JP5338779B2

JP5338779B2 - Scribe head

Info

Publication number: JP5338779B2
Application number: JP2010202837A
Authority: JP
Inventors: 敏行酒井; 義成平田
Original assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Current assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Priority date: 2010-09-10
Filing date: 2010-09-10
Publication date: 2013-11-13
Anticipated expiration: 2030-09-10
Also published as: JP2012056228A

Description

本発明はスクライブ装置に用いられるスクライブヘッドに関し、特にスクライブラインを安定させることができるスクライブヘッドに関するものである。 The present invention relates to a scribe head used in a scribe device, and more particularly to a scribe head capable of stabilizing a scribe line.

従来、液晶表示パネルや液晶プロジェクタ基板等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）等では、製造過程においてマザーガラス基板が貼り合わされた後に所定の大きさの単個のパネルとなるように分断される。マザーガラス基板等の脆性材料基板の分断には、スクライブ工程とブレイク工程があり、スクライブ工程ではスクライブ装置が用いられる。ＦＰＤの製造では、一枚のマザー基板をスクライブして、ブレイク工程により複数個のパネル基板を取り出す。 Conventionally, in a flat panel display (FPD) such as a liquid crystal display panel or a liquid crystal projector substrate, a mother glass substrate is bonded together in a manufacturing process, and then divided into a single panel of a predetermined size. For dividing a brittle material substrate such as a mother glass substrate, there are a scribing process and a breaking process, and a scribing apparatus is used in the scribing process. In manufacturing an FPD, a single mother substrate is scribed, and a plurality of panel substrates are taken out by a breaking process.

スクライブ装置には、例えば特許文献１に示されるように、脆性材料基板を載置して保持するテーブルと、脆性材料基板に対して相対的に水平方向に移動することができ、上下方向にも移動自在のスクライブヘッドとが設けられている。スクライブヘッドの下端部には、ホルダジョイントが取付けられている。ホルダジョイントはその下端にスクライビングホイールを回転自在に保持するものである。 In the scribe device, for example, as shown in Patent Document 1, a table for placing and holding a brittle material substrate and a horizontal direction relative to the brittle material substrate can be moved in the vertical direction. A movable scribe head is provided. A holder joint is attached to the lower end of the scribe head. The holder joint holds the scribing wheel rotatably at the lower end.

ＷＯ２００８−１４９５１５号公報WO2008-149515

しかるにこのような従来のスクライブヘッドにおいて、リニアスライダとホルダジョイントの間隔が大きくなると、ホルダジョイントを安定して上下動させることが難しくなるという問題があった。 However, in such a conventional scribe head, there is a problem that when the distance between the linear slider and the holder joint is increased, it is difficult to stably move the holder joint up and down.

本発明はこのような従来の問題点に着目してなされたものであって、ホルダジョイントを安定して上下動できるようにしたスクライブヘッドを提供することを目的とする。 The present invention has been made paying attention to such conventional problems, and an object of the present invention is to provide a scribe head capable of stably moving the holder joint up and down.

この課題を解決するために、本発明のスクライブヘッドは、ベースプレートと、前記ベースプレートに対して垂直に取り付けられ、貫通孔を有するボトムプレートと、モータによって駆動され、前面に開口を有する筐体状の部材であって、後面がリニアウェイに接続され該リニアウェイを介して前記ベースプレートに沿って上下に摺動するスライダと、スクライビングホイールを有するホルダジョイントを下端に保持し、上面には側方に突出したフランジを有するホルダフランジと、前記ボトムプレートの貫通孔を貫き、前記スライダの下面のうち前記後面寄りの部分と前記ホルダフランジのフランジとを連結するホルダブラケットと、を具備するものである。 In order to solve this problem, a scribe head according to the present invention has a base plate, a bottom plate attached perpendicularly to the base plate, having a through-hole, driven by a motor, and having a housing shape having an opening on the front surface. A member whose rear surface is connected to a linear way and slides up and down along the base plate via the linear way and a holder joint having a scribing wheel are held at the lower end, and the upper surface protrudes sideways. a holder flange having flanges, said penetrate the bottom plate through hole of, those having a a holder bracket for connecting the flange of the holder flange and the rear surface side of the portion of the lower surface of the slider.

