JP5336996B2 - X-ray inspection equipment - Google Patents

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Description

本発明は、物品にX線を照射し、物品内の異物を検出するX線検査装置に関する。   The present invention relates to an X-ray inspection apparatus that irradiates an article with X-rays and detects foreign matter in the article.

従来、物品内の異物を検出するためにX線検査装置等が使用されている。これらのX線検査装置に関して、日々研究開発が行われている。   Conventionally, an X-ray inspection apparatus or the like has been used to detect foreign matter in an article. R & D is being conducted daily on these X-ray inspection apparatuses.

例えば、特許文献1には、画像補正方法および画像補正装置が開示されている。この画像補正装置は、画像のコントラストおよびブライトネスを調整する手段と、取得した画像を画像処理する画像処理手段とを備える。   For example, Patent Literature 1 discloses an image correction method and an image correction device. This image correction apparatus includes means for adjusting the contrast and brightness of an image, and image processing means for performing image processing on the acquired image.

画像処理手段は、取得した少なくとも2つの画像を異なる階調特性で階調変換する機能と、階調変換した少なくとも2つの画像の信号強度が階調範囲内において連続するように、各画像の合成比率を求める機能と、合成比率に基づいて階調変換した少なくとも2つの画像の信号強度を比例配分して合成する機能とを備える。   The image processing means combines the images so that at least two acquired images have a tone conversion function with different tone characteristics and the signal strength of the tone-converted at least two images is continuous within the tone range. A function for obtaining a ratio, and a function for performing proportional distribution to combine the signal intensities of at least two images subjected to gradation conversion based on the combination ratio.

このような構成において、所定のコントラストないしブライトネスで取得した元画像に対して、明るい画像および暗い画像を取得し、明るい画像からその暗い部分を抽出し、暗い画像からその明るい部分を抽出し、抽出した暗い部分の画像と明るい部分の画像とを合成することにより適切な階調が得られる画像補正が行われる。   In such a configuration, a bright image and a dark image are acquired with respect to the original image acquired with a predetermined contrast or brightness, the dark portion is extracted from the bright image, and the bright portion is extracted from the dark image, and extracted. Image correction is performed so that an appropriate gradation can be obtained by synthesizing the dark portion image and the bright portion image.

特開2004−208044号公報JP 2004-208044 A

しかしながら、上記従来の画像補正装置は、抽出した暗い部分の画像と明るい部分の画像とを合成する画像補正を行っており、各々の画像を処理した後に合成処理をする必要があるので処理が複雑となる。また、上記従来の画像補正装置は、画像データの信頼性を維持しつつ当該画像データを高階調から低階調へ変換するものではない。   However, the conventional image correction apparatus performs image correction for combining the extracted dark portion image and the bright portion image, and it is necessary to perform combining processing after processing each image, so that the processing is complicated. It becomes. Further, the conventional image correction apparatus does not convert the image data from a high gradation to a low gradation while maintaining the reliability of the image data.

本発明の目的は、輝度毎データを高階調から低階調へ変換する場合でも、変換後の輝度毎データの信頼性を確保することができるX線検査装置を提供することである。   An object of the present invention is to provide an X-ray inspection apparatus that can ensure the reliability of converted luminance data even when the luminance data is converted from a high gradation to a low gradation.

(1)一の局面に従うX線検査装置は、被検査物に対してX線を照射するX線源と、X線源から照射され、被検査物を透過したX線を検出して検出データを生成する検出器と、検出器からの検出値に基づき輝度毎データを取得する輝度毎データ取得部と、を有するX線検査装置であって、輝度毎データ取得部からの輝度毎データにおける輝度情報の間引き率を変更することで輝度毎データの重み付けを変更する重み付け変更部を備えるものである。重み付け変更部は、輝度毎データ取得部からの輝度毎データから、重み付けが異なる複数の変換後輝度毎データを生成する。また、重み付け変更部は、複数の変換後輝度毎データのヒストグラムに基づき、それらのヒストグラムのうち分散値が大きくなるものを選択する。 (1) An X-ray inspection apparatus according to one aspect detects X-rays that are irradiated from an X-ray source and irradiated from the X-ray source and transmitted through the inspection object to detect data. An X-ray inspection apparatus having a brightness-by-brightness data acquisition unit that acquires brightness-by-brightness data based on a detection value from the detector, the brightness in the brightness-by-brightness data from the brightness-by-brightness data acquisition unit A weight changing unit that changes the weight of the data for each luminance by changing the thinning rate of information is provided. The weight change unit generates a plurality of converted luminance data having different weights from the luminance data from the luminance data acquisition unit. Further, the weight changing unit selects a histogram having a large variance value from the histograms of the plurality of converted luminance data.

一の局面に従うX線検査装置においては、被検査物を透過したX線が検出器により検出され、当該検出器により検出データが生成される。検出器からの検出値に基づいて輝度毎データ取得部により輝度毎データが取得される。そして、輝度毎データ取得部からの輝度毎データにおける輝度情報の間引き率が重み付け変更部により変更されることで、輝度毎データの重み付けが変更される。   In the X-ray inspection apparatus according to one aspect, X-rays that have passed through the inspection object are detected by a detector, and detection data is generated by the detector. The brightness data is acquired by the brightness data acquisition unit based on the detection value from the detector. Then, the weighting change unit changes the luminance information thinning rate in the luminance data from the luminance data acquisition unit, thereby changing the weighting of the luminance data.

このように、輝度毎データにおける輝度情報の間引き率が変更される結果、輝度毎データの重み付けが変更されることによって、輝度領域ごとの輝度情報の間引き率が同じになることが防止される。具体的には、輝度毎データが4096階調(12ビット)である場合で、画像処理装置の機能の関係上、当該輝度毎データを例えば256階調(8ビット)に変換する場合に、各輝度領域で同じように輝度毎データを間引くことを防止できる。   In this way, as a result of changing the luminance information thinning rate in the luminance data, the luminance information thinning rate for each luminance region is prevented from being the same by changing the weighting of the luminance data. Specifically, when the data for each luminance is 4096 gradations (12 bits) and the data for each luminance is converted into, for example, 256 gradations (8 bits) due to the function of the image processing apparatus, Similarly, it is possible to prevent thinning out data for each luminance in the luminance region.

