JP5325431B2 - Waste heat recovery equipment for refrigeration equipment - Google Patents
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Description
本発明は、冷凍装置の廃熱回収装置に関し、特に冷凍装置と少なくとも温度制御されたクリーンエアの空気循環経路とを備えている工場設備における冷凍装置の廃熱回収装置に関するものである。 The present invention relates to a waste heat recovery apparatus for a refrigeration apparatus, and more particularly to a waste heat recovery apparatus for a refrigeration apparatus in factory equipment that includes a refrigeration apparatus and an air circulation path for clean air that is at least temperature controlled.
半導体デバイスや各種基板を製造する各種プロセス装置や加工装置が設置された工場設備においては、清浄度を高めるとともに所定温度に精密に温度制御された空気を、上記各プロセス装置や加工装置やこれら装置が設置されたクリーンルーム等に供給するための空気循環経路が配設されている(例えば、特許文献1参照)。 In factory facilities where various process devices and processing devices for manufacturing semiconductor devices and various substrates are installed, the above-mentioned process devices, processing devices, and these devices are used to improve the cleanliness and precisely control the temperature to a predetermined temperature. An air circulation path is provided for supplying to a clean room or the like in which the is installed (see, for example, Patent Document 1).
なお、特許文献1では、装置空間内に送給する空気を冷凍サイクルの蒸発器にて一旦冷却し、この蒸発器にて冷却された空気を、応答性の高い加熱制御が可能な電気ヒータなどを用いた再加熱器にて加熱して空気の温度を精密に制御し、精密に温度制御された空気を送風ファンにて装置空間内に送給するように構成され、さらにエネルギー効率を向上するとともに高精度の温度制御を行うため、蒸発器の空気流れ方向下流側に加熱用熱交換器を配置し、圧縮機を出た高温の冷媒(ホットガス)の一部を加熱用熱交換器に流して空気を加熱することで、冷凍サイクルの廃熱を利用して温度制御を行うように構成されている。また、湿度制御も要請される場合には再加熱器の下流側に配設された加湿器にて所定の湿度に制御される。 In Patent Document 1, the air supplied into the apparatus space is once cooled by an evaporator of a refrigeration cycle, and the air cooled by the evaporator is an electric heater capable of highly responsive heating control. It is configured to precisely control the temperature of the air by heating with a reheater that uses air, and to supply the precisely temperature-controlled air into the device space with a blower fan, further improving energy efficiency In addition, in order to perform high-precision temperature control, a heat exchanger for heating is disposed downstream of the evaporator in the air flow direction, and a part of the high-temperature refrigerant (hot gas) exiting the compressor is used as the heat exchanger for heating. By flowing and heating the air, temperature control is performed using waste heat of the refrigeration cycle. When humidity control is also required, the humidity is controlled at a predetermined humidity by a humidifier disposed on the downstream side of the reheater.
また、上記工場設備において、空気循環経路の空気の温度調整だけでなく、その他の種々の用途に使用する冷水を製造するため、冷凍サイクルを内蔵したターボ冷凍機などの冷凍装置を配設したものが知られており、その場合には、上記蒸発器に代えて空気と冷水を熱交換させるように熱交換器が配設される。 In addition, in the above factory equipment, refrigeration equipment such as a centrifugal chiller with a built-in refrigeration cycle is installed to produce cold water not only for adjusting the temperature of air in the air circulation path but also for various other purposes. In this case, instead of the evaporator, a heat exchanger is arranged to exchange heat between air and cold water.
