JP5322431B2 - Vibration wave driving apparatus and apparatus using the same - Google Patents

Vibration wave driving apparatus and apparatus using the same Download PDF

Info

Publication number
JP5322431B2
JP5322431B2 JP2007340855A JP2007340855A JP5322431B2 JP 5322431 B2 JP5322431 B2 JP 5322431B2 JP 2007340855 A JP2007340855 A JP 2007340855A JP 2007340855 A JP2007340855 A JP 2007340855A JP 5322431 B2 JP5322431 B2 JP 5322431B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibration wave
vibrating body
wave
vibration
driving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2007340855A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2009165231A (en
Inventor
幸輔 藤本
裕之 関
伸介 武内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2007340855A priority Critical patent/JP5322431B2/en
Publication of JP2009165231A publication Critical patent/JP2009165231A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5322431B2 publication Critical patent/JP5322431B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an oscillatory wave driving device wherein the production of unwanted oscillatory waves can be suppressed without great influence on the production of driving oscillatory waves regardless of the relation between the order of driving oscillatory waves and the order of unwanted oscillatory waves. <P>SOLUTION: Multiple grooves 1a radially extended from inside to outside are formed on one end face (upper face) of the vibrating body 1 of a vibration motor M. The portions of the vibrating body 1 between the grooves 1a form protrusions 1b brought into a rotor 3 under pressure. Each groove 1a is so formed that its depth ta varies along one sinusoidal curve. Each portion 1c with a groove 1a formed therein constitutes a portion where mainly bending vibration is caused. Since the depth ta of each groove 1a varies along one sinusoidal curve, the thickness tc of each portion 1c varies along one sinusoidal curve. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、振動体に予め設定された次数の曲げ振動波を駆動振動波として励起させ、該振動体に励起された駆動振動波によって移動子を駆動する振動波駆動装置およびそれを用いる装置に関する。   The present invention relates to a vibration wave driving apparatus that excites a bending vibration wave of a predetermined order as a driving vibration wave in a vibrating body, and drives a moving element by the driving vibration wave excited by the vibrating body, and an apparatus using the same. .

振動波駆動装置の１つとして、振動波モータがある。この振動波モータは、予め設定された次数ｍ（ｍは１以上の整数）の曲げ振動波を駆動振動波（進行性振動波）として励起させ、該振動体に励起された駆動振動波によって移動子を駆動するものである。ｍ次の曲げ振動波とは、波の数がｍ個である曲げ振動波をいう。ここで、振動体と移動子が互いに接触する接触面の精度の低さ、振動体に発生する機械的振動のむら、振動体と移動子の接触圧力の分布の不均一さなどの要因により、予め設定された次数ｍの曲げ振動波（駆動振動波）以外の曲げ振動波いわゆる不要振動波が発生する場合がある。この不要振動波は、異音の発生、出力の低下などを引き起こす原因になる。   One of the vibration wave driving devices is a vibration wave motor. This vibration wave motor excites a bending vibration wave of a predetermined order m (m is an integer of 1 or more) as a drive vibration wave (progressive vibration wave), and is moved by the drive vibration wave excited by the vibration body. It drives the child. The m-th order bending vibration wave refers to a bending vibration wave having m waves. Here, due to factors such as inaccuracy of the contact surface where the vibrating body and the moving element contact each other, unevenness of mechanical vibration generated in the vibrating body, unevenness of the contact pressure distribution between the vibrating body and the moving element, Bending vibration waves other than the set order m bending vibration waves (drive vibration waves), so-called unnecessary vibration waves, may be generated. This unnecessary vibration wave causes generation of abnormal noise, reduction of output, and the like.

そこで、不要振動波の発生を低減するために、振動体に対して、曲げ剛性が他の部位と異なる部位を設ける構成が提案されている（例えば特許文献１参照）。また、曲げ剛性に差を設け、曲げ剛性が他に比較して低い部位を所定の角度範囲にわたって設ける構成が提案されている（例えば特許文献２参照）。   Therefore, in order to reduce the generation of unnecessary vibration waves, a configuration has been proposed in which a part having bending rigidity different from other parts is provided on the vibrator (see, for example, Patent Document 1). In addition, a configuration has been proposed in which a difference is provided in the bending rigidity and a portion where the bending rigidity is lower than others is provided over a predetermined angle range (see, for example, Patent Document 2).

上記振動体に対して曲げ剛性が他の部位と異なる部位を設ける構成が用いられている振動波モータについて図１８を参照しながら具体的に説明する。図１８は従来の振動波モータの主要部の分解斜視図である。   A vibration wave motor in which a configuration in which a bending rigidity is different from that of other parts is used for the vibrator will be specifically described with reference to FIG. FIG. 18 is an exploded perspective view of a main part of a conventional vibration wave motor.

振動波モータは、図１８に示すように、リング状の圧電素子１０２（電気機械エネルギ変換素子）が接着され、リング状の弾性部材からなる振動体１０１を備える。振動体１０１は、上記圧電素子１０２と共働して振動子を構成する。振動体１０１には、深さｈ１を有する複数の溝１０１ａが形成されており、溝１０１ａ間の部位１０１ｃは、振動および振幅を拡大するための突起を構成する。上記部位１０１ｃ即ち突起１０１ｃは、移動子（図示せず）と加圧接触されている。   As shown in FIG. 18, the vibration wave motor includes a vibrating body 101 made of a ring-shaped elastic member to which a ring-shaped piezoelectric element 102 (electromechanical energy conversion element) is bonded. The vibrating body 101 constitutes a vibrator in cooperation with the piezoelectric element 102. A plurality of grooves 101a having a depth h1 are formed in the vibrating body 101, and a portion 101c between the grooves 101a constitutes a protrusion for expanding vibration and amplitude. The part 101c, that is, the protrusion 101c is in pressure contact with a moving element (not shown).

振動体１０１には、圧電素子１０２への電圧印加により、７次の曲げ振動波（波の数が７個である曲げ振動波）が駆動振動波として励起される。各突起１０１ｃと加圧接触されている移動子（図示せず）は、振動体１０１に励起された駆動振動波により回転駆動される。   By applying a voltage to the piezoelectric element 102, a seventh-order bending vibration wave (a bending vibration wave having seven waves) is excited in the vibrating body 101 as a driving vibration wave. A mover (not shown) that is in pressure contact with each protrusion 101 c is rotationally driven by a driving vibration wave excited by the vibrating body 101.

上記目的を達成するために、本発明の振動波駆動装置は、振動体および前記振動体に予め設定された次数の曲げ振動波を駆動振動波として励起させる電気機械エネルギ変換素子を有する振動子と、前記振動子の前記振動体に接触し、前記振動体に励起された駆動振動波によって駆動される移動子とを備え、前記振動体は、曲げ振動が生じる部位と、前記曲げ振動が生じる部位から突出し、前記移動子と接触する複数の突起部と、を有し、前記複数の突起部の間には複数の溝が設けられ、前記振動体は、前記曲げ振動が生じる部位の、前記振動体の軸方向において複数の溝と重なる部分同士の、前記振動体の軸方向における厚さが、前記駆動振動波の進行方向に対して、少なくとも１つの正弦波により規定される曲線に沿って変化するように構成され、前記複数の突起部は、前記複数の突起部が前記移動子と接触可能なように、前記振動体の軸方向において、前記曲線に応じた高さを有することを特徴とする。 In order to achieve the above object, a vibration wave driving device of the present invention includes a vibrator and an vibrator having an electromechanical energy conversion element that excites a bending vibration wave of a predetermined order in the vibration body as a driving vibration wave. A moving element that contacts the vibrating body of the vibrator and is driven by a driving vibration wave excited by the vibrating body, wherein the vibrating body includes a portion where bending vibration occurs and a portion where bending vibration occurs a projecting, a plurality of projections in contact with the moving element, from a plurality of grooves is provided between the plurality of protrusions, wherein the vibrating body, the site where the bending vibration occurs, the vibration The thickness in the axial direction of the vibrating body of the portions overlapping with the plurality of grooves in the axial direction of the body changes along a curve defined by at least one sine wave with respect to the traveling direction of the driving vibration wave Like Is, the plurality of protrusions, the plurality of such projections is contactable with the moving element in the axial direction of said vibrating body, and having a height corresponding to the curve.

ここで、各溝１０１ｂは、３次の曲げ振動波の波長λの整数倍またはその１／２の整数倍の位置に配置される。即ち、各溝１０１ｂが振動体１０１の周方向にθ＝π／３（ｒａｄ）の角度ピッチで配置されており、その数は６つである。また、各溝１０１ａ，１０１ｂの深さｈ１，ｈ２は、ｈ２＞ｈ１の関係を満足する。よって、溝１０１ｂがそれぞれ形成されている６つの部位の曲げ剛性は、溝１０１ａが形成されている部位の曲げ剛性より小さくなる。   Here, each groove 101b is arranged at a position that is an integral multiple of the wavelength λ of the third-order bending vibration wave or an integral multiple of ½ thereof. That is, the grooves 101b are arranged at an angular pitch of θ = π / 3 (rad) in the circumferential direction of the vibrating body 101, and the number thereof is six. The depths h1 and h2 of the grooves 101a and 101b satisfy the relationship of h2> h1. Accordingly, the bending rigidity of the six portions where the grooves 101b are respectively formed is smaller than the bending rigidity of the portion where the grooves 101a are formed.

３次の曲げ振動波が振動体１０１に生ずる際には、この３次の曲げ振動の振動の腹および節は、それぞれリング状の弾性体１の周方向に沿って６箇所にほぼ等間隔で位置する。つまり、前記３次の曲げ振動波の発生位置によっては、６箇所の溝１０１ｂと６箇所の振動の腹の位置がすべて一致する場合や、６箇所の溝１０１ｂと６箇所の振動の節の位置がすべて一致する場合が起こる。振動の腹は、曲げ振動変位の極大値をとる位置であるとともに、曲げ変形の極大値をとる位置である。そのため、６箇所の溝１０１ｂと６箇所の振動の腹の位置がすべて一致する場合は、振動波の固有振動数が低くなる。６箇所の溝１０１ｂと６箇所の振動の節の位置がすべて一致する場合は、振動の節は曲げ変形が零となる位置であるため、固有振動数があまり変化しない。   When a third-order bending vibration wave is generated in the vibrating body 101, the antinodes and nodes of the vibration of the third-order bending vibration are approximately equally spaced at six locations along the circumferential direction of the ring-shaped elastic body 1, respectively. To position. That is, depending on the generation position of the third-order bending vibration wave, the positions of the six grooves 101b and the six vibration antinodes all coincide, or the positions of the six grooves 101b and the six vibration nodes. Happens to all match. The antinode of vibration is a position where the maximum value of the bending vibration displacement is taken and a position where the maximum value of the bending deformation is taken. For this reason, when the six grooves 101b and the positions of the six vibration antinodes all coincide, the natural frequency of the vibration wave is lowered. When the positions of the six grooves 101b and the six vibration nodes all coincide with each other, the vibration nodes are positions where the bending deformation becomes zero, and thus the natural frequency does not change much.

この３次の振動波が進行性振動波として励起するには、６箇所の溝１０１ｂと６箇所の振動の腹の位置がすべて一致する定在波振動と、６箇所の溝１０１ｂと６箇所の振動の節の位置がすべて一致する定在波振動が同時に、同じ周波数にて発生すること必要である。そのため、２つの固有振動数を異ならしめた図１８の構成では、３次の曲げ振動の自励振動が、進行性の振動波として生じ振動子を一方向に伝播する場合、３次の曲げ振動波は、進行性振動波として励起されず、不要振動波である３次の曲げ振動波の発生が抑制される。
特開平２−２１４４７７号公報 特開平３−１４５９７４号公報 In order to excite the tertiary vibration wave as a progressive vibration wave, the standing wave vibration in which the positions of the antinodes of the six grooves 101b and the six vibrations all coincide, and the six grooves 101b and the six vibration waves are It is necessary that standing wave vibrations in which the positions of the vibration nodes all coincide are generated at the same frequency at the same time. Therefore, in the configuration of FIG. 18 in which the two natural frequencies are different, when the self-excited vibration of the third-order bending vibration is generated as a progressive vibration wave and propagates in the vibrator in one direction, the third-order bending vibration The wave is not excited as a progressive vibration wave, and generation of a third-order bending vibration wave that is an unnecessary vibration wave is suppressed.
JP-A-2-214477 JP-A-3-145974

しかしながら、上述した従来の不要振動波の発生を低減するための構成は、駆動振動波となる曲げ振動波の次数が不要振動波の次数の倍数であると、当該駆動振動波を励起させることができない場合があることがわかった。換言すれば、駆動振動波の次数と不要振動波の次数の関係によっては、不要振動波の発生を抑制することができない場合がある。   However, the conventional configuration for reducing the generation of the unnecessary vibration wave described above can excite the drive vibration wave when the order of the bending vibration wave that becomes the drive vibration wave is a multiple of the order of the unnecessary vibration wave. I found out that sometimes I can't. In other words, depending on the relationship between the order of the drive vibration wave and the order of the unnecessary vibration wave, the generation of the unnecessary vibration wave may not be suppressed.

そこで、本発明の目的は、駆動振動波の次数と不要振動波の次数の関係に拘わらず、駆動振動波の発生に大きな影響を及ぼすことなく、不要振動波の発生を抑制することができる振動波駆動装置およびそれを用いる装置を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a vibration that can suppress the generation of an unnecessary vibration wave without greatly affecting the generation of the drive vibration wave, regardless of the relationship between the order of the drive vibration wave and the order of the unnecessary vibration wave. The object is to provide a wave drive device and a device using the same.

本発明は、上記目的を達成するため、振動体および該振動体に予め設定された次数の曲げ振動波を駆動振動波として励起させる電気機械エネルギ変換素子を有する振動子と、前記振動子の前記振動体に接触し、該振動体に励起された駆動振動波によって駆動される移動子とを備え、前記振動体は、曲げ振動変形が生じる部位の厚さが前記駆動振動波の進行方向に対して、少なくとも１つの正弦波により規定される曲線に沿って変化するように構成されていることを特徴とする振動波駆動装置を提供する。   In order to achieve the above object, the present invention provides a vibrator having an oscillating body and an electromechanical energy conversion element that excites a bending vibration wave of a preset order in the oscillating body as a driving vibration wave, and the vibrator A movable body that is in contact with the vibration body and is driven by a driving vibration wave excited by the vibration body, and the vibration body has a thickness where a bending vibration deformation occurs in a traveling direction of the driving vibration wave. Thus, a vibration wave driving device is provided that is configured to change along a curve defined by at least one sine wave.

また、本発明は、上記目的を達成するため、上記振動波駆動装置を用いる装置を提供する。   In order to achieve the above object, the present invention provides an apparatus using the vibration wave driving device.

本発明によれば、駆動振動波の次数と不要振動波の次数の関係に拘わらず、駆動振動波の発生に大きな影響を及ぼすことなく、不要振動波の発生を抑制することができる。   According to the present invention, it is possible to suppress the generation of the unnecessary vibration wave without greatly affecting the generation of the drive vibration wave regardless of the relationship between the order of the drive vibration wave and the order of the unnecessary vibration wave.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

まず、駆動振動波の次数と不要振動波の次数の関係によっては、不要振動波の発生を抑制することができなくなる理由について説明を行う。   First, the reason why the generation of the unnecessary vibration wave cannot be suppressed depending on the relationship between the order of the driving vibration wave and the order of the unnecessary vibration wave will be described.

同じ次数の曲げ振動波に対する振動体１０１の固有振動数νは、概ね断面二次モーメントＩと線密度ρの比の平方根に比例する。即ち、固有振動数νは、以下の関係式により表される。   The natural frequency ν of the vibrating body 101 with respect to bending vibration waves of the same order is approximately proportional to the square root of the ratio of the cross-sectional secondary moment I to the linear density ρ. That is, the natural frequency ν is expressed by the following relational expression.

ν∝（Ｉ／ρ）0.5
また、振動体１０１で曲げが生じる部位の厚さをｔ’とすると、断面二次モーメントＩは厚さｔ’の３乗に比例し、線密度ρは、厚さｔ’の１乗に比例する。よって、上記固有振動数νは、
ν∝ｔ’
と表される。 ν∝ (I / ρ) 0.5
When the thickness of the portion where bending occurs in the vibrating body 101 is t ′, the cross-sectional secondary moment I is proportional to the third power of the thickness t ′, and the linear density ρ is proportional to the first power of the thickness t ′. To do. Therefore, the natural frequency ν is
ν∝t '
It is expressed.

振動体１０１の厚さが不均一である場合でも、各溝の位置での振動体１０１の厚さを上記関係に適用することによって、固有振動数の分布を算出することができる。この場合の固有振動数は、各溝の位置での振動体１０１の厚さで、振動体１０１をそれぞれ製作した場合の固有振動数を表している。曲げ振動が定在波として発生したときに、振動変位が極大値となる腹の位置、および、その付近の剛性と密度は固有振動数に大きく影響を与え、節の位置、および、その付近の剛性と密度は固有振動数へあまり影響を与えない。   Even when the thickness of the vibrating body 101 is not uniform, the distribution of the natural frequency can be calculated by applying the thickness of the vibrating body 101 at each groove position to the above relationship. The natural frequency in this case is the thickness of the vibrating body 101 at the position of each groove and represents the natural frequency when the vibrating body 101 is manufactured. When bending vibration occurs as a standing wave, the position of the antinode where the vibration displacement becomes maximum and the stiffness and density in the vicinity greatly affect the natural frequency, and the position of the node and the vicinity of it Stiffness and density do not significantly affect the natural frequency.

そこで、上記振動体１０１の各位置における固有振動数の分布を、励起する曲げ振動の次数に応じた振動変位の極大値となる位置の分布と比較することによって、各次数の曲げ振動に応じて分布された振動体１０１の位置における固有振動数の差を表すことができる。   Therefore, by comparing the distribution of the natural frequency at each position of the vibrating body 101 with the distribution of the position where the vibration displacement is maximized according to the order of the bending vibration to be excited, according to the bending vibration of each order. The difference in natural frequency at the position of the distributed vibrating body 101 can be expressed.

すなわち、振動体１０１の各位置の曲げ振動の固有振動数の分布を算出し、さらに次数との比較を明確に表すために、振動子１０１の１周を単位長さとした空間周波数分布として表せばよい。   That is, if the distribution of the natural frequency of the bending vibration at each position of the vibrating body 101 is calculated and the comparison with the order is clearly expressed, it can be expressed as a spatial frequency distribution with one round of the vibrator 101 as a unit length. Good.

図１９は図１８の振動体１０１の角度位置に対する固有振動数の変化を示す図である。図２０は図１９の固有振動数の変化を、振動体の周長を単位長さとした空間周波数で表した図である。   FIG. 19 is a diagram showing changes in the natural frequency with respect to the angular position of the vibrating body 101 in FIG. FIG. 20 is a diagram showing the change in the natural frequency in FIG. 19 as a spatial frequency with the circumference of the vibrating body as a unit length.

