JP5319965B2 - 増幅型固体撮像素子および電子情報機器 - Google Patents
増幅型固体撮像素子および電子情報機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5319965B2 JP5319965B2 JP2008156028A JP2008156028A JP5319965B2 JP 5319965 B2 JP5319965 B2 JP 5319965B2 JP 2008156028 A JP2008156028 A JP 2008156028A JP 2008156028 A JP2008156028 A JP 2008156028A JP 5319965 B2 JP5319965 B2 JP 5319965B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- potential
- conductivity type
- type
- solid
- photoelectric conversion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Description
図1は、本発明の実施形態1に係るN型基板構成の増幅型固体撮像素子における画素部の要部レイアウト構成例を示す平面図である。図2は、図1の増幅型固体撮像素子の水平方向のX−X’線縦断面図であり、図3は、図1の増幅型固体撮像素子の垂直方向のY−Y’線縦断面図である。なお、この縦断面構成は、図2が垂直方向の縦断面であってもよいし、図3が水平方向の縦断面であってもよい。
上記実施形態1では、N型基板3と単位画素のNタイプの埋め込み型フォトダイオード1との間のP-ウエル4は完全に空乏化しており、転送トランジスタ5はディプリージョンタイプであり、転送トランジスタ5のオフ時のゲート5a下のポテンシャル電位が、上記P-ウエル4の空乏化ポテンシャル電位よりも深い場合について説明したが、本実施形態2では、転送トランジスタ5のオフ時のゲート5a下の後述するPウエル4Aが、N型基板3とNタイプの埋め込み型フォトダイオード1との間のP-ウエル4よりも浅く形成されている場合について説明する。
本実施形態3では、転送トランジスタ5のオフ時のゲート5a下のポテンシャル電位が、 空乏化低濃度P-ウエル4の空乏化ポテンシャル電位よりも深くなるように、N型基板3に印加する電位VDを、出荷時テスト工程時に製造毎に設定する場合について説明する。
VDmin :P−ウエルポテンシャルが0Vの時
VDmax :P−ウエルポテンシャルが、電荷転送トランジスタのゲート下の
ポテンシャルと同じ時
を表す。
(実施形態4)
図13は、本発明の実施形態4として、本発明の実施形態1〜3のいずれかの固体撮像素子を含む固体撮像装置を撮像部に用いた電子情報機器の概略構成例を示すブロック図である。
2 表面高濃度拡散層
3 N型基板
4 空乏化低濃度P-ウエル
4A P-ウエル
5 転送トランジスタ
5a ゲート
6 電荷蓄積部6(フローティングディフュージョンFD)
7 ドレイン領域
8 リセットトランジスタ
8a ゲート
9 表面酸化膜
10、10A、10B 固体撮像素子(増幅型固体撮像素子)
90 電子情報機器
91 固体撮像装置
92 メモリ部
93 表示手段
94 通信手段
95 画像出力装置
Claims (9)
- 光電変換を行う複数の単位画素部を2次元的に備えた固体撮像素子において、
該単位画素部の第1導電型光電変換素子と第1導電型基板との間に第2導電型ウエルが設けられており、該第2導電型ウエルは完全に空乏化されて、
該完全に空乏化された第2導電型ウエルのポテンシャル電位は、グランド電位よりも深く、該第1導電型光電変換素子のポテンシャル電位の谷部分に対して、少数キャリアが該第1導電型光電変換素子側かまたは該第1導電型基板側に移動可能とする山状の曲線になっており、
該第1導電型光電変換素子に隣接して、該第1導電型光電変換素子からの信号電荷を増幅のために電荷電圧変換部に電荷転送する電荷転送トランジスタが設けられ、該電荷転送トランジスタのオフ時のゲート下のポテンシャル電位は、該第2導電型ウエルの空乏化ポテンシャル電位よりも深く設定され、該電荷転送トランジスタはディプリージョンタイプのトランジスタである増幅型固体撮像素子。 - 前記第1導電型基板に一定の直流電位が印加されている請求項1に記載の増幅型固体撮像素子。
- 互いに隣り合う前記第1導電型光電変換素子間に、
該第1導電型光電変換素子の一方からの信号電荷を増幅して画素データとして読み出す読み出し回路が配置され、
該読み出し回路は、
前記電荷転送トランジスタにより前記電荷電圧変換部に電荷転送された信号電荷が電圧変換され、この変換電圧に応じて増幅トランジスタにより増幅された信号を前記画素部毎の撮像信号として信号線に読み出す請求項1に記載の増幅型固体撮像素子。 - 前記読み出し回路には、
前記電荷転送トランジスタにより前記電荷電圧変換部に信号電荷が電荷転送される前に、該電荷電圧変換部の電位を所定電位にリセットするリセットトランジスタが更に設けられている請求項3に記載の増幅型固体撮像素子。 - 前記電荷転送トランジスタのオフ時のゲート下のポテンシャル電位は、前記第2導電型ウエルの空乏化ポテンシャル電位よりも深くなるように、前記第1導電型基板に印加する電位が出荷時テスト工程時に設定されている請求項1に記載の増幅型固体撮像素子。
- 前記第1導電型基板に印加する電位の設定は、直列接続された複数の分割抵抗のそれぞれに並列に、フューズ素子またはスイッチ素子がそれぞれ接続さており、該フューズ素子または該スイッチ素子を開閉処理することによって行う請求項5に記載の増幅型固体撮像素子。
- 前記第1導電型基板はN型基板であり、前記第1導電型光電変換素子はN型光電変換素子であり、前記第2導電型ウエルはP型ウエルである請求項1に記載の増幅型固体撮像素子。
- 前記第1導電型光電変換素子は、
該第1導電型光電変換素子の表面側に設けられた第2導電型表面高濃度拡散層と、該第1導電型光電変換素子の第1導電型基板側に設けられた第2導電型ウエルとに囲まれた埋め込み型フォトダイオードで構成されている請求項1に記載の増幅型固体撮像素子。 - 請求項1〜8のいずれかに記載の増幅型固体撮像素子を画像入力デバイスとして撮像部に用いた電子情報機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008156028A JP5319965B2 (ja) | 2008-06-13 | 2008-06-13 | 増幅型固体撮像素子および電子情報機器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008156028A JP5319965B2 (ja) | 2008-06-13 | 2008-06-13 | 増幅型固体撮像素子および電子情報機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009302349A JP2009302349A (ja) | 2009-12-24 |
