JP5367371B2 - 4点抵抗測定のインラインの位置誤差の解消 - Google Patents
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Description
上記探針アームは上記本体から平行に延在し、
上記4点探針は、電気信号を送信及び受信する試験装置と上記探針との間に電気的な接触を確立するための複数の電気接点を含み、
上記方法は、
上記探針アームを、上記試験サンプルの表面に接触するように位置合わせするステップと、
第1及び第2の探針アームを備える第1の組と、第3及び第4の探針アームを備える第2の組を選択するステップと、
上記試験装置から、上記第1の組の上記第1の探針アームを介して上記第1の組の上記第2の探針アームに、上記試験サンプル中を伝搬する第1の電流を印加するステップと、
上記第2の組の上記第3及び第4の探針アーム間の第1の誘起された電圧を検出するステップと、
上記第1の電圧と上記第1の電流との比である第1の4点抵抗Rfirstを計算するステップと、
第1及び第2の探針アームを備えかつ上記第1の組の上記探針アームのうちの一方のみを含む第3の組と、第3及び第4の探針アームを備えかつ上記第2の組の上記探針アームのうちの一方のみを含む第4の組を選択するステップと、
上記試験装置から、上記第3の組の上記第1の探針アームを介して上記第3の組の上記第2の探針アームに、上記試験サンプル中を伝搬する第2の電流を印加するステップと、
上記第4の組の上記第3及び第4の探針アームにおいて第2の誘起された電圧を検出するステップと、
上記第2の電圧と上記第2の電流との比である第2の4点抵抗Rsecondを計算するステップと、
上記第1及び第2の4点抵抗に基づいて補正係数を計算するステップとを含んでもよい。
上記4点探針は、本体と、1つの探針をそれぞれ含む4つの探針アームとを有し、
上記探針アームは上記本体から平行に延在し、
上記4点探針は、電気信号を送信及び受信する試験装置と上記探針との間に電気的な接触を確立するための複数の電気接点を含み、
上記方法は、
上記探針アームを、上記試験サンプルの表面に接触するように位置合わせするステップと、
第1及び第2の探針アームを備える第1の組と、第3及び第4の探針アームを備える第2の組を選択するステップと、
上記試験装置から、上記第1の組の上記第1の探針アームを介して上記第1の組の上記第2の探針アームに、上記試験サンプル中を伝搬する第1の電流を印加するステップと、
上記第2の組の上記第3及び第4の探針アームにおいて第1の誘起された電圧を検出するステップと、
上記第1の電圧と上記第1の電流との比である第1の4点抵抗Rfirstを計算するステップと、
第1及び第2の探針アームを備えかつ上記第1の組の上記探針アームのうちの一方のみを含む第3の組と、第3及び第4の探針アームを備えかつ上記第2の組の上記探針アームのうちの一方のみを含む第4の組を選択するステップと、
上記試験装置から、上記第3の組の上記第1の探針アームを介して上記第3の組の上記第2の探針アームに、上記試験サンプル中を伝搬する第2の電流を印加するステップと、
上記第4の組の上記第3及び第4の探針アーム間の第2の誘起された電圧を検出するステップと、
上記第2の電圧と上記第2の電流との比である第2の4点抵抗Rsecondを計算するステップと、
上記第1及び第2の4点抵抗に基づいて補正係数を計算するステップと、
上記補正係数を用いて、上記試験サンプルの抵抗を計算するステップとを含む。
請求項1及び/又は請求項4記載の方法のコンピュータによる実行を記憶するための記憶装置と、
請求項1及び/又は請求項4記載の方法の上記コンピュータによる実行を実行するためのマイクロプロセッサとを有する試験装置に関する。
上記特徴的な電気的特性は抵抗の特性を含み、
上記複数は少なくとも4であり、
上記探針アームは上記本体から平行に延在し、
上記探針は、上記探針チップとの間で電気信号を送信及び受信する試験装置と上記探針チップとの間に電気的な接触を確立するための電気接点を含み、
上記方法は、
(a)上記探針チップを、上記試験サンプルの表面に接触するように位置合わせするステップと、
(b)2つの探針チップの第1の組間に電流を印加し、当該第1の組の探針チップの何れをも含まない2つの探針チップの第2の組間の電圧を決定することにより測定を実行するための4つの探針チップのサブセットを選択し、上記測定を探針チップ組の全ての組合せについて実行するステップと、
(c)上記特徴的な電気的特性のモデル値を確立するステップと、
(d)上記モデル値に基づいて、上記特徴的な電気的特性のモデルデータを計算するステップとを含み、
上記測定及び上記計算されたモデルデータが収束しないときには、調整されたモデル値を確立しかつ上記調整されたモデル値を用いてステップ(d)を繰り返し、
上記測定及び上記計算されたモデルデータが収束するときには、上記モデルデータから上記特徴的な電気的特性を抽出する。
上記4点探針は、本体と、1つの探針をそれぞれ含む4つの探針アームとを有し、
上記探針アームは上記本体から平行に延在し、
上記4点探針は、電気信号を送信及び受信する試験装置と上記探針との間に電気的な接触を確立するための複数の電気接点を含み、
上記方法は、
上記探針アームを、上記試験サンプルの表面に接触するように位置合わせするステップと、
第1及び第2の探針アームを備える第1の組と、第3及び第4の探針アームを備える第2の組を選択するステップと、
上記試験装置から、上記第1の組の上記第1の探針アームを介して上記第1の組の上記第2の探針アームに、上記試験サンプル中を伝搬する第1の電流を印加するステップと、
上記第2の組の上記第3及び第4の探針アーム間の第1の誘起された電圧を検出するステップと、
上記第1の電圧と上記第1の電流との比である第1の4点抵抗Rfirstを計算するステップと、
第1及び第2の探針アームを備えかつ上記第1の組の上記探針アームのうちの一方のみを含む第3の組と、第3及び第4の探針アームを備えかつ上記第2の組の上記探針アームのうちの一方のみを含む第4の組を選択するステップと、
上記試験装置から、上記第3の組の上記第1の探針アームを介して上記第3の組の上記第2の探針アームに、上記試験サンプル中を伝搬する第2の電流を印加するステップと、
上記第4の組の上記第3及び第4の探針アームにおいて第2の誘起された電圧を検出するステップと、
上記第2の電圧と上記第2の電流との比である第2の4点抵抗Rsecondを計算するステップと、
上記第1及び第2の4点抵抗に基づいて補正係数を計算するステップとを含む、補正係数を計算するための方法。
請求項1及び2記載のステップは各位置に対して繰り返し実行される請求項2記載の方法。
上記4点探針は、本体と、1つの探針をそれぞれ含む4つの探針アームとを有し、
上記探針アームは上記本体から平行に延在し、
上記4点探針は、電気信号を送信及び受信する試験装置と上記探針との間に電気的な接触を確立するための複数の電気接点を含み、
上記方法は、
上記探針アームを、上記試験サンプルの表面に接触するように位置合わせするステップと、
第1及び第2の探針アームを備える第1の組と、第3及び第4の探針アームを備える第2の組を選択するステップと、
上記試験装置から、上記第1の組の上記第1の探針アームを介して上記第1の組の上記第2の探針アームに、上記試験サンプル中を伝搬する第1の電流を印加するステップと、
上記第2の組の上記第3及び第4の探針アームにおいて第1の誘起された電圧を検出するステップと、
上記第1の電圧と上記第1の電流との比である第1の4点抵抗Rfirstを計算するステップと、
第1及び第2の探針アームを備えかつ上記第1の組の上記探針アームのうちの一方のみを含む第3の組と、第3及び第4の探針アームを備えかつ上記第2の組の上記探針アームのうちの一方のみを含む第4の組を選択するステップと、
上記試験装置から、上記第3の組の上記第1の探針アームを介して上記第3の組の上記第2の探針アームに、上記試験サンプル中を伝搬する第2の電流を印加するステップと、
上記第4の組の上記第3及び第4の探針アーム間の第2の誘起された電圧を検出するステップと、
上記第2の電圧と上記第2の電流との比である第2の4点抵抗Rsecondを計算するステップと、
上記第1及び第2の4点抵抗に基づいて補正係数を計算するステップと、
上記補正係数を用いて、上記試験サンプルの抵抗を計算するステップとを含む、4点探針を用いる抵抗測定を実行するための方法。
請求項4記載のステップは各位置に対して繰り返し実行される請求項4記載の方法。
請求項1及び/又は請求項4記載の方法のコンピュータによる実行を記憶するための記憶装置と、
請求項1及び/又は請求項4記載の方法の上記コンピュータによる実行を実行するためのマイクロプロセッサとを有する試験装置。
Claims (4)
- 本体と、探針チップをそれぞれ含む複数の探針アームとを有する探針を用いることによって試験サンプルの特徴的な電気的特性を取得するための方法であって、
上記特徴的な電気的特性は抵抗の特性を含み、
上記複数は少なくとも4であり、
上記探針アームは上記本体から平行に延在し、
上記探針は、上記探針チップとの間で電気信号を送信及び受信する試験装置と上記探針チップとの間に電気的な接触を確立するための電気接点を含み、
上記方法は、
(a)上記探針チップを、上記試験サンプルの表面に接触するように位置合わせするステップと、
(b)2つの探針チップの第1の組間に電流を印加し、当該第1の組の探針チップの何れをも含まない2つの探針チップの第2の組間の電圧を決定することにより測定を実行するための4つの探針チップのサブセットを選択し、上記測定を探針チップ組の全ての組合せについて実行するステップと、
(c)上記特徴的な電気的特性のモデル値を確立するステップと、
(d)上記モデル値に基づいて、上記特徴的な電気的特性のモデルデータを計算するステップとを含み、
上記測定及び上記計算されたモデルデータが収束しないときには、調整されたモデル値を確立しかつ上記調整されたモデル値を用いてステップ(d)を繰り返し、
上記測定及び上記計算されたモデルデータが収束するときには、上記モデルデータから上記特徴的な電気的特性を抽出する、電気的特性を取得するための方法。 - 上記ステップ(b)は、上記測定のうちの1つの測定の補正された値を計算することをさらに含む請求項1記載の方法。
- 上記方法は、上記計算されたモデルデータの1つに対して補正を実行することをさらに含む請求項1乃至3のいずれか1つの請求項記載の方法。
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