JP5349802B2 - 熱処理装置 - Google Patents
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Description
はじめに、この発明の実施の形態に係る熱処理装置の全体構成について、図1および図2を参照しながら説明する。図1は、熱処理装置100の構成を示す側断面図である。図2(a)および図2(b)は、熱処理装置100を図1の矢印Q1方向および矢印Q2方向からそれぞれみた縦断面図である。
配置関係調整部6の構成について、図1、図2に加えて図3、図4をさらに参照しながら説明する。図3は、第1光照射部3および第2光照射部4の平面図である。図4は、熱処理装置100の構成を示す側断面図である(ただし、図1とは異なる角度からみた断面図となっている)。
次に、熱処理装置100における基板Wの処理手順について図5を参照しながら説明する。図5は、熱処理装置100にて実行される処理の流れを示す図である。ここで処理対象となる基板Wはイオン注入法により不純物が添加された半導体基板であり、添加された不純物の活性化が熱処理装置100による熱処理により行われる。なお、以下の処理動作は、制御部91が所定のタイミングで各構成を制御することによって行われる。
上記の実施の形態に係る熱処理装置100においては、配置関係調整部6によって、第1光照射部3と第2光照射部4との幾何学的配置関係を任意に調整することができる。したがって、個々の光照射手段3,4が特定の方向について特性をもつ場合であっても、両者の配置関係を適切に調整することによって、互いのもつ特性を相殺させることができる。
上記の実施の形態に係る熱処理装置100においては、配置関係調整部6を第2光照射部4に接続する構成としたが、第1光照射部3に接続する構成としてもよい。また、2個の配置関係調整部6を設け、第1光照射部3と第2光照射部4とのそれぞれに接続する構成としてもよい。前者の場合はハロゲンランプ31の位置および姿勢を変更することによって、また、後者の場合はハロゲンランプ31とフラッシュランプ41の両方の位置および姿勢を独立して変更することによって、ハロゲンランプ31とフラッシュランプ41との幾何学的配置関係を調整することになる。特に後者の場合、ハロゲンランプ31とフラッシュランプ41と保持部2に保持された基板Wとの3つの幾何学的配置関係を調整することが可能となるので、熱処理時における基板W上の温度分布の面内均一性をより向上させることができる。
2 保持部
3 第1光照射部
4 第2光照射部
5 チャンバー
6 配置関係調整部
61 離間位置変更機構
62 交差角度変更機構
63 傾斜角度変更機構
100 熱処理装置
W 基板
Claims (2)
- 基板に対して光を照射することによって当該基板を加熱する熱処理装置であって、
基板を保持する保持手段と、
前記保持手段に保持された基板と所定の距離だけ離間した位置から前記基板に向けて光を照射する複数のハロゲンランプを備える第1の光照射手段と、
前記保持手段に保持された基板と所定の距離だけ離間した位置から前記基板に向けて閃光を照射する複数のフラッシュランプを備える第2の光照射手段と、
前記複数のハロゲンランプと前記複数のフラッシュランプとの幾何学的配置関係を調整する配置関係調整手段と、
を備え、
前記複数のフラッシュランプのそれぞれが平面状に配列されており、
前記複数のハロゲンランプのそれぞれが平面状に配列されており、
前記配置関係調整手段が、
前記複数のハロゲンランプと前記複数のフラッシュランプとのうちの少なくとも一方の姿勢を変えることによって、前記複数のフラッシュランプが配列される平面と、前記複数のハロゲンランプが配列される平面とがなす角度を変更する傾斜角度変更手段、
を備えることを特徴とする熱処理装置。 - 基板に対して光を照射することによって当該基板を加熱する熱処理装置であって、
基板を保持する保持手段と、
前記保持手段に保持された基板と所定の距離だけ離間した位置から前記基板に向けて光を照射する複数のハロゲンランプを備える第1の光照射手段と、
前記保持手段に保持された基板と所定の距離だけ離間した位置から前記基板に向けて閃光を照射する複数のフラッシュランプを備える第2の光照射手段と、
前記複数のハロゲンランプと前記複数のフラッシュランプとの幾何学的配置関係を調整する配置関係調整手段と、
を備え、
前記複数のフラッシュランプのそれぞれが、長尺の円筒形状を有する棒状ランプであり、それぞれの長手方向が互いに平行となるように平面状に配列されており、
前記複数のハロゲンランプのそれぞれが、長尺の円筒形状を有する棒状ランプであり、それぞれの長手方向が互いに平行となるように平面状に配列されており、
前記配置関係調整手段が、
前記複数のハロゲンランプと前記複数のフラッシュランプとのうちの少なくとも一方の姿勢を変えることによって、前記複数のフラッシュランプのそれぞれの長手方向と、前記複数のハロゲンランプのそれぞれの長手方向とがなす角度を変更する交差角度変更手段、
を備えることを特徴とする熱処理装置。
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