JP5301371B2

JP5301371B2 - ２軸回転型ポジショナ

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Publication number: JP5301371B2
Application number: JP2009153685A
Authority: JP
Inventors: 哲三石川
Original assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date: 2009-06-29
Filing date: 2009-06-29
Publication date: 2013-09-25
Anticipated expiration: 2029-06-29
Also published as: DE102010025484B4; CN101934459A; DE102010025484A1; JP2011005610A

Description

本発明は、２軸回転型ポジショナに関する。

特許文献１では、図７に示すような２軸回転型ポジショナ１を開示している。図８は、第２減速機１２の周辺を示している。

２軸回転型ポジショナ１は、ワークテーブル１３と、第１駆動源３と、第２駆動源８と、を備えている。第１駆動源３の回転を水平な第１回転軸Ａを有する第１回転部材（第１減速機７の出力部材）６から出力するとともに、第２駆動源８の回転をワークテーブル１３のテーブル面１３Ａと垂直な第２回転軸Ｂを有する第２回転部材（第２減速機１２の出力部材）１１から出力する。これにより、ワークテーブル１３が、第１、第２回転軸Ａ、Ｂ回りに２軸回転可能とされている。

ワークテーブル１３を第２回転軸Ｂ回りに回転させる第２駆動源８は、該第２回転軸Ｂに対して、平行に配置されている。第２駆動源８は、ワークテーブル１３の回転駆動力を提供するものであり、積載量、駆動トルク、回転速度、減速比等の２軸回転型ポジショナ１の基本性能を決定する重要な役割を果たす。即ち、第２駆動源８の高容量化は、２軸回転型ポジショナ１の高性能化と表裏一体の関係にある。

特開２００８−１４９３３４号公報（請求項１、段落［０００８］、［００３５］、［００３６］図５）

ところで、一般にモータの形状は、半径方向よりも軸方向に長くなっている。このため、第２駆動源８が第２回転軸Ｂと平行に配置されていると、第２駆動源８の出力トルクを大きくしようとした場合、必然的にこの第２駆動源８が特に軸方向により長く（大きく）なり、ワークテーブル１３の反テーブル面側の軸方向のデッドスペースが大きくなるという問題がある。また、ワークテーブル１３周辺の軸方向の大きさが非常に大きくなるため、ワークテーブル１３が第１回転軸Ａの回りで旋回すると、第２駆動源８の周辺部材が産業用ロボット等の親機器や周辺の部材に衝突する恐れも生じる。

上記特許文献１では、それ故に、第２駆動源８を第２減速機１２の半径方向外側に配置してこの不具合を回避していたが、結果として第２減速機１２付近のワークテーブル半径方向の大きさＲ１が大きくなってしまうだけでなく、第２駆動源８を更に大きくしようとした場合には、軸方向長Ｌ１もそれに伴って増大せざるを得ない構造であった。

本発明は、特にワークテーブル周辺の該ワークテーブル軸方向の大きさを大きくすることなく（抑制しながら）特にワークテーブルの回転駆動能力を高める（第２駆動源の選択の自由度を高める）ことができる２軸回転型ポジショナを得ることを課題とする。

本発明は、ワークテーブルと、第１駆動源と、第２駆動源と、を備えており、前記第１駆動源の回転を水平な第１回転軸を有する第１回転部材から出力するとともに、前記第２駆動源の回転を前記ワークテーブルのテーブル面と垂直な第２回転軸を有する第２回転部材から出力し、前記ワークテーブルが、前記第１回転部材及び第２回転部材に連結されていることにより、前記第１回転軸と平行な軸回り及び第２回転軸回りに２軸回転可能とされた２軸回転型ポジショナにおいて、前記第２駆動源の軸が、前記第２回転軸に対して直交し、前記第２駆動源の軸に連結された第１直交歯車と、該第１直交歯車と噛合う第２直交歯車と、該第２直交歯車に伝達された回転を減速して前記第２回転部材から出力する第２減速機と、を有し、前記第２減速機は、内歯歯車と、該内歯歯車に内接噛合する外歯歯車と、該外歯歯車を揺動させるクランク軸と、を有し、前記第１直交歯車と第２直交歯車の噛合い部が、前記第２回転部材の径方向において、前記内歯歯車よりも内側に位置する構成とすることにより、上記課題を解決した。