すなわち、被検査物に含まれる内容物を示す輝度毎データが存在すると推測される輝度領域を除いて間引き処理を行うことにより、上記のように高階調から低階調への変換を行う場合でも、被検査物に含まれる内容物の有無の検査を信頼性高く行うことができる。また、従来では、被検査物の厚みまたは材質が異なると、電圧等の検査設定を変更する必要があったが、本発明では被検査物の厚みまたは材質等に基づいて検査設定を変更する必要がないので、作業手間が省ける。さらに、形状が略均一である被検査物、例えば本または郵便物を本発明に係るX線検査装置で検査した場合でも、被検査物内の内容物の有無を確実に把握できる。   That is, even when converting from a high gradation to a low gradation as described above by performing a thinning process excluding a luminance region where it is estimated that there is data for each luminance indicating the contents included in the inspection object. Therefore, it is possible to perform the inspection of the presence / absence of the contents included in the inspection object with high reliability. Conventionally, if the thickness or material of the inspection object is different, it is necessary to change the inspection setting such as the voltage. However, in the present invention, it is necessary to change the inspection setting based on the thickness or material of the inspection object. Since there is no, there is no need for work. Furthermore, even when an object to be inspected having a substantially uniform shape, such as a book or a mail, is inspected by the X-ray inspection apparatus according to the present invention, the presence or absence of the contents in the object can be reliably grasped.

また、カメラまたは診断装置等により撮像されて得られる画像は、一般的に画像全体が鮮明に認識できるよう処理する必要があるが、本発明に係るX線検査装置のような検査装置では、被検査物内に内容物が含まれているか否かを認識することが重要であり、画像全体ではなく当該内容物を鮮明に認識できるよう処理する必要がある。その結果、輝度毎データにおける輝度情報の間引き率を重み付け変更部により変更することができる。   In addition, an image obtained by imaging with a camera or a diagnostic apparatus generally needs to be processed so that the entire image can be clearly recognized. In an inspection apparatus such as the X-ray inspection apparatus according to the present invention, It is important to recognize whether or not the contents are contained in the inspection object, and it is necessary to perform processing so that the contents can be clearly recognized rather than the entire image. As a result, the decimation rate of the luminance information in each luminance data can be changed by the weight changing unit.

(2)重み付け変更部は、輝度毎データ取得部からの輝度毎データの度数に基づき間引き率を変更してもよい。 (2) The weight change unit may change the thinning rate based on the frequency of the luminance data from the luminance data acquisition unit.

この場合、輝度毎データ取得部からの輝度毎データの度数に基づいて重み付け変更部により間引き率が変更されるので、輝度毎データにおいて間引き率を変更する必要がある輝度領域の間引き率を適切に変更できる。   In this case, since the thinning rate is changed by the weighting change unit based on the frequency of the luminance data from the luminance data acquisition unit, the luminance region thinning rate that needs to be changed in the luminance data is appropriately set. Can change.

(3)X線検査装置は、複数の輝度領域を記録する記録部を含み、重み付け変更部は、記録部に記録された輝度領域毎に間引き率を変更してもよい。 (3) The X-ray inspection apparatus may include a recording unit that records a plurality of luminance regions, and the weighting change unit may change the thinning rate for each luminance region recorded in the recording unit.

この場合、複数の輝度領域が記録部に記録されている。そして、重み付け変更部により上記輝度領域毎に間引き率が変更されるので、被検査物内の内容物の有無を検査する上で必要な輝度領域と必要性が低い輝度領域とがおおよそ分かっている場合に、これらの輝度領域の間引き率を適切に変更できる。   In this case, a plurality of luminance areas are recorded in the recording unit. Then, since the thinning rate is changed for each of the luminance areas by the weight changing unit, the luminance area necessary for inspecting the presence / absence of contents in the inspection object and the luminance area having a low necessity are roughly known. In this case, the decimation rate of these luminance regions can be changed appropriately.

(4)記録部は、輝度領域の複数領域に対応した間引き率を記録してもよい。この場合、重み付け変更部は、輝度領域の複数領域の各々に応じた適切な間引き率を得られ、間引き処理を行うことができる。 (4) The recording unit may record a thinning rate corresponding to a plurality of luminance areas. In this case, the weight changing unit can obtain an appropriate thinning rate corresponding to each of the plurality of luminance regions, and can perform thinning processing.

(5)重み付け変更部は、被検査物の厚みおよび/または被検査物の材質に基づき間引き率を変更する輝度領域を決定してもよい。この場合、被検査物内の内容物の位置がある程度既知な場合に、被検査物の厚みおよび/または材質に基づいて上記間引き率を変更する輝度領域を容易に決定できる。 (5) The weight changing unit may determine a luminance region in which the thinning rate is changed based on the thickness of the inspection object and / or the material of the inspection object. In this case, when the position of the contents in the inspection object is known to some extent, the luminance region for changing the thinning rate can be easily determined based on the thickness and / or material of the inspection object.

(6)X線検査装置は、重み付け変更部からの処理後データを表示する表示部を備えてもよい。例えば、重み付け変更部からの処理後データに係る複数の画像が選択形式で表示部に表示される場合に、作業者は所望の画像を選択できる。したがって、画像を判断する際に作業者の視覚能力および判断技量による影響を極力抑制できる。 (6) The X-ray inspection apparatus may include a display unit that displays post-processing data from the weight change unit. For example, when a plurality of images related to post-processing data from the weight changing unit are displayed on the display unit in a selection format, the operator can select a desired image. Therefore, it is possible to suppress the influence of the visual ability and the determination skill of the worker as much as possible when determining the image.

本発明に係るX線検査装置によれば、輝度毎データを高階調から低階調へ変換する場合でも、変換後の輝度毎データの信頼性を確保することができる。   The X-ray inspection apparatus according to the present invention can ensure the reliability of the converted luminance data even when the luminance data is converted from a high gradation to a low gradation.

本実施形態に係るX線検査装置の一例を示す模式的外観図である。1 is a schematic external view showing an example of an X-ray inspection apparatus according to the present embodiment. 本実施形態に係るX線検査装置の内部構造の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of the internal structure of the X-ray inspection apparatus which concerns on this embodiment. X線検査装置において画像処理に関わる構成部を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure part in connection with an image process in an X-ray inspection apparatus. 合算部による処理後の輝度毎データを示すヒストグラムである。It is a histogram which shows the data for every brightness | luminance after the process by a summation part. 間引き処理前の画像および間引き処理後の画像の例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the example of the image before a thinning process, and the image after a thinning process. X線検査装置により輝度領域の暗部を高間引き率で間引いた場合のイメージ例および輝度領域の明部を高間引き率で間引いた場合のイメージ例を示す図である。It is a figure which shows the example of an image when the dark part of a brightness | luminance area | region is thinned out with a high thinning-out rate by the X-ray inspection apparatus, and the example of an image when the bright part of a brightness | luminance area is thinned out with a high thinning-out rate. 画像処理に関わる構成部の変形例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the modification of the structure part in connection with an image process.

以下、本発明の一実施形態に係るX線検査装置について図面を参照しながら説明する。本実施形態に係るX線検査装置は、被検査物に含まれる内容物の有無を検査するものである。   Hereinafter, an X-ray inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The X-ray inspection apparatus according to the present embodiment inspects the presence / absence of contents contained in an inspection object.

図1は本実施形態に係るX線検査装置100の一例を示す模式的外観図であり、図2は本実施形態に係るX線検査装置100の内部構造の一例を示す模式図である。   FIG. 1 is a schematic external view showing an example of the X-ray inspection apparatus 100 according to the present embodiment, and FIG. 2 is a schematic view showing an example of the internal structure of the X-ray inspection apparatus 100 according to the present embodiment.

図1に示すように、X線検査装置100には、その内部にX線検査室300が形成されている。このX線検査室300内にはX線照射装置200が内蔵されている。X線検査室300を貫通するように、ベルトコンベア800が設けられている。   As shown in FIG. 1, the X-ray inspection apparatus 100 has an X-ray inspection chamber 300 formed therein. An X-ray irradiation apparatus 200 is built in the X-ray examination room 300. A belt conveyor 800 is provided so as to penetrate the X-ray examination room 300.

X線検査室300の開口部からのX線の漏洩を防止するX線漏洩防止カーテン500が設けられている。また、X線検査装置100には、作業者が操作するためのタッチパネル形式の入力表示部MTが設けられている。作業者は、入力表示部MTを操作することによりX線検査装置100を駆動させる。   An X-ray leakage prevention curtain 500 that prevents X-ray leakage from the opening of the X-ray examination room 300 is provided. In addition, the X-ray inspection apparatus 100 is provided with a touch panel type input display unit MT for an operator to operate. The operator drives the X-ray inspection apparatus 100 by operating the input display unit MT.

作業者はベルトコンベア800上に被検査物900(図2)を載置する。そして、ベルトコンベア800上に載置された被検査物900について、内容物が存在するか否かの検査が行われる。以下、X線検査室300の内部構造について説明する。   The operator places the inspection object 900 (FIG. 2) on the belt conveyor 800. Then, the inspection object 900 placed on the belt conveyor 800 is inspected for the presence of the contents. Hereinafter, the internal structure of the X-ray examination room 300 will be described.

図2に示すように、X線検査室300は、X線照射装置200、ラインセンサ220、X線漏洩防止カーテン500、およびベルトコンベア800を主として備える。X線漏洩防止カーテン500は、X線検査室300の入口側のX線漏洩防止カーテン装置510および出口側のX線漏洩防止カーテン装置520により構成される。   As shown in FIG. 2, the X-ray examination room 300 mainly includes an X-ray irradiation apparatus 200, a line sensor 220, an X-ray leakage prevention curtain 500, and a belt conveyor 800. The X-ray leakage prevention curtain 500 includes an X-ray leakage prevention curtain device 510 on the entrance side of the X-ray examination room 300 and an X-ray leakage prevention curtain device 520 on the exit side.

ベルトコンベア800は、無端状のベルトが一対のローラに巻回されて構成されている。シンチレータおよびフォトダイオード素子からなり、X線を検出するラインセンサ220が上記ベルトコンベア800の内側に設けられている。なお、ラインセンサ220はX線を検出する複数の検出素子を含む。   The belt conveyor 800 is configured by winding an endless belt around a pair of rollers. A line sensor 220 that includes a scintillator and a photodiode element and detects X-rays is provided inside the belt conveyor 800. The line sensor 220 includes a plurality of detection elements that detect X-rays.

図2において、ベルトコンベア800上に被検査物900が載置される。そして、ベルトコンベア800が駆動されると、被検査物900は矢印d1の方向に沿って搬送される。搬送中の被検査物900は、まず、X線漏洩防止カーテン510を通過して、X線検査室300内に移動する。   In FIG. 2, the inspection object 900 is placed on the belt conveyor 800. When the belt conveyor 800 is driven, the inspection object 900 is conveyed along the direction of the arrow d1. The inspection object 900 being transported first passes through the X-ray leakage prevention curtain 510 and moves into the X-ray inspection room 300.

次いで、搬送中の被検査物900に対して、X線照射装置200からX線210が照射される。そして、被検査物900を透過したX線210がラインセンサ220に入射される。   Next, X-rays 210 are irradiated from the X-ray irradiation apparatus 200 to the inspection object 900 being conveyed. Then, the X-ray 210 that has passed through the inspection object 900 enters the line sensor 220.

ラインセンサ220は、入射されたX線210に基づいて検出データを生成する。ラインセンサ220により生成された検出データに基づいて、被検査物900内に内容物が含まれているか否かについての検査が行われる。なお、当該検査の詳細な方法については後で述べる。   The line sensor 220 generates detection data based on the incident X-ray 210. Based on the detection data generated by the line sensor 220, an inspection is performed as to whether or not the contents are included in the inspection object 900. A detailed method of the inspection will be described later.

そして、X線検査が行われた被検査物900はベルトコンベア800により継続的に搬送されることにより、X線漏洩防止カーテン520を通過した後、X線検査室300外に移動する。その後、被検査物900は次工程へと搬送される。   Then, the inspection object 900 that has been subjected to the X-ray inspection is continuously conveyed by the belt conveyor 800, and thus moves outside the X-ray inspection chamber 300 after passing through the X-ray leakage prevention curtain 520. Thereafter, the inspection object 900 is conveyed to the next process.

図3はX線検査装置100において画像処理に関わる構成部を示すブロック図である。   FIG. 3 is a block diagram showing components related to image processing in the X-ray inspection apparatus 100.

図3に示すように、本実施形態に係るX線検査装置100は、画像処理に関わる構成部として、上述のラインセンサ220、A/Dコンバータ230、検出機能処理部FS、処理後データ記憶部261、変換曲線記憶部270および上述の入力表示部MTを備える。   As illustrated in FIG. 3, the X-ray inspection apparatus 100 according to the present embodiment includes the above-described line sensor 220, A / D converter 230, detection function processing unit FS, and post-processing data storage unit as components related to image processing. 261, a conversion curve storage unit 270, and the input display unit MT described above.

検出機能処理部FSは、輝度毎データ取得部240、合算部250、重み付け変更部260、動作パラメータ記録部280、異物判断処理部290および表示データ作成部291を含む。   The detection function processing unit FS includes a luminance data acquisition unit 240, a summation unit 250, a weight change unit 260, an operation parameter recording unit 280, a foreign matter determination processing unit 290, and a display data creation unit 291.

上記検出機能処理部FSの各構成部は、CPU(中央演算処理装置)がRAM(Random Access Memory)またはROM(Read-Only Memory)に格納されている処理プログラムを実行することによって機能的に実現される。このような処理プログラムは、当該処理プログラムが記録されたCD−ROM、DVD−ROM等の記録媒体からインストールすることが可能であるし、ネットワークを介してサーバからダウンロードすることも可能である。また、変換曲線記憶部270および処理後データ記憶部261はハードディスク等からなる。   Each component of the detection function processing unit FS is functionally realized by a CPU (Central Processing Unit) executing a processing program stored in a RAM (Random Access Memory) or a ROM (Read-Only Memory). Is done. Such a processing program can be installed from a recording medium such as a CD-ROM or DVD-ROM in which the processing program is recorded, or can be downloaded from a server via a network. Further, the conversion curve storage unit 270 and the post-processing data storage unit 261 are composed of a hard disk or the like.

最初に、被検査物900を透過したX線210がラインセンサ220に入射され、当該ラインセンサ220によりX線210に基づいてアナログデータである検出データKDaが生成される。この検出データKDaは、例えば4096階調(12ビット)のデータである。その後、検出データKDaは、A/Dコンバータ230によりデジタルデータである検出データKDdに変換される。   First, X-rays 210 that have passed through the inspection object 900 are incident on the line sensor 220, and the line sensor 220 generates detection data KDa that is analog data based on the X-rays 210. This detection data KDa is, for example, data of 4096 gradations (12 bits). Thereafter, the detection data KDa is converted into detection data KDd which is digital data by the A / D converter 230.

検出データKDdからの検出値に基づき輝度毎データ取得部240により輝度毎データLD1が取得される。なお、輝度毎データLD1は画像の1ライン分に相当するものである。そして、合算部250により複数の輝度毎データLD1が合算されることにより、画像の全ライン分に相当する輝度毎データLD2が生成される。   The luminance data LD1 is acquired by the luminance data acquisition unit 240 based on the detection value from the detection data KDd. Note that the luminance data LD1 corresponds to one line of the image. Then, the luminance data LD2 corresponding to all lines of the image is generated by adding the plurality of luminance data LD1 by the adding unit 250.

次に、検出機能処理部FSによる間引き処理について説明する。図4は合算部250による処理後の輝度毎データLD2を示すヒストグラムである。なお、図4のヒストグラムの縦軸は度数を示し、横軸は、図面右側を「暗」とし、図面左側を「明」とし、階調を示すものとする。   Next, the thinning process by the detection function processing unit FS will be described. FIG. 4 is a histogram showing the luminance data LD2 after processing by the summing unit 250. Note that the vertical axis of the histogram of FIG. 4 indicates frequency, and the horizontal axis indicates “tone” on the right side of the drawing and “bright” on the left side of the drawing, and indicates gradation.

ここで、図4に示すように、輝度毎データLD2は、各階調(各輝度)ごとに対応する度数(出現度数)を含む。なお、輝度値(cd/m2)はデジタル変換されると、階調として表される。   Here, as shown in FIG. 4, the luminance data LD2 includes the frequency (appearance frequency) corresponding to each gradation (each luminance). Note that the luminance value (cd / m2) is represented as a gradation when digitally converted.

重み付け変更部260(図3)は、輝度毎データLD2に基づき、輝度領域KRTと当該輝度領域KRTを除く輝度領域KRとで、間引き率MRを変更して間引き処理を行う。具体的には、重み付け変更部260は、輝度領域KRTの輝度情報に対しては間引き処理を行わない、または低間引き率で間引き処理を行い、輝度領域KRの輝度情報に対しては高間引き率で間引き処理を行う。   The weight changing unit 260 (FIG. 3) performs the thinning process by changing the thinning rate MR between the luminance region KRT and the luminance region KR excluding the luminance region KRT based on the luminance data LD2. Specifically, the weight change unit 260 does not perform the thinning process on the luminance information of the luminance area KRT or performs the thinning process at a low thinning rate, and the high thinning rate on the luminance information of the luminance area KR. The thinning process is performed with.

間引き率MRは、後述の変換曲線fa〜feに基づいて決定される。一例を挙げると、輝度領域KRでは、例えば20階調分の度数が1階調分の度数に変換される。この場合、間引き率MRは、20/1=20となり、高間引き率となる。一方、輝度領域KRTでは、例えば5階調分の度数が1階調分の度数に変換される。この場合、間引き率MRは、5/1=5となり、低間引き率となる。   The thinning rate MR is determined based on conversion curves fa to fe described later. As an example, in the luminance region KR, for example, frequencies for 20 gradations are converted into frequencies for one gradation. In this case, the thinning rate MR is 20/1 = 20, which is a high thinning rate. On the other hand, in the luminance region KRT, for example, the frequency for five gradations is converted into the frequency for one gradation. In this case, the thinning rate MR is 5/1 = 5, which is a low thinning rate.

動作パラメータ記録部280は、変換曲線記憶部270に記憶されている変換曲線fa〜feに基づいて、間引き処理を行わないまたは低間引き率で間引き処理を行う輝度領域KRTおよびこれに対応する間引き率MR、ならびに高間引き率で間引き処理を行う輝度領域KRおよびこれに対応する間引き率MRを得る。重み付け変更部260は、これらの輝度領域KRT、KRおよび間引き率MRを用いて間引き処理を行うことで、輝度毎データLD2の重み付けを変更する。   The operating parameter recording unit 280, based on the conversion curves fa to fe stored in the conversion curve storage unit 270, does not perform the thinning process or performs the thinning process at a low thinning rate and the corresponding thinning rate. MR, a luminance region KR that performs thinning processing at a high thinning rate, and a thinning rate MR corresponding thereto are obtained. The weight change unit 260 changes the weight of each brightness data LD2 by performing a thinning process using the luminance regions KRT and KR and the thinning rate MR.

重み付け変更部260による間引き処理の際には、以下の変換曲線が用いられる。   When the thinning process is performed by the weight change unit 260, the following conversion curve is used.

図5は間引き処理前の画像および間引き処理後の画像の例を示す説明図である。変換曲線記憶部270(図3)は、図5に示すように、4096階調の輝度毎データLD2を256階調の輝度毎データLAに変換するための複数の変換曲線fa〜feを予め記憶する。   FIG. 5 is an explanatory diagram illustrating an example of an image before the thinning process and an image after the thinning process. As shown in FIG. 5, the conversion curve storage unit 270 (FIG. 3) stores in advance a plurality of conversion curves fa to fe for converting 4096 gradation luminance data LD2 into 256 gradation luminance data LA. To do.

なお、簡略化のため省略したが、図5(b1)、(c1)、(d1)、(e1)および(f1)に示す変換曲線fa〜feの各グラフの横軸は4096階調(12ビット)の明暗(原点側:明、逆側:暗)を示し、縦軸は256階調(8ビット)の明暗(原点側:明、逆側:暗)を示している。また、図5(b3)、(c3)、(d3)、(e3)および(f3)に示すヒストグラムH1〜H5の各グラフの横軸は輝度の高低(原点側:明、逆側:暗)を示しており、縦軸は出現度数を示す。   Although omitted for simplification, the horizontal axis of each graph of the conversion curves fa to fe shown in FIGS. 5B1, 5C1, D1, E1, and F1 is 4096 gradations (12 Bit) light and dark (origin side: bright, reverse side: dark), and the vertical axis represents 256 gradations (8 bits) of light and dark (origin side: bright, reverse side: dark). Also, the horizontal axis of each graph of the histograms H1 to H5 shown in FIGS. 5B3, C3, D3, E3, and F3 is the brightness level (origin side: bright, reverse side: dark). The vertical axis indicates the frequency of appearance.

例えば、図5(a)に示すような輝度毎データLD2に係る画像G1がある場合、重み付け変更部260(図3)は、図5(b1)の変換曲線faを用いて当該輝度毎データLD2を256階調の輝度毎データLAに変換する。   For example, when there is an image G1 related to the luminance data LD2 as shown in FIG. 5A, the weight change unit 260 (FIG. 3) uses the conversion curve fa of FIG. Is converted into data for each luminance LA of 256 gradations.

その結果、変換後の輝度毎データLAに係る画像G2は、図5(b2)に示すように、画像G1よりも明るさが顕著に増す。この場合、変換曲線faは暗部領域を大きく間引くものであるので、輝度毎データLAに係る画像G2のヒストグラムH1は、図5(b3)の通りとなる。このヒストグラムH1の平均値は、後述のものに比べ「大」となっており、分散値は、後述のものに比べ「小」となる。なお、公知であるが、上記平均値とは輝度の中央の値であり、分散値とは各値の平均値からの差(距離)の二乗和をとるものである。   As a result, the brightness of the image G2 related to the converted luminance data LA is significantly higher than that of the image G1, as shown in FIG. 5 (b2). In this case, since the conversion curve fa greatly thins out the dark area, the histogram H1 of the image G2 related to the luminance data LA is as shown in FIG. 5 (b3). The average value of the histogram H1 is “large” compared to that described later, and the variance value is “small” compared to that described later. As is well known, the average value is the central value of luminance, and the variance value is the sum of squares of the difference (distance) from the average value of each value.

また、これに伴って、重み付け変更部260は、図5(c1)の変換曲線fbを用いて当該輝度毎データLD2を256階調の輝度毎データLAに変換する。   Accordingly, the weight changing unit 260 converts the luminance data LD2 into luminance data LA of 256 gradations using the conversion curve fb in FIG. 5C1.

その結果、変換後の輝度毎データLAに係る画像G3は、図5(c2)に示すように、画像G1よりも明るさが若干増す。この場合、変換曲線fbは暗部領域を比較的大きく間引くものであるので、輝度毎データLAに係る画像G3のヒストグラムH2は、図5(c3)の通りとなる。このヒストグラムH2の平均値は、他のものに比べ「中大(平均より若干大)」となっており、分散値は、他のものに比べ「中(平均的)」となる。   As a result, the brightness of the image G3 related to the converted luminance data LA is slightly higher than that of the image G1, as shown in FIG. 5 (c2). In this case, since the conversion curve fb thins out the dark area relatively large, the histogram H2 of the image G3 related to the luminance data LA is as shown in FIG. 5 (c3). The average value of the histogram H2 is “medium (slightly greater than the average)” compared to the other, and the variance is “medium (average)” compared to the other.

また、これらに伴って、重み付け変更部260は、図5(d1)の変換曲線fcを用いて当該輝度毎データLD2を256階調の輝度毎データLAに変換する。   Accordingly, the weight changing unit 260 converts the luminance data LD2 into 256-level luminance data LA using the conversion curve fc of FIG. 5 (d1).

その結果、変換後の輝度毎データLAに係る画像G4は、図5(d2)に示すように、画像G1の明るさとほとんど変わりはない。この場合、変換曲線fcは明部領域および暗部領域を平均的に間引くものであるので、輝度毎データLAに係る画像G4のヒストグラムH3は、図5(d3)の通りとなる。このヒストグラムH3の平均値は、他のものに比べ「中」となっており、分散値は、他のものに比べ「大」となる。   As a result, the image G4 related to the converted luminance data LA is almost the same as the brightness of the image G1, as shown in FIG. 5 (d2). In this case, since the conversion curve fc averages the bright area and the dark area, the histogram H3 of the image G4 related to the luminance data LA is as shown in FIG. 5 (d3). The average value of the histogram H3 is “medium” compared to the other ones, and the variance value is “large” compared to the other ones.

また、これらに伴って、重み付け変更部260は、図5(e1)の変換曲線fdを用いて当該輝度毎データLD2を256階調の輝度毎データLAに変換する。   Accordingly, the weight changing unit 260 converts the luminance data LD2 into 256-level luminance data LA using the conversion curve fd shown in FIG.

その結果、変換後の輝度毎データLAに係る画像G5は、図5(e2)に示すように、画像G1よりも暗さが若干増す。この場合、変換曲線fdは明部領域を比較的大きく間引くものであるので、輝度毎データLAに係る画像G5のヒストグラムH4は、図5(e3)の通りとなる。このヒストグラムH4の平均値は、他のものに比べ「中小(平均より若干小)」となっており、分散値は、他のものに比べ「中」となる。   As a result, the image G5 related to the converted luminance data LA is slightly darker than the image G1, as shown in FIG. 5 (e2). In this case, since the conversion curve fd thins out the bright area relatively large, the histogram H4 of the image G5 related to the luminance data LA is as shown in FIG. 5 (e3). The average value of the histogram H4 is “small and medium (slightly smaller than the average)” compared to the other values, and the variance value is “medium” compared to the other values.

さらに、これらに伴って、重み付け変更部260は、図5(f1)の変換曲線feを用いて当該輝度毎データLD2を256階調の輝度毎データLAに変換する。   Further, along with these, the weight changing unit 260 converts the luminance data LD2 into the luminance data LA of 256 gradations using the conversion curve fe of FIG.

その結果、変換後の輝度毎データLAに係る画像G6は、図5(f2)に示すように、画像G1よりも暗さが顕著に増す。この場合、変換曲線feは明部領域を大きく間引くものであるので、輝度毎データLAに係る画像G6のヒストグラムH5は、図5(f3)の通りとなる。このヒストグラムH5の平均値は、他のものに比べ「小」となっており、分散値は、他のものに比べ「小」となる。   As a result, as shown in FIG. 5 (f2), the image G6 related to the luminance data LA after the conversion is significantly darker than the image G1. In this case, since the conversion curve fe greatly thins out the bright area, the histogram H5 of the image G6 related to the luminance data LA is as shown in FIG. 5 (f3). The average value of the histogram H5 is “small” compared to the other values, and the variance value is “small” compared to the other values.

ここで、被検査物900内の内容物の位置がおおよそ既知な場合、換言すれば、被検査物900内の内容物の有無を検査する上で必要な輝度領域KRT(図4)と必要性が低い輝度領域KR(図4)とがある程度分かっている場合に、重み付け変更部260(図3)は、ハードディスク等に予め記録された輝度領域KRT、KRおよび間引き率MRを用いて間引き処理を行うことができる。   Here, when the position of the contents in the inspection object 900 is approximately known, in other words, the luminance region KRT (FIG. 4) and necessity necessary for inspecting the presence or absence of the contents in the inspection object 900 When the low brightness area KR (FIG. 4) is known to some extent, the weight change unit 260 (FIG. 3) performs the thinning process using the brightness areas KRT and KR and the thinning rate MR recorded in advance on a hard disk or the like. It can be carried out.

図3に戻り、重み付け変更部260により生成された輝度毎データLAは、処理後データとして処理後データ記憶部261に記憶されるとともに、異物判断処理部290に与えられる。   Returning to FIG. 3, the luminance data LA generated by the weight change unit 260 is stored in the post-processing data storage unit 261 as post-processing data and is given to the foreign matter determination processing unit 290.

異物判断処理部290により輝度毎データLAに基づいて被検査物900内に内容物が含まれているか否かの判別等の処理が行われる。当該判別結果によっては、警告装置(図示せず)により警告音が発せられる。   The foreign matter determination processing unit 290 performs processing such as determination as to whether or not contents are included in the inspection object 900 based on the luminance data LA. Depending on the determination result, a warning sound is emitted by a warning device (not shown).

また、表示データ作成部291により輝度毎データLAに基づいて入力表示部MTに表示するための表示データが作成される。この場合、重み付け変更部260によりヒストグラムH1〜H5が取得された後、当該ヒストグラムに基づいて目視に最も適したコントラストを有する画像が上記画像G2〜G6の中から選択される。そして、重み付け変更部260により選択された上記画像に係る表示データが入力表示部MTに与えられる。当該表示データに係る画像が入力表示部MTに表示される。   Further, display data for display on the input display unit MT is created by the display data creation unit 291 based on the luminance data LA. In this case, after the histograms H1 to H5 are acquired by the weight changing unit 260, an image having the most suitable contrast for viewing is selected from the images G2 to G6 based on the histogram. Then, the display data related to the image selected by the weight changing unit 260 is given to the input display unit MT. An image related to the display data is displayed on the input display section MT.

図6はX線検査装置100により輝度領域の暗部を高間引き率で間引いた場合のイメージ例および輝度領域の明部を高間引き率で間引いた場合のイメージ例を示す図である。なお、図6(a)、(b)の縦軸はラインセンサ220を構成する検出素子の位置を示し、横軸は輝度の明暗を示す。また、図6(a)、(b)は背景をマスキングした場合の例を示す。   FIG. 6 is a diagram illustrating an example of an image when the X-ray inspection apparatus 100 thins out a dark part of a luminance region with a high thinning rate and an example of an image when the bright part of a luminance region is thinned out with a high thinning rate. In addition, the vertical axis | shaft of Fig.6 (a), (b) shows the position of the detection element which comprises the line sensor 220, and a horizontal axis shows the brightness contrast. FIGS. 6A and 6B show examples when the background is masked.

図6(a)の変換前の変化軌跡HK1は、図5(a)の輝度毎データLD2を、図5(b2)の輝度毎データLAに変換する場合と同様に、図5(b1)の変換曲線faに基づいて、輝度領域の暗部が大きく間引かれることにより、変換後の変化軌跡HK2のようになる。これにより、明部における差C1が差C2に強調される。   The change trajectory HK1 before conversion in FIG. 6A is similar to the case of converting the brightness data LD2 in FIG. 5A to the brightness data LA in FIG. Based on the conversion curve fa, the dark portion of the luminance region is greatly thinned out, resulting in a converted change locus HK2. Thereby, the difference C1 in the bright part is emphasized to the difference C2.

また、図6(b)の変換前の変化軌跡HK3は、図5(a)の輝度毎データLD2を、図5(f2)の輝度毎データLAに変換する場合と同様に、図5(f1)の変換曲線feに基づいて、輝度領域の明部が大きく間引かれることにより、変換後の変化軌跡HK4のようになる。これにより、暗部における差C3が差C4に強調される。   Further, the change locus HK3 before the conversion in FIG. 6B is similar to the case where the brightness data LD2 in FIG. 5A is converted into the brightness data LA in FIG. ), The bright part of the luminance region is greatly thinned out to obtain a transformed change locus HK4. Thereby, the difference C3 in the dark part is emphasized to the difference C4.

このように、被検査物900内の内容物を検査する上で、特定の輝度領域を除く輝度領域を大きく間引くことにより、当該特定の輝度領域を強調できるので、高階調から低階調への変換を行う場合でも、検査の信頼性が損なわれることが抑制される。   As described above, when inspecting the contents in the inspection object 900, the specific luminance area can be emphasized by greatly thinning out the luminance area excluding the specific luminance area. Even when the conversion is performed, it is possible to prevent the reliability of the inspection from being impaired.

<本実施形態における効果>
通常、X線検査装置では、被検査物の厚みまたは材質等に応じてX線強度およびコントラストの調整を行う必要がある。例えば、厚みが薄く、X線が透過しやすい被検査物に対しては、X線管電圧を低く、コントラスト調整では明るい領域を強調するように設定する。つまり、薄い被検査物と厚い被検査物とを同じ検査設定で撮像することは困難である。
<Effect in this embodiment>
Usually, in the X-ray inspection apparatus, it is necessary to adjust the X-ray intensity and contrast according to the thickness or material of the inspection object. For example, the X-ray tube voltage is set low for an inspected object that is thin and easily transmits X-rays, and a bright region is set to be emphasized in contrast adjustment. That is, it is difficult to image a thin inspection object and a thick inspection object with the same inspection setting.

画像処理装置またはパーソナルコンピュータで表示される画像に係る画像データの階調は256階調(8ビット)であるが、ラインセンサにより生成される検出データの階調は4096階調(12ビット)である。そのため、下位4ビットの検出データを消去する等して12ビットから8ビットへのデータ変換を行う必要がある。このようなデータ変換により画像のコントラストを維持でき、画像の見た目が維持できる。   The gradation of the image data relating to the image displayed on the image processing apparatus or personal computer is 256 gradations (8 bits), but the gradation of the detection data generated by the line sensor is 4096 gradations (12 bits). is there. Therefore, it is necessary to perform data conversion from 12 bits to 8 bits by erasing the lower 4 bits of detection data. By such data conversion, the contrast of the image can be maintained, and the appearance of the image can be maintained.

しかしながら、X線画像は暗すぎたり明るすぎたりすることが多く、周知のガンマ補正処理等のコントラスト調整をしながらデータ変換を行うことが通常となっている。この場合、所定の変換関数を用いるが、被検査物の厚みによって画像が明るくなりすぎる場合や暗くなりすぎる場合がある。   However, X-ray images are often too dark or too bright, and data conversion is usually performed while performing contrast adjustment such as a known gamma correction process. In this case, a predetermined conversion function is used, but the image may be too bright or too dark depending on the thickness of the inspection object.

