JP5340876B2 - 弾性波デバイス、フィルタ、通信モジュール、通信装置 - Google Patents
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Description
F=nV/2H
となるから、積層構造の総膜厚Hにより共振周波数Fが制御できる。
〔1.弾性波デバイスの構成〕
圧電薄膜共振子を用いたラダー型フィルタおよびラティス型フィルタを形成するためには、2種類の共振周波数の圧電薄膜共振子があればバンドパスフィルタが実現できる。しかしながら、フィルタの特性向上のためには圧電薄膜共振子の共振周波数も一つの設計パラメータとできれば設計自由度が広がる。特許第4008264号公報は、同一基板上に複数の共振周波数を有する圧電薄膜共振子を得る方法として、圧電薄膜共振子の主要構成膜である下部電極、圧電膜、上部電極の膜厚を変化させる方法や質量負荷膜を追加することによって調整する構成を開示している。また、米国特許第6657363号明細書、及び特開2008−172494号公報は、圧電薄膜共振子の電極上の質量負荷膜をパターニングすることによって調整する構成を開示している。
図1A〜図1Cは、本実施の形態にかかる弾性波デバイスの一例である圧電薄膜共振子の一実施例を示す。図1Aは、圧電薄膜共振子の平面図である。図1Bは、図1AにおけるA−A部の断面図であり、第一圧電薄膜共振子の断面図である。図1Cは、第二圧電薄膜共振子の断面図である。
D1=(1/2+N)L (N:自然数)
の関係を有する。複数パターンの個々は、概ね同様な形状および大きさで配置されている。所望の共振周波数制御を行うためには、複数パターンからなる周波数制御膜51の総面積を調整することになるが、等周期配列された個々のパターンサイズを増減させてメンブレン部46の面積に対する被覆率を変化させることにより、周波数制御用設計を簡略化することができる。これにより、異なるサイズの共振子に対しても画一的に周波数調整量を算出することが可能になる。
実施例2は、実施例1に係る圧電薄膜共振子を梯子形に接続したラダー型フィルタである。図13は、ラダー型フィルタの回路図である。図13に示すように、ラダー型フィルタは、入力端子22と出力端子24との間に直列接続されている圧電薄膜共振子S1〜S3(以下、直列共振子と称する)を備えている。直列共振子S1とS2との間とグランドとの間には、圧電薄膜共振子P1(以下、並列共振子と称する)が接続され、直列共振子S2とS3との間とグランドとの間には圧電薄膜共振子P2(以下、並列共振子と称する)が接続されている。なお、直列共振子S1〜S3、並列共振子P1、P2の何れかに、実施例1に係る圧電薄膜共振子を採用している。
図17は、本実施の形態にかかる圧電薄膜共振子を備えた通信モジュールの一例を示す。図17に示すように、デュープレクサ62は、受信フィルタ62aと送信フィルタ62bとを備えている。また、受信フィルタ62aには、例えばバランス出力に対応した受信端子63a及び63bが接続されている。また、送信フィルタ62bは、パワーアンプ64を介して送信端子65に接続している。ここで、受信フィルタ62a、送信フィルタ62bの双方、或いは何れかの一方は、本実施の形態にかかる圧電薄膜共振子を備えている。
図18は、本実施の形態にかかる圧電薄膜共振子、または前述の通信モジュールを備えた通信装置の一例として、携帯電話端末のRFブロックを示す。また、図18に示す通信装置は、GSM(Global System for Mobile Communications)通信方式及びW−CDMA(Wideband Code Division Multiple Access)通信方式に対応した携帯電話端末の構成を示す。また、本実施の形態におけるGSM通信方式は、850MHz帯、950MHz帯、1.8GHz帯、1.9GHz帯に対応している。また、携帯電話端末は、図18に示す構成以外にマイクロホン、スピーカー、液晶ディスプレイなどを備えているが、本実施の形態における説明では不要であるため図示を省略した。ここで、受信フィルタ73a、77〜80は、本実施の形態にかかる圧電薄膜共振子を備えている。
本実施の形態によれば、同一フィルタチップ内にそれぞれ異なる共振周波数を有する複数の圧電薄膜共振子を備えた弾性波デバイスにおいて、周波数制御膜51のパターンを変更することで容易に各圧電薄膜共振子の共振周波数を、任意の共振周波数に設定することができる。よって、異なる共振周波数を有する複数の圧電薄膜共振子を備えた弾性波デバイスを容易に製造することができる。
基板と、
前記基板上に形成されている下部電極と、
前記基板上および前記下部電極上に形成されている圧電膜と、
前記圧電膜を挟み前記下部電極と対向して共振部を有するように圧電膜上に形成されている上部電極とを備えた弾性波デバイスであって、
前記共振部に質量を付与する複数のパターンを備えた周波数制御膜を、さらに備え、
前記周波数制御膜は、少なくとも前記共振部を含む領域に備わり、
前記複数のパターンは、等周期配列された少なくとも2つの群からなり、
前記群の間隔は、前記複数のパターンの周期長の(1/2+N)倍〔N:自然数〕である、弾性波デバイス。
前記周波数制御膜のパターンは、凸形状の孤立パターンである、付記1に記載の弾性波デバイス。
前記周波数制御膜のパターンは、ホール状の孤立パターンである、付記1に記載の弾性波デバイス。
前記周波数制御膜と前記上部電極とは、材料が異なる、付記1〜3の何れか一項記載の弾性波デバイス。
前記周波数制御膜と前記上部電極とは、材料の組み合わせがエッチング選択性のある材料の組み合わせである、付記1〜4の何れか一項記載の弾性波デバイス。
前記周波数制御膜と前記上部電極との間に質量負荷膜を備えた、付記1〜5の何れか一項記載の弾性波デバイス。
前記共振部は、楕円形である、付記1〜6の何れか一項記載の弾性波デバイス。
前記共振部は、非平行からなる多角形である、付記1〜6の何れか一項記載の弾性波デバイス。
前記共振部に対応する下部電極の下方に、前記共振部を包含する空隙を備えた、付記1〜8の何れか一項記載の弾性波デバイス。
付記1〜9のうちいずれか一項に記載の弾性波デバイスを備えた、フィルタ。
付記1〜9のうちいずれか一項に記載の弾性波デバイス、または請求項10に記載のフィルタを備えた、通信モジュール。
付記1〜9のうちいずれか一項に記載の弾性波デバイス、請求項10に記載のフィルタ、または請求項11に記載の通信モジュールを備えた、通信装置。
42 空隙
43 下部電極
44 圧電膜
45 上部電極
46 メンブレン部
47 エッチング媒体導入孔
48 エッチング媒体導入路
49 犠牲層
50 質量負荷膜
51 周波数制御膜
52 周波数調整膜
Claims (7)
- 基板と、
前記基板上に形成されている下部電極と、
前記基板上および前記下部電極上に形成されている圧電膜と、
前記圧電膜を挟み前記下部電極と対向して共振部を有するように圧電膜上に形成されている上部電極とを備えた弾性波デバイスであって、
前記共振部に質量を付与する複数のパターンを備えた周波数制御膜を、さらに備え、
前記周波数制御膜は、少なくとも前記共振部を含む領域に備わり、
前記複数のパターンは、等周期配列された少なくとも2つの群からなり、
前記群の間隔は、前記複数のパターンの周期長の(1/2+N)倍〔N:自然数〕である、弾性波デバイス。 - 前記周波数制御膜のパターンは、凸形状の孤立パターンである、請求項1に記載の弾性波デバイス。
- 前記周波数制御膜のパターンは、ホール状の孤立パターンである、請求項1に記載の弾性波デバイス。
- 前記共振部は、楕円形である、請求項1〜3のうち何れか一項記載の弾性波デバイス。
- 請求項1〜4のうちいずれか一項に記載の弾性波デバイスを備えた、フィルタ。
- 請求項1〜4のうちいずれか一項に記載の弾性波デバイス、または請求項5に記載のフィルタを備えた、通信モジュール。
- 請求項1〜4のうちいずれか一項に記載の弾性波デバイス、請求項5に記載のフィルタ、または請求項6に記載の通信モジュールを備えた、通信装置。
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