JP5325312B2 - 視野角制限カバー及びそれを備えた赤外線センサ - Google Patents

視野角制限カバー及びそれを備えた赤外線センサ Download PDF

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Description

本発明は、焦電型赤外線センサ用の視野角制限カバー、及びそれを備える焦電型赤外線センサに関する。
分極方向が互いに異なる2つの集電素子を直列又は並列に接続したいわゆる「デュアル型」の赤外線センサが提案されている(例えば特許文献1参照)。また、周囲の温度変化を補正する温度補償電極を備えることにより、センサとしての感度を向上させる赤外線センサも提案されている(例えば特許文献2参照)。
特開昭61−271429号公報 実用新案登録第3043381号公報
特許文献2に開示されている赤外線センサのように、受光電極と温度補償電極との両方を備えている場合、これらの電極に対して同時に赤外線が入射すると、それぞれの電極において発生する電荷が打ち消され、赤外線センサとしての感度が低下する場合がある。
そこで、本発明は、センサとしての感度の低下を防止できる焦電型赤外線センサを提供することを目的とする。
感度の低下を防ぐ方法として、赤外線を反射する部材を温度補償電極の上方に部分的に設け、温度補償電極を赤外線から遮蔽する方法がある。図15は、シールドケース内に受光電極及び温度補償電極を有するセンサ部材を配置した赤外線センサの一例を示すものである。このような構成において、温度補償電極を赤外線から遮蔽する場合、例えばシールドケースの縁部(開口部)にはめ込まれた赤外線透過部材のうち温度補償電極と対向する部分に赤外線を反射する反射膜を形成することが考えられる。
しかしながら、このような構成では、温度補償電極に対して赤外線の直接的な入射を防ぐことはできるものの、浅い角度で入射される赤外線が温度補償電極と反射膜との間に進入することや(図15)、シールドケースの壁面で反射された赤外線が温度補償電極と反射膜との間に進入することを防ぐことができない。即ち、温度補償電極の上方に単に反射膜を設けるだけでは、浅い角度で入射される赤外線に対応することができず、センサの感度が著しく低下する恐れがある。
本願は、かかる知見に基づいて発明されたものであり、具体的には次のような構成を有する。
即ち、本発明によれば、第1の視野角制限カバーとして、
少なくとも受光電極及び温度補償電極を有する焦電型赤外線センサに取付可能な視野角制限カバーであって、
赤外線を遮蔽する遮蔽部と、赤外線を透過させる窓部とを備えており、
前記視野角制限カバーが前記焦電型赤外線センサに取り付けられた状態において、前記窓部は、前記焦電型赤外線センサによる検知対象物と前記受光電極とを結ぶ直線上に位置するように設けられており、前記遮蔽部は、少なくとも前記受光電極以外の部分を覆うように設けられている、
視野角制限カバーが得られる。
また、本発明によれば、第2の視野角制限カバーとして、第1の視野角制限カバーであって、
前記窓部は、前記受光電極の主面と直交する直線上に位置しており、
前記視野角制限カバーが取り付けられた状態において、前記受光電極の前記主面は、前記主面と直交する前記直線に沿って前記窓部越しに視認可能である、
視野角制限カバーが得られる。
また、本発明によれば、第3の視野角制限カバーとして、第1又は第2の視野角制限カバーであって、
前記視野角制限カバーの外側面上における前記窓部の縁の径は、前記視野角制限カバーの内側面上における前記窓部の縁の径よりも大きい、
視野角制限カバーが得られる。
また、本発明によれば、第4の視野角制限カバーとして、第1又は第2の視野角制限カバーであって、
前記視野角制限カバーの外側面上における前記窓部の縁の径は、前記視野角制限カバーの内側面上における前記窓部の縁の径と等しい、
視野角制限カバーが得られる。
また、本発明によれば、第5の視野角制限カバーとして、第1乃至第5のいずれかの視野角制限カバーであって、
前記焦電型赤外線センサの視野角を90度以下に制限する、
視野角制限カバーが得られる。
また、本発明によれば、第6の視野角制限カバーとして、第6の視野角制限カバーであって、
前記焦電型赤外線センサの視野角を50度以下に制限する、
視野角制限カバーが得られる。
また、本発明によれば、第1の焦電型赤外線センサとして、第1乃至第6のいずれかの視野角制限カバーを備える焦電型外線センサであって、
