JP5375586B2

JP5375586B2 - Peeling apparatus and peeling method

Info

Publication number: JP5375586B2
Application number: JP2009290676A
Authority: JP
Inventors: 幸一郎遠藤
Original assignee: Three Bond Co Ltd
Current assignee: Three Bond Co Ltd
Priority date: 2009-12-22
Filing date: 2009-12-22
Publication date: 2013-12-25
Anticipated expiration: 2029-12-22
Also published as: TWI504552B; WO2011077854A1; CN102666333A; JP2011131954A; CN102666333B; KR101458406B1; TW201139257A; KR20120096470A

Description

本発明は剥離装置及び剥離方法に係り、特に、接着剤層の一方の面がセパレータで被覆された接着性シートを被着体に貼付した状態で、前記セパレータを接着剤層から剥離することに適した剥離装置及び剥離方法に関する。 The present invention relates to a peeling apparatus and a peeling method, and in particular, to peel off the separator from the adhesive layer in a state where an adhesive sheet in which one surface of the adhesive layer is coated with the separator is attached to an adherend. The present invention relates to a suitable peeling apparatus and peeling method.

有機ＥＬ基板、ディスプレイパネル等の板状若しくはシート状のワークを積層して一体化させるために、これらワーク間に接着性シートを介在させて接着することが知られている。
前記接着性シートとしては、例えば、フィルム状をなす一対のセパレータ間に接着剤層を挟み込んだ基材シートを用い、一方のセパレータを剥離して表出する接着面をワークに貼付しておき、他方のセパレータを剥離して接着面を表出させることで、当該表出した接着面にワークを貼り合わせることができる。
このようなセパレータの剥離に際しては、その表面に粘着テープを貼り付け、当該粘着テープを引っ張ることで剥離を行うことが知られている。
しかしながら、粘着テープを剥離毎に利用する剥離装置は、廃棄処分される粘着テープが必須となり、ランニングコストがかかって経済的でない、という不利益がある。
そこで、粘着テープを用いることなく剥離を行うことのできる装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。 In order to laminate and integrate plate-like or sheet-like works such as an organic EL substrate and a display panel, it is known to bond them by interposing an adhesive sheet between the works.
As the adhesive sheet, for example, using a base sheet in which an adhesive layer is sandwiched between a pair of separators in the form of a film, an adhesive surface that peels and exposes one separator is pasted on a workpiece, By peeling the other separator and exposing the adhesive surface, the workpiece can be bonded to the exposed adhesive surface.
In peeling such a separator, it is known that peeling is performed by attaching an adhesive tape to the surface and pulling the adhesive tape.
However, the peeling device that uses the adhesive tape for each peeling has a disadvantage that the adhesive tape to be disposed of is essential, and the running cost is high, which is not economical.
Therefore, an apparatus that can perform peeling without using an adhesive tape has been proposed (see, for example, Patent Document 1).

特開平７−１５７１８７号公報JP 7-157187 A

特許文献１に記載された剥離装置は、基板にラミネートされた保護フィルムを剥離するために、針（ニードル）を保護フィルムに突き刺し、基板を支持するテーブルを水平方向に移動させることによって、保護フィルムが針にひっかけられて基板から剥離できる構成となっている。 In order to peel off the protective film laminated on the substrate, the peeling device described in Patent Document 1 pierces the needle (needle) into the protective film, and moves the table supporting the substrate in the horizontal direction, thereby protecting the protective film. Is attached to the needle and peeled off from the substrate.

しかしながら、特許文献１記載の剥離装置にあっては、針を保護フィルムに突き刺した状態を維持して剥離を行うものであるため、剥離途中における保護フィルムの撓み変形等によって針が保護フィルムから抜け出てしまうおそれがあり、剥離の確実性が担保できない、という問題がある。このような問題は、保護フィルムの剛性が高い場合、或いは、保護フィルムが極薄である場合に一層顕在化する。
また、剥離された保護フィルムは針の先端側にぶら下がった状態となるため、これを積極的に分離しなければならない。そのため、保護フィルムの面にエアを吹き付けて針から脱落させる必要があり、フィルムが意図しない方向に吹き飛ばされるといった不都合を招来する。
しかも、ニードルを剥離動作の最終段階まで用いる構成であるため、次の剥離動作への移行時間が長くなって剥離効率も低い、という難点がある。 However, in the peeling apparatus described in Patent Document 1, since the peeling is performed while maintaining the state where the needle is pierced into the protective film, the needle is pulled out of the protective film due to the bending deformation of the protective film during the peeling. There is a problem that the certainty of peeling cannot be guaranteed. Such a problem becomes more obvious when the rigidity of the protective film is high or when the protective film is extremely thin.
Further, since the peeled protective film is hung on the tip side of the needle, it must be positively separated. Therefore, it is necessary to blow off air from the surface of the protective film to drop it off the needle, which causes inconvenience that the film is blown away in an unintended direction.
And since it is the structure which uses a needle until the last stage of peeling operation | movement, there exists a difficulty that the transfer time to the next peeling operation becomes long and peeling efficiency is also low.

［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、ニードルで剥離のきっかけ部を形成する際に、吸着手段を介してセパレータを吸着し、その吸着を維持した状態で吸着手段を剥離方向に変位させて接着剤層からセパレータを剥離することができ、しかも、剥離効率を向上させることのできる剥離装置及び剥離方法を提供することにある。 [Object of invention]
The present invention has been devised by paying attention to such inconveniences. The purpose of the present invention is to adsorb a separator through an adsorbing means and maintain the adsorbing when forming a trigger for peeling with a needle. An object of the present invention is to provide a peeling apparatus and a peeling method that can peel the separator from the adhesive layer by displacing the adsorbing means in the peeled state, and can improve the peeling efficiency.

前記目的を達成するため、本発明は特許請求の範囲記載の構成を採用した。
具体的には、一方の面がセパレータで被覆された接着剤層を有する接着性シートを被着体に貼付した状態で、前記セパレータを接着剤層から剥離する剥離装置であって、
前記被着体を支持するテーブルと、
前記セパレータの端部を上面から突き刺すニードルと、
前記セパレータに剥離きっかけ部を形成するように前記ニードルを変位可能に支持する支持手段と、
前記セパレータを吸着する吸着手段とを含み、
前記ニードルで剥離きっかけ部を形成する際に、前記吸着手段で吸着力をセパレータに付与し、剥離きっかけ部が形成されたときに前記吸着手段と被着体とを相対的に離間させて前記セパレータを剥離可能としたものである。 In order to achieve the above object, the present invention adopts the structure described in the claims.
Specifically, it is a peeling device for peeling the separator from the adhesive layer in a state where an adhesive sheet having an adhesive layer coated on one side with a separator is attached to an adherend,
A table for supporting the adherend;
A needle that pierces the end of the separator from above,
Support means for supporting the needle so as to be displaceable so as to form a peeling trigger portion on the separator;
Adsorbing means for adsorbing the separator,
When the peeling trigger portion is formed by the needle, the suction force is applied to the separator by the suction means, and when the peeling trigger portion is formed, the suction means and the adherend are relatively separated from each other. Can be peeled off.

本発明において、前記吸着手段は、所定の減圧ポンプに接続された吸着パッドを含んで構成され、当該吸着パッドは、第１の回転中心軸と、第２の回転中心軸を中心として回転可能に設けられることで被着体に対して離間接近可能とされ、前記第２の回転中心軸を中心とする吸着パッドの回転半径は、前記第１の回転中心軸を中心とする吸着パッドの回転半径よりも短い、という構成を採っている。 In the present invention, the suction means is configured to include a suction pad connected to a predetermined decompression pump, and the suction pad is rotatable about the first rotation center axis and the second rotation center axis. By being provided, it is possible to move away from the adherend, and the rotation radius of the suction pad about the second rotation center axis is the rotation radius of the suction pad about the first rotation center axis. It is shorter than that.

また、前記ニードルは平面視で前記吸着パッドの中心を通る線上で前記セパレータを突き刺すように設けることが好ましい。 The needle is preferably provided so as to pierce the separator on a line passing through the center of the suction pad in plan view.

更に、前記ニードルは、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸駆動装置を介して支持され、これら駆動装置を駆動することで、前記突き刺し、剥離きっかけ部の形成動作を行うように構成することができる。 Further, the needle is supported via an X, Y, and Z axis driving device, and the driving device is driven to perform the piercing and peeling trigger forming operation.

また、前記接着剤層は熱溶融性反応系接着剤であり、当該接着剤層を介して接着性シートが前記被着体に貼付された状態で前記セパレータを剥離する、という構成に適用するとよい。 Further, the adhesive layer is a hot-melt reaction type adhesive, and it may be applied to a configuration in which the separator is peeled off in a state where an adhesive sheet is attached to the adherend through the adhesive layer. .

更に、本発明は、一方の面がセパレータで被覆された接着剤層を有する接着性シートを被着体に貼付した状態で、前記セパレータを接着剤層から剥離する剥離方法であって、
前記被着体をテーブルに支持させる工程と、
前記セパレータの端部をニードルで上面から突き刺す工程と、
前記ニードルがセパレータを突き刺す際に当該セパレータに吸着パッドを介して吸着力を付与する工程と、
前記ニードルを変位させて前記セパレータに剥離きっかけ部を形成する工程と、
前記セパレータを吸着した状態で前記吸着パッドと被着体とを相対的に離間させて前記セパレータを接着剤層から剥離する工程と、を含むものである。 Furthermore, the present invention is a peeling method for peeling the separator from the adhesive layer in a state where an adhesive sheet having an adhesive layer coated on one side with a separator is attached to an adherend,
Supporting the adherend on a table;
Piercing the end of the separator from above with a needle;
Applying a suction force to the separator via a suction pad when the needle pierces the separator;
Displacing the needle to form a separation trigger portion in the separator;
And a step of separating the separator from the adhesive layer by relatively separating the suction pad and the adherend while adsorbing the separator.

本発明によれば、前記ニードルで剥離きっかけ部を形成し、吸着手段が吸着力をセパレータに付与して被着体から離間する構成としたことから、セパレータは吸着手段に保持された状態で剥離されることとなる。従って、セパレータの剥離を確実に行うことができるとともに、当該セパレータを規則的に回収することが可能となる。更に、ニードルは剥離の初期動作で利用されるものであるため、次のセパレータを剥離する動作に移行することが可能となる。 According to the present invention, the separation trigger part is formed by the needle, and the adsorption unit applies the adsorption force to the separator so as to be separated from the adherend. Therefore, the separator is separated while being held by the adsorption unit. Will be. Therefore, the separator can be surely peeled and the separator can be collected regularly. Furthermore, since the needle is used in the initial operation of peeling, it is possible to shift to the operation of peeling the next separator.

また、吸着パッドは第２の回転中心軸を中心とした回転半径が、第１の回転中心軸を中心とした回転半径よりも短く設定される構成を採用した場合には、第２の回転中心軸を中心とする吸着パッドの回転により、吸着による初期の剥離方向をセパレータの面に対して傾斜する方向に設定し易くなり、最も剥離抵抗が大きい初期の剥離動作をスムースに行うことができる。 Further, when the suction pad adopts a configuration in which the rotation radius about the second rotation center axis is set shorter than the rotation radius about the first rotation center axis, the second rotation center By rotating the suction pad around the axis, it becomes easy to set the initial peeling direction by suction in a direction inclined with respect to the surface of the separator, and the initial peeling operation with the largest peeling resistance can be performed smoothly.

更に、ニードルが平面視で吸着パッドの中心を通る線上でセパレータを突き刺す構成では、ニードルによってセパレータの端部を持ち上げようとする力と、吸着パッドによる初期の吸着力とを相互に作用させることができ、剥離きっかけ部を確実に形成して剥離不良を未然に防止することができる。 Furthermore, in the configuration in which the needle pierces the separator on a line passing through the center of the suction pad in plan view, the force for lifting the end of the separator by the needle and the initial suction force by the suction pad can interact with each other. It is possible to reliably form a peeling trigger portion and prevent a peeling failure.

また、ニードルがＸ、Ｙ、Ｚ軸駆動装置を介して支持される構成では、予め設定可能な移動軌跡に沿ってニードルが変位するように駆動装置を駆動させることで、セパレータをニードルで突き刺して剥離きっかけ部を形成する動作を行わせることができ、テーブル及び被着体を平面内で移動させることなく剥離を行うことができる。 Further, in the configuration in which the needle is supported via the X, Y, and Z axis driving devices, the separator is pierced with the needle by driving the driving device so that the needle is displaced along a preset trajectory. The operation of forming the peeling trigger portion can be performed, and the peeling can be performed without moving the table and the adherend in a plane.

また、接着剤層が熱溶融性反応系接着剤であれば、セパレータが接着剤層に突き刺さった場合に形成され得るピンホールは、板状部材の貼り合せに際して溶融によって埋められるようになり、板状部材の積層後に、それら板状部材間に気泡が残ってしまうような不都合を回避することができる。
なお、前記熱溶融性反応系接着剤とは、加熱することにより溶融し流動性を発現して被着体を濡らすものであるが、硬化反応は溶融した状態のものにさらにエネルギーを加えることで進行する。本発明において前記エネルギーに特に制限はないが、該エネルギーとしては加熱、活性光照射などが挙げられ、被着体に対する影響や生産性の点などから、活性光照射が特に好ましい。 If the adhesive layer is a heat-meltable reactive adhesive, the pinholes that can be formed when the separator pierces the adhesive layer are filled by melting when the plate-like members are bonded together. It is possible to avoid the inconvenience that air bubbles remain between the plate-like members after the lamination of the plate-like members.
The heat-meltable reaction adhesive is one that melts by heating and develops fluidity to wet the adherend, but the curing reaction is performed by adding energy to the molten state. proceed. In the present invention, the energy is not particularly limited, and examples of the energy include heating and activation light irradiation, and activation light irradiation is particularly preferable from the viewpoint of influence on the adherend and productivity.

本実施形態に剥離装置の概略正面図。The schematic front view of the peeling apparatus in this embodiment. 剥離対象を示す概略斜視図。The schematic perspective view which shows the peeling object. 剥離動作を開始する状態を示す要部正面図。The principal part front view which shows the state which starts peeling operation | movement. 図１の一部概略平面図。The partial schematic plan view of FIG. 剥離きっかけ部を形成した状態を示す要部正面図。The principal part front view which shows the state which formed the peeling trigger part.

以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１において、貼付装置１０は、一方の面がセパレータ１１で被覆された接着剤層１２を有する接着性シートＳを被着体としての基板１３に貼付した状態で、前記セパレータ１１を接着剤層１２から剥離する装置として構成されている。セパレータ１１は、一般的に剥離シートと称呼されるものと実質的に同一のものであり、材質としてはポリエチレンテレフタレートなどが例示される。当該セパレータは、接着剤層１２側の面が剥離処理された厚み１０μｍ〜６０μｍ、特に好ましくは５０μｍ程度のフィルムにより構成されている。また、接着剤層１２は、特に限定されるものではないが、熱溶融性反応系接着剤により構成され、その層厚が１０〜４０μｍ、特に好ましくは２０μｍ程度とされている。接着性シートＳは、本実施形態では、図２に示されるように、基板１３の複数箇所に等大、等間隔を隔てて複数箇所に貼付されている。 In FIG. 1, the sticking device 10 has the separator 11 attached to an adhesive layer in a state where an adhesive sheet S having an adhesive layer 12 coated on one side with a separator 11 is attached to a substrate 13 as an adherend. 12 is configured as an apparatus that peels from the tape. The separator 11 is substantially the same as what is generally called a release sheet, and examples of the material include polyethylene terephthalate. The separator is made of a film having a thickness of 10 μm to 60 μm, particularly preferably about 50 μm, from which the surface on the adhesive layer 12 side has been peeled off. The adhesive layer 12 is not particularly limited, but is composed of a hot-melt reactive adhesive, and the layer thickness is 10 to 40 μm, particularly preferably about 20 μm. In this embodiment, as shown in FIG. 2, the adhesive sheet S is affixed to a plurality of locations on the substrate 13 at a plurality of locations at equal intervals.

前記剥離装置１０は、基板１３を支持するテーブル１５と、セパレータ１１の端部を上面から突き刺すニードル１６と、セパレータ１１に剥離きっかけ部１１Ａ（図５参照）を形成するように前記ニードル１６を変位可能に支持する支持手段１８と、セパレータ１１を吸着する吸着手段１９と、吸着手段１９に吸着されたセパレータ１１を回収する回収手段２０と、これら手段等を全体的に制御する図示しない制御装置とを備えて構成されている。 The peeling device 10 displaces the needle 16 so as to form a table 15 that supports the substrate 13, a needle 16 that pierces the end of the separator 11 from the upper surface, and a peeling trigger 11 </ b> A (see FIG. 5). A support means 18 that supports the separator 11, an adsorption means 19 that adsorbs the separator 11, a collection means 20 that collects the separator 11 adsorbed by the adsorption means 19, and a control device (not shown) that controls these means and the like as a whole. It is configured with.

前記テーブル１５は、内部に図示しないチャンバと、当該チャンバに連通してテーブル１５の上面に開通する多数の吸着孔を備え、前記チャンバに接続された図示しない減圧ポンプの駆動により基板１３を吸着して当該基板１３を固定的に支持できるように設けられている。このテーブル１５は、下面側に位置する直動モータＭ１を介してＸ軸方向に移動可能に設けられている。 The table 15 includes a chamber (not shown) inside and a number of suction holes communicating with the chamber and opened on the upper surface of the table 15. The table 15 sucks the substrate 13 by driving a decompression pump (not shown) connected to the chamber. The substrate 13 is provided so that it can be fixedly supported. The table 15 is provided so as to be movable in the X-axis direction via a linear motion motor M1 located on the lower surface side.

前記ニードル１６は、セパレータ１１の端部を上方より突き刺し、当該端部を接着剤層１２から離れる上方に引き上げるように動作して剥離きっかけ部１１Ａを形成するようになっている。このニードル１６は、図１中紙面直交方向に沿って複数、本実施形態では３本用いられており（図４参照）、それらの上端は、調整摘み２４Ａを介して突出長さが調整可能となる状態で保持ブロック２４に保持されている。ニードル１６は、図３に示されるように、その傾斜角度θが４５°〜６０°の範囲内に設定されている。４５°未満では、セパレータ１１上を滑って当該セパレータ１１に突き刺し難くなり、６０°を越えると、剥離きっかけ部１１Ａを形成する際の抵抗が大きくなり過ぎるためである。また、ニードル１６がセパレータ１１を突き刺す位置は、図３に示されるように、セパレータ１１の端縁から距離Ｌ１離れた内側が好ましく、Ｌ１としては、約１ｍｍが例示できる。 The needle 16 is configured to pierce the end portion of the separator 11 from above and pull the end portion upward away from the adhesive layer 12 to form a peeling trigger portion 11A. A plurality of needles 16 are used along the direction orthogonal to the plane of the paper in FIG. 1, and three needles 16 are used in the present embodiment (see FIG. 4). In this state, it is held in the holding block 24. As shown in FIG. 3, the needle 16 has an inclination angle θ set in a range of 45 ° to 60 °. If it is less than 45 °, it is difficult to slide on the separator 11 and pierce the separator 11, and if it exceeds 60 °, the resistance when forming the peeling trigger portion 11A becomes too large. Further, as shown in FIG. 3, the position where the needle 16 pierces the separator 11 is preferably inside the distance L1 from the edge of the separator 11, and L1 can be exemplified by about 1 mm.

前記支持手段１８は、ニードル１６を支持するブロック２４の他、当該ブロック２４を図１中左右方向に移動可能に支持するＸ軸モータ３０と、このＸ軸モータ３０を上下方向に移動可能に支持するＺ軸モータ３１と、当該Ｚ軸モータ３１を図１中紙面直交方向（Ｙ軸方向）に移動可能に支持するＹ軸モータ３３とを含む。Ｙ軸モータ３３は、図示しないフレームを介して支持されている。従って、ニードル１６は、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の直交三軸方向に変位可能となる。 In addition to the block 24 that supports the needle 16, the support means 18 supports an X-axis motor 30 that supports the block 24 so as to be movable in the left-right direction in FIG. 1, and supports the X-axis motor 30 so as to be movable in the vertical direction. 1 and a Y-axis motor 33 that supports the Z-axis motor 31 so as to be movable in the direction orthogonal to the plane of the drawing (Y-axis direction) in FIG. The Y-axis motor 33 is supported via a frame (not shown). Therefore, the needle 16 can be displaced in the three orthogonal directions of the X axis, the Y axis, and the Z axis.

前記吸着手段１９は図示しない減圧ポンプに接続された吸着パッド３５を含んで構成されている。この吸着パッド３５は、前記ニードル１６の本数に対応するように３個を１組として回転ブロック３７に支持されており（図４参照）、当該回転ブロック３７は、アーム３８の自由端側に相対回転可能に支持されている。アーム３８は、モータＭ２を介して鉛直面内で回転可能とされ、回転ブロック３７は、アーム３８の自由端側に設けられたモータＭ３を介して鉛直面内で回転可能となっている。また、アーム３８は、図１中紙面直交方向に沿って一対をなす関係で配置され、これらアーム３８の自由端側間に前記回転ブロック３７が位置するようになっている。本実施形態における吸着手段１９は、Ｙ軸方向に沿って複数設けられており、Ｙ軸方向に並ぶセパレータ毎に各吸着手段１９が対応するように構成されている。 The suction means 19 includes a suction pad 35 connected to a vacuum pump (not shown). The suction pads 35 are supported by a rotating block 37 as a set corresponding to the number of the needles 16 (see FIG. 4), and the rotating block 37 is relative to the free end side of the arm 38. It is rotatably supported. The arm 38 is rotatable in the vertical plane via the motor M2, and the rotary block 37 is rotatable in the vertical plane via the motor M3 provided on the free end side of the arm 38. Further, the arms 38 are arranged in a paired relationship along the direction orthogonal to the paper surface in FIG. 1, and the rotating block 37 is positioned between the free ends of the arms 38. A plurality of suction means 19 in the present embodiment are provided along the Y-axis direction, and each suction means 19 is configured to correspond to each separator arranged in the Y-axis direction.

前記吸着パッド３５は、モータＭ２の出力軸４０を第１の回転中心軸として図１中矢印Ａ１方向に回転可能となっている。また、前記モータＭ３の出力軸４１を第２の回転中心軸として矢印Ａ２方向に回転可能となっており、これにより、吸着パッド３５が基板１３の上面に対して離間接近可能とされている。また、モータＭ３の出力軸４１を中心とする吸着パッド３５の回転半径は、モータＭ２の出力軸４０を中心とする吸着パッド３５の回転半径よりも短く設定されている。第２の回転中心軸を構成する出力軸４１の位置は、剥離を行うセパレータ１１の面内上方に位置可能とされている一方、第１の回転中心軸を構成する出力軸４０の位置は、当該セパレータ１１の上面から外れた外側上方に設定されている。従って、吸着パッド３５がセパレータ１１を吸着して後述する剥離力を付与するときの剥離方向を矢印Ａ２の方向に大きく傾斜して初期の剥離力を効果的に作用させることができる一方、剥離が開始された後、完全剥離を行うときに、アーム３８を矢印Ａ１方向に回転させることでセパレータ１１の迅速な剥離が行えることとなる。なお、吸着パッド３５がセパレータ１１を吸着する位置は、図３に示されるように、セパレータ１１の端縁からＬ２離れた内側となっており、Ｌ２としては約２ｍｍが例示できる。従って、吸着位置の最も端縁寄りの位置とニードル１１が突き刺す位置との距離は、約１ｍｍとなる。 The suction pad 35 is rotatable in the direction of arrow A1 in FIG. 1 with the output shaft 40 of the motor M2 as the first rotation center axis. Further, the output shaft 41 of the motor M3 can be rotated in the direction of arrow A2 with the second rotation center axis as a result, so that the suction pad 35 can be separated and approached from the upper surface of the substrate 13. The rotation radius of the suction pad 35 around the output shaft 41 of the motor M3 is set shorter than the rotation radius of the suction pad 35 around the output shaft 40 of the motor M2. The position of the output shaft 41 that constitutes the second rotation center axis can be positioned above the surface of the separator 11 that performs peeling, while the position of the output shaft 40 that constitutes the first rotation center axis is It is set on the upper outside outside the upper surface of the separator 11. Accordingly, the peeling direction when the suction pad 35 sucks the separator 11 and applies the peeling force described later can be greatly inclined in the direction of the arrow A2 to effectively apply the initial peeling force. After the start, when the complete peeling is performed, the arm 38 is rotated in the direction of the arrow A1 so that the separator 11 can be quickly peeled off. As shown in FIG. 3, the position where the suction pad 35 sucks the separator 11 is on the inner side away from the edge of the separator 11 by L2, and L2 can be about 2 mm. Accordingly, the distance between the position closest to the edge of the suction position and the position where the needle 11 pierces is about 1 mm.

前記回収手段２０は、前記アーム３８が図１中二点鎖線で示される位置に回転変位したときに、その自由端上方に位置する吸着ベルト４５と、当該吸着ベルト４５の下面側に位置する搬送ベルト４６とを含んで構成されている。吸着ベルト４５は、吸着パッド３５に吸着されたセパレータ１１を一時的に吸着した状態で搬送ベルト４６側にセパレータ１１を移動させて当該搬送ベルト４６との間に挟み込み、挟み込まれたセパレータ１１は搬送方向下流側に設けられた図示しない回収ボックスに回収される。なお、ここでは図示省略しているが、前記アーム３８の自由端側にはローラが設けられており、当該ローラは、アーム３８が図１中二点鎖線で示される位置に変位したときに、吸着ベルト４５との間に剥離されたセパレータ１１を挟み込むようになっている。そして、このローラは、吸着ベルト４５が回転することで従動回転してセパレータ１１を搬送ベルト４６側に確実に送り出すように作用する。 When the arm 38 is rotationally displaced to a position indicated by a two-dot chain line in FIG. 1, the collecting means 20 and a conveyance belt positioned above the free end and a conveyance surface positioned on the lower surface side of the adsorption belt 45. And a belt 46. The adsorbing belt 45 moves the separator 11 toward the conveying belt 46 while temporarily adsorbing the separator 11 adsorbed to the adsorbing pad 35, and is sandwiched between the conveying belt 46, and the sandwiched separator 11 is conveyed. It is collected in a collection box (not shown) provided downstream in the direction. Although not shown here, a roller is provided on the free end side of the arm 38, and when the arm 38 is displaced to a position indicated by a two-dot chain line in FIG. The separated separator 11 is sandwiched between the suction belt 45. The roller acts to rotate the suction belt 45 and rotate the separator 11 to the conveying belt 46 side.

次に、前記剥離装置１０を用いた剥離方法について説明する。 Next, a peeling method using the peeling apparatus 10 will be described.

前工程において、図２に示されるように、基板１３に接着性シートＳが所定位置に貼付されて剥離対象が形成され、当該剥離対象が、テーブル１５の上面にアライメントされる。
ニードル１６は、例えば、図１中二点鎖線で示される位置に待機する一方、吸着パッド３５は、同図中実線で示される位置よりも上方位置で待機する。 In the previous step, as shown in FIG. 2, the adhesive sheet S is stuck on the substrate 13 at a predetermined position to form a separation target, and the separation target is aligned with the upper surface of the table 15.
For example, the needle 16 stands by at a position indicated by a two-dot chain line in FIG. 1, while the suction pad 35 stands by at a position higher than the position indicated by a solid line in FIG.

剥離対象を支持したテーブル１５が直動モータＭ１を介して図１中右側から移動して実線位置に到達したことが図示しないセンサにより検出されることで、直動モータＭ１が駆動を停止し、その後に剥離動作に移行する。 When the table 15 supporting the object to be peeled moves from the right side in FIG. 1 via the linear motor M1 and reaches the solid line position by a sensor (not shown), the linear motor M1 stops driving, Thereafter, the operation moves to a peeling operation.

すなわち、支持手段１８を構成するＹ軸モータ３３が駆動し、剥離を行うべき最初のセパレータ１１の端部に対応する位置に保持ブロック２４が位置するようにＺ軸モータをＹ軸方向に移動させる。
次いで、Ｘ軸モータ３０及びＺ軸モータ３１を駆動して図１中二点鎖線で示される位置から実線で示される位置に保持ブロック２４を変位させ、これによってニードル１６がセパレータ１１を突き刺すこととなる。この突き刺し深さは、ニードル１６の先端が接着剤層１２に達する位置まで行うように設定する他、接着剤層１２に達しない深さに制限することもできる。 That is, the Y-axis motor 33 constituting the support means 18 is driven, and the Z-axis motor is moved in the Y-axis direction so that the holding block 24 is positioned at a position corresponding to the end of the first separator 11 to be peeled off. .
Next, the X-axis motor 30 and the Z-axis motor 31 are driven to displace the holding block 24 from the position indicated by the two-dot chain line in FIG. 1 to the position indicated by the solid line, whereby the needle 16 pierces the separator 11. Become. This piercing depth is set so as to reach the position where the tip of the needle 16 reaches the adhesive layer 12, or can be limited to a depth that does not reach the adhesive layer 12.

ニードル１６がセパレータ１１を突き刺す際には、吸着パッド３５がセパレータ１１に接する位置まで回転変位し、吸着力を付与した状態で、吸着パッド３５を例えば約１ｍｍ程度上方に変位させる。この変位は、第２のモータＭ３を駆動して回転ブロック３７を回転させることによって行われる。この際、ニードル１６と吸着パッド３５の相対位置は、図４に示されるように、ニードル１６が平面視で吸着パッド３５の中心を通る線上に位置するようになっている。 When the needle 16 pierces the separator 11, the suction pad 35 is rotationally displaced to a position where it comes into contact with the separator 11, and the suction pad 35 is displaced upward by about 1 mm, for example, with the suction force applied. This displacement is performed by driving the second motor M3 to rotate the rotary block 37. At this time, the relative position between the needle 16 and the suction pad 35 is such that the needle 16 is positioned on a line passing through the center of the suction pad 35 in plan view, as shown in FIG.

この状態で、ニードル１６が図５中二点鎖線位置（初期突き刺し位置）から同図中実線で示される位置に変位することで、セパレータ１１の端部に対し、上方に捲り上げる力を付与し、吸着パッド３５が吸着力を付与しつつ上方に約１ｍｍ変位する動作とが相互に作用して剥離きっかけ部１１Ａが形成される。なお、前記吸着パッド３５による吸着力は、減圧ポンプでの減圧のため生じるものである。 In this state, the needle 16 is displaced from the two-dot chain line position (initial piercing position) in FIG. 5 to the position indicated by the solid line in FIG. The action of the suction pad 35 being displaced about 1 mm upward while applying the suction force interacts to form the peeling trigger portion 11A. The suction force by the suction pad 35 is generated due to the pressure reduction by the vacuum pump.

このようにして剥離きっかけ部１１Ａが形成されると、吸着パッド３５を保持する回転ブロック３７が図１中矢印Ａ２に沿う右方向に回転し、同時に、ニードル１６が同図中左側に後退することで、吸着パッド３５を介してセパレータ１１が同方向に剥離され、ニードル１６の先端がセパレータ１１から抜け出す。そして、アーム３８が矢印Ａ１方向に沿う右方向に沿う回転することで、セパレータ１１が接着剤層１２から完全に剥離される。この際、テーブル１３は静止位置を保ったままである。 When the separation trigger portion 11A is formed in this way, the rotary block 37 holding the suction pad 35 rotates in the right direction along the arrow A2 in FIG. 1, and at the same time, the needle 16 moves backward to the left in the drawing. Thus, the separator 11 is peeled in the same direction via the suction pad 35, and the tip of the needle 16 comes out of the separator 11. The separator 11 is completely peeled from the adhesive layer 12 by the arm 38 rotating along the right direction along the arrow A1 direction. At this time, the table 13 remains in a stationary position.

本実施形態におけるニードル１６は３本用いられており、これに対応する各吸着パッド３５は、それぞれ同一動作を行うこととなる。従って、セパレータ１１は、幅方向（Ｙ軸方向）における複数箇所で剥離力を受けることで、セパレータ１１の幅に対応した剥離を行うことができる。 In the present embodiment, three needles 16 are used, and the respective suction pads 35 corresponding thereto perform the same operation. Therefore, the separator 11 can perform peeling corresponding to the width of the separator 11 by receiving peeling force at a plurality of locations in the width direction (Y-axis direction).

吸着パッド３５に吸着されて完全に剥離されたセパレータ１１は、前記アーム３８を図１中二点鎖線で示される位置に回転変位させたときに、吸着ベルト４５に吸着される。この際、吸着パッド３５は、例えば復圧などによりその吸着が解除されるようになっており、これにより、セパレータ１１は、吸着ベルト４５に吸着された状態で、搬送ベルト４６側に搬送され、当該搬送ベルト４６との間にセパレータ１１が挟み込まれた状態で、吸着ベルト４５による吸着を解除して搬送方向下流側に搬送され、最終的に図示しない回収ボックスに回収される。 The separator 11 that is attracted to the suction pad 35 and completely peeled off is attracted to the suction belt 45 when the arm 38 is rotationally displaced to the position indicated by the two-dot chain line in FIG. At this time, the suction pad 35 is released from the suction by, for example, restoring pressure, so that the separator 11 is transported to the transport belt 46 side while being attracted to the suction belt 45. In a state where the separator 11 is sandwiched between the conveyor belt 46, the adsorption by the adsorption belt 45 is released, and the sheet is conveyed downstream in the conveyance direction, and finally collected in a collection box (not shown).

このように一枚のセパレータ１１が剥離されると、ニードル１６はＹ軸方向に移動し、一枚目のセパレータ１１の剥離を行った吸着手段１９に隣接する吸着手段１９が次に作動し、当該吸着手段１９とニードル１６とが相互に作用して同様の動作を繰り返すことで次のセパレータ１１を剥離する。そして、Ｙ軸方向に沿う第１列目のセパレータ１１が全て剥離されたときに、テーブル１５が図１中左側に移動して次の列のセパレータ１１を剥離位置に位置させ、以後、同様にして剥離を繰り返す。 When one separator 11 is peeled in this way, the needle 16 moves in the Y-axis direction, and the suction means 19 adjacent to the suction means 19 that peeled the first separator 11 is operated next. The suction means 19 and the needle 16 interact with each other and repeat the same operation to peel off the next separator 11. Then, when all of the separators 11 in the first row along the Y-axis direction are peeled off, the table 15 moves to the left side in FIG. 1 to place the separator 11 in the next row at the peeling position. And repeat peeling.

従って、このような実施形態によれば、ニードル１６による剥離きっかけ部１１Ａを形成しつつ吸着パッド３５でセパレータ１１を剥離する構成としたから、当該セパレータ１１を確実に剥離することができる、という効果を得る。 Therefore, according to such embodiment, since it was set as the structure which peels the separator 11 with the suction pad 35, forming the peeling trigger part 11A by the needle 16, the effect that the said separator 11 can be peeled reliably. Get.

本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施の形態に対し、形状、材料、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それら形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。 The best configuration, method and the like for carrying out the present invention have been disclosed in the above description, but the present invention is not limited to this.
That is, the invention has been illustrated and described with particular reference to particular embodiments, but it should be understood that the above-described embodiments are not deviated from the technical idea and scope of the invention. On the other hand, those skilled in the art can make various modifications in shape, material, quantity, and other detailed configurations.
Accordingly, the description limited to the shape disclosed above is an example for easy understanding of the present invention, and does not limit the present invention. The description by the name of the member which excluded the limitation of all or part is included in this invention.

例えば、前記実施形態では、吸着パッド３５が３個を１組となる吸着手段１９をＹ軸方向に沿って複数設けた場合を図示、説明したが、単一の吸着手段とし、これをＹ軸方向に移動可能に設ける構成としてもよい。ただし、前記構成とすれば、剥離されたセパレータ１１を回収手段２０側に移動させる動作を行っている際に、隣接する吸着手段を介して次のセパレータ１１を剥離させる動作を行うことができるので、剥離処理時間を短縮する上で有利となる。 For example, in the above-described embodiment, the case where a plurality of suction means 19 each including three suction pads 35 is provided in the Y-axis direction is illustrated and described. It is good also as a structure provided so that a movement in a direction is possible. However, with the above-described configuration, when the separator 11 that has been peeled is moved to the collecting means 20 side, the next separator 11 can be peeled via the adjacent suction means. This is advantageous in shortening the peeling processing time.

また、前記実施形態では、単一の基板１３に複数の接着性シートＳが貼付されている対象について説明したが、一枚の接着性シートＳが貼付されたものからセパレータ１１を剥離する構成にも適用可能である。 Moreover, although the said embodiment demonstrated the object to which the some adhesive sheet S was affixed on the single board | substrate 13, it is set as the structure which peels the separator 11 from what a single adhesive sheet S was affixed. Is also applicable.

更に、ニードル１６及び吸着パッド３５の数は、相互に対応する数であれば、増加、減少を妨げない。要するに本発明は、セパレータ１１の幅に応じてニードル１６及び吸着パッド３５の使用数を決定すれば足りる。 Furthermore, if the number of needles 16 and suction pads 35 is a number corresponding to each other, increase or decrease is not hindered. In short, the present invention suffices to determine the number of needles 16 and suction pads 35 to be used according to the width of the separator 11.

また、前記テーブル１５に昇降機構を設け、当該テーブル１５を下降させて基板１３及び吸着手段１９に対して相対的に離間させる構成を採用してもよい。 In addition, a configuration may be employed in which a lifting mechanism is provided on the table 15 and the table 15 is lowered and relatively separated from the substrate 13 and the suction means 19.