図２０から分かるように、固有振動数νの変化は、主に６サイクル／周で発生する。この空間周波数成分をみることによって、１周に６つの振動の腹を持つ３次の曲げ振動波をその発生位置によって固有振動数を異ならせることができる。そのため、複数の３次の曲げ振動波が合成されても、互いの固有振動数が異なるために不要振動波である進行性振動波とはならず、その発生が抑制されることがわかる。   As can be seen from FIG. 20, the change of the natural frequency ν mainly occurs at 6 cycles / circumference. By looking at this spatial frequency component, it is possible to vary the natural frequency according to the generation position of the third-order bending vibration wave having six antinodes in one circle. For this reason, even when a plurality of third-order bending vibration waves are combined, the natural vibration frequency is different, so that it is not a progressive vibration wave that is an unnecessary vibration wave, and the generation thereof is suppressed.

また、同様に、図２０から固有振動数νの変化は、振動体１０１の曲げ剛性が小さい部位の数の整数倍である高次（６、１２、１８、…）の空間周波数成分を有しているが、１４サイクル／周で発生しないので、駆動振動波である７次の曲げ振動波の固有振動数に影響を与えることはない。   Similarly, from FIG. 20, the change in the natural frequency ν has a higher-order (6, 12, 18,...) Spatial frequency component that is an integral multiple of the number of portions of the vibrating body 101 where the bending rigidity is small. However, since it does not occur at 14 cycles / circumference, it does not affect the natural frequency of the 7th-order bending vibration wave that is the drive vibration wave.

ここで、上述した従来の不要振動波の発生を抑制するための構成において、６次の曲げ振動波を進行性振動波とし、不要振動波となる曲げ３次の曲げ振動波からなる進行性振動波の発生を抑制する場合を考える。この場合、図２０に示すように、振動体１０１の固有振動数νの変化が６サイクル／周で発生するので、６次の曲げ振動波にとってもその発生位置によって固有振動数に差が生じ、６次の曲げ振動波が駆動振動波として進行性振動波となることが妨げられることになる。その結果、発生する振動波の振幅にむらが生じて駆動効率が低下し、ひいては駆動振動波となる６次の曲げ振動波を励起させることができない場合がある。   Here, in the above-described configuration for suppressing the generation of unnecessary vibration waves, the sixth-order bending vibration wave is a progressive vibration wave, and the progressive vibration is composed of a bending third-order bending vibration wave that becomes an unnecessary vibration wave. Consider the case of suppressing the generation of waves. In this case, as shown in FIG. 20, since the change of the natural frequency ν of the vibrating body 101 occurs at 6 cycles / circumference, the natural frequency differs depending on the generation position even for the 6th bending vibration wave, The sixth-order bending vibration wave is prevented from being a traveling vibration wave as a driving vibration wave. As a result, the amplitude of the generated vibration wave is uneven, and the driving efficiency is lowered. As a result, the sixth-order bending vibration wave that becomes the drive vibration wave may not be excited.

そこで、以下に示す各実施の形態にて、駆動振動波に影響を与えることなく不要振動波を抑制するための構成について詳細な説明を行う。   Therefore, in each of the embodiments described below, a detailed description will be given of a configuration for suppressing unnecessary vibration waves without affecting the drive vibration waves.

（第１の実施の形態）
図１は本発明の第１の実施形態に係る振動波駆動装置がオートフォーカス用駆動モータとして用いられているレンズ鏡筒の主要部の構成を示す縦断面図である。図２は図１の振動波駆動装置の主要部の分解斜視図である。図３は図２の圧電素子２の表、裏面のそれぞれに形成されている電極を示す図である。図４は図２の振動体１に形成されている複数の溝の配置を示す展開図である。図５は図２の振動体１の固有振動数の変化を示す図である。図６は図１の振動体１の空間周波数に対する固有振動数νの変化の大きさを示す図である。本実施の形態においては、振動波駆動装置として、レンズ鏡筒のフォーカスレンズを駆動するための振動波モータを説明する。 (First embodiment)
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a configuration of a main part of a lens barrel in which the vibration wave driving device according to the first embodiment of the present invention is used as an autofocus drive motor. FIG. 2 is an exploded perspective view of a main part of the vibration wave driving device of FIG. FIG. 3 is a diagram showing electrodes formed on the front and back surfaces of the piezoelectric element 2 of FIG. FIG. 4 is a development view showing the arrangement of a plurality of grooves formed in the vibrating body 1 of FIG. FIG. 5 is a diagram showing changes in the natural frequency of the vibrator 1 shown in FIG. FIG. 6 is a diagram showing the magnitude of the change in the natural frequency ν with respect to the spatial frequency of the vibrating body 1 in FIG. In the present embodiment, a vibration wave motor for driving a focus lens of a lens barrel will be described as a vibration wave driving device.

オートフォーカス機能を有するレンズ鏡筒は、図１（ａ）に示すように、カメラマウント１９に固定されている外筒１２を備える。外筒１２内には、固定筒１１、固定内筒１８および移動環１７が配置されている。移動環１７は、フォーカスレンズ２７を保持する。移動環１７には、連結ころ１５と係合するキー溝（図示せず）が設けられている。また、移動環１７には、ねじ部１７ａが設けられ、このねじ部１７ａは、固定内筒１８のねじ部１８ａとヘイリコイド結合する。   The lens barrel having an autofocus function includes an outer cylinder 12 fixed to a camera mount 19 as shown in FIG. In the outer cylinder 12, a fixed cylinder 11, a fixed inner cylinder 18, and a moving ring 17 are arranged. The moving ring 17 holds a focus lens 27. The moving ring 17 is provided with a key groove (not shown) that engages with the connecting roller 15. Further, the moving ring 17 is provided with a threaded portion 17a, and this threaded portion 17a is Helicoid-coupled with the threaded portion 18a of the fixed inner cylinder 18.

上記移動環１７は、振動波モータＭにより回転駆動される出力伝達体２５を介して、光軸Ｌを中心に回転しながら光軸Ｌに沿った方向へ移動される。詳細には、振動波モータＭは、図１（ｂ）に示すように、リング形状の振動体１、振動体１の一方の端面に接着されている圧電素子２、および環状のロータ（移動子）３を有する。振動体１および圧電素子２は、互いに共働して振動子を構成する。上記ロータ３は、振動体１の他方の端面に加圧接触されている。圧電素子２には、所定の位相を有する駆動信号が印加され、これにより振動体１には所定次数の曲げ振動波が駆動振動波（進行性振動波）として励起される。この駆動振動波により、上記ロータ３は、光軸Ｌを中心として回転駆動される。   The moving ring 17 is moved in a direction along the optical axis L while rotating about the optical axis L via an output transmission body 25 that is rotationally driven by the vibration wave motor M. Specifically, as shown in FIG. 1B, the vibration wave motor M includes a ring-shaped vibrating body 1, a piezoelectric element 2 bonded to one end face of the vibrating body 1, and an annular rotor (moving element). ) 3. The vibrating body 1 and the piezoelectric element 2 work together to form a vibrator. The rotor 3 is in pressure contact with the other end surface of the vibrating body 1. A drive signal having a predetermined phase is applied to the piezoelectric element 2, whereby a bending vibration wave of a predetermined order is excited in the vibrating body 1 as a drive vibration wave (progressive vibration wave). The rotor 3 is driven to rotate about the optical axis L by the driving vibration wave.

上記振動子は、図１（ａ）に示すように、絶縁体４を保持する台８と固定筒１８との間に重ね合わされて挿入されている１対の皿ばね９により、圧電素子２側から押圧されている。   As shown in FIG. 1 (a), the vibrator has a pair of disc springs 9 inserted between a base 8 for holding an insulator 4 and a fixed cylinder 18 so that the piezoelectric element 2 side is overlaid. It is pressed from.

上記ロータ３は、振動吸収体５を介して円環状の連結板２２に当接、保持される。連結板２２は、出力伝達体２５と固定され、出力伝達体２５は、ボール１０および外筒１２に固定されているボールレース１３，１４により、光軸Ｌを中心に回転可能に支持されている。この出力伝達体２５の先端には、上記連結ころ１５が取り付けられている。   The rotor 3 is brought into contact with and held by an annular connecting plate 22 via the vibration absorber 5. The connecting plate 22 is fixed to the output transmission body 25, and the output transmission body 25 is supported rotatably around the optical axis L by ball races 13 and 14 fixed to the ball 10 and the outer cylinder 12. . The connecting roller 15 is attached to the tip of the output transmission body 25.

振動波モータＭは、カメラ側から送出されるＡＦ（焦点調節）信号またはマニュアルリング１６の操作に連動して発生される信号に基づいて駆動され、この振動波モータＭの駆動により、出力伝達体２５は、光軸Ｌを中心に回転駆動される。そして、この出力伝達体２５の回転駆動に連動して、移動環１７は、光軸Ｌを中心に回転しながら光軸Ｌに沿った方向へ移動される。すなわち、フォーカスレンズ２７が光軸Ｌに沿った方向へ移動され、焦点合わせが行われる。   The vibration wave motor M is driven based on an AF (focus adjustment) signal sent from the camera side or a signal generated in conjunction with the operation of the manual ring 16. 25 is driven to rotate about the optical axis L. In conjunction with the rotational drive of the output transmission body 25, the moving ring 17 is moved in the direction along the optical axis L while rotating about the optical axis L. That is, the focus lens 27 is moved in the direction along the optical axis L, and focusing is performed.

