JP5388025B2 - 超音波送受信素子および超音波送受信シート - Google Patents

Description

本発明は、超音波送受信素子および超音波送受信シートに関し、詳しくは、有機トランジスタと圧電効果を有する高分子材料により形成された送受信部材とを有する超音波送受信素子および湾曲自在なシートに有機トランジスタと圧電効果を有する高分子材料により形成された送受信部材とを有する超音波送受信素子を複数配置してなる超音波送受信シートに関する。

従来、この種のシートとしては、センサに有機トランジスタを接続してなるセンサ素子を湾曲自在なシートにマトリックス状に複数配置したものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。このシートでは、各有機トランジスタのゲート電圧を順に印加して走査することにより、各センサ素子により検出される物理量や化学量を取得し、これをデータ処理することによって取得した物理量や化学量の対象となる対象物に対する詳細なデータを得ることができるようにしている。なお、センサとしては、圧力センサや温度センサ、光センサ、加速度センサ、歪みセンサ、磁気センサ、温度センサ、キャパシタ、電圧センサ、ケミカルセンサのうちのいずれか１つまたは複数を用いることができる。
特開２００５−１５０１４６号公報

一般に超音波は、電磁波に比して人体への影響が少ないことから、人が近傍に存在することを前提とする装置におけるセンシングに用いるものとして注目を集めている。一方、超音波の送受信に用いるものとして圧電効果を有する高分子材料により形成された薄板状部材を円筒形に形成したものも知られているが、こうしたものは、湾曲自在なシートに緻密に複数配置することは容易ではないと共に、こうしたシートの製造に多くの工数を要するものとなる。

本発明の超音波送受信素子は、湾曲自在なシートに複数配置することが簡易な構造の素子を提供することを主目的とする。また、本発明の超音波送受信シートは、超音波送受信素子を湾曲自在なシートに複数配置してなるものを提供することを主目的とする。

本発明の超音波送受信素子および超音波送受信シートは、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。

本発明の超音波送受信素子は、
超音波を送受信可能な超音波送受信素子であって、
有機トランジスタと、
圧電効果を有する高分子材料により長方形の薄板状に形成され、長手方向の一方の端部が前記有機トランジスタのソースまたはドレインの一方に電気的に接続されると共に片持ち状に固定された送受信部材と、
前記有機トランジスタと前記送受信部材との間の該送受信部材の長手方向の他方の端部に整合する位置に配置され、前記他方の端部を前記有機トランジスタから押し離すことによって該送受信部材を湾曲させる湾曲用部材と、
を備えることを要旨とする。

この本発明の超音波送受信素子では、圧電効果を有する高分子材料により長方形の薄板状に形成された送受信部材の長手方向の一方の端部を有機トランジスタのソースまたはドレインの一方に電気的に接続して片持ち状に固定し、有機トランジスタと送受信部材との間に送受信部材の長手方向の他方の端部に整合する位置に湾曲用部材を配置して送受信部材の他方の端部を有機トランジスタから押し離すことによって送受信部材を湾曲させる。送受信部材は、湾曲の程度によって受信感度を調整することができるから、送受信部材の長さや幅などの寸法に対して目的とする超音波の波長に対する送受信用部材の感度が良好となる湾曲の程度となるよう湾曲用部材の寸法を調節することにより、良好な感度を有する超音波送受信素子を簡易な構造で構成することができる。しかも、有機トランジスタは印刷技術を用いることによりシートにマトリックス状に形成することができることと、複数の送受信部をその固定される一方の端部を連結してシート状に形成することができることと、寸法の調節された複数の湾曲部材を連結してシート状に形成することができることと、を考慮すると、本発明の超音波送受信素子は湾曲自在なシートに複数配置することが容易なものとなる。

