JP5299754B2 - 基板に導電性ボールを搭載する方法 - Google Patents
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Description
(a1)ボール保持手段によって導電性ボールの複数の集団をマスクの表面の複数の動区域にそれぞれ保持させること(保持させる工程)。
(a2)移動手段によって複数の動区域の相互の間隔を所定の値に保った状態でボール保持手段を往復移動させることにより、複数のヘッドを、往路および復路のそれぞれにおいて、それぞれの動区域が、往復移動の方向に一連に並べられたいくつかの開口グループを含む開口グループ列であって、動区域のいずれもが未通過の第1の開口グループ列、および第1の開口グループ列に隣接し、動区域のいずれもが未通過の第2の開口グループ列を通過するように移動させること(移動させる工程)。
(b1)ボール保持手段によって導電性ボールの複数の集団をマスクの表面の複数の動区域にそれぞれ保持させた状態で、移動手段によって複数の動区域の相互の間隔を所定の値に保ち、ボール保持手段を往復移動させることにより、複数のヘッドを、往路および復路のそれぞれにおいて、それぞれの動区域の中心が、往復移動の方向に一連に並べられたいくつかの開口グループを含む開口グループ列であって、動区域のいずれもが未通過の第1の開口グループ列、および第1の開口グループ列に隣接し、動区域のいずれもが未通過の第2の開口グループ列を通過するように移動させること(移動させる工程)。
(b2)導電性ボールを動区域に保持しながら移動させる工程中に、複数のボール補給ユニットによって、それぞれの複数の動区域の内部に十分な量(数)の導電性ボールが保持されるように、導電性ボールを補給すること。
20 ボール保持装置(ボール保持手段)
40a、40b、40c、40d ヘッド
41 ベース部材、 42 線状部材、 43 スキージ
50a、50b、50c、50d ボール補給ユニット
80 移動装置(移動手段)、 90 制御ユニット
100 基板、 101 電極
110 マスク、 111 開口
121 第1の開口グループ列、 122 第2の開口グループ列
A1、A2、A3、A4 動区域
B 導電性ボール
Bg1、Bg2、Bg3、Bg4 導電性ボールの集団
M 開口グループ
Claims (7)
- 導電性ボールを基板に配置するための複数の開口を備えたマスクと前記基板とを位置合わせした状態で、前記複数の開口に導電性ボールを充填するための装置により、前記基板に導電性ボールを搭載する方法であって、
前記装置は、
前記マスクの表面の一部分に導電性ボールの集団が保持される動区域をそれぞれ形成するための複数のヘッドを備えたボール保持手段と、
前記ボール保持手段を往復移動させる移動手段とを有し、
前記マスクの前記複数の開口は、マトリックス状に分散して設けられた複数の開口グループを含み、
前記複数のヘッドは、それぞれ、ベース部材と、複数本の線状部材の両端部を結束してなる複数の結束線状部材とを備え、前記複数の結束線状部材は、それぞれ、捩じった状態で前記ベース部材に固定されており、
当該方法は、
前記ボール保持手段によって導電性ボールの複数の集団を前記マスクの表面の複数の前記動区域にそれぞれ保持させることと、
前記移動手段によって前記複数の動区域の相互の間隔を所定の値に保った状態で前記ボール保持手段を往復移動させることにより、前記複数のヘッドを、往路および復路のそれぞれにおいて、それぞれの前記動区域が、前記往復移動の方向に一連に並べられたいくつかの開口グループを含む開口グループ列であって、前記動区域のいずれもが未通過の第1の開口グループ列、および前記第1の開口グループ列に隣接し前記動区域のいずれもが未通過の第2の開口グループ列を通過するように移動させることと、を含み、
さらに、前記保持させることは、前記複数のヘッドのそれぞれのベース部材を前記複数の結束線状部材が前記マスクに接触した状態で回転することにより前記動区域を形成することを含む、方法。 - 請求項1において、前記ボール保持手段は、少なくとも3つの前記ヘッドを備えており、
前記移動させることは、前記少なくとも3つのヘッドの間隔を所定の値に保つことを含む、方法。 - 請求項1または2において、前記ボール保持手段は、さらに、前記複数のヘッドのそれぞれに対応して設けられ、前記複数のヘッドを介して前記複数の動区域のそれぞれに対し導電性ボールを補給するための複数のボール補給ユニットを備えており、
前記保持させることは、前記複数のボール補給ユニットによって、それぞれの前記複数の動区域の内部に十分な数の導電性ボールが保持されるように、導電性ボールを補給することを含む方法。 - 導電性ボールを基板に配置するための複数の開口を備えたマスクと前記基板とを位置合わせした状態で、前記複数の開口に導電性ボールを充填するための装置を、制御ユニットにより制御する方法であって、
前記装置は、
前記マスクの表面の一部分に導電性ボールの集団が保持される動区域をそれぞれ形成するための複数のヘッドを備えたボール保持手段と、
前記ボール保持手段を往復移動させる移動手段とを有し、
前記マスクの前記複数の開口は、マトリックス状に分散して設けられた複数の開口グループを含み、
前記複数のヘッドは、それぞれ、ベース部材と、複数本の線状部材の両端部を結束してなる複数の結束線状部材とを備え、前記複数の結束線状部材は、それぞれ、捩じった状態で前記ベース部材に固定されており、
当該方法は、
前記ボール保持手段の前記複数のヘッドのそれぞれのベース部材を前記複数の結束線状部材が前記マスクに接触した状態で回転することによって導電性ボールの複数の集団を前記マスクの表面の複数の前記動区域にそれぞれ保持させた状態で、前記移動手段によって前記複数の動区域の相互の間隔を所定の値に保ち、前記ボール保持手段を往復移動させることにより、前記複数のヘッドを、往路および復路のそれぞれにおいて、それぞれの前記動区域が、前記往復移動の方向に一連に並べられたいくつかの開口グループを含む開口グループ列であって、前記動区域のいずれもが未通過の第1の開口グループ列、および前記第1の開口グループ列に隣接し前記動区域のいずれもが未通過の第2の開口グループ列を通過するように移動させることを含む、方法。 - 導電性ボールを基板に配置するための複数の開口を備えたマスクと前記基板とを位置合わせした状態で、前記複数の開口に導電性ボールを充填するための装置であって、
前記マスクの表面の一部分に導電性ボールの集団が保持される動区域をそれぞれ形成するための複数のヘッドを備えたボール保持手段と、
複数の前記動区域の相互の間隔を所定の値に保った状態で前記ボール保持手段を往復移動させる移動手段と、
前記移動手段を制御可能な制御ユニットとを有し、
前記マスクの前記複数の開口は、マトリックス状に分散して設けられた複数の開口グループを含み、
前記複数のヘッドは、それぞれ、ベース部材と、複数本の線状部材の両端部を結束してなる複数の結束線状部材であって、それぞれ、捩じった状態で前記ベース部材に固定されている複数の結束線状部材と、前記複数のヘッドを回転する機構とを備え、
前記制御ユニットは、前記ボール保持手段によって導電性ボールの複数の集団を前記マスクの表面の複数の前記動区域にそれぞれ保持させた状態で、前記移動手段によって前記ボール保持手段を往復移動させることにより、前記複数のヘッドを、往路および復路のそれぞれにおいて、それぞれの前記動区域が、前記往復移動の方向に一連に並べられたいくつかの開口グループを含む開口グループ列であって、前記動区域のいずれもが未通過の第1の開口グループ列、および前記第1の開口グループ列に隣接し前記動区域のいずれもが未通過の第2の開口グループ列を通過するように移動させる機能と、
前記複数のヘッドのそれぞれのベース部材を前記複数の結束線状部材が前記マスクに接触した状態で回転することにより前記動区域を形成する機能とを含む、装置。 - 請求項5において、前記ボール保持手段は、少なくとも3つの前記ヘッドを備えている、装置。
- 請求項5または6において、前記ボール保持手段は、さらに、前記複数のヘッドのそれぞれに対応して設けられ、前記複数のヘッドを介して前記複数の動区域のそれぞれに対し導電性ボールを補給するための複数のボール補給ユニットを備えており、
前記制御ユニットは、さらに、前記複数のボール補給ユニットによって、それぞれの前記複数の動区域の内部に十分な数の導電性ボールが保持されるように、導電性ボールを補給する機能を含む、装置。
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