次に、振動波モータＭの振動子を構成する振動体１および圧電素子２について詳細に説明する。   Next, the vibrating body 1 and the piezoelectric element 2 constituting the vibrator of the vibration wave motor M will be described in detail.

振動体１は、図２に示すように、アルミニウム、真鍮、あるいは、ステンレスなどの金属からなるリング状部材からなる。振動体１の一方の端面（上面）には、内部から外部に向けて放射状に伸びる複数の溝１ａが形成されている。各溝１ａは、振動体１の周方向に沿って配置されている。ここで、各溝１ａの深さをｔａとすると、後述するように、各溝１ａは、それぞれの深さｔａが正弦波曲線に沿って変化するように形成されている。   As shown in FIG. 2, the vibrating body 1 is made of a ring-shaped member made of a metal such as aluminum, brass, or stainless steel. A plurality of grooves 1a extending radially from the inside to the outside are formed on one end face (upper surface) of the vibrator 1. Each groove 1 a is arranged along the circumferential direction of the vibrating body 1. Here, assuming that the depth of each groove 1a is ta, each groove 1a is formed such that each depth ta changes along a sine wave curve, as will be described later.

振動体１における溝１ａ間の部位は、ロータ３と加圧接触する突起１ｂを構成する。また、溝１ａがそれぞれ形成されている部位１ｃは、主に曲げ変形（曲げ振動）が生じる部位を構成し、当該部位１ｃは、振動体１に生じた曲げ振動波による周方向の変位を拡大する効果を発揮する。ここで、リング状の振動体１、圧電素子２、および、ロータ３のそれぞれの中心を通る直線を軸とする。上記部位１ｃの厚さ（振動体１の軸方向の長さ）をｔｃ、振動体１の軸方向の厚さをｔとすると、厚さｔｃは、
ｔｃ＝ｔ−ｔａ
の関係式を満足する（図４を参照）。 A portion between the grooves 1 a in the vibrating body 1 constitutes a protrusion 1 b that is in pressure contact with the rotor 3. Moreover, the part 1c in which each groove 1a is formed mainly constitutes a part where bending deformation (bending vibration) occurs, and the part 1c expands the displacement in the circumferential direction due to the bending vibration wave generated in the vibrating body 1. Demonstrate the effect. Here, a straight line passing through the centers of the ring-shaped vibrating body 1, the piezoelectric element 2, and the rotor 3 is used as an axis. When the thickness of the part 1c (the length in the axial direction of the vibrating body 1) is tc and the thickness in the axial direction of the vibrating body 1 is t, the thickness tc is
tc = t−ta
Is satisfied (see FIG. 4).

圧電素子２は、リング形状を有し、その一方の端面（裏面）２ｂが振動体１の他方の端面（下面）に対向するように振動体１と接着されている。圧電素子２の裏面２ｂには、図３（ｂ）に示すように、全面に亘るように共通電極２２が形成されている。また、圧電素子２の他方の端面（表面）２ａには、図３（ａ）に示すように、複数の電極領域に分割された駆動電極２１が形成されている。駆動電極２１は、Ａ相、Ｂ相の２群で構成され、それぞれの電極領域は、図示するように、（＋）、（−）の極性に分極処理されている。Ａ相、Ｂ相の各群においては、隣り合う（＋）、（−）の電極が１波長分の加振を担うように、それぞれ、π／６（ｒａｄ）の角度範囲の領域に設けられている。即ち、（＋）、（−）の各電極は、Ａ相、Ｂ相のそれぞれにおいて６次の曲げ振動の定在波（６波長を有する曲げ振動の定在波）を加振するパターンに形成されている。Ａ相、Ｂ相の各群には、時間位相差がπ／２（ｒａｄ）の交番電圧が印加される。これにより、振動体１には、Ａ相とＢ相の６時の曲げ振動の定在波が合成され、ロータ３を駆動するための６次の曲げ振動からなる進行性振動波である駆動振動波が励起される。   The piezoelectric element 2 has a ring shape, and is bonded to the vibrating body 1 so that one end face (back face) 2 b thereof faces the other end face (lower face) of the vibrating body 1. As shown in FIG. 3B, a common electrode 22 is formed on the back surface 2b of the piezoelectric element 2 so as to cover the entire surface. Further, as shown in FIG. 3A, a drive electrode 21 divided into a plurality of electrode regions is formed on the other end surface (surface) 2 a of the piezoelectric element 2. The drive electrode 21 is composed of two groups of A phase and B phase, and each electrode region is polarized to (+) and (−) polarities as shown in the figure. In each group of A-phase and B-phase, adjacent (+) and (-) electrodes are provided in a region of an angle range of π / 6 (rad) so as to perform excitation for one wavelength. ing. That is, the (+) and (-) electrodes are formed in a pattern for exciting a standing wave of sixth-order bending vibration (standing wave of bending vibration having six wavelengths) in each of the A phase and the B phase. Has been. An alternating voltage having a time phase difference of π / 2 (rad) is applied to each group of the A phase and the B phase. As a result, standing vibration waves of 6 o'clock bending vibrations of the A phase and the B phase are synthesized in the vibrating body 1, and driving vibrations that are progressive vibration waves composed of sixth-order bending vibrations for driving the rotor 3. Waves are excited.

上記振動体１に形成されている各溝１ａは、図４に示すように、リング状の振動体１の周方向に沿って、深さｔａが正弦波曲線に沿って変化するようにそれぞれ形成されている。溝１ａが形成されている部位１ｃのそれぞれの厚さｔｃは、進行性振動波の進行方向と直交する方向の厚さであるから、進行性振動波の進行方向に対して、正弦波曲線に沿って変化することになる。具体的には、振動体１の部位１ｃの厚さｔｃは、以下の式により表される。   As shown in FIG. 4, each groove 1 a formed in the vibrating body 1 is formed so that the depth ta changes along a sinusoidal curve along the circumferential direction of the ring-shaped vibrating body 1. Has been. Since each thickness tc of the portion 1c where the groove 1a is formed is a thickness in a direction orthogonal to the traveling direction of the progressive vibration wave, it has a sinusoidal curve with respect to the traveling direction of the progressive vibration wave. Will change along. Specifically, the thickness tc of the part 1c of the vibrating body 1 is expressed by the following equation.

ｔｃ＝ｔ０＋Δｔ・ｓｉｎ（２ｎθ）
ここで、ｔ０は厚さｔｃの最大値と最小値の中心となる厚さ、Δｔは厚さの変動振幅、ｎは曲げ振動波の次数、θは振動体１の外周上の位置を表す角度（ｒａｄ）である。 tc = t0 + Δt · sin (2nθ)
Here, t0 is the thickness that is the center of the maximum value and the minimum value of the thickness tc, Δt is the thickness fluctuation amplitude, n is the order of the bending vibration wave, and θ is the angle that represents the position on the outer periphery of the vibrating body 1. (Rad).

各部位１ｃの曲げ剛性Ｋは、厚さｔｃの３乗に比例するので、以下のように表すことができる。   Since the bending rigidity K of each part 1c is proportional to the cube of the thickness tc, it can be expressed as follows.

Ｋ∝（ｔ０＋Δｔ・ｓｉｎ（２ｎθ））３
また、線密度ρは、以下のように表すことができる。 K∝ (t0 + Δt · sin (2nθ)) 3
Further, the linear density ρ can be expressed as follows.

ρ∝ｔ０＋Δｔ・ｓｉｎ（２ｎθ）
また、各部位１ｃでの曲げ振動の固有振動数νは、以下のように表すことができる。 ρ∝t0 + Δt · sin (2nθ)
Further, the natural frequency ν of the bending vibration at each part 1c can be expressed as follows.

ν∝（Ｋ／ρ）０．５
ν∝ｔ０＋Δｔ・ｓｉｎ（２ｎθ）
即ち、振動体１の曲げ振動波に対する固有振動数νは、図５に示すように、各部位１ｃの厚さｔｃが振動体１の１周当り６周期分の１つの正弦波曲線に沿って変化するのと同様に、振動体１の１周当り６周期分の１つの正弦波曲線に沿って変化する。 ν∝ (K / ρ) 0.5
ν∝t0 + Δt · sin (2nθ)
That is, the natural frequency ν with respect to the bending vibration wave of the vibrating body 1 is such that the thickness tc of each portion 1c is along one sinusoidal curve for six cycles per round of the vibrating body 1, as shown in FIG. Similarly to the change, it changes along one sinusoidal curve for six cycles per round of the vibrating body 1.

上記固有振動数νの変化を、フーリエ変換により、振動体１の１周を１サイクルとする空間周波数を変数とする関数として表すと、図６に示すように、固有振動数νの変化が、６サイクル／周のみで発生していることがわかる。一方、３波長を有する３次の曲げ振動波は、振動体１の外周上の６箇所の位置で振動変位の極大値を示すから、発生する位置によって固有振動数の差が生じるため、進行性振動波として励起されない。即ち、不要振動波である３次の曲げ振動波は、発生し難くなる。   When the change of the natural frequency ν is expressed by a Fourier transform as a function having a spatial frequency of one cycle of the vibrating body 1 as a variable, as shown in FIG. It can be seen that it occurs only at 6 cycles / lap. On the other hand, since the third-order bending vibration wave having three wavelengths shows the maximum value of vibration displacement at six positions on the outer periphery of the vibrating body 1, a difference in natural frequency occurs depending on the position where the vibration occurs. Not excited as a vibration wave. That is, a third-order bending vibration wave that is an unnecessary vibration wave is difficult to be generated.

駆動振動波である６次の曲げ振動波は、振動体１の外周上の１２箇所の位置でその振動変位が極大値を示す。また、図６に示すように、振動体１の固有振動数νの変化は、６サイクル／周のみで発生し、その変化には、１２サイクル／周の空間周波数成分が含まれない。よって、６次の曲げ振動波は、振動体１の角度位置（外周上の位置）のそれぞれにおける固有振動数の変化の影響を受けない。そのため、６次の曲げ振動波を駆動振動波とする場合でも、不要振動波である３次の曲げ振動波の発生を低減することが可能である。   The sixth-order bending vibration wave, which is a driving vibration wave, has maximum vibration displacement at 12 positions on the outer periphery of the vibrating body 1. Further, as shown in FIG. 6, the change in the natural frequency ν of the vibrating body 1 occurs only in 6 cycles / circulation, and the change does not include a spatial frequency component of 12 cycles / circulation. Therefore, the sixth-order bending vibration wave is not affected by the change in the natural frequency at each angular position (position on the outer periphery) of the vibrating body 1. Therefore, even when the sixth-order bending vibration wave is used as the driving vibration wave, it is possible to reduce the generation of the third-order bending vibration wave that is an unnecessary vibration wave.

このように、振動体１の部位１ｃの厚さｔｃが１つの正弦波曲線に沿って変化するので、駆動振動波の次数と不要振動波の次数の関係に拘わらず、駆動振動波の発生に大きな影響を及ぼすことなく、不要振動波の発生を抑制することができる。また、振動波モータの設計自由度を大きくすることが可能となる。   As described above, since the thickness tc of the part 1c of the vibrating body 1 changes along one sinusoidal curve, the generation of the driving vibration wave is generated regardless of the relationship between the order of the driving vibration wave and the order of the unnecessary vibration wave. Generation of unnecessary vibration waves can be suppressed without significant influence. In addition, the design freedom of the vibration wave motor can be increased.

（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施の形態について図７〜図１２を参照しながら説明する。図７は本発明の第２の実施の形態に係る振動波駆動装置に設けられている振動体の展開図である。図８は本発明の第２の実施の形態における振動体の溝１ａが形成された部位１ｃの厚さｔｃの変化を示す図である。図９は本発明の第２の実施の形態における振動体の角度位置に対する固有振動数の変化を示す図である。図１０は本発明の第２の実施の形態における振動体の固有振動数の変化の大きさを空間周波数で示す図である。図１１は６周期分と８周期分の正弦波曲線を最大値または最小値同士の位置のいずれかが重なるように線形的に加算した場合の溝１ａが形成された部位１ｃの厚さｔｃの変化を示す図である。図１２は６周期分と８周期分の正弦波曲線を最大値または最小値同士の位置が重ならないように加算した場合と重なるように加算した場合の溝１ａが形成された部位１ｃの厚さｔｃの変化を示す図である。本実施の形態においては、上記第１の実施の形態と同一の符号を用いて説明を行う。 (Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 7 is a development view of a vibrating body provided in a vibration wave driving device according to the second embodiment of the present invention. FIG. 8 is a diagram showing a change in the thickness tc of the portion 1c where the groove 1a of the vibrating body is formed in the second embodiment of the present invention. FIG. 9 is a diagram showing a change in the natural frequency with respect to the angular position of the vibrating body in the second embodiment of the present invention. FIG. 10 is a diagram illustrating the magnitude of the change in the natural frequency of the vibrating body according to the second embodiment of the present invention in terms of spatial frequency. FIG. 11 shows the thickness tc of the portion 1c where the groove 1a is formed when the sinusoidal curves for 6 cycles and 8 cycles are linearly added so that either the maximum value or the minimum value position overlap each other. It is a figure which shows a change. FIG. 12 shows the thickness of the portion 1c in which the groove 1a is formed when the sinusoidal curves for 6 cycles and 8 cycles are added so that the positions of the maximum value or the minimum value do not overlap with each other. It is a figure which shows the change of tc. In the present embodiment, description will be made using the same reference numerals as those in the first embodiment.

本実施の形態は、不要振動波である３次および４次の曲げ振動波の発生を抑制するために、振動体１における溝１ａが形成された部位１ｃの厚さｔｃを、異なる周期（波長）の正弦波曲線を線形的に加算した曲線に沿って変化させる。この点で、本実施の形態は、上記第1の実施の形態と異なる。   In the present embodiment, in order to suppress the generation of third and fourth order bending vibration waves, which are unnecessary vibration waves, the thickness tc of the portion 1c in the vibrating body 1 where the groove 1a is formed is set to a different period (wavelength). ) Is changed along a linearly added curve. In this respect, the present embodiment is different from the first embodiment.

具体的には、図７に示すように、溝１ａが形成された部位１ｃは、その厚さｔｃが、振動体１の１周当り、６周期分の正弦波曲線と８周期分の正弦波曲線を線形的に加算した曲線に沿って変化するように形成される。ここで、６周期分の正弦波曲線と８周期分の正弦波曲線は、それぞれの最大値または最小値を示す位置が重ならないように、線形的に加算される。即ち、図８に示すように、溝１ａが形成された部位１ｃの厚さｔｃは、６周期分の正弦波曲線により規定される厚さと８周期分の正弦波曲線により規定される厚さを加算したものになる。   Specifically, as shown in FIG. 7, the portion 1 c where the groove 1 a is formed has a thickness tc of 6 cycles of sine wave curve and 8 cycles of sine wave per round of the vibrating body 1. It is formed so as to change along a curve obtained by linearly adding the curves. Here, the sine wave curve for 6 cycles and the sine wave curve for 8 cycles are linearly added so that the positions indicating the maximum value or the minimum value do not overlap each other. That is, as shown in FIG. 8, the thickness tc of the portion 1c where the groove 1a is formed has a thickness defined by a sine wave curve for six cycles and a thickness defined by a sine wave curve for eight cycles. It becomes the addition.

上記部位１ｃの厚さｔｃを異なる周期の正弦波曲線を線形的に加算した曲線に沿って変化させた場合の振動子１の固有振動数νは、振動体１の角度位置に対して、図９に示すように変化する。この固有振動数νの変化は、図１０に示すように、フーリエ変換により、振動体１の１周を１サイクルとする空間周波数の関数として表すことができる。図１０から、固有振動数νの変化は、部位１ｃの厚さｔｃを規定するための異なる周期の正弦波曲線のそれぞれに応じた空間周波数成分を有することが分かる。   The natural frequency ν of the vibrator 1 in the case where the thickness tc of the part 1c is changed along a curve obtained by linearly adding sinusoidal curves having different periods is shown in FIG. As shown in FIG. As shown in FIG. 10, this change in the natural frequency ν can be expressed as a function of the spatial frequency with one cycle of the vibrating body 1 as one cycle by Fourier transform. From FIG. 10, it can be seen that the change in the natural frequency ν has a spatial frequency component corresponding to each of sinusoidal curves having different periods for defining the thickness tc of the part 1c.

このように、厚さｔｃが異なる周期の正弦波曲線を線形的に加算した曲線に沿って変化する部位１ｃを形成することにより、不要振動波となる次数の曲げ振動波の発生を同時に抑制することができる。従って、不要振動波となる曲げ振動波の発生を同時に抑制するためには、加算すべき周期が異なる複数の正弦波曲線を選択すればよく、振動体１の設計を容易にすることができる。   In this way, by forming a portion 1c that varies along a curve obtained by linearly adding sinusoidal curves with different periods of thickness tc, generation of bending vibration waves of the order of unnecessary vibration waves is simultaneously suppressed. be able to. Therefore, in order to simultaneously suppress the generation of bending vibration waves that become unnecessary vibration waves, a plurality of sine wave curves having different periods to be added may be selected, and the design of the vibrator 1 can be facilitated.

ここで、図１１に示すように、異なる周期（６周期と８周期）の２つの正弦波曲線を、それぞれの最大値または最小値を示す位置のいずれかが重なるように線形的に加算する場合を想定する。ここで、図１２に示すように、異なる周期（６周期と８周期）の２つの正弦波曲線を最大値または最小値同士の位置が重ならないように線形的に加算した場合（図８の場合）の厚さｔｃの変化は、曲線Ｐ１により表わされる。また、上記２つの正弦波曲線を最大値または最小値同士の位置が重なるように線形的に加算した場合（図１１の場合）の厚さｔｃの変化は、曲線Ｐ２により表わされる。曲線Ｐ２は、曲線Ｐ１に対して、溝１ａが形成された部位１ｃの厚さｔｃの変化幅が大きくなることを示す。これは、固有振動数νの変化の幅が大きくなることを示す。この固有振動数νの変化の幅が局所的に大きくなるということは、駆動振動波である次数ｍの曲げ振動波の伝播速度および波長に与える影響が大きくなることを示す。   Here, as shown in FIG. 11, two sine wave curves having different periods (6 periods and 8 periods) are linearly added so that either of the positions indicating the maximum value or the minimum value overlaps each other. Is assumed. Here, as shown in FIG. 12, two sinusoidal curves having different periods (6 periods and 8 periods) are linearly added so that the positions of the maximum value or the minimum value do not overlap (in the case of FIG. 8). ) In thickness tc is represented by curve P1. Further, a change in the thickness tc when the two sine wave curves are linearly added so that the positions of the maximum value or the minimum value overlap each other (in the case of FIG. 11) is represented by a curve P2. A curve P2 indicates that the change width of the thickness tc of the portion 1c where the groove 1a is formed is larger than the curve P1. This indicates that the range of change of the natural frequency ν is increased. The fact that the width of the change of the natural frequency ν is locally increased indicates that the influence on the propagation speed and wavelength of the bending vibration wave of the order m, which is the driving vibration wave, is increased.

従って、本実施の形態のように、異なる周期（６周期と８周期）の正弦波曲線を最大値または最小値同士の位置が重ならないように線形的に加算することが、より望ましい。この構成により、駆動振動波となる曲げ振動波の励起に対する悪影響を少なくすることが可能になる。   Therefore, it is more desirable to linearly add sinusoidal curves having different periods (6 periods and 8 periods) so that the positions of the maximum values or the minimum values do not overlap as in the present embodiment. With this configuration, it is possible to reduce an adverse effect on excitation of a bending vibration wave serving as a driving vibration wave.

（第３の実施の形態）
次に、本発明の第３の実施の形態について図１３〜図１５を参照しながら説明する。図１３は本発明の第３の実施の形態に係る振動波駆動装置に設けられている振動体の展開図である。図１４は本発明の第３の実施の形態における振動体の角度位置に対する固有振動数の変化を示す図である。図１５は図１４の固有振動数の変化の大きさを空間周波数で示す図である。本実施の形態においては、上記第１の実施の形態と同一の符号を用いて説明を行う。 (Third embodiment)
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 13 is a development view of a vibrating body provided in a vibration wave driving device according to the third embodiment of the present invention. FIG. 14 is a diagram showing a change in the natural frequency with respect to the angular position of the vibrating body in the third embodiment of the present invention. FIG. 15 is a diagram showing the magnitude of the change in the natural frequency in FIG. In the present embodiment, description will be made using the same reference numerals as those in the first embodiment.

本実施の形態では、振動体１が、７次の曲げ振動からなる駆動振動波を励起するものとする。本実施の形態は、固有振動数νの変化が駆動振動の次数の２倍の空間周波数成分のみを含まないように、溝１ａが形成された部位１ｃの厚さｔｃを変化させる点で、上記第１および第２の実施の形態と異なる。   In the present embodiment, it is assumed that the vibrating body 1 excites a driving vibration wave composed of seventh-order bending vibration. In the present embodiment, the thickness tc of the portion 1c where the groove 1a is formed is changed so that the change of the natural frequency ν does not include only the spatial frequency component twice the order of the drive vibration. Different from the first and second embodiments.

具体的には、図１３に示すように、振動体１は、溝１ａが形成された部位１ｃの厚さｔｃが、対応する次数の倍の周期を有する複数の正弦波曲線を線形的に加算した曲線に沿って変化するように構成されている。ここで、上記曲線は、振動体１の単位波長当たりの固有振動数νの変化が、駆動振動波の次数の２倍の空間周波数成分を含まず、かつ溝１ａの数の半数以下の偶数の空間周波数成分を含むように規定される。   Specifically, as shown in FIG. 13, the vibrating body 1 linearly adds a plurality of sinusoidal curves in which the thickness tc of the portion 1 c where the groove 1 a is formed has a cycle that is double the corresponding order. Configured to change along the curved line. Here, the above curve shows that the change in the natural frequency ν per unit wavelength of the vibrating body 1 does not include a spatial frequency component twice the order of the driving vibration wave and is an even number less than half the number of the grooves 1a. It is defined to include a spatial frequency component.

このように構成することによって、振動体１の周方向における単位波長当たりの固有振動数の変化は、図１５に示すように、駆動次数の２倍の空間周波数成分を含まない変化になる。その結果、駆動振動波となる曲げ振動波の次数以外の全ての次数の曲げ振動波の自励発振を防止することが可能である。   With this configuration, the change in the natural frequency per unit wavelength in the circumferential direction of the vibrator 1 is a change that does not include a spatial frequency component that is twice the drive order, as shown in FIG. As a result, it is possible to prevent self-excited oscillation of bending vibration waves of all orders other than the order of bending vibration waves that become drive vibration waves.

（第４の実施の形態）
次に、本発明の第４の実施の形態について図１６および図１７を参照しながら説明する。図１６は本発明の第４の実施の形態に係る振動波駆動装置の主要部構成を示す縦断面図である。図１７は図１６の振動体の側面図である。 (Fourth embodiment)
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 16 is a longitudinal sectional view showing the configuration of the main part of a vibration wave driving device according to the fourth embodiment of the present invention. FIG. 17 is a side view of the vibrating body of FIG.

上記第１〜第３の実施の形態は、振動体１に複数の溝１ａを形成し、それぞれの溝１ａの厚さｔａを１または複数の正弦波曲線により規定される曲線に沿って変えることにより、溝１ａがそれぞれされた部位１ｃの厚さｔｃを変化させる構成を採用している。   In the first to third embodiments, a plurality of grooves 1a are formed in the vibrator 1, and the thickness ta of each groove 1a is changed along a curve defined by one or a plurality of sinusoidal curves. Thus, a configuration is adopted in which the thickness tc of the portion 1c where the groove 1a is formed is changed.

これに対し、本実施の形態は、図１６に示すように、リング状に形成された弾性部材からなる基部３１とリング状に形成された突起部３２を接合した振動体１を用いる。   On the other hand, as shown in FIG. 16, this embodiment uses a vibrating body 1 in which a base portion 31 made of an elastic member formed in a ring shape and a projection portion 32 formed in a ring shape are joined.

基部３１は、図１７に示すように、端面３１ａおよび端面３１ｂを有する。端面３１ａは、１または複数の正弦波曲線により規定される曲線に沿う曲面に仕上げられている。これにより、基部３１の軸方向の厚さは、基部３１の周方向に対して、１または複数の正弦波曲線により規定される曲線に沿って変化する。端面３１ｂは、平面に仕上げられており、端面３１ｂには、圧電素子２が接着されている。   As shown in FIG. 17, the base 31 has an end surface 31a and an end surface 31b. The end surface 31a is finished into a curved surface along a curve defined by one or a plurality of sinusoidal curves. Thereby, the axial thickness of the base portion 31 changes along a curve defined by one or more sinusoidal curves with respect to the circumferential direction of the base portion 31. The end surface 31b is finished to be a flat surface, and the piezoelectric element 2 is bonded to the end surface 31b.

振動体１の基部３１を製作する方法としては、粉体焼結、ＭＩＭなどによる型成形、リング形状部材の一方の端面をプレスによって対応する曲面に加工した後、裏面を平面研削するような塑性加工による方法がある。   As a method of manufacturing the base 31 of the vibrating body 1, plasticity such as powder sintering, molding by MIM, or the like, one end surface of a ring-shaped member is processed into a corresponding curved surface by pressing, and then the back surface is surface ground. There is a method by processing.

突起部３２は、薄板の絞り加工によって、コ字状の断面形状を有するリング状に形成されたものである。突起部３２には、複数の溝３２ａが設けられており、各溝３２ａの厚さ（深さ）は、同じ厚さｔｄである。突起部３２の溝間には、それぞれ、移動子（ロータ）と加圧接触される複数の突起３２ｂが形成される。突起部３２は、その開口部が基部３１の端面３１ａ側から嵌め込まれ、基部３１と固着されている。   The protrusion 32 is formed into a ring shape having a U-shaped cross-sectional shape by drawing a thin plate. The protrusion 32 is provided with a plurality of grooves 32a, and the thickness (depth) of each groove 32a is the same thickness td. A plurality of protrusions 32b are formed between the grooves of the protrusions 32 so as to be in pressure contact with the mover (rotor). The opening of the protrusion 32 is fitted from the end surface 31 a side of the base 31 and is fixed to the base 31.

ここで、基部３１の軸方向の厚さが例えば第１の実施の形態と同様に、基部３１の周方向に対して、６周期分の１つの正弦波曲線に沿って変化するとする。この場合、基部３１（振動体１）の固有振動数νの変化は、６サイクル／周の空間周波数成分のみで発生する。よって、上記第１の実施の形態と同様に、３波長を有する３次の曲げ振動波は、振動体１の外周上の６箇所の位置で振動変位の極大値を示すから、発生する位置によって固有振動数の差が生ずるため、進行性振動波として励起されない。即ち、不要振動波である３次の曲げ振動波は、発生し難くなる。   Here, it is assumed that the thickness of the base portion 31 in the axial direction changes along one sine wave curve for six cycles with respect to the circumferential direction of the base portion 31, for example, as in the first embodiment. In this case, the change in the natural frequency ν of the base 31 (vibrating body 1) occurs only with the spatial frequency component of 6 cycles / circumference. Therefore, as in the first embodiment, the third-order bending vibration wave having three wavelengths shows the maximum value of the vibration displacement at the six positions on the outer periphery of the vibrating body 1. Due to the difference in natural frequency, it is not excited as a progressive vibration wave. That is, a third-order bending vibration wave that is an unnecessary vibration wave is difficult to be generated.

また、固有振動数νの変化は、６サイクル／周のみで発生し、その変化には、１２サイクル／周の空間周波数成分が含まれない。よって、６次の曲げ振動波は、振動体１の角度位置（外周上の位置）のそれぞれにおける固有振動数の変化の影響を受けない。そのため、６次の曲げ振動波を駆動振動波とする場合でも、不要振動波である３次の曲げ振動波の発生を抑制することが可能である。   Further, the change in the natural frequency ν occurs only at 6 cycles / circulation, and the change does not include a spatial frequency component of 12 cycles / circulation. Therefore, the sixth-order bending vibration wave is not affected by the change in the natural frequency at each angular position (position on the outer periphery) of the vibrating body 1. Therefore, even when the sixth-order bending vibration wave is used as the driving vibration wave, it is possible to suppress the generation of the third-order bending vibration wave that is an unnecessary vibration wave.

また、基部３１の軸方向の厚さを上記第２または第３の実施の形態のように変化させるようにしてもよい。この場合も、上記第２または第３の実施の形態と同様の効果が得られる。   Further, the axial thickness of the base 31 may be changed as in the second or third embodiment. Also in this case, the same effect as the second or third embodiment can be obtained.

上記第１〜第３の実施の形態においては、リング形状の振動体が用いられているが、これに代えて、円板形状の振動体を用いることも可能である。この場合の振動体は、一方の面に移動子（ロータ）と接触するリング状の突起部が形成されている円板状部材からなる。この突起部は、例えば上記第１の実施の形態と同様に構成される（図２参照）。即ち、突起部には、周方向に沿って配列されている複数の溝が形成されており、溝が形成されている部位のそれぞれの厚さが１または複数の正弦波曲線により規定される曲線に沿って変化する。   In the first to third embodiments, a ring-shaped vibrating body is used. However, instead of this, a disk-shaped vibrating body can be used. The vibrating body in this case is made of a disk-like member having a ring-shaped protrusion that is in contact with the moving element (rotor) on one surface. This protrusion is configured, for example, in the same manner as in the first embodiment (see FIG. 2). That is, the protrusion is formed with a plurality of grooves arranged along the circumferential direction, and the thicknesses of the portions where the grooves are formed are defined by one or more sinusoidal curves. Varies along.

また、上記第１〜第４の実施の形態においては、振動波駆動装置として、レンズ鏡筒に用いられる振動波モータを説明したが、この振動波モータをレンズ鏡筒以外の他の装置または機器の駆動源として適用可能なことはいうまでもない。   In the first to fourth embodiments, the vibration wave motor used in the lens barrel has been described as the vibration wave driving device. However, the vibration wave motor is not a lens barrel but is a device or device other than the lens barrel. Needless to say, the present invention can be applied as a drive source for the above.

本発明の第１の実施形態に係る振動波駆動装置がオートフォーカス用駆動モータとして用いられているレンズ鏡筒の主要部の構成を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the structure of the principal part of the lens barrel in which the vibration wave drive device which concerns on the 1st Embodiment of this invention is used as a drive motor for autofocus. 図１の振動波駆動装置の主要部の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the principal part of the vibration wave drive device of FIG. 図２の圧電素子２の表、裏面のそれぞれに形成されている電極を示す図である。It is a figure which shows the electrode currently formed in each of the surface of the piezoelectric element 2 of FIG. 2, and a back surface. 図２の振動体１に形成されている複数の溝の配置を示す展開図である。FIG. 3 is a development view showing an arrangement of a plurality of grooves formed in the vibrator 1 of FIG. 2. 図２の振動体１の固有振動数の分布を示す図である。It is a figure which shows distribution of the natural frequency of the vibrating body 1 of FIG. 図１の振動体１の空間周波数に対する固有振動数νの変動の大きさを示す図である。It is a figure which shows the magnitude | size of the fluctuation | variation of the natural frequency (nu) with respect to the spatial frequency of the vibrating body 1 of FIG. 本発明の第２の実施の形態に係る振動波駆動装置に設けられている振動体の展開図である。It is an expanded view of the vibrating body provided in the vibration wave drive device which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第２の実施の形態における振動体の溝１ａが形成された部位１ｃの厚さｔｃの変化を示す図である。It is a figure which shows the change of thickness tc of the site | part 1c in which the groove | channel 1a of the vibrating body in the 2nd Embodiment of this invention was formed. 本発明の第２の実施の形態における振動体の角度位置に対する固有振動数の変化状態を示す図である。It is a figure which shows the change state of the natural frequency with respect to the angular position of the vibrating body in the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第２の実施の形態における空間周波数で固有振動数の変化の大きさを示す図である。It is a figure which shows the magnitude | size of a change of the natural frequency in the spatial frequency in the 2nd Embodiment of this invention. ６周期分と８周期分の正弦波曲線を最大値または最小値同士の位置のいずれかが重なるように線形的に加算した場合の溝１ａが形成された部位１ｃの厚さｔｃの変化を示す図である。A change in the thickness tc of the portion 1c in which the groove 1a is formed when the sinusoidal curves for 6 cycles and 8 cycles are linearly added so that either the maximum value or the minimum value position overlap each other is shown. FIG. ６周期分と８周期分の正弦波曲線を最大値または最小値同士の位置が重ならないように加算した場合と重なるように加算した場合の溝１ａが形成された部位１ｃの厚さｔｃの変化を示す図である。Changes in the thickness tc of the portion 1c where the groove 1a is formed when the sine wave curves for 6 cycles and 8 cycles are added so as to overlap with each other so that the positions of the maximum value or the minimum value do not overlap. FIG. 本発明の第３の実施の形態に係る振動波駆動装置に設けられている振動体の展開図である。It is an expanded view of the vibrating body provided in the vibration wave drive device which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第３の実施の形態における振動体の角度位置に対する固有振動数の変動状態を示す図である。It is a figure which shows the fluctuation state of the natural frequency with respect to the angular position of the vibrating body in the 3rd Embodiment of this invention. 空間周波数に対する固有振動数の変動の大きさを示す図である。It is a figure which shows the magnitude | size of the fluctuation | variation of the natural frequency with respect to a spatial frequency. 本発明の第４の実施の形態に係る振動波駆動装置の主要部構成を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the principal part structure of the vibration wave drive device which concerns on the 4th Embodiment of this invention. 図１６の振動体の側面図である。It is a side view of the vibrating body of FIG. 従来の振動波モータの主要部の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the principal part of the conventional vibration wave motor. 図１８の振動体の角度位置に対する固有振動数の変化を示す図である。It is a figure which shows the change of the natural frequency with respect to the angular position of the vibrating body of FIG. 図１９の固有振動数の変化を、振動体の周長を単位長さとした空間周波数で表した図である。It is the figure which represented the change of the natural frequency of FIG. 19 with the spatial frequency which made the perimeter of the vibrating body the unit length.

符号の説明Explanation of symbols

１ 振動体
１ａ，３２ａ 溝
１ｂ，３２ｂ 突起
１ｃ 部位
２ 圧電素子
３ ロータ（移動子）
３１ 基部
３１ａ，３１ｂ 端面
Ｍ 振動波モータ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vibrator 1a, 32a Groove 1b, 32b Protrusion 1c Part 2 Piezoelectric element 3 Rotor (moving element)
31 Base 31a, 31b End face M Vibration wave motor

Claims (11)