また、上記工場設備においては、例えばリソグラフィー工程での現像液を作成する希釈水として使用する純水など、各種プロセス装置や加工装置で使用する純水を製造する純水製造装置も配設されている。その純水製造装置として、逆浸透膜分離装置(以下、RO装置と記す)を用いた、図3に示すような構成のものが知られている(例えば、特許文献2参照)。図3において、原水槽51の20℃〜25℃の原水を熱回収用熱交換器52に通すことで30℃〜35℃に予熱してから加熱用熱交換器53に通して原水を40℃〜45℃に加温し、供給ポンプ54にて逆浸透膜にて純水の分離処理を行うRO装置55に供給し、RO装置55で処理した処理水を脱気装置56で脱気処理した後、上記熱回収用熱交換器52に通すことで熱回収して30℃〜35℃の処理水とし、イオン交換設備57にてイオン交換した後の処理水を別の工程に供給するように構成されている。
The factory equipment also includes a pure water production apparatus for producing pure water for use in various process devices and processing equipment, such as pure water used as dilution water for creating a developer in a lithography process. Yes. As the pure water production apparatus, one having a structure as shown in FIG. 3 using a reverse osmosis membrane separation apparatus (hereinafter referred to as RO apparatus) is known (for example, see Patent Document 2). In FIG. 3, the raw water at 20 ° C. to 25 ° C. in the
この構成にて、RO装置55に供給する原水の温度を加熱用熱交換器53で40℃〜45℃と高くすることでRO装置55でのスライム汚染による透過水量の低下を防止するとともに、その処理水を熱回収用熱交換器52に通すことで原水加温の熱効率を向上するとともに、処理水温度を低下させてイオン交換樹脂の熱劣化の防止を図っている。
ところで、上記空気循環経路においては、プロセス装置等で吸引排気されて大気中に排
出される空気量に相当する分の外気が新たに空気循環経路内に導入されるが、外気の温度を所定温度に調整した後空気循環経路に導入するため、外気温調整装置が配設されている。この外気温調整装置は、外気をヒータや加熱用熱交換部にて一旦25℃まで加熱した後、ワッシャーに通し、さらに湿度制御のために冷却コイル部に通して13℃まで冷却してから空気循環経路に導入し、空気循環経路で23℃に温度制御されてクリーンルーム等に循環供給するように構成されており、外気を一旦25℃まで加熱するのに大きなエネルギーが必要となり、特に冬季には外気が−2〜−3℃程度まで低下するのでそれを25℃まで加熱するのに多大なエネルギーを消費するという問題があった。
Meanwhile, in the air circulation path, outside air corresponding to the amount of air sucked and exhausted by a process device or the like and discharged into the atmosphere is newly introduced into the air circulation path. In order to introduce the air into the air circulation path after adjusting the air temperature, an outside air temperature adjusting device is provided. In this outside air temperature adjusting device, after the outside air is once heated to 25 ° C. by a heater or a heat exchanger for heating, it is passed through a washer and further cooled to 13 ° C. through a cooling coil portion for humidity control, and then air Introduced into the circulation path, the temperature is controlled to 23 ° C. through the air circulation path and is circulated and supplied to a clean room or the like. A large amount of energy is required to heat the outside air to 25 ° C., especially in winter Since outside air fell to about -2 to -3 degreeC, there existed a problem that a great amount of energy was consumed in heating it to 25 degreeC.
また、純水製造装置においても、RO装置55に供給する原水の温度を40〜45℃に加熱する加熱用熱交換器53でのエネルギー消費量も大きいという問題があった。
Further, the pure water production apparatus also has a problem that the energy consumption in the
一方、工場設備に設置されている冷凍装置においては、冷媒との熱交換によって温度上昇した冷却水を開放式冷却塔に供給し、開放式冷却塔で大気と熱交換することで冷却して冷凍装置に還流させており、熱エネルギーが無駄に大気中に放出されていた。 On the other hand, in refrigeration equipment installed in factory equipment, cooling water whose temperature has increased due to heat exchange with the refrigerant is supplied to the open-type cooling tower, and is cooled and cooled by exchanging heat with the atmosphere in the open-type cooling tower. The apparatus was refluxed, and heat energy was wasted into the atmosphere.
