JP5347340B2 - 共鳴トンネルダイオードの製法 - Google Patents
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アプライド・フィジックス・レターズ(Applied Physics Letters)、86巻、013508、2005年
量子井戸層を一対のエネルギ障壁層で挟んだ構造の共鳴トンネルダイオードであって、前記量子井戸層は、異方的原子配列を持つ半導体ナノ構造体からなる
ものである。
(1)シリコン基板として、10mm角で厚さ525μm、抵抗率<0.02ΩcmのSi(100)ウェハ(ニラコ製)を用意し、このシリコン基板をフッ酸で処理することにより表面をクリーニングした。すなわち、シリコン基板は、空気酸化によって表面が酸化シリコンで覆われているため、この酸化シリコンを除去した。
(2)クリーニング後のシリコン基板の表面に、室温で高周波マグネトロンスパッタ法により厚さ3nmの酸化シリコン薄膜を蒸着した。酸化シリコン薄膜の成膜条件を表1に示す。
(3)分散用有機溶媒であるエタノールに、直径1〜2.5nmの単層カーボンナノチューブ(FH精製タイプ、名城ナノカーボン製)を約5μg/mLとなるように分散させることにより、ナノチューブ分散液を調製した。なお、ナノチューブ分散液は、SDS(ドデシル硫酸ナトリウム)やSDBS(ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム)などの界面活性剤を含む水に単層カーボンナノチューブを分散させることにより調製してもよい。
(4)前記(2)のシリコン基板の酸化シリコン薄膜上に、スピンコータ(ミカサ製)を用いて回転数2000rpmで30秒、前記(3)のナノチューブ分散液を滴下した。これにより、シリコン基板の酸化シリコン薄膜上に単層カーボンナノチューブが分散した状態となった。
(5)このようにして単層カーボンナノチューブを分散させた面上に、高周波マグネトロンスパッタ法により厚さ3nmの酸化シリコン薄膜を蒸着した。酸化シリコン薄膜の成膜条件は前記(2)と同様である。続いて、このシリコン基板を、ベース圧力5×10-6Torr、温度900℃、昇温時間1分、加熱時間30分(ガス導入なし)で熱処理した。これにより、表面にSiO2/CNT/SiO2 構造が積層されたシリコン基板が得られた。
(6)得られたシリコン基板のSiO2/CNT/SiO2 構造の上に、SiドープAl電極をフォトリソグラフィ技術により作製した。電極のサイズは、直径0.5mm又は1.0mm、厚さ300nmとした。このようにして得られたシリコン基板の模式図を図1に示す。
Claims (2)
- 量子井戸層を一対のエネルギ障壁層で挟んだ構造を有し、前記量子井戸層は、異方的原子配列を持つ半導体ナノ構造体からなり、前記半導体ナノ構造体は、カーボンナノチューブである、共鳴トンネルダイオードを製造する方法であって、
基板上に前記一対のエネルギ障壁層の片方となる誘電体膜を形成したあと、該誘電体膜上に溶媒に分散したカーボンナノチューブをコーティングすることにより前記量子井戸層を形成し、該量子井戸層上に前記一対のエネルギ障壁層のもう片方となる誘電体膜を形成する、
共鳴トンネルダイオードの製法。 - 前記コーティングは、スピンコートによって行う、
請求項1に記載の共鳴トンネルダイオードの製法。
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