このような特徴を有する本発明によれば、ホルダジョイントが取り付けられたホルダフランジとスライダとをホルダブラケットにより連結している。そのためホルダジョイントとスライダとの間に間隙がある場合であってもホルダフランジの上下動を確実にすることができる。又スクライブ時にスクライビングホイールに荷重をかける場合であってもスクライブを正確に行うことができる。更にホルダジョイントとスライダとの間に間隙がある場合であっても製造を容易に行うことができるという効果が得られる。 According to the present invention having such features, the holder flange to which the holder joint is attached and the slider are connected by the holder bracket. Therefore, the vertical movement of the holder flange can be ensured even when there is a gap between the holder joint and the slider. Further, even when a load is applied to the scribing wheel during scribing, scribing can be performed accurately. Further, even if there is a gap between the holder joint and the slider, an effect that the manufacturing can be easily performed is obtained.

図１は本発明の実施の形態によるスクライブヘッドの一例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an example of a scribe head according to an embodiment of the present invention. 図２は本実施の形態によるスクライブヘッドの中央部を切欠いた状態を示す正面図である。FIG. 2 is a front view showing a state in which a central portion of the scribe head according to the present embodiment is cut away. 図３は本実施の形態によるスクライブヘッドの中央縦断面図である。FIG. 3 is a central longitudinal sectional view of the scribe head according to the present embodiment. 図４は本実施の形態によるボトムプレートを示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a bottom plate according to the present embodiment. 図５は本実施の形態によるスライダを示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a slider according to the present embodiment. 図６は本実施の形態によるホルダブラケットを示す図である。FIG. 6 is a view showing a holder bracket according to the present embodiment. 図７は本実施の形態によるホルダフランジを示す斜視図及び断面図である。FIG. 7 is a perspective view and a sectional view showing a holder flange according to the present embodiment. 図８は本実施の形態によるホルダジョイントを示す図である。FIG. 8 is a view showing a holder joint according to the present embodiment. 図９は本実施の形態によるスクライブヘッドにおいてホルダジョイントを下降させた状態を示す断面図である。FIG. 9 is a sectional view showing a state in which the holder joint is lowered in the scribe head according to the present embodiment.

図１は本発明の実施の形態によるスクライブヘッドの一例を示す斜視図であり、図２はスクライブヘッドの中央部分を切欠いて示す正面図、図３はスクライブヘッドの中央縦断面図である。これらの図に示すようにスクライブヘッド１０は図示しないブリッジに垂直に取り付けられる長方形状のベースプレート１１を有している。ベースプレート１１の上部にトッププレート１２が水平に設けられ、ベースプレート１１の下部にトッププレート１２と平行にボトムプレート１３が設けられる。トッププレート１２の上部にはサーボモータ１４がその回転軸を下方に向けて固定されている。又サーボモータ１４の上部には、その回転角を検出するエンコーダ１５が設けられている。サーボモータ１４のモータ軸には、図３に示すようにカップリング１６を介してボールねじ１７のシャフト１７ａが取り付けられる。又ベースプレート１１にはトッププレート１２とボトムプレート１３の間にスライダ１８がリニアウェイ１９を介して上下動自在に取り付けられている。スライダ１８にはボールねじ１７のナット部１７ｂが取り付けられ、サーボモータ１４の回転に伴ってスライダ１８を上下動させることができる。スライダ１８の下面には、ホルダブラケット２０が取り付けられ、更にホルダブラケット２０の下端にホルダフランジ２１が取り付けられる。 FIG. 1 is a perspective view showing an example of a scribe head according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view of the scribe head cut out, and FIG. 3 is a central longitudinal sectional view of the scribe head. As shown in these drawings, the scribe head 10 has a rectangular base plate 11 that is vertically attached to a bridge (not shown). A top plate 12 is provided horizontally above the base plate 11, and a bottom plate 13 is provided parallel to the top plate 12 below the base plate 11. A servo motor 14 is fixed on the top of the top plate 12 with its rotational axis facing downward. In addition, an encoder 15 for detecting the rotation angle is provided on the servo motor 14. As shown in FIG. 3, a shaft 17 a of a ball screw 17 is attached to the motor shaft of the servo motor 14 via a coupling 16. A slider 18 is attached to the base plate 11 between the top plate 12 and the bottom plate 13 via a linear way 19 so as to be movable up and down. A nut portion 17 b of a ball screw 17 is attached to the slider 18, and the slider 18 can be moved up and down as the servo motor 14 rotates. A holder bracket 20 is attached to the lower surface of the slider 18, and a holder flange 21 is attached to the lower end of the holder bracket 20.