検出データを12ビットから8ビットに変換した後、輝度補正を行うことも可能であるが、この場合、検出データが平均的に間引かれるので、輝度変化の連続性が喪失される。コントラストを極度に強調する場合には、階調の不連続性が際立ち、表示階調が減少し、不自然な画像となってしまう。   Although it is possible to correct the luminance after converting the detection data from 12 bits to 8 bits, in this case, since the detection data is thinned out on average, the continuity of the luminance change is lost. When the contrast is extremely emphasized, gradation discontinuity stands out, and the display gradation decreases, resulting in an unnatural image.

これに対して、本実施形態においては、輝度領域KRTと当該輝度領域KRTを除く輝度領域KRとで、間引き率が変更されて間引き処理が行われる。それにより、高階調から低階調へのデータ変換を行う場合でも、内容物の有無を検査する上で必要な輝度領域KRTにおける間引き処理を抑制できるので、処理後データである輝度毎データLAの信頼性を確実に確保できる。   On the other hand, in this embodiment, the thinning-out rate is changed between the luminance region KRT and the luminance region KR excluding the luminance region KRT, and the thinning process is performed. Thereby, even when data conversion from high gradation to low gradation is performed, it is possible to suppress the thinning process in the luminance region KRT necessary for inspecting the presence or absence of the contents. Reliability can be reliably ensured.

また、本実施形態では、間引き処理において複数の変換曲線fa〜feが用いられることにより、被検査物900内に含まれる内容物の有無を検査する上で適切な画像が選択される。したがって、検査の信頼性を向上できる。   In the present embodiment, by using a plurality of conversion curves fa to fe in the thinning-out process, an appropriate image is selected for inspecting the presence / absence of contents included in the inspection object 900. Therefore, the reliability of inspection can be improved.

また、従来では、被検査物900の厚みまたは材質が異なると、電圧等の検査設定を変更する必要があったが、本実施形態に係るX線検査装置100では、被検査物900の厚みまたは材質等に基づいて検査設定を変更する必要がなく、作業手間が省ける。   Conventionally, when the thickness or material of the inspection object 900 is different, it is necessary to change the inspection setting such as voltage. However, in the X-ray inspection apparatus 100 according to the present embodiment, the thickness or the inspection object 900 is changed. There is no need to change the inspection setting based on the material and the like, saving labor.

また、カメラまたは診断装置等により撮像されて得られる画像は、一般的に画像全体が鮮明に認識できるよう処理する必要があるが、本実施形態に係るX線検査装置100のような検査装置では、被検査物900内に内容物が含まれているか否かを認識することが重要であり、画像全体ではなく当該内容物を鮮明に認識できるよう処理する必要がある。その結果、輝度毎データLD2における間引き率MRを変更して異物判断処理を行うことができる。   In addition, an image obtained by being captured by a camera or a diagnostic apparatus generally needs to be processed so that the entire image can be clearly recognized, but in an inspection apparatus such as the X-ray inspection apparatus 100 according to the present embodiment, Therefore, it is important to recognize whether or not the contents are included in the inspection object 900, and it is necessary to perform processing so that the contents can be clearly recognized rather than the entire image. As a result, the foreign matter determination process can be performed by changing the thinning rate MR in the luminance data LD2.

また、上述の従来の画像補正装置では、明るい部分の画像および暗い部分の画像の2つの画像を処理してそれらを合成する必要があり、処理が大変複雑であるが、本実施形態に係るX線検査装置100では、一つのデータである輝度毎データLD2を処理すればいいので、処理が複雑となるのを回避できる。   Further, in the above-described conventional image correction apparatus, it is necessary to process two images of a bright portion image and a dark portion image and combine them, and the processing is very complicated. In the line inspection apparatus 100, since it is only necessary to process the luminance data LD2 which is one data, it is possible to avoid complicated processing.

<請求項の各構成要素と上記実施形態の各部との対応関係>
上記実施形態においては、X線検査装置100がX線検査装置に相当し、X線照射装置200がX線源に相当し、被検査物900が被検査物に相当し、X線210がX線に相当し、検出データKDaが検出データに相当し、輝度毎データLD1、LD2が輝度毎データに相当し、輝度毎データ取得部240が輝度毎データ取得部に相当し、ラインセンサ220が検出器に相当し、間引き率MRが間引き率に相当し、重み付け変更部260が重み付け変更部に相当し、動作パラメータ記録部280が記録部に相当し、輝度領域KRT、KRが輝度領域に相当し、輝度毎データLAが処理後データに相当し、入力表示部MTが表示部に相当する。
<Correspondence between each component of claims and each part of the embodiment>
In the above embodiment, the X-ray inspection apparatus 100 corresponds to the X-ray inspection apparatus, the X-ray irradiation apparatus 200 corresponds to the X-ray source, the inspection object 900 corresponds to the inspection object, and the X-ray 210 corresponds to the X-ray. It corresponds to a line, detection data KDa corresponds to detection data, luminance data LD1 and LD2 correspond to luminance data, luminance data acquisition unit 240 corresponds to luminance data acquisition unit, and line sensor 220 detects The thinning rate MR corresponds to the thinning rate, the weight change unit 260 corresponds to the weight change unit, the operation parameter recording unit 280 corresponds to the recording unit, and the luminance regions KRT and KR correspond to the luminance region. The brightness data LA corresponds to the post-processing data, and the input display unit MT corresponds to the display unit.

<変形例>
なお、上記実施形態では、図5において、輝度毎データLAに係る画像G2〜G6のうち、重み付け変更部260により選択された画像が入力表示部MTに表示されることとしたが、これに限定されるものではなく、画像G2〜G6の全てを表示し、表示された画像G2〜G6のうちから作業者が画像を選択することとしてもよい。また、入力表示部MTに画像切り替えボタンを設け、最初に重み付け変更部260により選択された代表的な画像を表示し、作業者が当該画像切り替えボタンを操作することにより、他の残りの画像を切り替えて表示してもよい。
<Modification>
In the above embodiment, the image selected by the weight changing unit 260 among the images G2 to G6 related to the luminance data LA in FIG. 5 is displayed on the input display unit MT. However, the present invention is not limited to this. Not all of the images G2 to G6 may be displayed, and the operator may select an image from the displayed images G2 to G6. Further, an image switching button is provided on the input display unit MT, a representative image first selected by the weight changing unit 260 is displayed, and the operator operates the image switching button to display other remaining images. You may switch and display.

