | 2023-04-14 | オークマ株式会社 | 衝突発生時の最大荷重推定装置および機械ダメージ診断装置 |
CN113447801B (zh) * | 2020-03-25 | 2024-03-15 | 法雷奥汽车内部控制(深圳)有限公司 | 滑动开关的开关位置检测装置及方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5834623A (en) * | 1995-03-03 | 1998-11-10 | Ignagni; Mario B. | Apparatus and method to provide high accuracy calibration of machine tools |
JP2005081444A (ja) * | 2003-09-04 | 2005-03-31 | Toshiba Mach Co Ltd | 駆動装置の精度測定装置、駆動装置の精度測定方法、駆動装置の精度測定プログラム、このプログラムを記録した記録媒体、および、駆動装置の校正方法 |
US20070288124A1 (en) * | 2004-08-25 | 2007-12-13 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Evaluating System And Evaluating Method Of Robot |
JP4283214B2 (ja) * | 2004-12-16 | 2009-06-24 | ファナック株式会社 | 機械先端点の制御装置 |
JP2009254697A (ja) * | 2008-04-18 | 2009-11-05 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 運動システム |
-
2009
- 2009-12-02 JP JP2009274745A patent/JP5388823B2/ja active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4270769A4 (en) * | 2020-12-23 | 2024-06-05 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | FEATURE CALCULATION DEVICE, FEATURE CALCULATION METHOD AND PROGRAM |
EP4270777A4 (en) * | 2020-12-23 | 2024-06-05 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | FAULT DETERMINATION DEVICE, MOTOR CONTROL DEVICE, FAULT DETERMINATION METHOD, AND PROGRAM |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011115885A (ja) | 2011-06-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5388823B2 (ja) | 軌跡測定装置 | |
US9144869B2 (en) | Machine motion trajectory measuring device, numerically controlled machine tool, and machine motion trajectory measuring method | |
US10543574B2 (en) | Machine motion trajectory measuring apparatus | |
JP4829359B2 (ja) | 機上計測装置のプローブ取り付け位置算出方法 | |
JP4819665B2 (ja) | 非真円形状加工装置 | |
US20140025195A1 (en) | Computer Numerical Control Devices Employing Accelerometers And Associated Feedback Method | |
JP5249452B1 (ja) | 補正データを考慮した軌跡表示装置 | |
JP2017503157A (ja) | 慣性センサを使用することでモーションシステムの位置を較正すること | |
US9110458B2 (en) | Positioning control apparatus and machine tool provided therewith | |
JP5404507B2 (ja) | 補正パラメータ調整装置 | |
US9921568B2 (en) | Trajectory measuring device, numerical control device, and trajectory measuring method | |
CN112207629A (zh) | 一种运动控制机构开环动态误差的补偿方法 | |
JP5091702B2 (ja) | プローブの真直度測定方法 | |
TW202212047A (zh) | 加工機,加工系統及被加工物的製造方法 | |
JP4618616B2 (ja) | 数値制御装置 | |
EP3864474B1 (en) | Measurement system, and a method in relation to the measurement system | |
JP4503148B2 (ja) | 数値制御工作機械の送り機構の補正装置および数値制御工作機械 | |
JP2003157114A (ja) | ロストモーション補正方法およびロストモーション補正装置 | |
JP2017068391A (ja) | 数値制御装置と数値制御装置のロストモーション補償方法 | |
JP5225060B2 (ja) | 機械運動測定装置 | |
JP2012137331A (ja) | 機械角度測定装置 | |
JP2018128350A (ja) | 位置検出装置、ステージ装置、および形状測定装置 | |
JP2015191271A (ja) | 軌跡誤差表示装置 | |
JP2012146006A (ja) | 位置決め制御装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111018 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130329 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130702 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130822 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130910 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131008 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5388823 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |