JP5325453B2 - 乾燥空気供給装置 - Google Patents
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Description
請求項3に記載の発明は、請求項1又は請求項2に記載の乾燥空気供給装置において、前記乾燥空気供給装置をクリーンルーム内に設置し、各高分子膜式ドライヤそれぞれに排気管を接続するとともに全ての排気管を集中させた集中排気管を前記クリーンルーム外へ引き出して集中排気することを要旨とする。
本実施形態の乾燥空気供給装置は樹脂の製造工場に設置され、乾燥空気を用いて樹脂の乾燥工程を行うため、水分を含んだ多湿空気の水分を除去して乾燥空気を得るためのものである。図1に示すように、乾燥空気供給装置11は、クリーンルームCR(図1の2点鎖線に示す)内に設置されている。乾燥空気供給装置11には、製造工場に設けられた空気圧源12から水分を含んだ高圧の多湿空気が供給されるようになっている。よって、空気圧源12が乾燥空気供給装置11の多湿空気の供給源となっている。
(1)乾燥空気供給装置11は予備除湿用高分子膜式ドライヤ15と本除湿用高分子膜式ドライヤ16を直列に接続して備えている。そして、空気圧源12から供給された多湿空気は、予備除湿用高分子膜式ドライヤ15によって予備除湿された後、本除湿用高分子膜式ドライヤ16によって再度除湿される。このため、予備除湿用高分子膜式ドライヤ15により空気圧源12等に依存した多湿空気の圧力変動や流量変動、外気温等に依存した温度変動等の負荷変動を吸収して、一定の状態の除湿空気を本除湿用高分子膜式ドライヤ16に供給することができる。そして、本除湿用高分子膜式ドライヤ16により除湿空気を除湿することで、より一層除湿することができるとともに、負荷変動に左右されない安定した低露点の乾燥空気を得ることができる。その結果として、低露点の乾燥空気が安定供給されるため、樹脂の乾燥速度を上げることができる。
○ 第1排気管20及び第2排気管21それぞれをクリーンルームCR外へ引き出してもよく、予備除湿用高分子膜式ドライヤ15及び本除湿用高分子膜式ドライヤ16からの排気を集中排気管22に纏めなくてもよい。
○ 高分子膜式ドライヤは、本除湿用高分子膜式ドライヤ16の下流側にさらに設けてもよい。又は、高分子膜式ドライヤは、予備除湿用高分子膜式ドライヤ15の下流側にさらに設けてもよい。
次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想について以下に追記する。
(2)前記ヒータより下流側に消音フィルタを設けた請求項2に記載の乾燥空気供給装置。
Claims (3)
- 水分を含んだ多湿空気の水分を除去して乾燥空気を得るための乾燥空気供給装置であって、
前記多湿空気の供給源から多湿空気が供給される予備除湿用の高分子膜式ドライヤ、及び本除湿用の高分子膜式ドライヤを直列に接続して備えるとともに、前記本除湿用の高分子膜式ドライヤの下流側に該本除湿用の高分子膜式ドライヤからの乾燥空気を減圧する減圧弁を備え、
前記高分子膜式ドライヤは、水分を含んだ多湿空気の水分を除去する高分子膜を収容する収容空間を有したハウジングを備え、前記ハウジングには、前記収容空間内の前記高分子膜の一端面側に空気を供給する流入口と、前記高分子膜を通過した空気を前記高分子膜式ドライヤ外に排出する流出口と、前記高分子膜を再生させるための乾燥空気を前記高分子膜の他端面側から導入するパージ導入口とが形成され、前記流入口は前記ハウジングの長さ方向の一端部に配置されるとともに、前記パージ導入口は前記ハウジングの長さ方向の他端部に配置されており、
前記高分子膜の他端面側と前記流出口とを接続する流路には、前記高分子膜を通過した空気を再び前記高分子膜へ流入させるパージオリフィスが形成されており、
最下流に位置する前記高分子膜式ドライヤにおける前記流出口と前記減圧弁とを接続する管路にはパージ用管路が接続されるとともに、該パージ用管路には前記予備除湿用の高分子膜式ドライヤの前記パージ導入口に接続される第1分岐管路と前記本除湿用の高分子膜式ドライヤの前記パージ導入口に接続される第2分岐管路とが接続されており、
最下流に位置する前記高分子膜式ドライヤから減圧弁へと流出される乾燥空気を分岐させて全ての高分子膜式ドライヤの前記パージ導入口から前記高分子膜の他端面側へ直接個別に供給するとともに、前記高分子膜を通過した空気を前記パージオリフィスを通じて再び高分子膜に流入させて前記高分子膜を再生させるようにした乾燥空気供給装置。 - 前記乾燥空気を加熱するヒータを、前記減圧弁の下流側に備える請求項1に記載の乾燥空気供給装置。
- 前記乾燥空気供給装置をクリーンルーム内に設置し、各高分子膜式ドライヤそれぞれに排気管を接続するとともに全ての排気管を集中させた集中排気管を前記クリーンルーム外へ引き出して集中排気する請求項1又は請求項2に記載の乾燥空気供給装置。
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