少なくとも前記受光電極と前記温度補償電極とを備えるセンサ素子と、前記センサ素子の周囲を囲む側面部及び開口部を備えるシールド部材と、前記開口部内にはめ込まれ且つ前記センサ素子と対向する赤外線透過フィルタとを備えており、
前記視野角制限カバーは、前記シールド部材の前記側面部の外周を覆うようにして取り付けられている、
焦電型赤外線センサが得られる。
また、本発明によれば、第2の焦電型赤外線センサとして、第1の焦電型赤外線センサであって、
赤外線を反射する反射部材を更に備えており、
前記反射部材は、前記温度補償電極に近接し且つ当該温度補償電極を覆うように設けられている、
焦電型赤外線センサが得られる。
また、本発明によれば、第3の焦電型赤外線センサとして、第2の焦電型赤外線センサであって、
前記反射部材は、前記温度補償電極と前記赤外線透過フィルタとの間に設けられている、
焦電型赤外線センサが得られる。
また、本発明によれば、第4の焦電型赤外線センサとして、第3の焦電型赤外線センサであって、
前記赤外線反射部材は、前記赤外線透過フィルタ上に形成された赤外線反射膜である、
焦電型赤外線センサが得られる。
本発明によれば、視野角制限カバーによって受光電極への赤外線の入射経路以外の部分を覆うこととしたため、センサ素子に対して浅い角度で入射する検知対象外の赤外線を遮蔽することができる。これにより、赤外線が反射膜と温度補償電極との間に直接的に入射されることを防ぐことができることに加え、シールド部材等のセンサ素子を囲う部材の壁面に反射した赤外線が反射膜と温度補償電極との間に入射されてしまうことをも防ぐことができる。
更に、本発明による視野角制限カバーを用いることとすれば、受光電極による赤外線の視野角を所望とする角度に調節することができる。また、本発明においては、視野角制限カバーの窓部の位置、大きさ、形状のみによって受光電極の視野角を調節することも可能であるため、製造された焦電型赤外線センサに対して後から視野角の調節を行うことができ、汎用性及び自由度が高い。
本発明の第1の実施の形態による焦電型赤外線センサの分解斜視図である。 図1の焦電型赤外線センサのII−II断面線に沿った断面図である。 図1の焦電型赤外線センサの上面図である。 図1の焦電型赤外線センサに用いられるセンサ素子の表面(a)及び裏面(b)を表す図である。 図1の焦電型赤外線センサの回路図を模式的に表した図である。 図2に示される焦電型赤外線センサの視野角を表した図である。 本発明による視野角制限カバーを装着した焦電型赤外線センサの視野角及び出力電圧を示すグラフである。 本発明による視野角制限カバーを装着していない焦電型赤外線センサの視野角及び出力電圧を示すグラフである。 本発明の第2の実施の形態による焦電型赤外線センサの断面図である。 図9の焦電型赤外線センサの上面図である。 図9の焦電型赤外線センサに用いられるセンサ素子の表面(a)及び裏面(b)を表す図である。 図9に示される焦電型赤外線センサの視野角を表した図である。 本発明の視野角制限カバーの窓部の変形例を表す断面図である。 本発明の視野角制限カバーの窓部の他の変形例を表す断面図である。 本発明の視野角制限カバーを備えていない焦電型赤外線センサにおける赤外線の入射を表す模式図である。 本発明の視野角制限カバーを備えていない焦電型赤外線センサにおける赤外線の入射を表す他の模式図である。
(第1の実施の形態)
図1乃至図3に示されるように、本発明の第1の実施の形態による焦電型赤外線センサ1は、概略、焦電型赤外線センサ部2に対して視野角制限カバー3を取り付けたものである。
図2に示されるように、焦電型赤外線センサ部2は、センサ素子10と、センサ素子10が搭載される基板50と、センサ素子10の周囲を囲うようにして設けられているシールド部材60と、シールド部材60に取り付けられている赤外線透過フィルタ70と、反射膜80とを備えている。
図2及び図4(a)、(b)に示されるように、センサ素子10は、受光面11と、非受光面11’とを有している。センサ素子10には、外部(検知対象物)からの赤外線を受光する受光電極20と、温度補償電極22とが形成されている。詳しくは、本実施の形態においては、受光面11側に形成された表面電極21と、非受光面11’側に形成された裏面電極21’と、焦電体基板12のうち表面電極21及び裏面電極21’に挟まれる部位によって受光電極20が構成されている。また、受光面11側に形成された表面電極23と、非受光面11’側に形成された裏面電極23’と、焦電体基板12のうち表面電極23及び裏面電極23’に挟まれる部位によって温度補償電極22が構成されている。図4(a)、(b)から理解されるように、受光電極20の表面電極21及び温度補償電極22の表面電極23は互いに接続されており、受光電極20の裏面電極21’及び温度補償電極22の裏面電極23’は電気的に絶縁され夫々導電接着剤40、42(後述)によって基板50の回路パターン(図示せず)へと接続される。
センサ素子10は、導電接着剤40により台座52に接着される。台座52は、導電接着剤40と基板50の回路パターン(図示せず)とを電気的に中継する。即ち、センサ素子10は、導電接着剤40及び台座52を介して基板50と電気的に接続される。なお、台座52を省略して基板50の回路パターンに対して直接接着することとしてもよい。
基板50には、インピーダンス変換回路として、接合型電界効果トランジスタ45が実装されている。詳しくは、図5に示すように、受光電極20の裏面電極21’は、接合型電界効果トランジスタ45のゲート入力電極に接続され、温度補償電極22の裏面電極23’はグランドに接続される。これにより、センサ素子10の出力信号は、インピーダンス変換されて出力される。
基板50上には、シールド部材60が設けられている。シールド部材60は、センサ素子10の外周を囲うように位置しており、これにより、センサ素子10を電気的にシールドしている。シールド部材60の上部は、開口部62として開放されている。開口部62には、赤外線透過フィルタ70が固着される。換言すると、赤外線透過フィルタ70は、受光電極20及び温度補償電極22と対向しこれらを覆うように設けられている。
赤外線透過フィルタ70は上面72及び下面74を有している。本実施の形態において、下面74のうち、温度補償電極22と対向する位置には赤外線を反射する反射膜80が設けられている。即ち、反射膜80は、温度補償電極22を覆うように設けられている。本実施形態における反射膜80は、厚さ0.5μmのAg膜である。ここで、反射膜80は、センサ素子10の高さに影響を与えないようにするため、スパッタ法または真空蒸着法等により1μm以下の厚みで形成される。反射膜80の熱容量はセンサ素子10の熱容量に比較して十分小さいため、センサ素子10の特性に与える影響はきわめて小さい。なお、反射膜80を形成する工程は、赤外線透過フィルタ70の製造過程における真空蒸着工程で、赤外線透過フィルタ70の形成と同時に実施できる。また、反射膜80は、印刷法または塗布、転写、ディップ工法により形成することもできるし、表面に反射膜80を形成した薄板を所定の形状にカットしたものをシールド部材60又は赤外線透過フィルタ70に貼付してもよい。これらの方法によれば、スパッタ装置や真空蒸着装置のような大掛かりな製造設備を用いることなく反射膜80を形成できる。
図1乃至図3に示されるように、視野角制限カバー3は、シールド部材60の外周と接触し且つこれを覆うように取り付けられている。詳しくは、視野角制限カバー3は、略直方体形状を有しており、焦電型赤外線センサ部2に取り付けられる。視野角制限カバー3には、当該視野角制限カバー3が焦電型赤外線センサ部2に取り付けられた状態で、受光電極20と対向する窓部32と、受光電極20以外の部分を覆うように設けられている遮蔽部33とが形成されている。視野角制限カバー3は、赤外線を透過しない材料で構成されている。本実施の形態においてはABS樹脂にて構成しているが、一般的に赤外線を透過しない他の材料で構成してもよい。遮蔽部33は、窓部32が形成される上面部34と、側壁部36とを有している。上面部34は、センサ素子10と対向し且つこれと平行である。側壁部36は、シールド部材60の外周部と接触し且つ当該外周部を取り巻くようにして設けられている。図3によく示されているように、本実施の形態による窓部32は、受光電極20と直交する直線(Z方向に延びる直線)上に位置している。また、窓部32は、受光電極20の外形に合わせて長方形形状を有しており、焦電型赤外線センサ1を真上から見た場合に、窓部32を通して受光電極20の全てを視認可能である。
図6に示されるように、視野角制限カバー3の遮蔽部33によって、(温度補償電極22を含む)受光電極20以外の部分が覆われるため、焦電型赤外線センサ1に対して浅い角度で入射する検知対象外の赤外線W1、W2が焦電型赤外線センサ部2内に進入することを防ぐことができる。これにより、検知対象物からの赤外線が反射膜80と温度補償電極22との間にできる隙間に直接的に入射されること(図15参照)を防ぐことができることに加えて、シールド部材60の壁面に反射した赤外線が反射膜80と温度補償電極22との間に入射されてしまうこと(図16参照)をも防ぐことができる。更に、遮蔽部33により、受光電極20の視野角θを制限することができる。本実施の形態においては、視野角制限カバー3の窓部32の寸法により視野角を適宜調整することができるため、視野角制限カバー3の変更のみで様々な視野角、指向性の要求に応えることが可能となる。また、センサ素子10の外周を覆うこととしているため、焦電型赤外線センサ1の周囲から受ける外乱光による誤動作、風に対する影響も同時に防止することが出来る。このような焦電型赤外線センサ1を用いることとすれば、センサ素子10の感度が向上することから、例えば、レンズ等を用いることがなくとも、数mの範囲であれば十分な検知能力を有することができ、小型、薄型且つフラットな焦電型赤外線センサが得られる。また、窓部32の水平方向寸法、垂直方向寸法、壁の高さ、受光電極20との位置関係により、様々な視野角、指向性への対応が可能となる。
なお、本実施の形態においては、温度補償電極22は、視野角制限カバー3の遮蔽部33に覆われ赤外線から遮蔽されているため(図2参照)、反射膜80を省略することとしても良い。
次に、視野角が±25°(50°)になるように視野角制限カバーの窓部の寸法を設計し、視野角に対する出力電圧の関係を評価した。なお、検知対象物は、焦電型赤外線センサから120cm離れた距離に立ち、左右に±20cm、約1Hz周期で動作させた。また、焦電型赤外線センサの取り付け位置は床から80cmに設置した。図7に示されるように、水平視野角±25°の設計に対し、ほぼ設計値通りとなる±25°の視野角を得ることができた。出力電圧は波形のVp−pにより示される。なお、本評価においては、電源電圧および接続回路の関係で、約4Vで飽和しているが、本来は4V以上出力されている。図8に示されるように、視野角制限カバーを取り付けなかったものの場合、視野角は約60°と非常に広い。また、出力電圧の値についても、視野角制限カバーを取り付けたものと比べて1/2弱である。これにより、本発明の視野角制限カバーを用いることとすれば出力電圧を著しく向上させることが確認された。当該結果によれば、センサ素子のうち温度補償電極に対向する位置に赤外線反射膜を設け、且つ視野角制限カバーを設けたことにより、赤外線が温度補償電極に入射されることを抑制され、受光電極と温度補償電極間での電荷の相殺が極めて少なくなったといえる。
(第2の実施の形態)
図9乃至図12に示されるように、本発明の第2の実施の形態による焦電型赤外線センサ1aは、上述した第1の実施の形態とほぼ同様の構成を有している。従って、以下の説明においては、同一の部材については同一の参照符号を付しその説明を省略する。
本実施の形態による焦電型赤外線センサ部2aは、センサ素子10aと、センサ素子10aが搭載される基板50と、センサ素子10aの周囲を囲うようにして設けられているシールド部材60と、シールド部材60に取り付けられている赤外線透過フィルタ70と、反射膜80とを備えている。
図9及び図11(a)、(b)に示されるように、センサ素子10aは、受光面11と、非受光面11’とを有している。センサ素子10aには、外部(検知対象物)からの赤外線を受光する受光電極20aと、2つの温度補償電極22aとが形成されている。詳しくは、本実施の形態においては、受光面11側に形成された表面電極21aと、非受光面11’側に形成された裏面電極21a’と、焦電体基板12のうち表面電極21a及び裏面電極21a’に挟まれる部位によって受光電極20aが構成されている。また、受光面11側に形成された表面電極23aと、非受光面11’側に形成された裏面電極23a’と、焦電体基板12のうち表面電極23a及び裏面電極23a’に挟まれる部位によって温度補償電極22aが構成されている。受光電極20aのX方向における幅は、各温度補償電極22aのX方向における幅の約2倍である。
図11(a)、(b)から理解されるように、受光電極20aの表面電極21aは、各温度補償電極22aの表面電極23aと互いに接続されている。受光電極20aの裏面電極21a’は、各温度補償電極22aの裏面電極23a’のいずれとも電気的に絶縁されている。受光電極20aの裏面電極21a’は、導電接着剤40によって基板50の回路パターン(図示せず)へと接続され、各温度補償電極22aの裏面電極23a’は共に導電接着剤42に接続されて基板50の回路パターン(図示せず)へと接続される。
センサ素子10aは、導電接着剤40及び台座52を介して基板50と電気的に接続される。なお、台座52を省略して基板50の回路パターンに対して直接接着することとしてもよい。
基板50には、インピーダンス変換回路として、接合型電界効果トランジスタ45が実装されている。本実施の形態においては、受光電極20aの裏面電極21a’は、接合型電界効果トランジスタ45のゲート入力電極に接続され、温度補償電極22aの裏面電極23a’はグランドに接続される。これにより、センサ素子10aの出力信号は、インピーダンス変換されて出力される。
基板50上には、センサ素子10aの外周を囲うように位置し、センサ素子10aを電気的にシールドするシールド部材60が設けられている。シールド部材60の開口部62には、赤外線透過フィルタ70が固着されており、受光電極20a及び温度補償電極22aとを覆っている。
本実施の形態においては、赤外線透過フィルタ70の下面74のうち、各温度補償電極22aと対向する位置に赤外線を反射する反射膜80aが設けられている。即ち、本実施の形態による反射膜80aは2箇所に形成されている。なお、本実施形態における反射膜80aも厚さ0.5μmのAg膜であり、上述した反射膜80(図2)と同様に形成することができる。
図9及び図10に示されるように、視野角制限カバー3aは、シールド部材60の外周と接触し且つこれを覆うように取り付けられている。詳しくは、視野角制限カバー3aは、略直方体形状を有しており、焦電型赤外線センサ部2aに取り付けられた状態で、受光電極20aと対向する窓部32aと、受光電極20a以外の部分を覆うように設けられている遮蔽部33aとを備えている。視野角制限カバー3aの材質は、上述した視野角制限カバー3(図2)と同様の材料にて構成することができる。遮蔽部33aは、窓部32aが形成される上面部34aと、側壁部36とを有している。上面部34aは、センサ素子10aと対向し且つこれと平行である。側壁部36は、シールド部材60の外周部と接触し且つ当該外周部を取り巻くようにして設けられている。図10によく示されているように、本実施の形態による窓部32aは、長方形形状を有しており、焦電型赤外線センサ1aを真上から見た場合に、窓部32aを通して受光電極20aの全てを視認可能である。なお、本実施の形態における受光電極20aは、センサ素子10aの略中央付近に形成されているため、窓部32aも視野角制限カバー3の上面部34aの略中央付近に設けられている。
図12に示されるように、視野角制限カバー3aの遮蔽部33aにより受光電極20a以外の部分が覆われるため、焦電型赤外線センサ1aに対して浅い角度で入射する検知対象外の赤外線W1、W2を遮蔽することができる。これにより、検知対象物からの赤外線が反射膜80aと温度補償電極22aとの間にできる隙間に直接的に入射されることを防ぐことができることに加えて、シールド部材60の壁面に反射した赤外線が反射膜80aと温度補償電極22aとの間に入射されてしまうことをも防ぐことができる。本実施の形態においても、遮蔽部33aにより、受光電極20aの視野角θを制限することができる。即ち、本実施の形態による視野角制限カバー3aによっても、上述した視野角制限カバー3と同等の効果を得ることができる。
上述したように、本発明による視野角制限カバー3aの窓部32aは、所望とする視野角、検知方向、感度に応じて、その形状、位置、大きさを変更することができる。具体的な変形例として、2つの例を以下に示す。
図13に示されるように、視野角制限カバー3bの窓部32bは、外に向けて径が大きくなるような断面を有している。即ち、窓部32bの径であって視野角制限カバー3bの外側面上における径L1が、視野角制限カバー3bの内側面上における径L2よりも大きくなるように構成してもよい。この場合、図13に示されるように径を徐々に大きくして窓部側面35bを斜面としても良いし、階段状に径を大きくしてもよい。
また、図14に示されるように、焦電型赤外線センサ1cに指向性を持たせることとしても良い。図14に示される焦電型赤外線センサ1cにおいては、受光電極20と直交する直線上にない検知対象物を検知することとしている。即ち、焦電型赤外線センサ1cにおける検知方向は受光電極20から斜めの方向(X方向且つZ方向)である。窓部32cは、検知対象物と受光電極20とを結んだ直線上に形成されている。換言すれば、窓部32cは、受光電極20と部分的に対向する位置に形成されている。ただし、この場合、窓部32cは温度補償電極22とも部分的に対向しているため、窓部32cを通して温度補償電極22に赤外線が入射することを防ぐためには、反射膜80を設ける必要がある。なお、窓部32cの窓部側面35cは検知方向と平行な断面を有している。