本発明では、第２駆動源の軸が、２軸回転型ポジショナの第２回転軸に対して直交する構成としている。これにより、半径方向に短い第２駆動源の軸がワークテーブルのテーブル面に対して平行になるため、ワークテーブル軸方向の長さがコンパクトになり、２軸回転型ポジショナの第２回転軸方向の小型化を図ることができる。

即ち、本発明は、一般に軸方向の長さよりも半径方向の長さが短いモータの形状を最大限に活かすとともに、ワークテーブルの３次元的な動作範囲に配慮し、第２駆動源を第２回転軸に対して直交させることにより、ワークテーブルの下側のデッドスペースをできる限り低減するとともに、２軸回転型ポジショナの特に第２回転軸方向の小型化の設計を容易にすることができ、逆に第２駆動源の大容量化も（ワークテーブル軸方向の大きさを大きくすることなく）容易に実現できる。

なお、本発明において、「第１回転軸と平行な軸回り」とは、文字通り第１回転軸と平行な軸の回りだけでなく、第１回転軸そのもの（第１回転軸と同軸）の軸回りの概念を含むものとする。

本発明によれば、特にワークテーブル周辺の該ワークテーブル軸方向の大きさを大きくすることなく（抑制しながら）特にワークテーブルの回転駆動能力を高める（第２駆動源の選択の自由度を高める）ことができる２軸回転型ポジショナを得ることができる。

本発明の実施形態の一例にかかる２軸回転型ポジショナの縦断面図図１におけるII矢示図図１におけるIII矢示図図１におけるIV−IV矢示断面図本発明の実施形態の一例にかかる２軸回転型ポジショナを有する産業用ロボットの概略正面図本発明の実施形態の一例にかかる２軸回転型ポジショナを有する産業用ロボットの概略側面図従来の２軸回転型ポジショナの縦断面図従来の２軸回転型ポジショナにおける第２減速機の縦断面図

まず、２軸回転型ポジショナＰ１の用途を明確にするため、便宜上、産業用ロボットＲ１について説明する。図５に産業用ロボットＲ１の概略正面図を示し、図６に産業用ロボットＲ１の概略側面図を示す。

この産業用ロボットＲ１は、床面１９上に基台２０を有し、この基台２０から第１〜第６関節部２１〜２６と第１〜第６アーム２８〜３３が交互に連結されている。各関節部２１〜２６には、駆動モータ、減速機（共に図示略）が取り付けられている。この駆動モータ、減速機から動力を受けて、第１〜第６アーム２８〜３３は回転することができる。第１〜第６アーム２８〜３３は、第１〜第６関節部２１〜２６の軸心を中心として回転する。

第６アーム３３の先端には、駆動制御される溶接手段、把持手段、塗装手段等のツールが取付けられている。

以上の構成から、ツールを取付ける第６アーム３３は６個の自由度を持ち、溶接手段等を３次元方向に自由に移動させ、任意の位置、姿勢で位置決めをすることができる。

２軸回転型ポジショナＰ１も、産業用ロボットＲ１と同一の床面１９上に設置されている。

ここで、本発明の実施形態の一例にかかる２軸回転型ポジショナＰ１の構造について説明する。

図１に２軸回転型ポジショナＰ１の縦断面図を示す。また、図２に図１におけるII矢示部の拡大図、図３に図１におけるIII矢示部の拡大図、図４に図１におけるIV−IV矢示部の拡大図を示す。

２軸回転型ポジショナＰ１は、ワークテーブル１００と、第１駆動モータ（第１駆動源）１０２と、第２駆動モータ（第２駆動源）２０２と、を備えている。第１駆動モータ１０２の回転は、水平な回転軸（第１回転軸）Ｘを有する第１出力キャリヤ（第１回転部材）１５１から出力される。また、第２駆動モータ２０２の回転は、ワークテーブル１００のテーブル面１００Ａと垂直な回転軸（第２回転軸）Ｙを有する第２出力キャリヤ（第２回転部材）２５１から出力される。これにより、ワークテーブル１００は、第１出力キャリヤ１５１、第２出力キャリヤ２５１に連結されているため（詳細については後述）、回転軸Ｘ、Ｙ回りに２軸回転可能とされている。本実施形態において、ワークテーブル１００は回転軸Ｘ（回転軸Ｘと同軸）回りで回転する。

まず、第１減速機Ｇ１周辺の構造（ワークテーブル１００のテーブル面１００Ａを回転軸Ｘ回りに回転させるための構造）について説明する。

この２軸回転型ポジショナＰ１は、ワークテーブル１００の半径方向外側に断面長方形状の固定フレーム１０４を有する。この固定フレーム１０４内には、第１駆動モータ１０２、第１減速機Ｇ１が収納されている。第１駆動モータ１０２は、第１減速機Ｇ１の下側に収納されており、該第１駆動モータ１０２の第１モータ軸１２０は、回転軸Ｘと平行である。

第１モータ軸１２０の軸方向端部には第１プーリ１０３が固定されている。また、第１減速機Ｇ１の第１クランク軸１１２の軸方向端部には、第１プーリ１０３より大径である第２プーリ１０５が固定されている。この第１プーリ１０３と第２プーリ１０５との間にはタイミングベルト１８１が掛け渡されている。

なお、第１減速機Ｇ１の第１ケーシング１０６は、固定フレーム１０４にボルト１１６、１１７により固定されている。第１駆動モータ１０２の軸方向側面は図示せぬボルト（図示略）により固定フレーム１０４に固定されている。

第１減速機Ｇ１は、２枚の外歯歯車１２６、１２８と、該外歯歯車１２６、１２８が内接噛合する内歯歯車１３０と、を備える。外歯歯車１２６、１２８は、偏心揺動しながら内歯歯車１３０と内接噛合し、この内接噛合によって生じる外歯歯車１２６、１２８と該内歯歯車１３０との相対回転が前記第１出力キャリヤ（第１回転部材）１５１から取り出される。

より具体的には、第１減速機Ｇ１の第１クランク軸１１２は軸受１３２、１３４により、いわゆる両持ち支持されている。第１クランク軸１１２を支持している軸受１３２、１３４間には２つの偏心部１３６、１３８が形成されている。該偏心部１３６、１３８の外周には、ころ１４０、１４２を介して、外歯歯車１２６、１２８が組み込まれている。

内歯歯車１３０は、第１ケーシング１０６内周に一体的に形成されている。内歯歯車１３０の内歯は、ころ１３１によって構成されている。

外歯歯車１２６、１２８は、内歯歯車１３０よりも「１」だけ少ない歯数を有している。この外歯歯車１２６、１２８は、外歯歯車１２６、１２８を貫通する内ピン孔１４４を備えている。内ピン孔１４４には内ピン１４６が遊嵌している。内ピン１４６の外周には、摺動部品促進部材として内ローラ１４８が取り付けられている。この内ピン１４６は、第１連結キャリヤ１５０、第１出力キャリヤ１５１と連結されている。第１連結キャリヤ１５０と第１出力キャリヤ１５１は、内ピン１４６を介してボルト１５２とナット１６５とにより連結され、回転軸Ｘの回りで回転可能である。なお、第１出力キャリヤ１５１の回転軸Ｘは、ワークテーブル１００のテーブル面１００Ａと平行である。

以下、ワークテーブル１００を第１出力キャリヤ（第１回転部材）１５１の回転によって、回転軸Ｘの回りに回転させるための構造について説明する。

回転軸Ｘの軸線上において、ワークテーブル１００は、（連結部材である）第２支持部２１０を介して第１出力キャリヤ１５１と柱１０９の双方に回転可能に両持ち支持されている。

前記第２支持部２１０は、第２減速機Ｇ２を囲むようにドーナツ形状をしている。

第２支持部２１０の該ドーナツ形状の第１出力キャリヤ１５１側では、ワークテーブル１００が、第１出力キャリヤ１５１と、第１支持部１０７、第２支持部２１０、後述する第２ケーシング２０６、及び第２出力キャリヤ２５１を介して、連結されている。より具体的には、第１出力キャリヤ１５１は、ボルト１８７により第１支持部１０７と締結されている。この第１支持部１０７には第２支持部２１０の第１出力キャリヤ１５１側の外側が嵌め込まれている。また、第２支持部２１０の第１出力キャリヤ１５１側の内側（第２減速機Ｇ２側）はボルト２１６により第２減速機Ｇ２の第２ケーシング２０６に連結されている。

一方、第２支持部２１０の前記ドーナツ形状の柱１０９側では、ワークテーブル１００が、該柱１０９と、軸１１５、第２支持部２１０、後述する第２ケーシング２０６、及び第２出力キャリヤ２５１を介して、連結されている。より具体的には、柱１０９には、軸１１５が軸受１１１、１１３を介して挿入されている。第２支持部２１０の柱１０９側の外側は軸１１５に装着されており、柱１０９側の内側（第２減速機Ｇ２側）は、ボルト２１７により第２減速機Ｇ２の第２ケーシング２０６に連結されている。

以上の構成により、ワークテーブル１００は、第１回転部材である第１出力キャリヤ１５１の回転により、該第１出力キャリヤ１５１（第１支持部１０７）及び柱１０９（軸１１５）に両持ち支持される態様で回転軸Ｘの回りで回転可能である。

柱１０９には、ワークテーブル１００が回転軸Ｘ回りに回転する際に一緒に回転する第２駆動モータ２０２との衝突を回避するための凹部１１４が備えられている。

なお、符号１５６、１５８は第１ケーシング１０６と、第１連結キャリヤ１５０、第１出力キャリヤ１５１との間、符号１６０、１６２は第１クランク軸１１２と、第１連結キャリヤ１５０、第１出力キャリヤ１５１と、の間、にそれぞれ介装されたオイルシールである。符号１６６は第１連結キャリヤ１５０と第１ケーシング１０６の間、１６８は第１出力キャリヤ１５１と第１ケーシング１０６との間に配置されたころ軸受である。また、ボルト２１６、２１７は、同一円周上に組み込まれた同一形状のボルトである。

次に、第２減速機Ｇ２周辺の構造（ワークテーブル１００のテーブル面１００Ａを回転軸Ｙ回りに回転させるための構造）について詳述する。

ワークテーブル１００の反テーブル面側には、第２減速機Ｇ２、第２駆動源２０２が配置されている。

第２減速機Ｇ２は、前述した第１減速機Ｇ１とほぼ同様の構成の内接噛合型遊星歯車機構を用いた減速機である。このため、同一又は類似する機能を有する部材に第１減速機Ｇ１と下二桁が同一の符号を付すにとどめ、重複説明を省略する。

第２駆動モータ２０２の第２モータ軸（第２駆動源の軸）２２０には、ベベルピニオン２２２が固定されており、このベベルピニオン２２２はベベルギヤ２２４（傘歯歯車）と噛合している。ベベルピニオン２２２は、第２モータ軸２２０にキー２３３を介して固定されていると共に、第２モータ軸２２０の一端に抜け止め座金２６１を介してボルト２６３によって連結固定されている。また、ベベルギヤ２２４は、第２減速機Ｇ２の第２クランク軸２１２の一端に、ボルト２２３、２２５によって連結固定されている。第２減速機Ｇ２は、ベベルギヤ２２４の回転を、該第２モータ軸２２０と直交する回転軸Ｙを有する前記第２出力キャリヤ（第２回転部材）２５１から出力する。