こうした本発明の超音波送受信素子において、送受信部材を形成する材料としては、ポリフッ化ビニリデン，フッ化ビニリデン・３フッ化エチレン共重合体，フッ化ビニリデン・テトラフルオロエチレン共重合体，ポリフッ化ビニル，ポリ塩化ビニル，ポリ塩化ビニリデン，ポリアクリロニトリル，ポリ塩化アクリロニトリル，シアン化ビニリデン・酢酸ビニル共重合体，シアン化ビニリデン・ビニルベンゾエート共重合体など、圧電効果を有する種々の高分子材料を用いることができるが、特に高い圧電性を有するポリフッ化ビニリデン，フッ化ビニリデン・３フッ化エチレン共重合体，フッ化ビニリデン・テトラフルオロエチレン共重合体が好適である。

また、本発明の超音波送受信素子において、前記湾曲部材は、前記送受信部材の当接部位と該送受信部材の前記固定された部位との間隔に対して０．８を中心とする所定割合だけ前記他方の端部を前記有機トランジスタから押し離すよう形成されてなるものとすることもできる。

本発明の超音波送受信シートは、
圧電効果を有する高分子材料により長方形状に形成されて超音波を送受信可能な送受信部と前記送受信部の一方の端部にソースまたはドレインの一方の電極が電気的に接続された有機トランジスタとを有する超音波送受信素子を湾曲自在なシートに複数配置してなる超音波送受信シートであって、
湾曲自在なシートに前記有機トランジスタを複数配置してなる有機トランジスタシートと、
前記有機トランジスタシートに重ねたときに該有機トランジスタシートにおける各有機トランジスタのソースまたはドレインの一方の電極に前記送受信部の一方の端部が整合する位置に複数の送受信部が配置され、前記複数の送受信部の前記一方の端部を連結してなる送受信部用シートと、
前記有機トランジスタシートと前記送受信部用シートとの間に配置されて接合されたときに、前記送受信部用シートにおける前記複数の送受信部の他方の端部を前記有機トランジスタシートから押し離すことによって該複数の送受信部を湾曲させる複数の湾曲用部位が形成された湾曲用部位シートと、
を前記有機トランジスタシート，前記湾曲用部位シート，前記送受信部用シートの順に重ねて前記有機トランジスタシートにおける各有機トランジスタの前記一方の電極と前記送受信部用シートにおける各送受信部の前記一方の端部とを電気的に接続して固定するよう接合してなる、
ことを要旨とする。

この本発明の超音波送受信シートでは、有機トランジスタシートは湾曲自在なシートに有機トランジスタを複数配置してなり、送受信部用シートは有機トランジスタシートに重ねたときに有機トランジスタシートにおける各有機トランジスタのソースまたはドレインの一方の電極に圧電効果を有する高分子材料により長方形状に形成されて超音波を送受信可能な送受信部の一方の端部が整合する位置に複数の送受信部が配置されると共に複数の送受信部の一方の端部を連結してなり、湾曲用部位シートは、有機トランジスタシートと送受信部用シートとの間に配置されて接合されたときに、送受信部用シートにおける複数の送受信部の他方の端部を有機トランジスタシートから押し離すことによって複数の送受信部を湾曲させる複数の湾曲用部位が形成されてなる。そして、本発明の超音波受信シートは、有機トランジスタシート，湾曲用部位シート，送受信部用シートの順に重ね合わせ、有機トランジスタシートにおける各有機トランジスタのソースまたはドレインの一方の電極と送受信部用シートにおける各送受信部の連結された一方の端部とを電気的に接続して固定するよう接合して得る。この本発明の超音波送受信シートでは、超音波送受信素子は上述した本発明の超音波送受信素子と同一の構造となるから、送受信部の長さや幅などの寸法に対して目的とする超音波の波長に対する送受信用部材の感度が良好となる湾曲の程度となるよう湾曲用部位の寸法を調節することにより、良好な感度を有する超音波送受信素子を湾曲自在なシートに複数配置したものとすることができる。