次に各部材について、より詳細に説明する。図４（ａ），（ｂ）は上方及び下方から見たボトムプレート１３を示す斜視図である。ボトムプレート１３は平板状の部材であって、一端には側面に沿った突起部１３ａが形成されており、この突起部１３ａに設けられたねじ孔によってベースプレート１１にねじ止めされてベースプレート１１に対し垂直に接続される。この突起部１３ａに隣接して長方形状の貫通孔１３ｂが形成される。又突起部１３ａの他方には、ボトムプレート１３の長手方向に平行な一対の側壁１３ｃ，１３ｄが形成されている。 Next, each member will be described in more detail. 4A and 4B are perspective views showing the bottom plate 13 as viewed from above and below. The bottom plate 13 is a flat plate-like member, and has a protruding portion 13a formed along the side surface at one end. The bottom plate 13 is screwed to the base plate 11 by a screw hole provided in the protruding portion 13a. Connected vertically. A rectangular through hole 13b is formed adjacent to the protrusion 13a. A pair of side walls 13c and 13d parallel to the longitudinal direction of the bottom plate 13 are formed on the other side of the protrusion 13a.

図５（ａ），（ｂ）は上方及び下方から見たスライダ１８を示す斜視図である。スライダ１８は図示のように前面に開口を有する筐体状の部材であり、上面はボールねじ１７が貫通するためのＵ字状の切欠き１８ａが形成される。又スライダ１８の下面にはスプラインシャフト２２を回動自在に保持する貫通孔１８ｂ、ホルダブラケット２０を連結するためのねじ溝１８ｃ，１８ｄ等が形成されている。 5A and 5B are perspective views showing the slider 18 as viewed from above and below. The slider 18 is a housing-like member having an opening on the front surface as shown in the figure, and a U-shaped notch 18 a for allowing the ball screw 17 to pass through is formed on the upper surface. Further, a through hole 18b for rotatably holding the spline shaft 22 and screw grooves 18c and 18d for connecting the holder bracket 20 are formed on the lower surface of the slider 18.

ホルダブラケット２０は図６に示すように一部が拡がった薄い直方体状の部材であり、一端には平面部分に対して垂直の突起部２０ａが形成されている。突起部２０ａは内向きに湾曲した切欠きを有し、その両側にはスライダ１８と連結するための一対の貫通孔２０ｂ，２０ｃが形成される。ホルダブラケット２０の他端にはホルダフランジ２１を連結するねじ溝２０ｄ，２０ｅが形成されている。 As shown in FIG. 6, the holder bracket 20 is a thin rectangular parallelepiped member partially expanded, and a projection 20a perpendicular to the planar portion is formed at one end. The protrusion 20a has a notch curved inward, and a pair of through holes 20b and 20c for connecting to the slider 18 are formed on both sides thereof. On the other end of the holder bracket 20, thread grooves 20d and 20e for connecting the holder flange 21 are formed.

又このボトムプレート１３の下方にはホルダフランジ２１が設けられる。ホルダフランジ２１は図７（ａ）に斜視図及び（ｂ）に中央縦断面図を示すように、円筒形の部材であって、上面にはフランジ２１ａが形成され、前述したホルダブラケット２０の下端にねじ止めして固定される。又ホルダフランジ２１の下方の円筒形部分には金属カラー２３が取り付けられる。ホルダフランジ２１はその下面にホルダジョイント２４を連結するものであり、金属カラー２３の内壁にホルダジョイント２４を圧入することにより固定する。 A holder flange 21 is provided below the bottom plate 13. The holder flange 21 is a cylindrical member, as shown in a perspective view in FIG. 7A and a central longitudinal sectional view in FIG. 7B, and has a flange 21a formed on the upper surface, and the lower end of the holder bracket 20 described above. It is fixed with screws. A metal collar 23 is attached to the cylindrical portion below the holder flange 21. The holder flange 21 connects the holder joint 24 to the lower surface thereof, and is fixed by press-fitting the holder joint 24 into the inner wall of the metal collar 23.

図８はホルダジョイント２４を示す図であり、その左側は側面図、右側は断面図である。ホルダジョイント２４は中央に円柱状のキングピン３１を有している。キングピン３１はスプラインシャフト２２の回転に伴って回転するものであり、その円柱状部には、上部と中央部にキングピン３１を回動自在に保持するための第１，第２のベアリング３２，３３が円筒形のスペーサ３４を介して設けられている。又キングピン３１の下方にはキングピン押さえ３５とベアリングカバー３６が設けられる。キングピン３１の下方にはピン３７によりスクライビングホイール３８が回転自在に保持されている。 FIG. 8 is a view showing the holder joint 24, in which the left side is a side view and the right side is a cross-sectional view. The holder joint 24 has a cylindrical king pin 31 in the center. The king pin 31 is rotated with the rotation of the spline shaft 22, and the first and second bearings 32, 33 for holding the king pin 31 rotatably at the upper part and the central part are provided in the columnar part. Is provided via a cylindrical spacer 34. A king pin press 35 and a bearing cover 36 are provided below the king pin 31. A scribing wheel 38 is rotatably held by a pin 37 below the king pin 31.