振動体および前記振動体に予め設定された次数の曲げ振動波を駆動振動波として励起させる電気機械エネルギ変換素子を有する振動子と、
前記振動子の前記振動体に接触し、前記振動体に励起された駆動振動波によって駆動される移動子とを備え、
前記振動体は、曲げ振動が生じる部位と、前記曲げ振動が生じる部位から突出し、前記移動子と接触する複数の突起部と、を有し、
前記複数の突起部の間には複数の溝が設けられ、
前記振動体は、前記曲げ振動が生じる部位の、前記振動体の軸方向において複数の溝と重なる部分同士の、前記振動体の軸方向における厚さが、前記駆動振動波の進行方向に対して、少なくとも１つの正弦波により規定される曲線に沿って変化するように構成され、
前記複数の突起部は、前記複数の突起部が前記移動子と接触可能なように、前記振動体の軸方向において、前記曲線に応じた高さを有することを特徴とする振動波駆動装置。 A vibrator including an oscillating body and an electromechanical energy conversion element that excites a bending oscillating wave of a predetermined order in the oscillating body as a driving oscillating wave;
A moving element that contacts the vibrating body of the vibrator and is driven by a driving vibration wave excited by the vibrating body;
The vibrator has a site where bending vibration occurs, protrudes from the site where the bending vibration occurs, and a plurality of projections in contact with the moving element, and
A plurality of grooves are provided between the plurality of protrusions,
In the vibrating body, the thickness of the portion where the bending vibration occurs in the axial direction of the portion of the vibrating body that overlaps the plurality of grooves in the axial direction of the vibrating body is relative to the traveling direction of the driving vibration wave. , Configured to vary along a curve defined by at least one sine wave;
The plurality of protrusions have a height corresponding to the curve in the axial direction of the vibrating body so that the plurality of protrusions can come into contact with the moving element. 前記振動体は、リング状部材からなり、前記曲げ振動が生じる部位のそれぞれの厚さが前記駆動振動波の進行方向に対して、前記少なくとも１つの正弦波により規定される曲線に沿って変化するように、前記複数の溝の深さに変化をつけていることを特徴とする請求項１に記載の振動波駆動装置。 The vibrating body is made of a ring-shaped member, for each of the thickness before Symbol bending point which vibration occurs traveling direction of the driving vibration wave along a curve defined by the at least one sinusoidal variation The vibration wave driving device according to claim 1, wherein the depth of the plurality of grooves is changed. 前記振動体は、一方の面にリング状に複数の突起部が形成されている円板状部材からなり、前記曲げ振動が生じる部位のそれぞれの厚さが前記駆動振動波の進行方向に対して、前記少なくとも１つの正弦波により規定される曲線に沿って変化するように、前記複数の溝の深さに変化をつけていることを特徴とする請求項１に記載の振動波駆動装置。 The vibrating body, to one made disc-shaped member having a plurality of protrusions are formed in a ring shape on the face, before Symbol bending the traveling direction of the thickness of each of the sites that vibration occurs the drive vibration wave The vibration wave driving device according to claim 1, wherein the depth of the plurality of grooves is changed so as to change along a curve defined by the at least one sine wave. 振動体および前記振動体に予め設定された次数の曲げ振動波を駆動振動波として励起させる電気機械エネルギ変換素子を有する振動子と、
前記振動子の前記振動体に接触し、前記振動体に励起された駆動振動波によって駆動される移動子とを備え、
前記振動体は、前記電気機械エネルギ変換素子により予め設定された次数の曲げ振動が駆動振動波として励起される基部と、前記移動子と接触するように前記基部に固着されている突起部とを有し、前記振動体の軸方向における前記基部の厚さが前記駆動振動波の進行方向に対して、少なくとも１つの正弦波により規定される曲線に沿って変化することを特徴とする振動波駆動装置。 A vibrator including an oscillating body and an electromechanical energy conversion element that excites a bending oscillating wave of a predetermined order in the oscillating body as a driving oscillating wave;
A moving element that contacts the vibrating body of the vibrator and is driven by a driving vibration wave excited by the vibrating body;
The vibrating body includes a base portion in which bending vibration of a predetermined order by the electromechanical energy conversion element is excited as a driving vibration wave, and a protrusion portion fixed to the base portion so as to contact the moving element. A vibration wave drive characterized in that the thickness of the base portion in the axial direction of the vibrating body changes along a curve defined by at least one sine wave with respect to the traveling direction of the drive vibration wave apparatus. 前記少なくとも１つの正弦波により規定される曲線は、波長が異なる複数の正弦波を線形的に加算した曲線であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の振動波駆動装置。   5. The vibration wave drive according to claim 1, wherein the curve defined by the at least one sine wave is a curve obtained by linearly adding a plurality of sine waves having different wavelengths. apparatus. 前記波長が異なる複数の正弦波は、最大値および最小値同士が一致しないように線形的に加算されることを特徴とする請求項５に記載の振動波駆動装置。   6. The vibration wave driving device according to claim 5, wherein the plurality of sine waves having different wavelengths are linearly added so that the maximum value and the minimum value do not coincide with each other. 前記駆動振動波の進行方向に対する、前記曲げ振動が生じる部位の前記振動体の軸方向における厚さの変化は、前記曲げ振動波の前記予め設定された次数の２倍の空間周波数成分を含まない変化であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動波駆動装置。 The change in the thickness in the axial direction of the vibrating body where the bending vibration occurs with respect to the traveling direction of the driving vibration wave does not include a spatial frequency component that is twice the preset order of the bending vibration wave. vibration wave driven apparatus according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the change. 前記曲げ振動が生じる部位の前記振動体の軸方向における厚さは、前記複数の突起部と前記振動体の軸方向において重なる部分から重ならない部分で、前記駆動振動波の進行方向に対して連続して、前記少なくとも１つの正弦波により規定される曲線に沿って変化していることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動波駆動装置。 Thickness in the axial direction of said vibrating body sites where the bending vibration occurs, in part not overlapping the overlap in the axial direction before Symbol plurality of projecting portions and the vibrating body, the traveling direction of the driving vibration wave continuously, the vibration wave driven apparatus according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the changes along the curve defined by at least one sine wave. 前記駆動振動波の進行方向に対する、前記基部の前記振動体の軸方向における厚さの変化は、前記曲げ振動波の前記予め設定された次数の２倍の空間周波数成分を含まない変化であることを特徴とする請求項４に記載の振動波駆動装置。 The change in the thickness of the base in the axial direction of the vibrating body with respect to the traveling direction of the driving vibration wave is a change that does not include a spatial frequency component that is twice the preset order of the bending vibration wave. The vibration wave driving device according to claim 4 . 前記基部の前記振動体の軸方向における厚さは、前記駆動振動波の進行方向に対して連続して、前記少なくとも１つの正弦波により規定される曲線に沿って変化していることを特徴とする請求項４に記載の振動波駆動装置。 The thickness of the base in the axial direction of the vibrating body varies continuously along the curve defined by the at least one sine wave in the traveling direction of the drive vibration wave. The vibration wave drive device according to claim 4 . 請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の振動波駆動装置を駆動源として用いることを特徴とする装置。   11. A device using the vibration wave driving device according to claim 1 as a driving source.
JP2007340855A 2007-12-28 2007-12-28 Vibration wave driving apparatus and apparatus using the same Active JP5322431B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007340855A JP5322431B2 (en) 2007-12-28 2007-12-28 Vibration wave driving apparatus and apparatus using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007340855A JP5322431B2 (en) 2007-12-28 2007-12-28 Vibration wave driving apparatus and apparatus using the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009165231A JP2009165231A (en) 2009-07-23
JP5322431B2 true JP5322431B2 (en) 2013-10-23

Family

ID=40967194

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007340855A Active JP5322431B2 (en) 2007-12-28 2007-12-28 Vibration wave driving apparatus and apparatus using the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5322431B2 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3174191A1 (en) 2015-11-27 2017-05-31 Canon Kabushiki Kaisha Ultrasonic motor with annular piezoelectric vibrator for optical apparatus
US10775681B2 (en) 2015-11-27 2020-09-15 Canon Kabushiki Kaisha Ultrasonic motor, drive control system, optical apparatus, and vibrator
US11258376B2 (en) 2017-11-06 2022-02-22 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave motor, drive control system, optical apparatus, and electronic apparatus

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10451833B2 (en) * 2015-11-27 2019-10-22 Canon Kabushiki Kaisha Ultrasonic motor, drive control system, optical apparatus, and vibrator
US10516091B2 (en) * 2015-11-27 2019-12-24 Canon Kabushiki Kaisha Ultrasonic motor, drive control system, optical apparatus, and vibrator
US11469689B2 (en) * 2018-06-08 2022-10-11 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave motor, drive control system, and optical apparatus

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2698414B2 (en) * 1989-02-17 1998-01-19 キヤノン株式会社 Vibration wave device
JP2698412B2 (en) * 1989-02-14 1998-01-19 キヤノン株式会社 Vibration wave device
JP2669916B2 (en) * 1990-02-02 1997-10-29 キヤノン株式会社 Vibration wave motor
JPH06335267A (en) * 1993-05-19 1994-12-02 Namiki Precision Jewel Co Ltd Piezoelectric motor
JPH07147787A (en) * 1994-07-22 1995-06-06 Nikon Corp Ultrasonic motor
JPH08228492A (en) * 1995-02-22 1996-09-03 Fukoku Co Ltd Ultrasonic motor
JPH11146674A (en) * 1997-11-12 1999-05-28 Asmo Co Ltd Stator of ultrasonic motor, and ultrasonic motor
JP2001298975A (en) * 2000-04-14 2001-10-26 Canon Inc Manufacturing method of elastic body and elastic body, and oscillatory wave-driving device using elastic body
JP2002142472A (en) * 2000-11-02 2002-05-17 Canon Inc Vibrator, vibration wave driver and apparatus having vibration wave driver
JP4085646B2 (en) * 2002-02-20 2008-05-14 株式会社ニコン Vibration wave motor and manufacturing method thereof

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3174191A1 (en) 2015-11-27 2017-05-31 Canon Kabushiki Kaisha Ultrasonic motor with annular piezoelectric vibrator for optical apparatus
US10536097B2 (en) 2015-11-27 2020-01-14 Canon Kabushiki Kaisha Ultrasonic motor, drive control system, optical apparatus, and vibrator
US10775681B2 (en) 2015-11-27 2020-09-15 Canon Kabushiki Kaisha Ultrasonic motor, drive control system, optical apparatus, and vibrator
US11258376B2 (en) 2017-11-06 2022-02-22 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave motor, drive control system, optical apparatus, and electronic apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009165231A (en) 2009-07-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5322431B2 (en) Vibration wave driving apparatus and apparatus using the same
JP5633508B2 (en) Piezoelectric actuator and lens barrel
JP2009278702A (en) Ultrasonic motor
JP4941469B2 (en) Vibration actuator, lens barrel, camera system, vibrator
KR100485882B1 (en) Vibration element and vibration wave driving apparatus
JP5218045B2 (en) Vibration actuator, lens barrel, camera system, and driving method of vibration actuator
US7034438B2 (en) Vibration type driving apparatus
JP5704892B2 (en) Vibration type driving device
EP1381092B1 (en) Vibration type drive unit
JP2009219281A (en) Piezoelectric actuator
JP2012124983A (en) Oscillatory wave motor, lens barrel and camera
JP2007166776A (en) Ultrasonic actuator and its driving method
JPH05300762A (en) Ultrasonic motor
US20190123664A1 (en) Vibration actuator and electronic device including the same
JP2003116289A (en) Oscillation wave driver
JP5541281B2 (en) Vibration actuator, lens barrel and camera
JP2672154B2 (en) Vibration wave drive
JPH03145974A (en) Vibration wave unit
JP2013179734A (en) Vibration actuator
JP2013162675A (en) Vibration wave motor, lens barrel and camera
JP2022133014A (en) Vibration type actuator and optical apparatus
JP2011166899A (en) Vibration wave motor, lens barrel, and camera
JP2012100482A (en) Vibration type drive device
JP5736647B2 (en) Vibration wave motor, lens barrel and camera
JP6012226B2 (en) Vibration wave driving device and driving circuit thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20101202

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120530

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120605

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120725

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20130115

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130411

A911 Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20130418

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130618

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130716

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5322431

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151