こうした本発明の超音波送受信シートにおいて、送受信部用シートを形成する材料としては、ポリフッ化ビニリデン，フッ化ビニリデン・３フッ化エチレン共重合体，フッ化ビニリデン・テトラフルオロエチレン共重合体，ポリフッ化ビニル，ポリ塩化ビニル，ポリ塩化ビニリデン，ポリアクリロニトリル，ポリ塩化アクリロニトリル，シアン化ビニリデン・酢酸ビニル共重合体，シアン化ビニリデン・ビニルベンゾエート共重合体など、圧電効果を有する種々の高分子材料を用いることができるが、特に高い圧電性を有するポリフッ化ビニリデン，フッ化ビニリデン・３フッ化エチレン共重合体，フッ化ビニリデン・テトラフルオロエチレン共重合体が好適である。また、本発明の超音波送受信シートにおいける送受信部用シートは、上述のいずれかの材料により形成された薄板状部材を打ち抜き加工により形成されてなるものとすることもできる。

また、本発明の超音波送受信シートにおいて、前記湾曲用部位シートにおける各湾曲用部位は、前記送受信部用シートにおける各送受信部の当接部位と該送受信部の前記固定された部位との間隔に対して０．８を中心とする所定割合だけ前記他方の端部を前記有機トランジスタシートから押し離すよう形成されてなるものとすることもできる。さらに、本発明の超音波送受信シートにおいて、前記複数の超音波送受信素子はマトリックス状に配置されてなるものとすることもできる。

次に、本発明を実施するための最良の形態を実施例を用いて説明する。

図１は、本発明の一実施例としての超音波送受信素子２０の構成の概略を示す構成図である。実施例の超音波送受信素子２０は、圧電効果を有する高分子材料により長方形の薄板状に形成された送受信部材２２と、送受信部材２２の一方の端部２４にボンディング３９によりドレイン３６の電極３８が電気的に接続された有機トランジスタ３０と、送受信部材２２の他方の端部２６を有機トランジスタ３０側から押し上げるようにして送受信部材２２を湾曲させる湾曲部材４０と、から構成されている。なお、送受信部材２２の一方の端部２４の電極３８への接続面とは異なる面は設置されている。送受信部材２２は、上述したように圧電効果を有するため、電極３８に電圧パルスを生じさせると、送受信部材２２は電圧パルスの振動数で振動し、逆に送受信部材２２を振動させると、電極３８に振動に応じた電圧パルスが生じる。なお、送受信部材２２は、上述の構成から、一方の端部２４は片持ちの固定端となり、他方の端部２６は湾曲部材４０により支持されているものの開放端となる。

送受信部材２２を形成する高分子材料としては、圧電効果を有する高分子材料であれば如何なる材料であってもよいが、ポリフッ化ビニリデン，フッ化ビニリデン・３フッ化エチレン共重合体，フッ化ビニリデン・テトラフルオロエチレン共重合体，ポリフッ化ビニル，ポリ塩化ビニル，ポリ塩化ビニリデン，ポリアクリロニトリル，ポリ塩化アクリロニトリル，シアン化ビニリデン・酢酸ビニル共重合体，シアン化ビニリデン・ビニルベンゾエート共重合体などが好適である。特に高い圧電性を有するポリフッ化ビニリデン，フッ化ビニリデン・３フッ化エチレン共重合体，フッ化ビニリデン・テトラフルオロエチレン共重合体が好適である。

実施例の超音波送受信素子２０は、有機トランジスタ３０のゲート３２に電圧を印加して有機トランジスタ３０をオンとした状態でソース３４に２０ｋＨｚ以上の周波数の超音波領域における電圧パルスを印加すると、印加された電気パルスに対して送受信部材２２が振動することにより送受信部材２２から超音波を送信する。一方、超音波が照射されている状態で有機トランジスタ３０のゲート３２に電圧を印加して有機トランジスタ３０をオンとすると、超音波の周波数に応じて送受信部材２２が振動し、この振動に伴って生じる電圧パルスをソース３４側で検出することにより、超音波を受信する。

次に、実施例の超音波送受信素子２０の性能について説明する。図２は、４０ｋＨｚの超音波を超音波送受信素子２０に照射したときの送受信部材２２における一方の端部２４を電極３８の接続するボンディング３９と湾曲部材４０との湾曲間隔ｄと湾曲部材４０により送受信部材２２が湾曲される際の湾曲高さｈと電極３８に生じる出力電圧との関係を示すグラフである。図示するように、４０ｋＨｚの超音波に対しては、湾曲間隔ｄに対する湾曲高さｈの割合（ｈ／ｄ）は、湾曲間隔ｄが小さいときには０．７〜０．９の範囲、即ち０．８を含む範囲で感度が良好となり、湾曲間隔ｄが大きいときには０．５以上で感度が良好になる。図３は、４０ｋＨｚの超音波を超音波送受信素子２０に照射したときの送受信部材２２の幅Ｗと送受信部材２２の長さＬと電極３８に生じる出力電圧との関係を示すグラフである。図示するように、４０ｋＨｚの超音波に対しては、送受信部材２２は長さＬが１０ｍｍ以上で幅Ｗが２ｍｍ以上で良好な感度を示す。したがって、４０ｋＨｚの超音波に対しては、サイズが小型で良好な感度を有する送受信部材２２としては、長さＬが１０ｍｍ、幅Ｗが５ｍｍ、湾曲間隔ｄが５〜７ｍｍ、湾曲高さｈが４〜６ｍｍ、となる。なお、４０ｋＨｚ以外の周波数の超音波に対しては、同様の実験などを行なうことにより感度が良好な送受信部材２２の長さＬ、幅Ｗ、湾曲間隔ｄ、湾曲高さｈを得ることができる。

図４は実施例の超音波送受信素子２０で超音波を受信したときの受信指向性を示す説明図であり、図５は実施例の超音波送受信素子２０から超音波を送信したときの送信指向性を示す説明図である。図示するように、実施例の超音波送受信素子２０は、受信指向性も送信指向性も全方位に亘って良好である。

上述したように、実施例の超音波送受信素子２０は、超音波を送信する送信素子としても好適であると共に超音波を受信する受信素子としても好適であるが、図６に示すように、電圧パルスを発信するパルス発信器５２と受信機５４とを切り替えスイッチ５６を介して超音波送受信素子２０のソース３４に接続し、切り替えスイッチ５６によりパルス発信器５２と超音波送受信素子２０とを接続して超音波送受信素子２０から超音波を送信し、その後、切り替えスイッチ５６により受信機５４と超音波送受信素子２０とを接続して対象物で反射した超音波を受信することもできる。こうすれば、超音波を送信してから受信するまでの時間を計時することにより、超音波送受信素子２０と対象物との距離を測定することができる。

次に、実施例の超音波送受信素子２０をマトリックス状に配置した超音波送受信シート１００について説明する。図７は、実施例の超音波送受信シート１００の構成の概略を示す説明図である。実施例の超音波送受信シート１００は、湾曲自在なシートに８行８列となるよう配置された６４個の超音波送受信素子２０と、各行毎の超音波送受信素子２０の有機トランジスタ３０のゲート３２を接続するワード線ＷＬ１〜ＷＬ８と、各列毎の超音波送受信素子２０の有機トランジスタ３０のソース３４を接続するビット線ＢＬ１〜ＢＬ８と、により構成されている。

実施例の超音波送受信シート１００は、図８に例示するようにマトリックス状に配置された複数の有機トランジスタ３０が形成された有機トランジスタシート１１０と、図９に例示するように有機トランジスタシート１１０に重ねたときに各有機トランジスタ３０のドレイン３６の電極３８に一方の端部２４が整合するようにマトリックス状に複数の送受信部材２２を配置すると共にこの複数の送受信部材２２の一方の端部２４を連結部１２４および縦連結部１２２，横連結部１２６により連結してシート状とした送受信部用シート１２０と、図１０に例示するように送受信部用シート１２０に重ねたときに各送受信部材２２の他方の端部２６に湾曲部材４０が整合するようにマトリックス状に複数の湾曲部材４０を配置すると共にこの湾曲部材４０を縦連結部１３４および横連結部１３６により連結してシート状とした湾曲部用シート１３０と、を有機トランジスタシート１１０，湾曲部用シート１３０，送受信部用シート１２０の順に重ね合わせて各有機トランジスタ３０の電極３８と送受信部材２２の一方の端部２４とをボンディング３９により接合して形成することができる。

有機トランジスタシート１１０は、例えば、プラスチックフィルム上に銀ナノ粒子をインクジェットプリンタにより塗布し、銀ナノ粒子を２２０℃で１時間大気中で焼成することにより各有機トランジスタ３０のゲート電極を作製し、エポキシ系樹脂をスクリーン印刷機により塗布して各ゲート電極の周辺に隔壁を作製し、８ｍＰａｓまで希釈したポリイミド前駆体を隔壁内のゲート電極上にインクジェットで塗布し、窒素雰囲気で１８０℃硬化させることによりポリイミドゲート絶縁膜（厚み１μｍ）を作製する。そして、真空蒸着法を用いて厚み５０ｎｍの有機半導体ペンタセンを製膜し、最後に、ソースおよびドレイン電極を真空蒸着装置で製膜して各有機トランジスタ３０を完成することにより、形成することができる。

送受信部用シート１２０は、例えば、ポリフッ化ビニリデン，フッ化ビニリデン・３フッ化エチレン共重合体，フッ化ビニリデン・テトラフルオロエチレン共重合体，ポリフッ化ビニル，ポリ塩化ビニル，ポリ塩化ビニリデン，ポリアクリロニトリル，ポリ塩化アクリロニトリル，シアン化ビニリデン・酢酸ビニル共重合体，シアン化ビニリデン・ビニルベンゾエート共重合体などの圧電効果を有する高分子材料により薄板を形成し、打ち抜き加工により送受信部用シート１２０を完成することにより、形成することができる。なお、送受信部用シート１２０を形成する高分子材料としては、特に高い圧電性を有するポリフッ化ビニリデン，フッ化ビニリデン・３フッ化エチレン共重合体，フッ化ビニリデン・テトラフルオロエチレン共重合体が好適であり、実施例では、ポリフッ化ビニリデンにより形成した。

湾曲部用シート１３０は、例えば、種々のプラスチック材料により薄板を形成し、打ち抜き加工により湾曲部用シート１３０を完成することにより、形成することができる。

実施例の超音波送受信シート１００は、ワード線ＷＬ１〜ＷＬ８に順に電圧を印加して各行毎の有機トランジスタ３０を順にオンとすると共にビット線ＢＬ１〜ＢＬ８に順に電圧パルスを出力することによって各超音波送受信素子２０から順に超音波を送信することができ、ワード線ＷＬ１〜ＷＬ８に順に電圧を印加して各行毎の有機トランジスタ３０を順にオンとすると共にビット線ＢＬ１〜ＢＬ８で電圧パルスを検出することによって各超音波送受信素子２０で超音波を受信することができる。即ち、マトリックス状に配置された複数の超音波送受信素子２０のうち任意の超音波送受信素子２０により超音波を送信することができ、マトリックス状に配置された複数の超音波送受信素子２０のうち任意の超音波送受信素子２０で超音波を受信することができる。この超音波送受信シート１００では、例えば、中心に位置する超音波送受信素子２０から超音波を送信し、対象物から反射した超音波をマトリックス状に配置された全ての超音波送受信素子２０で受信し、各超音波送受信素子２０で受信した超音波の位相差をデータ処理することにより、超音波送受信シート１００から対象物までの距離および対象物の形状を検出することができる。

以上説明した実施例の超音波送受信素子２０によれば、送受信部材２２は湾曲の程度によって受信感度を調整することができるから、対象となる超音波の周波数に対して感度が良好となる送受信部材２２の長さＬ、幅Ｗ、湾曲間隔ｄ、湾曲高さｈを設定して用いることにより、良好な感度を有するものとすることができる。しかも、有機トランジスタ３０は印刷技術を用いることによりシートにマトリックス状に形成することができ、送受信部材２２の固定端である一方の端部２４を連結してシート状に形成することができ、湾曲部材４０も連結してシート状に形成することができるから、実施例の超音波送受信素子２０は湾曲自在なシートに複数配置することが容易なものとなる。

実施例の超音波送受信シート１００によれば、対象となる超音波の周波数に対して感度が良好となる送受信部材２２の長さＬ、幅Ｗ、湾曲間隔ｄ、湾曲高さｈを設定して用いることにより、良好な感度を有する超音波送受信素子２０を湾曲自在なシートに複数配置したものとすることができる。

実施例の超音波送受信素子２０や超音波送受信シート１００では、送受信部材２２や送受信部用シート１２０をポリフッ化ビニリデン，フッ化ビニリデン・３フッ化エチレン共重合体，フッ化ビニリデン・テトラフルオロエチレン共重合体，ポリフッ化ビニル，ポリ塩化ビニル，ポリ塩化ビニリデン，ポリアクリロニトリル，ポリ塩化アクリロニトリル，シアン化ビニリデン・酢酸ビニル共重合体，シアン化ビニリデン・ビニルベンゾエート共重合体などの圧電効果を有する高分子材料により形成するものとしたが、これらの高分子材料に限定されるものではなく、圧電効果を有する材料であれば如何なる材料によって形成してもかまわない。

実施例の超音波送受信シート１００では、６４個の超音波送受信素子２０を８行８列となるよう配置するものとしたが、複数の超音波送受信素子２０をｎ行ｍ列（ｎ，ｍは自然数）となるよう配置するものとしてもよいし、マトリックス状に配置しないものとしてもよい。

実施例の超音波送受信素子２０や超音波送受信シート１００では、送受信部材２２の一方の端部２４を有機トランジスタ３０のドレイン３６の電極３８に電気的に接続するものとしたが、有機トランジスタ３０は、構造的にソース３４とドレイン３６とは等価であるから、送受信部材２２の一方の端部２４を有機トランジスタ３０のソース３４の電極に電気的に接続するものとしてもよい。

実施例の超音波送受信素子２０や超音波送受信シート１００では、送受信部材２２の他方の端部２６を開放端としたが、送受信部材２２が湾曲すればよいから他方の端部２６も一方の端部２４と同様に固定端としてもよい。この場合、湾曲の方向としては実施例の超音波送受信素子２０のように図１に示すように上に凹（有機トランジスタ３０に向けて凸）に限定されるものではなく図１上で上に凸（有機トランジスタ３０に向けて凹）のアーチ状としてもよい。

以上、本発明を実施するための最良の形態について実施例を用いて説明したが、本発明はこうした実施例に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、種々なる形態で実施し得ることは勿論である。

本発明は、超音波送受信素子や超音波送受信シートの製造産業などに利用可能である。

本発明の一実施例としての超音波送受信素子２０の構成の概略を示す構成図である。 ４０ｋＨｚの超音波を超音波送受信素子２０に照射したときの送受信部材２２における湾曲間隔ｄと湾曲高さｈと出力電圧との関係を示すグラフである。 ４０ｋＨｚの超音波を超音波送受信素子２０に照射したときの送受信部材２２の幅Ｗと送受信部材２２の長さＬと電極３８に生じる出力電圧との関係を示すグラフである。 実施例の超音波送受信素子２０で超音波を受信したときの受信指向性を示す説明図である。 実施例の超音波送受信素子２０から超音波を送信したときの送信指向性を示す説明図である。 実施例の超音波送受信素子２０を超音波の送受信素子として用いた具体例の一例を示す説明図である。 実施例の超音波送受信シート１００の構成の概略を示す説明図である。 有機トランジスタシート１１０の一例を示す説明図である。 送受信部用シート１２０の一例を示す説明図である。 湾曲部用シート１３０の一例を示す説明図である。

符号の説明

２０ 超音波送受信素子、２２ 送受信部材、２４ 一方の端部、２６ 他方の端部、３０ 有機トランジスタ、３２ ゲート、３４ ソース、３６ ドレイン、３８ 電極、３９ ボンディング、４０ 湾曲部材、５２ パルス発信器、５４ 受信機、５６ 切り替えスイッチ、１００ 超音波送受信シート、１１０ 有機トランジスタシート、１２０ 送受信部用シート、１２２ 縦連結部、１２４ 連結部、１２６ 横連結部、１３４ 縦連結部、１３６ 横連結部、ＷＬ１〜ＷＬ８ ワード線、ＢＬ１〜ＢＬ８ ビット線。

Claims (7)

1. 超音波を送受信可能な超音波送受信素子であって、
   有機トランジスタと、
   圧電効果を有する高分子材料により長方形の薄板状に形成され、長手方向の一方の端部が前記有機トランジスタのソースまたはドレインの一方に電気的に接続されると共に片持ち状に固定された送受信部材と、
   前記有機トランジスタと前記送受信部材との間の該送受信部材の長手方向の他方の端部に整合する位置に配置され、前記他方の端部を前記有機トランジスタから押し離すことによって該送受信部材を湾曲させる湾曲用部材と、
   を備える超音波送受信素子。
2. 前記送受信部材は、ポリフッ化ビニリデン，フッ化ビニリデン・３フッ化エチレン共重合体，フッ化ビニリデン・テトラフルオロエチレン共重合体のいずれかの材料により形成されてなる請求項１記載の超音波送受信素子。
3. 前記湾曲用部材は、前記送受信部材の当接部位と該送受信部材の前記固定された部位との間隔に対して０．８を中心とする所定割合だけ前記他方の端部を前記有機トランジスタから押し離すよう形成されてなる請求項１または２記載の超音波送受信素子。
4. 圧電効果を有する高分子材料により長方形状に形成されて超音波を送受信可能な送受信部と前記送受信部の一方の端部にソースまたはドレインの一方の電極が電気的に接続された有機トランジスタとを有する超音波送受信素子を湾曲自在なシートに複数配置してなる超音波送受信シートであって、
   湾曲自在なシートに前記有機トランジスタを複数配置してなる有機トランジスタシートと、
   前記有機トランジスタシートに重ねたときに該有機トランジスタシートにおける各有機トランジスタのソースまたはドレインの一方の電極に前記送受信部の一方の端部が整合する位置に複数の送受信部が配置され、前記複数の送受信部の前記一方の端部を連結してなる送受信部用シートと、
   前記有機トランジスタシートと前記送受信部用シートとの間に配置されて接合されたときに、前記送受信部用シートにおける前記複数の送受信部の他方の端部を前記有機トランジスタシートから押し離すことによって該複数の送受信部を湾曲させる複数の湾曲用部位が形成された湾曲用部位シートと、
   を前記有機トランジスタシート，前記湾曲用部位シート，前記送受信部用シートの順に重ねて前記有機トランジスタシートにおける各有機トランジスタの前記一方の電極と前記送受信部用シートにおける各送受信部の前記一方の端部とを電気的に接続して固定するよう接合してなる、
   超音波送受信シート。
5. 前記送受信部用シートは、ポリフッ化ビニリデン，フッ化ビニリデン・３フッ化エチレン共重合体，フッ化ビニリデン・テトラフルオロエチレン共重合体のいずれかの材料により形成された薄板状部材を打ち抜き加工により形成されてなる請求項４記載の超音波送受信シート。
6. 前記湾曲用部位シートにおける各湾曲用部位は、前記送受信部用シートにおける各送受信部の当接部位と該送受信部の前記固定された部位との間隔に対して０．８を中心とする所定割合だけ前記他方の端部を前記有機トランジスタシートから押し離すよう形成されてなる請求項４または５記載の超音波送受信シート。
7. 前記複数の超音波送受信素子はマトリックス状に配置されてなる請求項４ないし６いずれか１つの請求項に記載の超音波送受信シート。