本発明は、上記従来の問題点に鑑み、工場設備に設置されている冷凍装置の廃熱を回収して工場設備におけるエネルギー消費量を低減する冷凍装置の廃熱回収装置を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a waste heat recovery device for a refrigeration apparatus that recovers waste heat of a refrigeration apparatus installed in factory equipment and reduces energy consumption in the factory equipment in view of the above-described conventional problems. And
本発明の冷凍装置の廃熱回収装置は、温度調整された空気を循環供給する空気循環経路と、空気循環経路に導入する外気の温度調整を行う外気温調整装置と、冷凍装置とを備えた工場設備において、前記冷凍装置を構成する冷凍サイクルの凝縮器で熱交換した熱媒体を開放式冷却塔に供給する前に通すように熱回収用熱交換器を配設し、この熱回収用熱交換器と前記外気温調整装置における加熱用熱交換部との間で熱媒体を循環させ、純水製造装置を備え、前記純水製造装置は、供給ポンプと、第1加熱用熱交換器と、第2加熱用熱交換器と、第3加熱用熱交換器と、第4加熱用熱交換器と、逆浸透膜分離装置を備え、原水を前記供給ポンプにて前記第1加熱用熱交換器、次に前記第2加熱用熱交換器、次に前記第3加熱用熱交換器、次に前記第4加熱用熱交換器に順次通し加温した後、前記逆浸透膜分離装置に供給し純水の分離を行い、前記第1加熱用熱交換器は前記逆浸透膜分離装置の逆浸透膜の洗浄に用いられるブラインの廃熱によって原水を加熱し、前記第2加熱用熱交換器は冷凍装置の廃熱を回収する前記熱回収用熱交換器からの熱媒体を通して原水を加熱し、前記第3加熱用熱交換器はコンプレッサー装置の廃熱を受け取った熱媒体を通して原水を加熱し、前記第4加熱用熱交換器は、ボイラー装置の廃熱を受け取った熱媒体を通して原水を加熱するものである。 A waste heat recovery apparatus for a refrigeration apparatus according to the present invention includes an air circulation path that circulates and supplies temperature-adjusted air, an outside air temperature adjustment apparatus that adjusts the temperature of outside air introduced into the air circulation path, and a refrigeration apparatus. In the factory equipment, a heat recovery heat exchanger is arranged so that the heat medium exchanged by the condenser of the refrigeration cycle constituting the refrigeration apparatus is passed before being supplied to the open-type cooling tower. A heat medium is circulated between the exchanger and the heat exchange unit for heating in the outside air temperature adjusting device, and includes a pure water production device, the pure water production device includes a supply pump, a first heating heat exchanger, , A second heating heat exchanger, a third heating heat exchanger, a fourth heating heat exchanger, and a reverse osmosis membrane separation device, and the raw water is exchanged by the supply pump with the first heating heat exchange Then the second heating heat exchanger, then the third heating heat exchanger, then the previous After sequentially passing through the fourth heating heat exchanger and heating, it is supplied to the reverse osmosis membrane separation device to separate pure water, and the first heating heat exchanger is the reverse osmosis membrane of the reverse osmosis membrane separation device of the raw water heated by the brine waste heat used in the washing, the second heating heat exchanger to heat the raw water through a heat medium from the heat recovery heat exchanger that recovers waste heat of the refrigeration system, the The third heating heat exchanger heats the raw water through the heat medium that has received the waste heat of the compressor device, and the fourth heating heat exchanger heats the raw water through the heat medium that has received the waste heat of the boiler device. It is.
この構成によると、逆浸透膜分離装置の廃熱を利用する第1加熱用熱交換器、次に冷凍装置の廃熱を利用する第2加熱用熱交換器、次にコンプレッサー装置の廃熱を利用する第3加熱用熱交換器、次にボイラー装置の廃熱を利用する第4加熱用熱交換器に、順次通して原水を加熱するように構成することで、大きな省エネルギー効果が発揮される。 According to this configuration, the first heating heat exchanger that uses the waste heat of the reverse osmosis membrane separation device, the second heating heat exchanger that uses the waste heat of the refrigeration device, and then the waste heat of the compressor device. A large energy-saving effect is exhibited by configuring the third heating heat exchanger to be used and then the fourth heating heat exchanger that uses the waste heat of the boiler device to sequentially heat the raw water. .
また、原水に溶存する二酸化炭素及び酸素を脱気する脱気装置を備え、第4加熱用熱交換器に通した後、脱気装置に通し、次に逆浸透膜分離装置に供給することで、逆浸透膜分離装置の寿命を延ばすものである。 In addition, it is equipped with a degassing device for degassing carbon dioxide and oxygen dissolved in raw water, and after passing through the fourth heat exchanger, it is passed through the degassing device and then supplied to the reverse osmosis membrane separation device. This extends the life of the reverse osmosis membrane separation device.
本発明の冷凍装置の廃熱回収装置によれば、逆浸透膜分離装置の廃熱を利用する第1加熱用熱交換器、次に冷凍装置の廃熱を利用する第2加熱用熱交換器、次にコンプレッサー装置の廃熱を利用する第3加熱用熱交換器、次にボイラー装置の廃熱を利用する第4加熱用熱交換器に、順次通して原水を加熱するように構成することで、大きな省エネルギー効果が発揮される。 According to the waste heat recovery apparatus for a refrigeration apparatus of the present invention, a first heating heat exchanger that uses the waste heat of the reverse osmosis membrane separator, and then a second heating heat exchanger that uses the waste heat of the refrigeration apparatus. Next, the third heating heat exchanger that uses the waste heat of the compressor device, and then the fourth heating heat exchanger that uses the waste heat of the boiler device are sequentially passed to heat the raw water. Thus, a large energy saving effect is exhibited.
以下、本発明の冷凍装置の廃熱回収装置の一実施形態について、図1、図2を参照して説明する。 Hereinafter, an embodiment of a waste heat recovery apparatus for a refrigeration apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2.
図1において、1は、半導体デバイスや各種基板を製造する工場設備に設置されたターボ冷凍機などの冷凍装置であり、その冷却水がポンプ2にて熱回収用熱交換器3と開放式
冷却塔4を通して循環される。熱回収用熱交換器3には冷却水のバイパス通路3aとその開閉弁3bが、同様に開放式冷却塔4にもバイパス通路4aとその開閉弁4bが設けられている。
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a refrigeration apparatus such as a turbo chiller installed in a factory facility that manufactures semiconductor devices and various substrates, and its cooling water is pumped to a
5は、各プロセス装置や加工装置やこれら装置が設置されたクリーンルーム等に、清浄度が高められるとともに所定温度に温度調整された空気を供給する空気循環経路であり、空気温度調整装置6にて高精度に温度及び湿度が調整された空気がプロセス装置7等に供給される。供給された空気の一部はプロセス装置7等から経路外に吸引排出されるが、大部分はファン8にて循環される。空気循環経路5におけるファン8の吸引側に外気を導入する外気導入路9が接続されている。外気導入路9には、導入する外気を温度調整する外気温調整装置10が配設されている。外気温調整装置10は、フィルタ部10aと加熱用熱交換部10bとウォッシャ部10cと冷却コイル部10dを備えている。
Reference numeral 5 denotes an air circulation path for supplying air whose temperature is adjusted to a predetermined temperature to each process apparatus, processing apparatus, and a clean room in which these apparatuses are installed. Air whose temperature and humidity are adjusted with high accuracy is supplied to the process device 7 and the like. A part of the supplied air is sucked and discharged out of the path from the process device 7 or the like, but most of it is circulated by the fan 8. An outside
冷凍装置1にて生成された冷水は冷水循環経路11を通してポンプ12にて空気温度調整装置6に供給される。また、冷水循環経路11が分岐され、その分岐冷水経路13にて冷水の一部が外気温調整装置10の冷却コイル部10dにも供給される。
The cold water generated by the refrigeration apparatus 1 is supplied to the air temperature adjustment apparatus 6 by the
熱回収用熱交換器3にて冷凍装置1の冷媒と熱交換された後の熱媒体(例えば、28℃)は供給ヘッダ14を経て供給ポンプ15にて外気温調整装置10の加熱用熱交換部10bに供給され、外気と熱交換された後の熱媒体(例えば、20℃)は戻りヘッダ16を経て還流ポンプ17にて熱回収用熱交換器3に還流される。また、供給ヘッダ14から熱媒体(例えば、28℃)の一部が供給ポンプ18にて調整弁19を介して、純水製造装置において原水を加熱する加熱用熱交換器20(具体的には、図2の第2加熱用熱交換器25)に供給され、原水を加熱した後戻りヘッダ16に戻るように構成されている。
The heat medium (for example, 28 ° C.) after heat exchange with the refrigerant of the refrigeration apparatus 1 in the heat
次に、純水製造装置の構成を、図2を参照して説明する。純水製造装置は、原水槽21から原水を取り出して前処理槽22にて逆浸透膜へのスライムの付着を防止するため等の所要の前処理を行い、前処理後の原水を供給ポンプ23にて第1加熱用熱交換器〜第4加熱用熱交換器24〜27に順次通した後、脱気装置28に通し、所定の温度に加温された原水をRO装置30の前段に設けた受水槽29を介してRO装置30に供給し、RO装置30の逆浸透膜にて純水の分離を行い、処理後の処理水(純水)をリソグラフィー工程等に送給するように構成されている。
Next, the configuration of the pure water production apparatus will be described with reference to FIG. The pure water production apparatus performs necessary pretreatment such as taking out raw water from the
原水槽21には、原水の水温を検出する第1水温センサ31が配設され、検出した第1水温検出信号t1が制御部41に入力されている。また、受水槽29には、原水の水温を検出する第2水温センサ32と原水の水位を検出する水位センサ33とが配設され、検出した第2水温検出信号t2及び水位検出信号hが制御部41に入力されている。また、処理水の流出流量を流量センサ(図示せず)にて検出した使用水量信号wも制御部41に入力されている。
The
第1加熱用熱交換器24は、RO装置30の逆浸透膜の洗浄に用いられるブライン(洗浄水)(例えば、25℃)の廃熱によって原水を加熱するものであり、RO装置30からブラインが供給されるブライン配管35に接続されている。ブライン配管35には、ブラインの流量を調整する調整弁36が配設されている。第2加熱用熱交換器25(加熱用熱交換器20)は、上記のように冷凍装置1の廃熱を回収する熱回収用熱交換器3からの熱媒体(例えば、28℃)を通して原水を加熱するものであり、その熱媒体の供給管路に調整弁19が配設されている。
The first
第3加熱用熱交換器26は、工場設備に設置されたコンプレッサー装置37の廃熱を受け取った熱媒体(例えば、32℃)を通して原水を加熱するものであり、その熱媒体の供
給管路に調整弁38が配設されている。第4加熱用熱交換器27は、工場設備に設置されたボイラー装置39の廃熱を受け取った熱媒体(例えば、120℃)を通して原水を加熱するものであり、その熱媒体の供給管路に調整弁40が配設されている。なお、熱媒体に代えて、ボイラー装置39の余剰のスチームを通すようにしても良い。
The third
また、脱気装置28は、RO装置30の寿命を延ばすため、原水に溶存する二酸化炭素及び酸素を所定の溶存濃度以下に脱気するものである。また、制御部41は、供給ポンプ23を駆動するインバータ34に制御信号i1を出力し、供給ポンプ23を作動制御する。また、第1加熱用熱交換器〜第4加熱用熱交換器24〜27の調整弁36、19、38、40に制御信号v1〜v4を出力し、第1加熱用熱交換器〜第4加熱用熱交換器24〜27の熱出力を各々制御するように構成されている。
Moreover, the
以上の構成において、空気循環経路5では空気温度調整装置6にて所定の温度(例えば、23℃)に温度調整された空気がプロセス装置7等に供給されてその雰囲気が一定温度に高精度にコントロールされる。また、プロセス装置7等で吸引排出されたエア量に対応して外気が外気導入路9から空気循環経路5に導入される。この導入外気は、外気温調整装置10において、例えば、冬季において−2〜−3℃程度の低温の外気が取り込まれると、内蔵された加熱用熱交換部10bにて一旦例えば25℃まで加熱され、その後ウォッシャ部10cを経て冷凍装置1からの冷水が供給されている冷却コイル部10dを通して例えば13℃まで冷却されて空気循環経路5に導入される。
In the above configuration, in the air circulation path 5, the air whose temperature is adjusted to a predetermined temperature (for example, 23 ° C.) by the air temperature adjusting device 6 is supplied to the process device 7 or the like, and the atmosphere thereof is kept at a constant temperature with high accuracy. Controlled. Also, outside air is introduced from the outside
上記外気温調整装置10における加熱用熱交換部10bには、冷凍装置1の熱回収用熱交換器3からの熱媒体(例えば、28℃)が流通されていることで、従来のように別途にヒータやその他の熱源を配設することなく、外気を例えば25℃まで加熱することができる。その結果、大きな省エネルルギー効果が発揮され、例えば二酸化炭素排出量に換算して21800t/年の排出削減を達成することができる。
A heat medium (for example, 28 ° C.) from the
なお、夏季において、外気温が高い時には外気温調整装置10の加熱用熱交換部10bは作動させないようにする。その際にはバイパス通路3aの開閉弁3bを開いて熱回収用熱交換器3を機能させず、冷凍装置1における冷却水をバイパス通路3aに通して開放式冷却塔4に供給する。一方、冬季に開放式冷却塔4を作動させる必要がない場合には、開閉弁4bを開き、冷却水をバイパス通路4aに通して循環させる。
In the summer, when the outside air temperature is high, the heating
また、純水製造装置においては、原水槽21の原水が、前処理槽22で所要の前処理が行われた後、供給ポンプ23にて第1加熱用熱交換器〜第4加熱用熱交換器24〜27に送給されて加温され、次いで脱気装置28に供給されて溶存二酸化炭素及び溶存酸素が脱気され、受水槽29に送給される。受水槽29では、貯留されている原水の水位が水位センサ33にて検出され、制御部41にて水位検出信号hに基づいてインバータ34が作動制御され、供給ポンプ23が駆動されて受水槽29の水位が常に一定に維持される。
