JP5360822B2 - 窒化物系化合物半導体発光素子およびその製造方法 - Google Patents
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また、露光時の露光量は、適正露光量の3〜4倍であることが好ましい。
また、フォトレジストの表面の基板からの距離が、フォトレジストのうち、開口部を構成する開口部外周部以外の部分が開口部外周部よりも短くなるように、凹部を形成することが好ましい。
まず、図1を用いて、第1の実施の形態に係る窒化物系化合物半導体発光素子の構成を説明する。図1は、第1の実施の形態に係る窒化物系化合物半導体発光素子の構成を概略的に示す断面図である。
図3は、積層体を形成する工程を説明するための図であり、本工程で形成される積層体の概略的な断面図である。
図4は、積層体上にフォトレジストを形成する工程を説明するための図である。
図5(a)および(b)は、フォトレジストを露光する工程を説明するための図である。
図6は、フォトレジストに開口部を形成する工程を説明するための図である。
図7は、金属膜を形成する工程を説明するための図である。
本工程は、金属膜形成後に積層体8上からフォトレジスト9を除去する工程であり、有機溶剤またはフォトレジスト剥離剤を用いることにより、積層体8から、表面に金属膜7が形成されたフォトレジスト9を除去する。フォトレジスト9を除去することにより、図1に示す発光素子100が作製される。
以下に、第2の実施の形態として、金属膜の応力が、フォトレジストの開口部付近に集中するのを抑制することにより、フォトレジストのクラックの発生およびフォトレジストの形状の変化を抑制することが可能な、窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法について説明する。
図11は、フォトレジストに第1の露光をする工程を説明するための図である。なお、図11および後述する図12、13において、各領域9Eの大きさおよび各凹部32の図中における横幅は、作図上、領域9C,9Dおよび開口部11C,11Dのそれぞれの1/2程度の大きさとなっているが、各領域9Eの大きさおよび各凹部32の大きさは、領域9C,9Dおよび開口部11C,11Dのそれぞれよりも充分に小さい。
図12は、フォトレジストに第2の露光をする工程を説明するための図である。
図13は、フォトレジストに開口部および凹部を形成する工程を説明するための図である。
図15は、金属膜を形成する工程を説明するための図である。
本工程は、金属膜形成後に積層体8上からフォトレジスト9を除去する工程であり、有機溶剤またはフォトレジスト剥離剤を用いることにより、積層体8から金属膜7が形成されたフォトレジスト9を除去する。フォトレジスト9を除去することにより、図8に示す発光素子200が作製される。
実施例1では、まず、有機金属気相成長法を用いて、サファイアからなる基板1上に、バッファ層2、n型の第1導電型窒化物系化合物半導体層3、活性層4、p型の第2導電型窒化物系化合物半導体層5を順に積層して、基板1上に積層体8を形成した。このときの基板1の厚さは400μmであり、積層体8の厚さは5μmであった。また、n型不純物としてSi等を、p型不純物としてMg等を用いた。
実施例2では、まず、有機金属気相成長法を用いて、サファイアからなる基板1上に、バッファ層2、n型の第1導電型窒化物系化合物半導体層3、活性層4、p型の第2導電型窒化物系化合物半導体層5を順に積層して、基板1上に積層体8を形成した。このときの基板1の厚さは400μmであり、積層体8の厚さは5μmであった。また、n型不純物としてSi等を、p型不純物としてMg等を用いた。
Claims (9)
- 基板上に、少なくとも第1導電型半導体層と活性層と第2導電型半導体層とをこの順に含む窒化物系化合物半導体の積層体を形成する工程と、
前記積層体上にフォトレジストを塗布する工程と、
前記フォトレジストが塗布された積層体をステージ上に載置して、前記ステージの上方から前記フォトレジストに向けて光を照射することによって前記フォトレジストを上方から露光するとともに、該照射された光を前記ステージから反射させることによって前記フォトレジストを下方から露光する、第1の露光をする工程と、
前記フォトレジストに、前記第1の露光時の露光量よりも低い露光量で第2の露光をする工程と、
前記第1の露光および第2の露光後の前記フォトレジストを現像することによって前記フォトレジストに開口部および凹部を形成する工程と、
前記開口部および前記凹部が形成されたフォトレジスト上および前記開口部が形成されることによって露出した前記積層体上に金属膜を形成する工程と、
前記金属膜が形成されたフォトレジストを除去する工程と、を有する窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。 - 前記基板は前記第1の露光時の光を透過可能な透明基板である請求項1に記載の窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。
- 前記第1の露光時の露光量は、適正露光量の3〜4倍である請求項1または2に記載の窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。
- 前記開口部は、下部から上部に向けて断面積が段階的に小さくなる順テーパ形状、または下部が上部よりも断面積の大きいアンダーカット形状である請求項1から3のいずれかに記載の窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。
- 前記フォトレジストは、耐熱温度が130℃以上である感光性材料からなる請求項1から4のいずれかに記載の窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。
- 前記感光性材料は、感光性ポリイミド、感光性エポキシ含有樹脂の少なくとも1つを含む請求項5に記載の窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。
- 前記開口部は、前記第1の露光によって露光された領域に形成され、前記凹部は、前記第2の露光によって露光された領域に形成される請求項1から6のいずれかに記載の窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。
- 前記凹部を前記フォトレジストの表面に複数形成する請求項1から7のいずれかに記載の窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。
- 前記フォトレジストの表面の前記基板からの距離が、前記フォトレジストのうち、前記開口部を構成する開口部外周部以外の部分が前記開口部外周部よりも短くなるように、前記凹部を形成する請求項1から8のいずれかに記載の窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。
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