JP5332263B2 - アラインメント装置 - Google Patents
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Description
Claims (5)
- 重ね合わされる一対の基板の位置を合わせるアラインメント装置であって、
前記一対の基板の一方を保持する基板保持部と、
前記一対の基板の他方を支持して、前記一方の基板の面に平行な方向に移動する移動ステージと、
前記移動ステージ上に配され、前記一方の基板の画像を撮像する顕微鏡と、
前記顕微鏡が撮像した前記一方の基板の前記画像に基づいて、前記一方の基板の位置を算出する位置算出部と、
前記顕微鏡が、前記移動ステージの移動後に前記一方の基板の前記画像を撮像したときの前記顕微鏡の傾きの大きさを検知する傾き検知部と、
前記傾き検知部により検知された前記顕微鏡の傾きの大きさに基づいて、前記顕微鏡の位置の測定誤差を算出する測定誤差算出部と、
前記位置算出部により算出された位置を、前記測定誤差算出により算出された前記測定誤差に基づいて補正した補正位置を算出する位置補正部と
を備えるアラインメント装置。 - 前記傾き検知部は、前記顕微鏡に固定した反射鏡、前記移動ステージに取り付けられた移動鏡、および、前記反射鏡および前記移動鏡で反射された光の干渉を検知する干渉計を有し、光の干渉により傾きを検知する請求項1に記載のアラインメント装置。
- 前記傾き検知部は、前記顕微鏡に固定した反射鏡、および、前記反射鏡で反射された光を受光する受光部を有し、前記受光部の受光位置により傾きを検知する請求項1に記載のアラインメント装置。
- 前記移動ステージは、駆動プロファイルに基づいて移動し、
前記傾き検知部は、前記駆動プロファイルに基づく前記移動ステージの移動量と前記顕微鏡の傾きの大きさとを対応付けた傾きテーブル情報を有し、
前記傾き検知部は、前記顕微鏡が前記画像を撮像したときの前記駆動プロファイルに基づく移動量に対応する前記傾きテーブル情報の前記顕微鏡の傾きの大きさを読み出すことにより傾きを検知する請求項1に記載のアラインメント装置。 - 前記傾き検知部は、前記顕微鏡の加速度を計測する加速度計を有し、前記加速度計により計測された加速度に基づいて前記移動ステージの移動距離を算出し、算出した移動距離に対応した前記顕微鏡の位置と、移動後の前記移動ステージの位置に対応した前記顕微鏡の位置とのずれに基づいて前記顕微鏡の傾きの大きさを検知する請求項1に記載のアラインメント装置。
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