以上説明した本発明による焦電型赤外線センサは、TV、PC等の情報端末、コピー機等の事務機器等に用いることができる。また、エアコン、温水便座、セキュリティ機器等に用いることとしても良い。本発明による焦電型赤外線センサを用いることにより、各機器の赤外線センサの感度を向上させることができ、更に視野角を制限することに寄り誤動作を防止することができる。
1、1a〜c 焦電型赤外線センサ
2、2a 焦電型赤外線センサ部
3、3a〜c 視野角制限カバー
10、10a センサ素子
11 受光面
11’ 非受光面
12 焦電体基板
20、20a 受光電極
21、21a、23、23a 表面電極
21’、21a’、23’、23a’ 裏面電極
22、22a 温度補償電極
32、32a〜c 窓部
33、33a〜c 遮蔽部
34、34a〜c 上面部
35、35a〜c 窓部側面
36 側壁部
40、42 導電接着剤
45 接合型電界効果トランジスタ
50 基板
52 台座
60 シールド部材
62 開口部
70 赤外線透過フィルタ
72 上面
74 下面
80、80a 反射膜

Claims (9)

  1. 視野角制限カバーを備える焦電型外線センサであって、
    前記視野角制限カバーは、赤外線を遮蔽する遮蔽部と、赤外線を透過させる窓部とを備えており、当該視野角制限カバーが前記焦電型赤外線センサに取り付けられた状態において、前記窓部は、前記焦電型赤外線センサによる検知対象物と前記受光電極とを結ぶ直線上に位置するように設けられており、前記遮蔽部は、少なくとも前記受光電極以外の部分を覆うように設けられており、
    前記窓部の形状は、前記受光電極の外形に合わせた長方形形状を有してなるものであり、
    前記焦電型赤外線センサは、少なくとも前記受光電極と前記温度補償電極とを備えるセンサ素子と、前記センサ素子の周囲を囲む側面部及び開口部を備えるシールド部材と、当該シールド部材の上部が開放されるように前記開口部内にはめ込まれ且つ前記センサ素子と対向する赤外線透過フィルタとを備えており、
    前記視野角制限カバーは、前記シールド部材の前記側面部の外周と接触し且つ当該外周を覆うようにして取り付けられている、
    焦電型赤外線センサ。
  2. 請求項1に記載の焦電型赤外線センサであって、
    前記窓部は、前記受光電極の主面と直交する直線上に位置しており、
    前記視野角制限カバーが取り付けられた状態において、前記受光電極の前記主面は、前記主面と直交する前記直線に沿って前記窓部越しに視認可能である、
    焦電型赤外線センサ
  3. 請求項1又は請求項2に記載の焦電型赤外線センサであって、
    前記視野角制限カバーの外側面上における前記窓部の縁の径は、前記視野角制限カバーの内側面上における前記窓部の縁の径よりも大きい、
    焦電型赤外線センサ
  4. 請求項1又は請求項2に記載の焦電型赤外線センサであって、
    前記視野角制限カバーの外側面上における前記窓部の縁の径は、前記視野角制限カバーの内側面上における前記窓部の縁の径と等しい、
    焦電型赤外線センサ
  5. 請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の焦電型赤外線センサであって、
    前記焦電型赤外線センサの視野角を90度以下に制限する、
    焦電型赤外線センサ
  6. 請求項5に記載の焦電型赤外線センサであって、
    前記焦電型赤外線センサの視野角を50度以下に制限する、
    焦電型赤外線センサ
  7. 請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の焦電型赤外線センサであって、
    赤外線を反射する反射部材を更に備えており、
    前記反射部材は、前記温度補償電極に近接し且つ当該温度補償電極を覆うように設けられている、
    焦電型赤外線センサ。
  8. 請求項7に記載の焦電型赤外線センサであって、
    前記反射部材は、前記温度補償電極と前記赤外線透過フィルタとの間に設けられている、
    焦電型赤外線センサ。
  9. 請求項8に記載の焦電型赤外線センサであって、
    前記赤外線反射部材は、前記赤外線透過フィルタ上に形成された赤外線反射膜である、
    焦電型赤外線センサ。
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