In the pure water production apparatus, the raw water in the
また、原水槽21と受水槽29の原水の水温が第1と第2の水温センサ31、32にて検出されてそれらの水温検出信号t1、t2が制御部41に入力され、制御部41にて第1加熱用熱交換器〜第4加熱用熱交換器24〜27の調整弁36、19、38、40が制御される。例えば、冬季において、原水槽21の原水の水温が5℃の場合には、例えば調整弁36、19、38を全開するように制御して第1〜第3の加熱用熱交換器24〜26の熱出力を最大にする。これにより、例えば第1加熱用熱交換器24の出口での原水の温度を6.5℃、第2加熱用熱交換器25の出口での原水の温度を14℃、第3加熱用熱交換器26の出口での原水の温度を25℃とし、第4加熱用熱交換器27は補助的に25℃を維持するようにその調整弁40の開度を制御することで、受水槽29を経たRO装置30の入口での原水の温度が25℃±0.5℃となるように制御される。
Further, the temperature of the raw water in the
また、春季又は秋季において、原水槽21の原水の水温が15℃の場合には、例えば調整弁36、19、40を全閉するとともに、調整弁38を開閉制御して第3の加熱用熱交換器26のみの熱出力を制御することで、第3加熱用熱交換器26の出口での原水の温度を25℃とする。また、夏季において、原水槽21の原水の水温が29℃の場合には、全ての調整弁36、19、38、40を全閉して加熱を行わないように制御される。
Further, in the spring or autumn, when the temperature of the raw water in the
このように純水製造装置において、RO装置30、冷凍装置1、コンプレッサー装置37、ボイラー装置39の廃熱を利用する第1加熱用熱交換器〜第4加熱用熱交換器24〜27にて原水を加熱するように構成することで、大きな省エネルギー効果が発揮される。その中で、冷凍装置1の廃熱を利用することで、二酸化炭素排出量に換算して700t/年の排出削減を達成することができる。かくして、冷凍装置1の廃熱を外気温度調整装置10と第2加熱用熱交換器25で利用することで、22500t/年の排出削減を達成することができるという大きな効果が得られる。
As described above, in the pure water production apparatus, in the first heating heat exchanger to the fourth
本発明の冷凍装置の廃熱回収装置は、逆浸透膜分離装置の廃熱を利用する第1加熱用熱交換器、次に冷凍装置の廃熱を利用する第2加熱用熱交換器、次にコンプレッサー装置の廃熱を利用する第3加熱用熱交換器、次にボイラー装置の廃熱を利用する第4加熱用熱交換器に、順次通して原水を加熱するように構成することにより、工場設備における大幅な省エネルギー及び二酸化炭素排出量の削減を達成することができ、半導体デバイスや各種基板を製造する各種プロセス装置や加工装置が設置された工場設備に好適に利用できる。 The waste heat recovery device of the refrigeration apparatus of the present invention includes a first heating heat exchanger that uses the waste heat of the reverse osmosis membrane separator, a second heating heat exchanger that uses the waste heat of the refrigeration apparatus, In order to heat the raw water through the third heating heat exchanger that uses the waste heat of the compressor device, and then the fourth heating heat exchanger that uses the waste heat of the boiler device, It can achieve significant energy saving and reduction of carbon dioxide emissions in factory facilities, and can be suitably used for factory facilities in which various process apparatuses and processing apparatuses for manufacturing semiconductor devices and various substrates are installed.
1 冷凍装置
3 熱回収用熱交換器
4 開放式冷却塔
5 空気循環経路
10 外気温調整装置
10b 加熱用熱交換部(外気加熱用熱交換部)
24 第1加熱用熱交換器
25 第2加熱用熱交換器(原水加熱用熱交換器)
26 第3加熱用熱交換器
27 第4加熱用熱交換器
30 RO装置(逆浸透膜分離装置)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
24 Heat exchanger for
26 3rd
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