この実施の形態では図３に断面図を示すように、ボトムプレート１３に設けられた貫通孔１３ｂをホルダブラケット２０が貫通しており、上部のスライダ１８とホルダフランジ２１とがホルダブラケット２０を介して連結されている。 In this embodiment, as shown in a cross-sectional view in FIG. 3, the holder bracket 20 passes through the through hole 13 b provided in the bottom plate 13, and the upper slider 18 and the holder flange 21 pass through the holder bracket 20. Are connected.

次に本実施の形態の動作について説明する。トッププレート１２の上面に取り付けられているサーボモータ１４を駆動することによってボールねじ１７が回転する。これによりスライダ１８は、図３に示すリニアウェイ１９の最も高い位置と図９に示す最も低い位置との間を上下動することができる。スライダ１８の上下動に伴い、スライダ１８と連結されているホルダブラケット２０及びホルダフランジ２１も同時に上下動することとなる。このようにスライダ１８とホルダフランジ２１との間隔が大きい場合にも、これらを連結して上下動させることができる。 Next, the operation of the present embodiment will be described. The ball screw 17 is rotated by driving a servo motor 14 attached to the upper surface of the top plate 12. Thereby, the slider 18 can move up and down between the highest position of the linear way 19 shown in FIG. 3 and the lowest position shown in FIG. As the slider 18 moves up and down, the holder bracket 20 and the holder flange 21 connected to the slider 18 also move up and down at the same time. Thus, even when the space | interval of the slider 18 and the holder flange 21 is large, these can be connected and moved up and down.

尚この実施の形態ではスライダとホルダフランジとの間をホルダブラケットで連結するようにしているが、スライダ自体の下面をボトムプレートの貫通孔に挿入できるように下方に突出させるような構造としてもよい。又これに代えてホルダフランジの上部を突出させて直接スライダに連結できるような構造とすることもできる。 In this embodiment, the slider and the holder flange are connected by the holder bracket, but the lower surface of the slider itself may be protruded downward so that it can be inserted into the through hole of the bottom plate. . Alternatively, a structure in which the upper portion of the holder flange protrudes and can be directly connected to the slider can be used.

本発明はスクライブヘッドの昇降機構のスライダとホルダフランジとの間隔が大きい場合にもこれらを連結することができ、スクライブ装置に好適に用いることができる。 The present invention can be connected even when the distance between the slider and the holder flange of the lifting mechanism of the scribe head is large, and can be suitably used for a scribe device.

１０スクライブヘッド
１１ベースプレート
１２トッププレート
１３ボトムプレート
１４サーボモータ
１５エンコーダ
１６カップリング
１７ボールねじ
１８スライダ
１９リニアウェイ
２０ホルダブラケット
２１ホルダフランジ
２２スプラインシャフト
２３金属カラー
２４ホルダジョイント DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Scribe head 11 Base plate 12 Top plate 13 Bottom plate 14 Servo motor 15 Encoder 16 Coupling 17 Ball screw 18 Slider 19 Linear way 20 Holder bracket 21 Holder flange 22 Spline shaft 23 Metal collar 24 Holder joint

Claims

ベースプレートと、
前記ベースプレートに対して垂直に取り付けられ、貫通孔を有するボトムプレートと、
モータによって駆動され、前面に開口を有する筐体状の部材であって、後面がリニアウェイに接続され該リニアウェイを介して前記ベースプレートに沿って上下に摺動するスライダと、
スクライビングホイールを有するホルダジョイントを下端に保持し、上面には側方に突出したフランジを有するホルダフランジと、
前記ボトムプレートの貫通孔を貫き、前記スライダの下面のうち前記後面寄りの部分と前記ホルダフランジのフランジとを連結するホルダブラケットと、を具備するスクライブヘッド。 A base plate;
A bottom plate mounted perpendicular to the base plate and having a through hole;
A housing-like member driven by a motor and having an opening on the front surface, the rear surface of which is connected to a linear way and slides up and down along the base plate via the linear way ;
A holder flange having a scribing wheel holder joint at the lower end and having a flange protruding sideways on the upper surface ;
A scribe head comprising: a holder bracket that passes through a through hole of the bottom plate and connects a portion of the lower surface of the slider closer to the rear surface and a flange of the holder flange .