即ち、第２モータ軸２２０は、回転軸Ｙに対して直交している。また、第２モータ軸２２０は、ワークテーブル１００のテーブル面１００Ａと平行であり、回転軸Ｘとも平行である。

ワークテーブル１００は、第２出力キャリヤ２５１に連結されているため、ワークテーブル１００は、回転軸Ｙの回りで回転可能となっている。

ここで、第２駆動モータ２０２のケーシング２０２Ａは、ほぼ円筒形状であり、該ケーシング２０２Ａの直径はＭｄ１である。第２モータ軸２２０を含む全長はＭＬ１である。Ｍｄ１は、ＭＬ１よりも小さい（Ｍｄ１＜ＭＬ１）。

第２ケーシング２０６とカバー２１４は、ボルト２１６により締結されている。このカバー２１４の側面には、第２駆動モータ２０２の軸方向側面が図示せぬボルトにより固定されている。

なお、ワークテーブル１００のテーブル面１００Ａ上にはワークが治具（ともに図示略）により固定される。このワークテーブル１００の半径方向中心部及び第２減速機Ｇ２の第２クランク軸２１２内部に挿入された筒２７１には、ほぼ同径の孔が開口されており、全体として、貫通穴２７０を形成している。

次に、２軸回転型ポジショナＰ１の作用について説明する。

まず、２軸回転型ポジショナＰ１の第１減速機Ｇ１周辺の作用について説明する。第１モータ軸１２０の回転は、第１プーリ１０３、タイミングベルト１８１、及び第２プーリ１０５により減速された後、第１クランク軸１１２に伝達される。第１減速機Ｇ１の内歯歯車１３０は、第１ケーシング１０６に固定されているため、第１駆動モータ１０２の回転により、第１クランク軸１１２が回転し、外歯歯車１２６、１２８が揺動すると、外歯歯車１２６、１２８と内歯歯車１３０との噛合位置が歯数差に依存して順次ずれる。この結果、外歯歯車１２６、１２８は、該内歯歯車１３０に対して相対回転する（第１クランク軸１１２の回転と逆方向に自転する）。この内歯歯車１３０に対する外歯歯車１２６、１２８の相対回転（自転）が内ピン１４６を介して第１出力キャリヤ１５１に伝達される。つまり、第１減速機Ｇ１は第１駆動モータ１０２の回転を減速して、回転軸Ｘ回りに回転する第１出力キャリヤ１５１から出力する。ワークテーブル１００のテーブル面１００Ａは、第１支持部１０７、第２支持部２１０、第２ケーシング２０６、及び第２出力キャリヤ２５１を介して、第１出力キャリヤ１５１の回転軸Ｘと平行に連結されているため、ワークテーブル１００は水平な回転軸Ｘ回りに回転する。

次に、第２減速機Ｇ２周辺の作用について説明する。

第２駆動モータ２０２の回転は、第２モータ軸２２０に固定されたベベルピニオン２２２、このベベルピニオン２２２と噛合しているベベルギヤ２２４（傘歯歯車）を介して、第２モータ軸２２０と直交している第２減速機Ｇ２の第２クランク軸２１２に伝達される。

第２クランク軸２１２に入力された回転は、前述した第１減速機Ｇ１と同様の作用により、第２減速機Ｇ２により減速され、回転軸Ｙを有する第２出力キャリヤ２５１から出力される。ワークテーブル１００には第２減速機Ｇ２により減速された回転が伝達されるので、ワークテーブル１００は第２出力キャリヤ２５１と同一の回転軸Ｙ回りにこれと共に回転する。

本実施形態では、第２駆動モータ２０２の第２モータ軸２２０を回転軸Ｙに対して直交させるとともに、回転軸Ｘに対して平行にする構成となっている。

つまり、第２駆動モータ２０２の軸心をワークテーブル１００のテーブル面１００Ａに対して平行に配置することにより、２軸回転型ポジショナＰ１の回転軸Ｙ方向（ワークテーブル軸方向）の長さをコンパクトにしている。

より具体的には、２軸回転型ポジショナＰ１の回転軸Ｙ方向の長さＤは、ワークテーブル１００の軸方向の厚さＤ１に第２減速機Ｇ２の軸方向の長さＤ２及び第２駆動モータ２０２のケーシング２０２Ａの直径Ｍｄ１を加算した程度の長さになる。

つまり、軸方向の長さＭＬ１よりも直径Ｍｄ１が短い第２駆動モータ２０２の形状特性を最大限に活かし、ワークテーブル１００の反テーブル面側の軸方向のデッドスペースをなくし、２軸回転型ポジショナＰ１のワークテーブル１００回りの軸方向の小型化を実現している。

本実施形態では、ワークテーブル軸方向の長さＤが第２駆動モータ２０２の軸方向の長さＭＬ１に依存せず、長さＭＬ１に比べてもともと絶対値が小さい直径Ｍｄ１にしか依存しないので、２軸回転型ポジショナＰ１の回転軸Ｙ方向の小型化を図ることができる。

また、第２駆動モータ２０２の第２モータ軸２２０を回転軸Ｘに対して平行に構成することにより、２軸回転型ポジショナＰ１の図１における紙面と垂直方向の長さをコンパクトに構成することができる。

２軸回転型ポジショナＰ１のワークテーブル軸方向の小型化に伴い、このワークテーブル１００の回転軸Ｘ回りの旋回半径をより小さく、あるいは同等に維持しながら、結果として、従来より大きな（高出力トルクの）第２駆動モータ２０２を設置することができる。これにより、ワークテーブル１００の回転軸Ｙ回りの駆動力を大きくすると共に、剛性を高めることができるため、安定したワークの操作を可能にし、また、例えば減速比を小さくすることで、高速でも大きなトルクでワークの加工処理を実現することもでき、この場合には、サイクルタイムも短縮できる。また第２減速機Ｇ２が回転軸Ｘの軸回りに回転し、ワークテーブル１００が傾斜しても、産業用ロボットＲ１等の周辺機器及び部材と第２駆動モータ２０２が干渉するおそれをより低減することができる。よって、産業用ロボットＲ１と、２軸回転型ポジショナＰ１による作業スペースを縮小することができる。

柱１０９は、ワークテーブル１００が回転軸Ｘの軸回りまたは回転軸Ｙ回りに回転する際に一緒に回転する第２駆動モータ２０２との衝突を回避するための凹部１１４を備えている。これにより、２軸回転型ポジショナＰ１の運転中に第２駆動モータ２０２と柱１０９が衝突する恐れがなくなり、且つ柱１０９をよりワークテーブル１００の近い位置に配置することができる。上述した第２駆動モータ２０２を第２減速機Ｇ２に対して直交する配置による効果と相俟って、作業スペースをより一層小型にすることができる。

ワークテーブル１００は、第２支持部２１０を介して、第１出力キャリヤ１５１（第１支持部１０７）と、軸１１５（柱１０９）と、の双方により両持ち支持されている。これにより、ワークテーブル１００の回転軸Ｘの軸回りの回転が安定し、２軸回転型ポジショナＰ１のワークテーブル１００上に配置したワークの位置決め精度を向上させることができるとともに、２軸回転型ポジショナＰ１の耐久性及び安定性を高めることができる。

以上のことから、本実施形態によれば、第２駆動モータ２０２の軸方向長さＭＬ１の大きさに依存せず、２軸回転型ポジショナＰ１のワークテーブル軸方向の小型化を図りながら、より出力の大きな第２駆動モータ２０２を取付けることもできる。

なお、第２モータ軸と第２減速機の第２クランク軸が、直交する関係を満たすのであれば、ハイポイドギヤやウォームギヤ等の他の直交動力伝達方法を用いてもよい。

上記実施形態では、ワークテーブルが、第１回転部材に、該第１回転部材と一体となった第１支持部材等を介して支持されているが、第１回転部材により直接支持されてもよい。

また、第２駆動モータの軸が回転軸Ｘに対して平行である関係を満たさなくてもよく、例えば、回転軸Ｘに対して垂直となるようにしてもよい。

本実施形態において、ワークテーブルは回転軸Ｘ周りに回転しているが、例えばワークテーブルの回転軸Ｘ回りの回転範囲が所定の角度の範囲内に限られているような場合には、回転軸Ｘと平行な軸回りに回動させるように構成する方が、意図した動きをさせやすい場合もある。本発明におけるワークテーブルの第１回転部材による回転は、必ずしも回転軸Ｘ回りに限らず、回転軸Ｘと距離を隔てて平行に位置する軸の周りにワークテーブルを回転させるような構成であってもよい。

実施形態に記載されている構成部品・要素のうち、特に記載されていないものであっても、構成部品の寸法、材質、形状、その他相対配置などは特に特定的な断りがない限り、この発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではない。

１００…ワークテーブル
１００Ａ…テーブル面
１０２…第１駆動モータ（第１駆動源）
１５１…第１出力キャリヤ（第１回転部材）
２０２…第２駆動モータ（第２駆動源）
２２０…第２モータ軸（第２駆動源の軸）
２５１…第２出力キャリヤ（第２回転部材）
Ｘ…第１回転軸
Ｙ…第２回転軸
Ｐ１…２軸回転型ポジショナ

Claims

ワークテーブルと、第１駆動源と、第２駆動源と、を備えており、
前記第１駆動源の回転を水平な第１回転軸を有する第１回転部材から出力するとともに、前記第２駆動源の回転を前記ワークテーブルのテーブル面と垂直な第２回転軸を有する第２回転部材から出力し、
前記ワークテーブルが、前記第１回転部材及び第２回転部材に連結されていることにより、前記第１回転軸と平行な軸回り及び第２回転軸回りに２軸回転可能とされた２軸回転型ポジショナにおいて、
前記第２駆動源の軸が、前記第２回転軸に対して直交し、
前記第２駆動源の軸に連結された第１直交歯車と、該第１直交歯車と噛合う第２直交歯車と、該第２直交歯車に伝達された回転を減速して前記第２回転部材から出力する第２減速機と、を有し、
前記第２減速機は、内歯歯車と、該内歯歯車に内接噛合する外歯歯車と、該外歯歯車を揺動させるクランク軸と、を有し、
前記第１直交歯車と第２直交歯車の噛合い部が、前記第２回転部材の径方向において、前記内歯歯車よりも内側に位置する
ことを特徴とする２軸回転型ポジショナ。
請求項１において、
前記第２駆動源の軸が、前記第１回転軸に対して平行である
ことを特徴とする２軸回転型ポジショナ。
請求項１または２において、
前記第１回転軸と平行な軸線上において、前記ワークテーブルの前記第１回転部材と反対側に連結された支持部材により、該ワークテーブルの前記第１回転軸と平行な軸回りの回転が支持され、
前記ワークテーブルが、前記第１回転部材側と前記支持部材との双方に両持ち支持されることにより、前記第１回転軸と平行な軸回りで回転可能とされている
ことを特徴とする２軸回転型ポジショナ。
請求項３において、更に、
前記支持部材を前記第１回転軸と平行な軸回りに回転自在に支持する柱を有し、且つ
該柱が、前記ワークテーブルが前記第１回転軸と平行な軸回りに回転する際に一緒に回転する前記第２駆動源との衝突を回避するための凹部を備えている
ことを特徴とする２軸回転型ポジショナ。