１０剥離装置
１１セパレータ
１１Ａ剥離きっかけ部
１２接着剤層
１３基板（被着体）
１５テーブル
１６ニードル
１８支持手段
１９吸着手段
３０Ｘ軸モータ（Ｘ軸駆動装置）
３１Ｚ軸モータ（Ｚ軸駆動装置）
３３Ｙ軸モータ（Ｙ軸駆動装置）
３５吸着パッド
４０出力軸（第１の回転中心軸）
４１出力軸（第２の回転中心軸）
Ｓ接着性シート DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Peeling apparatus 11 Separator 11A Peeling start part 12 Adhesive layer 13 Board | substrate (adhered body)
15 Table 16 Needle 18 Support means 19 Adsorption means 30 X-axis motor (X-axis drive device)
31 Z-axis motor (Z-axis drive unit)
33 Y-axis motor (Y-axis drive unit)
35 Suction pad 40 Output shaft (first rotation center shaft)
41 Output shaft (second rotation center axis)
S Adhesive sheet

Claims

一方の面がセパレータで被覆された接着剤層を有する接着性シートを被着体に貼付した状態で、前記セパレータを接着剤層から剥離する剥離装置であって、
前記被着体を支持するテーブルと、
前記セパレータの端部を上面から突き刺すニードルと、
前記セパレータに剥離きっかけ部を形成するように前記ニードルを変位可能に支持する支持手段と、
前記セパレータを吸着する吸着手段とを含み、
前記ニードルで剥離きっかけ部を形成する際に、前記吸着手段で吸着力をセパレータに付与し、剥離きっかけ部が形成されたときに前記吸着手段と被着体とを相対的に離間させて前記セパレータを剥離可能としたことを特徴とする剥離装置。 A peeling device for peeling the separator from the adhesive layer in a state where an adhesive sheet having an adhesive layer coated on one surface is attached to an adherend,
A table for supporting the adherend;
A needle that pierces the end of the separator from above,
Support means for supporting the needle so as to be displaceable so as to form a peeling trigger portion on the separator;
Adsorbing means for adsorbing the separator,
When the peeling trigger portion is formed by the needle, the suction force is applied to the separator by the suction means, and when the peeling trigger portion is formed, the suction means and the adherend are relatively separated from each other. A peeling device characterized in that it can be peeled off.

前記吸着手段は、所定の減圧ポンプに接続された吸着パッドを含んで構成され、当該吸着パッドは、第１の回転中心軸と、第２の回転中心軸を中心として回転可能に設けられることで被着体に対して離間接近可能とされ、前記第２の回転中心軸を中心とする吸着パッドの回転半径は、前記第１の回転中心軸を中心とする吸着パッドの回転半径よりも短いことを特徴とする請求項１記載の剥離装置。 The suction means is configured to include a suction pad connected to a predetermined decompression pump, and the suction pad is provided to be rotatable about a first rotation center axis and a second rotation center axis. The suction pad can be separated and approached with respect to the adherend, and the rotation radius of the suction pad around the second rotation center axis is shorter than the rotation radius of the suction pad around the first rotation center axis. The peeling apparatus according to claim 1.

前記ニードルは平面視で前記吸着パッドの中心を通る線上で前記セパレータを突き刺すことを特徴とする請求項２記載の剥離装置。 The peeling device according to claim 2, wherein the needle pierces the separator on a line passing through the center of the suction pad in a plan view.

前記ニードルは、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸駆動装置を介して支持され、これら駆動装置を駆動することで、前記突き刺し、剥離きっかけ部の形成動作を行うことを特徴とする請求項１，２又は３記載の剥離装置。 The needle is supported through X, Y, and Z axis driving devices, and the driving device is driven to perform the piercing and peeling trigger portion forming operation. The peeling apparatus as described.

前記接着剤層は熱溶融性反応系接着剤であり、当該接着剤層を介して接着性シートが前記被着体に貼付された状態で前記セパレータを剥離することを特徴とする請求項１ないし４の何れかに記載の剥離方法 2. The adhesive layer according to claim 1, wherein the adhesive layer is a hot-melt reaction type adhesive, and the separator is peeled off in a state where an adhesive sheet is attached to the adherend through the adhesive layer. The peeling method according to any one of 4

一方の面がセパレータで被覆された接着剤層を有する接着性シートを被着体に貼付した状態で、前記セパレータを接着剤層から剥離する剥離方法であって、
前記被着体をテーブルに支持させる工程と、
前記セパレータの端部をニードルで上面から突き刺す工程と、
前記ニードルがセパレータを突き刺す際に当該セパレータに吸着パッドを介して吸着力を付与する工程と、
前記ニードルを変位させて前記セパレータに剥離きっかけ部を形成する工程と、
前記剥離きっかけ部を形成する際に、前記セパレータに吸着を吸着した状態で前記吸着パッドと被着体とを相対的に離間させて前記セパレータを接着剤層から剥離する工程と、
を含むことを特徴とする剥離方法。 In a state where an adhesive sheet having an adhesive layer coated on one side with a separator is attached to an adherend, the peeling method is for peeling the separator from the adhesive layer,
Supporting the adherend on a table;
Piercing the end of the separator from above with a needle;
Applying a suction force to the separator via a suction pad when the needle pierces the separator;
Displacing the needle to form a separation trigger portion in the separator;
A step of separating the separator from the adhesive layer by relatively separating the suction pad and the adherend while adsorbing the separator when forming the peeling trigger portion; and
The peeling method characterized by including.