JP5333919B2 - 平面形状測定装置および平面形状測定方法 - Google Patents
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Description
2a 被測定平面 11 光源(光源部)
12 ビームエキスパンダ(光源部) 13 ハーフミラー(干渉縞取得部)
14 部分反射板(参照光生成部) 15 収束レンズ(収束光学系)
16 結像レンズ(干渉縞取得部) 17 絞り(干渉縞取得部)
18 撮像装置(干渉縞取得部) 20 第1支持機構(被測定物支持部)
30 反射鏡 30a 反射球面
40 第2支持機構(反射鏡支持部) 50 演算・制御部(平面形状算出部)
Claims (2)
- 光源部から射出された射出光の一部を反射させて参照光を生成する参照光生成部と、
残りの前記射出光を収束させる収束光学系と、
前記収束光学系により収束された照明光の光軸に対して被測定物の被測定平面を傾斜させた状態で前記被測定物を支持するとともに、この支持状態を保ちつつ前記被測定物を前記収束光学系に対して前記照明光の光軸方向に相対移動させることが可能な被測定物支持部と、
前記被測定平面に照射された前記照明光のうち前記被測定平面で反射した反射光を前記被測定平面に向けて再び反射させる凹状の反射球面を有してなる反射鏡と、
前記反射球面に前記反射光の光軸が直交するように且つ前記反射球面で反射した光の収束点が前記照明光の収束点と重なるように前記反射鏡を支持するとともに、前記被測定物支持部による前記被測定物の移動に応じて前記照明光の光軸方向且つ前記反射光の光軸方向に前記反射鏡を移動させることが可能な反射鏡支持部と、
前記照明光のうち前記被測定平面および前記反射球面で反射して同一光路を通って戻ってくる光と前記参照光とを重ね合わせて干渉縞を取得する干渉縞取得部と、
前記照明光が前記被測定平面の測定領域全体に照射されるときに前記干渉縞取得部において取得された第1干渉縞と、前記照明光の収束点が前記被測定平面上に位置するときに前記干渉縞取得部において取得された第2干渉縞とに基づいて前記被測定平面の形状を算出する平面形状算出部とを備え、
前記平面形状算出部は、前記第1干渉縞と前記第2干渉縞との位相分布の差を算出し、その算出結果を前記照明光の前記被測定平面に入射する角度を用いて補正して前記被測定平面の形状を求めるように構成されることを特徴とする平面形状測定装置。 - 光源部から射出された射出光の一部を反射させて参照光を生成するとともに残りの前記射出光を収束させて照明光を生成し、前記照明光を被測定物の被測定平面に斜めに照射する照射ステップと、
前記照明光が前記被測定平面の測定領域全体に照射されるように前記被測定物を配置し、前記照明光のうち前記被測定平面で反射した光を、その光が入射する位置に設けられた反射凹面鏡において同一光路を通って戻るように前記被測定平面に向けて反射させ、前記被測定平面で再び反射した光と前記参照光とを重ね合わせて干渉縞を取得する第1測定ステップと、
前記照明光の収束点が前記被測定平面上に位置するように前記被測定物を相対移動させ、前記照明光のうち前記被測定平面で反射した光を、前記被測定物の相対移動に応じて移動させた前記反射凹面鏡において同一光路を通って戻るように前記被測定平面に向けて反射させ、前記被測定平面で再び反射した光と前記参照光と重ね合わせて干渉縞を取得する第2測定ステップと、
前記第1測定ステップにおいて取得した第1干渉縞と前記第2測定ステップにおいて取得した第2干渉縞とに基づいて前記被測定平面の形状を算出する算出ステップとを備え、
前記算出ステップでは、前記第1干渉縞と前記第2干渉縞との位相分布の差を算出し、その算出結果を前記照明光の前記被測定平面に入射する角度を用いて補正して前記被測定平面の形状を求めることを特徴とする平面形状測定方法。
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