また、上記実施形態では、重み付け変更部260によりヒストグラムH1〜H5が取得された後、当該ヒストグラムに基づいて目視に最も適したコントラストを有する画像が選択されることとしたが、これに限定されるものではなく、例えばヒストグラムの平均値が所望の輝度に最も近い画像が選択されてもよいし、ヒストグラムの分散値が最も大きくなる画像が選択されてもよい。   Further, in the above embodiment, after the histograms H1 to H5 are acquired by the weight changing unit 260, an image having the most suitable contrast for viewing is selected based on the histogram. However, the present invention is limited to this. For example, an image having an average value of the histogram closest to the desired luminance may be selected, or an image having the largest variance value of the histogram may be selected.

また、上記実施形態では、変換曲線記憶部270には変換曲線fa〜feが記憶されているが、これらの変換曲線に限定されるものではなく、被検査物900の種類によって異なる変換曲線を適宜使用してもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the conversion curves fa-fe are memorize | stored in the conversion curve memory | storage part 270, it is not limited to these conversion curves, The conversion curve which changes with kinds of to-be-inspected object 900 is suitably used. May be used.

また、図7に示すように、ラインセンサ220からの検出データKDaの輝度情報を輝度に応じて増幅部700によりアナログ的に増幅してもよい。この場合でも、上述と同じ作用効果が得られ、被検査物900内に含まれる内容物の有無について把握し易くなる。なお、図7のA/Dコンバータ230および入力表示部MTの動作は上述した通りで、処理部710は輝度毎データの取得および合算、異物判断処理ならびに表示データの作成等の処理を行う。   Further, as shown in FIG. 7, the luminance information of the detection data KDa from the line sensor 220 may be amplified in an analog manner by the amplifying unit 700 according to the luminance. Even in this case, the same effect as described above can be obtained, and it becomes easy to grasp the presence or absence of the contents included in the inspection object 900. The operations of the A / D converter 230 and the input display unit MT in FIG. 7 are as described above, and the processing unit 710 performs processing such as acquisition and addition of data for each luminance, foreign matter determination processing, and display data creation.

また、上記実施形態では、間引き処理を行わない、または低間引き率で間引き処理を行う輝度領域KRTを一つとしたが、これに限定されるものではなく、被検査物900内に含まれる内容物の種類および検査の重要性等に応じて当該輝度領域KRTを2つ以上設定してもよい。この場合、一の輝度領域KRTに対して高間引き率で間引き処理が行われ、他の輝度領域KRTに対して低間引き率で間引き処理が行われる。   In the above embodiment, one luminance region KRT in which thinning processing is not performed or thinning processing is performed at a low thinning rate is used. However, the present invention is not limited to this, and the content included in the inspection object 900 Two or more luminance regions KRT may be set according to the type of the image and the importance of the inspection. In this case, the thinning process is performed at a high thinning rate for one luminance region KRT, and the thinning process is performed at a low thinning rate for the other luminance region KRT.

さらに、本発明の好ましい一実施の形態は上記の通りであるが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の精神と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。   Furthermore, although one preferable embodiment of the present invention is as described above, the present invention is not limited thereto. It will be understood that various other embodiments may be made without departing from the spirit and scope of the invention. Furthermore, in this embodiment, although the effect | action and effect by the structure of this invention are described, these effect | actions and effects are examples and do not limit this invention.

100 X線検査装置
200 X線照射装置
210 X線
220 ラインセンサ
240 輝度毎データ取得部
260 重み付け変更部
280 動作パラメータ記録部
900 被検査物
KDa 検出データ
KR、KRT 輝度領域
LD1、LD2 輝度毎データ
MR 間引き率
MT 入力表示部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 X-ray inspection apparatus 200 X-ray irradiation apparatus 210 X-ray 220 Line sensor 240 Brightness data acquisition part 260 Weight change part 280 Operation parameter recording part 900 Inspected object KDa detection data KR, KRT Brightness area LD1, LD2 Brightness data MR Decimation rate MT input display

Claims (6)

被検査物に対してX線を照射するX線源と、
前記X線源から照射され、前記被検査物を透過したX線を検出して検出データを生成する検出器と、
前記検出器からの検出値に基づき輝度毎データを取得する輝度毎データ取得部と、を有するX線検査装置であって、
前記輝度毎データ取得部からの輝度毎データにおける輝度情報の間引き率を変更することで前記輝度毎データの重み付けを変更する重み付け変更部と、
を備え、
前記重み付け変更部は、前記輝度毎データ取得部からの輝度毎データから、前記重み付けが異なる複数の変換後輝度毎データを生成し、
前記重み付け変更部は、前記複数の変換後輝度毎データのヒストグラムに基づき、それらのヒストグラムのうち分散値が大きくなるものを選択する、
X線検査装置。
An X-ray source for irradiating the object to be inspected with X-rays;
A detector that generates detection data by detecting X-rays irradiated from the X-ray source and transmitted through the inspection object;
An X-ray inspection apparatus having a luminance data acquisition unit that acquires luminance data based on detection values from the detector,
A weighting changing unit that changes the weighting of the luminance data by changing the thinning rate of luminance information in the luminance data from the luminance data acquisition unit ;
With
The weight change unit generates a plurality of converted luminance data with different weights from the luminance data from the luminance data acquisition unit,
The weight change unit selects a histogram having a large variance value from the histograms of the plurality of converted luminance data,
X-ray inspection equipment.
前記重み付け変更部は、前記輝度毎データ取得部からの輝度毎データの度数に基づき前記間引き率を変更することを特徴とする請求項1記載のX線検査装置。   The X-ray inspection apparatus according to claim 1, wherein the weighting change unit changes the thinning rate based on the frequency of the luminance data from the luminance data acquisition unit. 複数の輝度領域を記録する記録部を含み、
前記重み付け変更部は、前記記録部に記録された輝度領域毎に前記間引き率を変更することを特徴とする請求項1記載のX線検査装置。
Including a recording unit for recording a plurality of luminance areas;
The X-ray inspection apparatus according to claim 1, wherein the weight change unit changes the thinning rate for each luminance region recorded in the recording unit.
前記記録部は、前記輝度領域の複数領域に対応した前記間引き率を記録することを特徴とする請求項3項記載のX線検査装置。   The X-ray inspection apparatus according to claim 3, wherein the recording unit records the thinning rate corresponding to a plurality of areas of the luminance area. 前記重み付け変更部は、前記被検査物の厚みおよび/または被検査物の材質に基づき前記間引き率を変更する輝度領域を決定することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のX線検査装置。   5. The weighting change unit determines a luminance region in which the thinning rate is changed based on a thickness of the inspection object and / or a material of the inspection object. 6. X-ray inspection apparatus described in 1. 前記重み付け変更部からの処理後データを表示する表示部を備えることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のX線検査装置。   The X-ray inspection apparatus according to claim 1, further comprising a display unit that displays post-processing data from the weight change unit.
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