JP5319965B2 true JP5319965B2 (ja) | 2013-10-16 |
Family
ID=41548934
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008156028A Expired - Fee Related JP5319965B2 (ja) | 2008-06-13 | 2008-06-13 | 増幅型固体撮像素子および電子情報機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5319965B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5706212B2 (ja) * | 2011-03-29 | 2015-04-22 | シャープ株式会社 | 固体撮像素子およびその製造方法、電子情報機器 |
JP5925713B2 (ja) | 2013-02-26 | 2016-05-25 | 株式会社東芝 | 固体撮像装置 |
CN107293559A (zh) * | 2016-04-05 | 2017-10-24 | 格科微电子(上海)有限公司 | Rgbir图像传感器 |
CN109659329A (zh) * | 2019-01-25 | 2019-04-19 | 上海晔芯电子科技有限公司 | 具有共享结构像素布局的图像传感器 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63254764A (ja) * | 1987-04-13 | 1988-10-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体撮像装置 |
JPH03217056A (ja) * | 1990-01-22 | 1991-09-24 | Sharp Corp | 固体撮像装置 |
JP3805097B2 (ja) * | 1998-03-04 | 2006-08-02 | 富士フイルムマイクロデバイス株式会社 | 固体撮像装置 |
JP2005006201A (ja) * | 2003-06-13 | 2005-01-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像装置 |
-
2008
- 2008-06-13 JP JP2008156028A patent/JP5319965B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009302349A (ja) | 2009-12-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101174053B1 (ko) | 고체 촬상 소자 및 전자 정보 기기 | |
US20240047504A1 (en) | Solid-state imaging device, drive method thereof and electronic apparatus | |
US20240056695A1 (en) | Solid-state imaging device, method of driving the same, and electronic apparatus | |
JP4859045B2 (ja) | 固体撮像素子および電子情報機器 | |
JP5149143B2 (ja) | 固体撮像素子およびその製造方法、電子情報機器 | |
CN110047856B (zh) | 固态成像元件和电子设备 | |
US8946794B2 (en) | Image sensor | |
US8120016B2 (en) | Imaging device | |
KR101475998B1 (ko) | 고체 촬상 소자 및 그 구동 방법, 고체 촬상 소자의 제조 방법, 및 전자 정보 디바이스 | |
CN107210311B (zh) | 固态成像器件和电子设备 | |
KR20080090295A (ko) | 고체 촬상 장치, 그 제조 방법, 및 전자 정보 기기 | |
JP2006261594A (ja) | 固体撮像装置及びカメラ | |
JP2011204992A (ja) | 固体撮像素子およびその製造方法、並びに電子機器 | |
JP2010073906A (ja) | 固体撮像素子および電子情報機器 | |
JP5319965B2 (ja) | 増幅型固体撮像素子および電子情報機器 | |
JP2011108824A (ja) | 固体撮像素子 | |
JP2012084748A (ja) | 固体撮像素子および電子情報機器 | |
JP2005167588A (ja) | 固体撮像素子の駆動方法、固体撮像装置 | |
JP2005311496A (ja) | 固体撮像装置 | |
JP2009182047A (ja) | 固体撮像素子および電子情報機器 | |
JP5706212B2 (ja) | 固体撮像素子およびその製造方法、電子情報機器 | |
JP2011222876A (ja) | 固体撮像素子および電子情報機器 | |
KR20010068534A (ko) | 씨.씨.디.형 반도체 촬영 장치 | |
KR20060077119A (ko) | 변환 이득의 비선형성을 개선할 수 있는 씨모스 이미지센서 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100826 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121011 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121026 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130423 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130515 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130621 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130712 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D04 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |