JP5294033B2 - Optical scanning apparatus and image forming apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical scanning apparatus in which the difference in luminance of reflected light depending on the scanning position of a face to be scanned is reduced and to provide an image forming apparatus. <P>SOLUTION: The optical scanning apparatus includes: an optical scanner 10 which has a light reflection member 21 which reflects light and a scanning part 2 which includes a supporting member 26 which supports the light reflection member 21 rockably around an axis A, wherein the reflected light reflected by the light reflection member 21 is scanned on a hemispherical screen SC1 by the rocking of the light reflection member 21; and a hollow motor 70 on which the optical scanner 10 is provided and which turns around an axis B which is perpendicular to the axis A. The optical scanner 10 has a Z-stage 8 which varies the spacial position of a scanning part 2 with respect to the hemispherical screen SC1 for varying the scanning speed of the reflected light in a predetermined direction on the hemispherical screen SC1. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&amp;INPIT

Description

本発明に係るいくつかの態様は、例えばＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）技術により作製され、光反射部材が所定軸回りに揺動運動する光走査装置及び画像形成装置に関する。   Some embodiments according to the present invention relate to an optical scanning apparatus and an image forming apparatus which are manufactured by, for example, a MEMS (Micro Electro Mechanical System) technique and a light reflecting member swings around a predetermined axis.

従来、この種の光走査装置は、光反射部材によって反射させた反射光を、平面又は略平面の被走査面（スクリーン）における互いに直交する２方向、例えばＸ―Ｙ方向に走査させていた。しかし、被走査面（スクリーン）が非平面、例えば、図２５に示すような半球型である場合、Ｘ―Ｙ方向に走査させる光走査装置では、図２６に示す斜線部分を走査することになり、被走査面（スクリーン）以外の領域にも反射光を走査させるので非効率である、という問題があった。   Conventionally, this type of optical scanning device scans the reflected light reflected by the light reflecting member in two directions orthogonal to each other on the planar or substantially planar scanning surface (screen), for example, the XY direction. However, when the surface to be scanned (screen) is non-planar, for example, hemispherical as shown in FIG. 25, the optical scanning device that scans in the XY directions scans the hatched portion shown in FIG. There is a problem that the reflected light is scanned also in the area other than the surface to be scanned (screen), which is inefficient.

従来、この問題を解決するため、光反射部材（ガルバノミラー）による一次元走査と、モーターによる回動（回転）動作を組み合わせることにより、一次元の走査線（走査軌跡）を被走査面（スクリーン）上に走査させ、被走査面（スクリーン）上を円形に二次元走査可能にしたもの（例えば特許文献１参照）が知られている。   Conventionally, in order to solve this problem, a one-dimensional scanning line (scanning trajectory) is formed on a surface to be scanned (screen) by combining one-dimensional scanning with a light reflecting member (galvanomirror) and rotation (rotation) by a motor. ), And the surface to be scanned (screen) can be circularly two-dimensionally scanned (see, for example, Patent Document 1).

特開２００４−４２７６号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2004-4276

しかしながら、従来の光走査装置では、例えば、光反射部材を共振振動させ、光反射部材の角度を正弦関数的に変化させていた。このため、例えば、光反射部材を揺動運動させ、反射光を被走査面の一方向に走査させる場合、半球型の被走査面の頂点（中央）における反射光の走査速度が最も早く、被走査面の両端に向かうにつれて走査速度が低下していた。よって、一定光量の光源から光を入射させる場合、被走査面の走査位置によって明るさ（輝度）が異なるという問題があった。また、特許文献１のものは、モーターによって光反射部材と一緒に光源（レーザー）も回動（回転）させる構成であるため、モーターに負荷イナーシャが大きくなり、モーターの大型化を招くという問題もあった。   However, in the conventional optical scanning device, for example, the light reflecting member is caused to resonate and the angle of the light reflecting member is changed sinusoidally. For this reason, for example, when the light reflecting member is swung and the reflected light is scanned in one direction, the scanning speed of the reflected light at the apex (center) of the hemispherical surface to be scanned is the fastest. The scanning speed was decreasing toward both ends of the scanning surface. Therefore, when light is incident from a light source having a constant light amount, there is a problem that brightness (luminance) varies depending on the scanning position of the surface to be scanned. Moreover, since the thing of patent document 1 is a structure which rotates a light source (laser) with a light reflection member with a motor, the load inertia becomes large to a motor and the problem of causing the enlargement of a motor also arises. there were.

本発明のいくつかの態様は前述の問題に鑑みてなされたものであり、被走査面上の走査位置による反射光の明るさの差異を低減させることのできる光走査装置及び画像形成装置を提供することを目的の１つとする。   Some aspects of the present invention have been made in view of the above-described problems, and provide an optical scanning apparatus and an image forming apparatus capable of reducing the difference in brightness of reflected light depending on the scanning position on the surface to be scanned. One of the purposes is to do.

本発明に係る光走査装置は、光を反射する光反射部材と、光反射部材を第１の軸回りに揺動可能に支持する支持部材とを含む走査部を有し、光反射部材が揺動することにより、光反射部材によって反射された反射光を被走査面上に走査可能な光スキャナーと、光スキャナーが設けられ、第１の軸に垂直な第２の軸回りに回動可能に構成された回動体と、を備え、光スキャナーは、被走査面上における反射光の所定方向の走査速度を変更するために、走査部の被走査面に対する空間的位置を変更する変更手段を有する。   An optical scanning device according to the present invention includes a scanning unit including a light reflecting member that reflects light and a support member that supports the light reflecting member so as to be swingable about a first axis. By moving, an optical scanner capable of scanning reflected light reflected by the light reflecting member on the surface to be scanned and an optical scanner are provided, and can be rotated around a second axis perpendicular to the first axis. The optical scanner includes a changing unit that changes a spatial position of the scanning unit with respect to the scanned surface in order to change a scanning speed of the reflected light in a predetermined direction on the scanned surface. .

かかる構成によれば、光反射部材が揺動することにより、光反射部材によって反射された反射光を被走査面上に走査可能な光スキャナーと、第２の軸回りに回動可能に構成された回動体と、を備える。これにより、光反射部材を第１の軸回りに揺動させるとともに、光スキャナーが設けられた回動体を第１の軸に垂直な第２の軸回りに回動させることにより、例えば、半球型の被走査面上に、過不足無く反射光を走査させることができる。また、被走査面上における反射光の所定方向の走査速度を変更するために、走査部の被走査面に対する空間的位置が変更される。ここで、走査部の被走査面に対する空間的位置を変更する、例えば、走査部を第１の軸回りに回動させたり、走査部を移動させたりすることにより、被走査面上における反射光の走査速度を変えることができる。よって、例えば、光反射部材の揺動運動に応じて走査部の被走査面に対する空間的位置を変更することにより、被走査面上における反射光の走査速度を所定速度にすることが可能となる。これにより、例えば、光源から一定光量の光を光反射部材に入射させる場合に、被走査面上の走査位置による反射光の明るさの差異を低減させることができる。   According to such a configuration, the light reflecting member is configured to swing around the second axis so that the reflected light reflected by the light reflecting member can be scanned on the surface to be scanned. A rotating body. Accordingly, the light reflecting member is swung around the first axis, and the rotating body provided with the optical scanner is rotated around the second axis perpendicular to the first axis, for example, hemispherical type. The reflected light can be scanned on the surface to be scanned without excess or deficiency. Further, in order to change the scanning speed of the reflected light in the predetermined direction on the surface to be scanned, the spatial position of the scanning unit with respect to the surface to be scanned is changed. Here, the reflected light on the surface to be scanned is changed by changing the spatial position of the scanning unit with respect to the surface to be scanned, for example, by rotating the scanning unit around the first axis or moving the scanning unit. The scanning speed can be changed. Therefore, for example, the scanning speed of the reflected light on the scanned surface can be set to a predetermined speed by changing the spatial position of the scanning unit with respect to the scanned surface in accordance with the swinging motion of the light reflecting member. . Thereby, for example, when a certain amount of light is incident on the light reflecting member from the light source, it is possible to reduce the difference in the brightness of the reflected light depending on the scanning position on the surface to be scanned.

好ましくは、変更手段により変更された走査速度が所定速度になるように、変更手段を制御する制御手段を更に備える。   Preferably, control means for controlling the changing means is further provided so that the scanning speed changed by the changing means becomes a predetermined speed.

かかる構成によれば、変更手段により変更された走査速度が所定速度になるように、変更手段が制御される。これにより、例えば、光反射部材の揺動運動による被走査面上における走査速度の変化を相殺するように、変更手段が制御されるので、変更後の被走査面上における走査速度を所定速度にすることができる。これにより、例えば、光源から一定光量の光を光反射部材に入射させる場合に、被走査面上における反射光の明るさを一定又は略一定にすることができる。   According to this configuration, the changing unit is controlled so that the scanning speed changed by the changing unit becomes a predetermined speed. Thereby, for example, the changing means is controlled so as to cancel the change in the scanning speed on the surface to be scanned due to the swinging motion of the light reflecting member, so that the scanning speed on the surface to be scanned after the change is set to a predetermined speed. can do. Thereby, for example, when a certain amount of light is incident on the light reflecting member from the light source, the brightness of the reflected light on the scanned surface can be made constant or substantially constant.

好ましくは、変更手段は、走査部と被走査面との距離を変更するように、走査部を移動させる。   Preferably, the changing unit moves the scanning unit so as to change the distance between the scanning unit and the surface to be scanned.

かかる構成によれば、走査部と被走査面との距離を変更するように、変更手段によって走査部が移動させられる。これにより、例えば、光反射部材の揺動運動に応じて、走査部と被走査面との距離を変更するように走査部が移動するので、変更後の被走査面上における走査速度を容易に所定速度にすることができる。これにより、例えば、光源から一定光量の光を光反射部材に入射させる場合に、被走査面上における反射光の明るさを容易に一定又は略一定にすることができる。   According to this configuration, the scanning unit is moved by the changing unit so as to change the distance between the scanning unit and the surface to be scanned. Accordingly, for example, the scanning unit moves so as to change the distance between the scanning unit and the surface to be scanned in accordance with the swinging motion of the light reflecting member, so that the scanning speed on the surface to be scanned after the change can be easily achieved. A predetermined speed can be obtained. Thereby, for example, when a certain amount of light is incident on the light reflecting member from the light source, the brightness of the reflected light on the surface to be scanned can be easily made constant or substantially constant.

好ましくは、変更手段は、走査部が設けられ、第２の軸方向に移動する第２軸方向移動体である。   Preferably, the changing unit is a second axial direction moving body provided with a scanning unit and moving in the second axial direction.

かかる構成によれば、変更手段は、走査部が設けられ、第２の軸方向に移動する第２軸方向移動体である。これにより、第２軸方向移動体が回動体の回動軸方向に移動することで、走査部が被走査面に接近し、又は被走査面から遠ざかるので、走査部と被走査面との距離を変更するように、走査部を容易に移動させることができる。   According to such a configuration, the changing means is the second axial moving body that is provided with the scanning unit and moves in the second axial direction. Thereby, the second axial direction moving body moves in the rotational axis direction of the rotating body, so that the scanning unit approaches or moves away from the scanned surface. Therefore, the distance between the scanning unit and the scanned surface. It is possible to easily move the scanning unit so as to change.

好ましくは、変更手段は、走査部が設けられ、第１及び第２の軸に直交する第３の軸方向に移動する第３軸方向移動体である。   Preferably, the changing unit is a third axial direction moving body provided with a scanning unit and moving in a third axial direction orthogonal to the first and second axes.

かかる構成によれば、変更手段は、走査部が設けられ、第３の軸方向に移動する第３軸方向移動体である。これにより、第３軸方向移動体が回動体の回動軸及び光反射部材の揺動軸に直交する方向に移動することで、走査部が被走査面に接近し、又は被走査面から遠ざかるので、走査部と被走査面との距離を変更するように、走査部を容易に移動させることができる。   According to this configuration, the changing means is the third axial direction moving body that is provided with the scanning unit and moves in the third axial direction. Accordingly, the third axial direction moving body moves in a direction perpendicular to the rotation axis of the rotating body and the swing axis of the light reflecting member, so that the scanning unit approaches or moves away from the scanned surface. Therefore, the scanning unit can be easily moved so as to change the distance between the scanning unit and the surface to be scanned.

好ましくは、被走査面が球体の内面であり、制御手段は、反射光が球体の中心を通るように、第３軸方向移動体を制御する。   Preferably, the surface to be scanned is an inner surface of a sphere, and the control unit controls the third axial direction moving body so that the reflected light passes through the center of the sphere.

かかる構成によれば、反射光が球体の中心を通るように、第３軸方向移動体が制御される。ここで、第３軸方向移動体は、回動体の回動軸及び光反射部材の揺動軸に直交する方向に移動するので、被走査面における反射光の走査軌跡と平行に移動する。よって、反射光が球体の中心を通るように、第３軸方向移動体を制御することにより、光反射部材の揺動角（振れ角）によらずに、反射光を球体の内面である被走査面に直角に走査（照射）させることができる。これにより、被走査面上における走査位置によらずに、反射光の入射角度を直角又は略直角にすることができ、どの方向から被走査面を見ても（被走査面を見る角度によらずに）、被走査面上における反射光の明るさを一定又は略一定にすることができる。   According to such a configuration, the third axial direction moving body is controlled so that the reflected light passes through the center of the sphere. Here, since the third axial direction moving body moves in a direction perpendicular to the rotation axis of the rotating body and the swing axis of the light reflecting member, it moves in parallel with the scanning locus of the reflected light on the surface to be scanned. Therefore, by controlling the third axial direction moving body so that the reflected light passes through the center of the sphere, the reflected light is reflected on the inner surface of the sphere regardless of the rocking angle (swing angle) of the light reflecting member. Scanning (irradiation) can be performed at right angles to the scanning surface. Accordingly, the incident angle of the reflected light can be made to be a right angle or a substantially right angle regardless of the scanning position on the scanned surface, and the scanned surface can be viewed from any direction (depending on the angle at which the scanned surface is viewed). In other words, the brightness of the reflected light on the scanned surface can be made constant or substantially constant.

好ましくは、変更手段は、走査部を第１の軸回りに回動させる。   Preferably, the changing unit rotates the scanning unit around the first axis.

かかる構成によれば、変更手段によって、走査部が第１の軸回りに回動させられる。これにより、例えば、光反射部材の第１の軸回りの揺動運動に応じて走査部が当該第１の軸回りに回動するので、被走査面上における変更後の走査速度を容易に所定速度にすることができる。これにより、例えば、光源から一定光量の光を光反射部材に入射させる場合に、被走査面上における反射光の明るさを容易に一定又は略一定にすることができる。   According to this configuration, the scanning unit is rotated around the first axis by the changing unit. Thereby, for example, the scanning unit rotates around the first axis in accordance with the swinging motion around the first axis of the light reflecting member, so that the changed scanning speed on the surface to be scanned can be easily determined. Can be speed. Thereby, for example, when a certain amount of light is incident on the light reflecting member from the light source, the brightness of the reflected light on the surface to be scanned can be easily made constant or substantially constant.

好ましくは、変更手段は、圧電アクチュエーターである。   Preferably, the changing means is a piezoelectric actuator.

かかる構成によれば、走査部を第１の軸回りに回動させる変更手段が、圧電アクチュエーターである。これにより、例えば、第１の軸の両側に圧電アクチュエーターを配置して伸縮運動させることで、走査部を容易に当該第１の軸回りに回動させることができる。   According to this configuration, the changing unit that rotates the scanning unit around the first axis is the piezoelectric actuator. Thereby, for example, the scanning unit can be easily rotated around the first axis by arranging the piezoelectric actuators on both sides of the first axis and extending and contracting.

好ましくは、変更手段は、リニアアクチュエーターである。   Preferably, the changing means is a linear actuator.

かかる構成によれば、走査部を第１の軸回りに回動させる変更手段が、リニアアクチュエーターである。これにより、例えば、所定軸の両側にリニアアクチュエーターを配置して伸縮運動させることで、走査部を容易に当該所定軸回りに回動させることができる。また、リニアアクチュエーターは、入力された制御信号に対してリニアに走査部を回動（変位）させることができる。   According to this configuration, the changing unit that rotates the scanning unit around the first axis is the linear actuator. Thereby, for example, the scanning unit can be easily rotated around the predetermined axis by arranging the linear actuators on both sides of the predetermined axis and expanding and contracting. Further, the linear actuator can linearly rotate (displace) the scanning unit with respect to the input control signal.

好ましくは、変更手段は、モーターである。   Preferably, the changing means is a motor.

かかる構成によれば、走査部を第１の軸回りに回動させる変更手段が、モーターである。これにより、例えば、ローター（回転子）の回動軸（回転軸）と走査部の第１の軸とが一致する（同軸になる）ように走査部を配置することで、走査部を容易に当該第１の軸回りに回動させることができる。   According to this configuration, the changing means for rotating the scanning unit around the first axis is the motor. Thereby, for example, the scanning unit can be easily arranged by arranging the scanning unit so that the rotation axis (rotating axis) of the rotor (rotor) and the first axis of the scanning unit coincide (coaxial). It can be rotated around the first axis.

好ましくは、被走査面が球体の内面であり、光反射部材は球体の中心に配置される。   Preferably, the surface to be scanned is an inner surface of a sphere, and the light reflecting member is disposed at the center of the sphere.

かかる構成によれば、光反射部材が球体の中心に配置される。これにより、光反射部材の揺動角（振れ角）によらずに、反射光を球体の内面である被走査面に直角に走査（照射）させることができる。これにより、被走査面上における走査位置によらずに、反射光の入射角度を直角又は略直角にすることができ、どの方向から被走査面を見ても（被走査面を見る角度によらずに）、被走査面上における反射光の明るさを一定又は略一定にすることができる。   According to this configuration, the light reflecting member is disposed at the center of the sphere. Thereby, the reflected light can be scanned (irradiated) at right angles to the surface to be scanned, which is the inner surface of the sphere, regardless of the rocking angle (swing angle) of the light reflecting member. Accordingly, the incident angle of the reflected light can be made to be a right angle or a substantially right angle regardless of the scanning position on the scanned surface, and the scanned surface can be viewed from any direction (depending on the angle at which the scanned surface is viewed). In other words, the brightness of the reflected light on the scanned surface can be made constant or substantially constant.

好ましくは、回動体は、第２の軸の近傍の部分に中空に形成された中空部を有し、回動体を挟んで光スキャナーと反対側に配置され、光を出射する光源と、光源から出射されて中空部を通過した光が光反射部材に入射し、光反射部材によって反射された反射光が入射するように構成されたミラーと、を更に備える。   Preferably, the rotating body has a hollow portion formed in the vicinity of the second shaft and is disposed on the opposite side of the optical scanner with the rotating body interposed therebetween, and a light source that emits light, And a mirror configured such that the light emitted and passed through the hollow portion enters the light reflecting member, and the reflected light reflected by the light reflecting member enters.

かかる構成によれば、光源が回動体を挟んで光スキャナーと反対側に配置され、光源から出射されて中空部を通過した光が光反射部材に入射し、光反射部材によって反射された反射光が入射するように、ミラーが構成される。これにより、回動体を挟んで光スキャナーと反対側に光源を配置し、光源から出射されて回動体の中空部を通過した光が光スキャナーの光反射部材に入射し、光反射部材によって反射された反射光が入射するように、ミラーを構成したので、被走査面に走査される反射光が光源や配線によって遮られることがない。また、回動体や光スキャナーの外部に光源を配置したので、光源を回動させる必要がなく、モーターなどの駆動系に余分な負荷をかけずに済むとともに、光源の駆動信号、特にレーザー光源における駆動信号がノイズの影響を受けにくくなり、安定した光源を実現することができる。さらに、光源は回動体を挟んで光スキャナーと反対側であればよく、ミラーは回動体の中空部を通過した光が光反射部材に入射し、光反射部材によって反射された反射光が入射すればよいので、光源及びミラーは位置、大きさ、数などの制約（制限）が少なく、光学系（光源及びミラー）の設計自由度が高いという利点がある。   According to this configuration, the light source is disposed on the opposite side of the optical scanner with the rotating body interposed therebetween, and the light emitted from the light source and passing through the hollow portion enters the light reflecting member and is reflected by the light reflecting member. The mirror is configured so that is incident. As a result, the light source is disposed on the opposite side of the optical scanner across the rotating body, and the light emitted from the light source and passing through the hollow portion of the rotating body enters the light reflecting member of the optical scanner and is reflected by the light reflecting member. Since the mirror is configured so that the reflected light is incident, the reflected light scanned on the surface to be scanned is not blocked by the light source or the wiring. Moreover, since the light source is arranged outside the rotating body and the optical scanner, it is not necessary to rotate the light source, and it is not necessary to apply an extra load to the drive system such as a motor. The drive signal is less affected by noise, and a stable light source can be realized. Furthermore, the light source may be on the side opposite to the optical scanner with the rotating body interposed therebetween, and the mirror receives light that has passed through the hollow portion of the rotating body, enters the light reflecting member, and reflects light reflected by the light reflecting member. Therefore, the light source and the mirror are advantageous in that there are few restrictions (limitations) such as position, size, and number, and the degree of freedom in designing the optical system (light source and mirror) is high.

好ましくは、回動体は、第２の軸の近傍の部分に中空に形成された中空部を有し、回動体を挟んで光スキャナーと反対側に配置され、光を出射する光源と、光源から出射されて中空部を通過した光が、光反射部材に入射するように構成されたミラーと、を更に備える。   Preferably, the rotating body has a hollow portion formed in the vicinity of the second shaft and is disposed on the opposite side of the optical scanner with the rotating body interposed therebetween, and a light source that emits light, And a mirror configured so that the light emitted and passed through the hollow portion is incident on the light reflecting member.

かかる構成によれば、光源が回動体を挟んで光スキャナーと反対側に配置され、光源から出射されて中空部を通過した光が光反射部材に入射するように、ミラーが構成される。これにより、回動体を挟んで光スキャナーと反対側に光源を配置し、光源から出射されて回動体の中空部を通過した光が光スキャナーの光反射部材に入射するように、ミラーを構成したので、被走査面に走査される反射光が光源や配線によって遮られることがない。また、回動体や光スキャナーの外部に光源を配置したので、光源を回動させる必要がなく、モーターなどの駆動系に余分な負荷をかけずに済むとともに、光源の駆動信号、特にレーザー光源における駆動信号がノイズの影響を受けにくくなり、安定した光源を実現することができる。さらに、光源は回動体を挟んで光スキャナーと反対側であればよく、ミラーは回動体の中空部を通過した光が反射部材に入射すればよいので、光源及びミラーは位置、大きさ、数などの制約（制限）が少なく、光学系（光源及びミラー）の設計自由度が高いという利点がある。   According to this configuration, the mirror is configured such that the light source is disposed on the opposite side of the optical scanner with the rotating body interposed therebetween, and the light emitted from the light source and passing through the hollow portion is incident on the light reflecting member. Accordingly, the light source is arranged on the opposite side of the optical scanner across the rotating body, and the mirror is configured so that the light emitted from the light source and passing through the hollow portion of the rotating body enters the light reflecting member of the optical scanner. Therefore, the reflected light scanned on the surface to be scanned is not blocked by the light source or the wiring. Moreover, since the light source is arranged outside the rotating body and the optical scanner, it is not necessary to rotate the light source, and it is not necessary to apply an extra load to the drive system such as a motor. The drive signal is less affected by noise, and a stable light source can be realized. Furthermore, the light source may be on the side opposite to the optical scanner with the rotating body interposed therebetween, and the mirror needs only to be incident on the reflecting member after passing through the hollow portion of the rotating body. There is an advantage that the degree of freedom of design of the optical system (light source and mirror) is high.

本発明に係る画像形成装置は、前述した本発明に係る光走査装置を備える。   An image forming apparatus according to the present invention includes the above-described optical scanning device according to the present invention.

かかる構成によれば、前述した本発明に係る光走査装置を備えるので、例えば、被走査面の長手方向において、走査位置による明るさの差異を低減させることができ、優れた走査特性を有する光走査装置を実現することができる。これにより、高解像度の画像を形成することができ、優れた描画特性を有する画像形成装置を実現することができる。   According to such a configuration, since the above-described optical scanning device according to the present invention is provided, for example, in the longitudinal direction of the surface to be scanned, the difference in brightness depending on the scanning position can be reduced, and light having excellent scanning characteristics. A scanning device can be realized. Thereby, a high-resolution image can be formed, and an image forming apparatus having excellent drawing characteristics can be realized.

本発明に係る光走査装置の第１実施形態における構成を説明する概略側面図である。It is a schematic side view explaining the structure in 1st Embodiment of the optical scanning device based on this invention. 図１に示した光スキャナーの本体の構成を説明する平面図である。It is a top view explaining the structure of the main body of the optical scanner shown in FIG. 図１に示したＩ−Ｉ線矢視方向断面図である。It is the II sectional view taken on the line in FIG. 図１に示したＩＩ−ＩＩ線矢視方向断面図である。It is the II-II arrow directional cross-sectional view shown in FIG. 図１に示した光スキャナーのＺステージの動作を説明する図である。It is a figure explaining operation | movement of Z stage of the optical scanner shown in FIG. 図１に示した光スキャナーのＺステージの動作を説明する図である。It is a figure explaining operation | movement of Z stage of the optical scanner shown in FIG. 図１に示した中空モーターの他の例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the other example of the hollow motor shown in FIG. 図１に示した光走査装置の動作を説明する図である。It is a figure explaining operation | movement of the optical scanning device shown in FIG. 図１に示した光スキャナーと被走査面との関係を説明する平面図である。It is a top view explaining the relationship between the optical scanner shown in FIG. 1, and a to-be-scanned surface. 図１に示した光スキャナーの反射光を走査させる被走査面を説明する正面図である。It is a front view explaining the to-be-scanned surface which scans the reflected light of the optical scanner shown in FIG. 光反射部材の揺動角の一例を示すグラフである。It is a graph which shows an example of the rocking | fluctuation angle of a light reflection member. 図１に示した光スキャナーと図１に示した半球面スクリーンとの関係を説明する側面図である。It is a side view explaining the relationship between the optical scanner shown in FIG. 1, and the hemispherical screen shown in FIG. 図１に示した被走査面の他の例を説明する側面図である。It is a side view explaining the other example of the to-be-scanned surface shown in FIG. 図１に示した被走査面の他の例を説明する側面図である。It is a side view explaining the other example of the to-be-scanned surface shown in FIG. 図１に示した被走査面の他の例を説明する側面図である。It is a side view explaining the other example of the to-be-scanned surface shown in FIG. 図１３に示した顔型スクリーンの斜視図である。It is a perspective view of the face type screen shown in FIG. 本発明に係る光走査装置の第２実施形態における構成を説明する概略側面図である。It is a schematic side view explaining the structure in 2nd Embodiment of the optical scanning device based on this invention. 図１７に示した光スキャナーの動作を説明する図である。It is a figure explaining operation | movement of the optical scanner shown in FIG. 図１７に示した光スキャナーの動作を説明する図である。It is a figure explaining operation | movement of the optical scanner shown in FIG. 本発明に係る光走査装置の第３実施形態における構成を説明する概略側面図である。It is a schematic side view explaining the structure in 3rd Embodiment of the optical scanning device based on this invention. 図２０に示した光スキャナーの動作を説明する斜視図である。FIG. 21 is a perspective view for explaining the operation of the optical scanner shown in FIG. 20. 図２０に示した光スキャナーの動作を説明する斜視図である。FIG. 21 is a perspective view for explaining the operation of the optical scanner shown in FIG. 20. 本発明に係る光走査装置の第３実施形態における他の構成を説明する概略側面図である。It is a schematic side view explaining the other structure in 3rd Embodiment of the optical scanning device based on this invention. 図２０乃至図２３に示した光スキャナーの変形例を説明する斜視図である。FIG. 24 is a perspective view for explaining a modification of the optical scanner shown in FIGS. 20 to 23. 図２０に示した光走査装置の変形例を説明する概略側面図である。It is a schematic side view explaining the modification of the optical scanning device shown in FIG. 従来の光走査装置において半球型のスクリーンに反射光を走査させる場合を説明する図である。It is a figure explaining the case where a hemispherical screen is made to scan reflected light in the conventional optical scanning device. 図２６に示す光走査装置の走査領域を説明する図である。It is a figure explaining the scanning area | region of the optical scanning device shown in FIG.

以下、本発明の一実施形態について図面を参照しながら説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法などは以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。なお、図面に示すＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は、互いに直交する座標軸であり、Ｙ軸はＸ軸に対して水平方向に直交し、Ｚ軸はＸ軸に対して垂直方向に直交するものとする。また、以下の説明において、図面の上側を「上」、下側を「下」、左側を「左」、右側を「右」という。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description of the drawings, the same or similar parts are denoted by the same or similar reference numerals. However, the drawings are schematic. Therefore, specific dimensions and the like should be determined in light of the following description. Moreover, it is a matter of course that portions having different dimensional relationships and ratios are included between the drawings. Note that the X axis, Y axis, and Z axis shown in the drawings are coordinate axes orthogonal to each other, the Y axis is orthogonal to the X axis in the horizontal direction, and the Z axis is orthogonal to the X axis in the vertical direction. Shall. In the following description, the upper side of the drawing is referred to as “upper”, the lower side as “lower”, the left side as “left”, and the right side as “right”.

＜光走査装置＞
（第１実施形態）
図１乃至図１４は、本発明に係る光走査装置の第１実施形態を示すものである。図１は、本発明に係る光走査装置の第１実施形態における構成を説明する概略側面図である。図１に示すように、光走査装置１００は、光スキャナー（光学デバイス）１０と、中空モーター７０と、ミラー８１，８２，８３と、光源９０と、を備える。光走査装置１００は、光源９０から出射された光を対象物、例えば半球面スクリーンＳＣ１などの被走査面に走査（照射）するためのものである。 <Optical scanning device>
(First embodiment)
1 to 14 show a first embodiment of an optical scanning device according to the present invention. FIG. 1 is a schematic side view illustrating the configuration of the first embodiment of the optical scanning device according to the present invention. As shown in FIG. 1, the optical scanning device 100 includes an optical scanner (optical device) 10, a hollow motor 70, mirrors 81, 82, 83, and a light source 90. The optical scanning device 100 scans (irradiates) light emitted from the light source 90 onto an object, for example, a surface to be scanned such as a hemispherical screen SC1.

図２は、図１に示した光スキャナーの本体の構成を説明する平面図である。図１に示す光スキャナー１０は、本体１とＺステージ８とを備える。図２に示すように、本体１は、反射した光（以下、反射光という）を被走査面に走査させるための走査部２を備える。走査部２は、入射された光を反射する光反射部材２１と、光反射部材２１を軸Ａ回りに揺動可能に支持する支持部材２６と、を含んで構成される。   FIG. 2 is a plan view for explaining the configuration of the main body of the optical scanner shown in FIG. An optical scanner 10 shown in FIG. 1 includes a main body 1 and a Z stage 8. As shown in FIG. 2, the main body 1 includes a scanning unit 2 that scans a surface to be scanned with reflected light (hereinafter referred to as reflected light). The scanning unit 2 includes a light reflecting member 21 that reflects incident light and a support member 26 that supports the light reflecting member 21 so as to be swingable about an axis A.

支持部材２６は、内側に設けられた光反射部材２１を取り囲む枠状の枠部（フレーム）２７と、枠部２７に支持され、軸Ａで光反射部材２１を軸支する一対の軸部材２８と、を含んで構成される。なお、光反射部材２１と一対の軸部材２８とは、後述する揺動手段６によって一対の軸部材２８がねじれ変形し、光反射部材２１が軸Ａ回りに揺動する振動系ＳＩを構成する。   The support member 26 is a frame-shaped frame portion (frame) 27 that surrounds the light reflecting member 21 provided inside, and a pair of shaft members 28 that are supported by the frame portion 27 and support the light reflecting member 21 on the axis A. And comprising. The light reflecting member 21 and the pair of shaft members 28 constitute a vibration system SI in which the pair of shaft members 28 are twisted and deformed by the swinging means 6 described later, and the light reflecting member 21 swings around the axis A. .

支持部材２６、すなわち、枠部２７と一対の軸部材２８とは、例えばシリコン基板をエッチング加工することにより、一体形成されている。また、光反射部材２１と一対の軸部材２８も、同様にシリコン基板をエッチング加工することにより、一体形成することができる。なお、光反射部材２１と、支持部材２６とは、同一平面又は略同一平面となるように、一体形成されるのが好ましい。   The support member 26, that is, the frame portion 27 and the pair of shaft members 28 are integrally formed, for example, by etching a silicon substrate. Similarly, the light reflecting member 21 and the pair of shaft members 28 can be integrally formed by etching the silicon substrate. The light reflecting member 21 and the support member 26 are preferably integrally formed so as to be on the same plane or substantially the same plane.

本実施形態では、光反射部材２１の平面形状として円形のものを示したが、これに限定されず、光スキャナー１０の光反射部材２１として求められる役割を果たす限り、楕円形、矩形、多角形などの他の形状であってもよい。   In the present embodiment, a circular shape is shown as the planar shape of the light reflecting member 21. However, the planar shape is not limited to this, and as long as it plays a role required as the light reflecting member 21 of the light scanner 10, an elliptical shape, a rectangular shape, a polygonal shape. Other shapes may be used.

図３は、図２に示したＩ−Ｉ線矢視方向断面図である。なお、図３に示したＩ−Ｉ線は軸Ａから所定距離ずらして配置している。図３に示すように、光反射部材２１の一方の面（図３において上側の面）には、入射した光を反射する金属膜２２が成膜される。金属膜２２は、例えばシリコン基板をエッチング加工して所定の形状に成形したものに、真空蒸着、スパッタリング、金属箔の接合などの成膜方法を施すことにより、成膜することができる。   3 is a cross-sectional view taken along the line I-I shown in FIG. Note that the line I-I shown in FIG. As shown in FIG. 3, a metal film 22 that reflects incident light is formed on one surface of the light reflecting member 21 (the upper surface in FIG. 3). The metal film 22 can be formed, for example, by applying a film forming method such as vacuum deposition, sputtering, or metal foil bonding to a silicon substrate that has been formed into a predetermined shape by etching.

光反射部材２１の他方の面（図３において下側の面）には、図示しない接着剤を介して後述する磁性体６１が接合される。磁性体６１は、本体１を平面視したときに、軸Ａに直交する方向（図２においてＸ軸方向）に磁化されている。すなわち、磁性体６１は、軸Ａを介して対向する互いに極性の異なる一対の磁極を有する。   A magnetic body 61 (to be described later) is bonded to the other surface (the lower surface in FIG. 3) of the light reflecting member 21 through an adhesive (not shown). The magnetic body 61 is magnetized in a direction orthogonal to the axis A (X-axis direction in FIG. 2) when the main body 1 is viewed in plan. That is, the magnetic body 61 has a pair of magnetic poles that are opposed to each other with the axis A and have different polarities.

また、本体１は、走査部２を支持する支持基板３と、支持基板３を介して走査部２と対向する対向基板５と、を備える。   The main body 1 also includes a support substrate 3 that supports the scanning unit 2 and a counter substrate 5 that faces the scanning unit 2 with the support substrate 3 interposed therebetween.

支持基板３は、例えばガラスやシリコンを主な材料として構成されている。支持基板３の平面形状は、枠部２７と略同一形状をなしている。なお、支持基板３の平面形状は、特に限定されず、走査部２を支持することができればよい。また、枠部２７の形状などによっては、支持基板３を省略してもよい。支持基板３と走査部２との接合方法は、特に限定されず、例えば、接着剤を用いて接合してもよいし、陽極接合により接合してもよい。また、例えば、走査部２と支持基板３との間に、ＳｉＯ2を主な材料として構成されたＳｉＯ2層が介在していてもよい。 The support substrate 3 is composed mainly of glass or silicon, for example. The planar shape of the support substrate 3 is substantially the same as that of the frame portion 27. The planar shape of the support substrate 3 is not particularly limited as long as the scanning unit 2 can be supported. Further, the support substrate 3 may be omitted depending on the shape of the frame portion 27 and the like. The joining method of the support substrate 3 and the scanning part 2 is not specifically limited, For example, you may join using an adhesive agent and may join by anodic bonding. Further, for example, an SiO 2 layer composed of SiO 2 as a main material may be interposed between the scanning unit 2 and the support substrate 3.

対向基板５は、板状をなしており、支持基板３を介して走査部２と対向するように設けられている。対向基板５は、例えばガラスやシリコンを主な材料として構成される。対向基板５の上面にはコイル６２が設けられる。   The counter substrate 5 has a plate shape and is provided to face the scanning unit 2 with the support substrate 3 interposed therebetween. The counter substrate 5 is composed mainly of glass or silicon, for example. A coil 62 is provided on the upper surface of the counter substrate 5.

図４は、図２に示したＩＩ−ＩＩ線矢視方向断面図である。なお、図４では、説明の便宜上、磁性体６１の左側をＮ極とし、右側をＳ極としたものを示す。図４に示すように、揺動手段６は、磁性体６１と、コイル６２と、電源６３とを含んで構成される。   4 is a cross-sectional view taken along the line II-II shown in FIG. In FIG. 4, for convenience of explanation, the left side of the magnetic body 61 is an N pole and the right side is an S pole. As shown in FIG. 4, the swinging means 6 includes a magnetic body 61, a coil 62, and a power source 63.

磁性体６１は、例えば永久磁石であり、その材料はネオジウム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石、ボンド磁石などの硬磁性体を着磁したものを好適に用いることができる。なお、既に着磁された硬磁性体（すなわち、永久磁石）でもよいし、硬磁性体を光反射部材２１に設けた後に、硬磁性体を着磁することで永久磁石としてもよい。   The magnetic body 61 is, for example, a permanent magnet, and a material obtained by magnetizing a hard magnetic body such as a neodymium magnet, a ferrite magnet, a samarium cobalt magnet, an alnico magnet, or a bonded magnet can be suitably used. In addition, a hard magnetic body (that is, a permanent magnet) already magnetized may be used, or a permanent magnet may be formed by magnetizing the hard magnetic body after the hard magnetic body is provided on the light reflecting member 21.

コイル６２は、磁性体６１に磁界を作用させるためのものであり、磁性体６１の直下に設けられる。すなわち、コイル６２は、光反射部材２１の下面に対向するように設けられている。これにより、コイル６２から発生する磁界を効率的に磁性体６１に作用させることができる。なお、コイル６２は磁心に巻き付けられていてもよい。   The coil 62 is for causing a magnetic field to act on the magnetic body 61, and is provided immediately below the magnetic body 61. That is, the coil 62 is provided to face the lower surface of the light reflecting member 21. Thereby, the magnetic field generated from the coil 62 can be efficiently applied to the magnetic body 61. The coil 62 may be wound around a magnetic core.

また、コイル６２は、電源６３と電気的に接続されている。電源６３から所定周波数の交流電流が供給されると、コイル６２は、上方（光反射部材２１側）に向く磁界と、下方に向く磁界とを交互に発生させる。すなわち、磁性体６１（光反射部材２１）が図４において軸Ａに関して時計回り（右回り）方向のトルクを受ける磁界（この磁界を「磁界Ａ１」という）と、反時計回り（左回り）方向のトルクを受ける磁界（この磁界を「磁界Ａ２」という）とを、交互に発生させる。このような磁界Ａ１と磁界Ａ２とが交互に切り換わることで、一対の軸部材２８をねじれ変形させつつ、光反射部材２１を軸Ａ回りに揺動させる。このように、光反射部材２１が軸Ａ回りに揺動することにより、走査部２は、光反射部材２１によって反射された反射光を対象物、例えばスクリーン（被走査面）上に走査させることが可能となる。   The coil 62 is electrically connected to the power source 63. When an alternating current having a predetermined frequency is supplied from the power source 63, the coil 62 alternately generates a magnetic field directed upward (on the light reflecting member 21 side) and a magnetic field directed downward. That is, the magnetic body 61 (the light reflecting member 21) receives a torque in the clockwise (rightward) direction with respect to the axis A in FIG. 4 (this magnetic field is referred to as “magnetic field A1”) and the counterclockwise (counterclockwise) direction. A magnetic field (this magnetic field is referred to as “magnetic field A2”) that receives a torque of 1 is alternately generated. By alternately switching between the magnetic field A1 and the magnetic field A2, the light reflecting member 21 is swung around the axis A while the pair of shaft members 28 are torsionally deformed. As described above, the light reflecting member 21 swings around the axis A, so that the scanning unit 2 scans the reflected light reflected by the light reflecting member 21 onto an object, for example, a screen (scanned surface). Is possible.

電源６３が供給する交流電流の所定周波数は、振動系ＳＩの固有振動数（ねじり共振周波数）と一致、又は略一致するように設定するのが好ましい。このように、共振を利用することで、光反射部材２１を軸Ａ回りに揺動させるときに、少ない消費電力で振れ角（揺動角）を大きくすることができる。   The predetermined frequency of the alternating current supplied by the power source 63 is preferably set so as to match or substantially match the natural frequency (torsional resonance frequency) of the vibration system SI. Thus, by utilizing resonance, when the light reflecting member 21 is swung around the axis A, the swing angle (swing angle) can be increased with less power consumption.

本実施形態では、磁性体６１とコイル６２との間の電磁力を利用した揺動方式を示したが、これに限定されず、静電引力を利用した方式や、圧電素子を揺動手段として利用した揺動方式を採用してもよい。例えば、静電引力を利用した方式の場合には、磁性体６１は不要であり、コイル６２の代わりに、対向基板５上において光反射部材２１に対向する位置に、１つ又は複数の電極が設置される。そして、光反射部材２１と当該電極との間に所定周波数の交流電圧を印加することにより、光反射部材２１と電極との間に静電引力を発生させ、一対の軸部材２８をねじれ変形させながら、光反射部材２１を軸Ａ回りに揺動させるようにしてもよい。   In the present embodiment, the swing method using the electromagnetic force between the magnetic body 61 and the coil 62 is shown, but the present invention is not limited to this, and a method using electrostatic attraction or a piezoelectric element as the swing means. The swing method used may be adopted. For example, in the case of a system using electrostatic attraction, the magnetic body 61 is not necessary, and one or more electrodes are provided on the counter substrate 5 at a position facing the light reflecting member 21 instead of the coil 62. Installed. Then, by applying an alternating voltage of a predetermined frequency between the light reflecting member 21 and the electrode, an electrostatic attractive force is generated between the light reflecting member 21 and the electrode, and the pair of shaft members 28 are twisted and deformed. However, the light reflecting member 21 may be swung around the axis A.

図５及び図６は、図１に示した光スキャナーのＺステージの動作を説明する図である。図５及び図６に示すように、Ｚステージ８は、可動部８ａと固定部８ｂとを有する。可動部８ａには、走査部２を含む本体１と、ミラー８３とが設けられ、固定されている。このとき、本体１は、図２及び図４に示した軸Ａが図１に示した軸Ｂに垂直になる（図５及び図６において、軸ＢがＺ軸方向に相当し軸ＡがＹ軸方向に相当する）ように、配置される。図５に示すように、可動部８ａは、可動していない状態（以下、初期状態という）で固定部８ｂ上に載置されている。図６に示すように、Ｚステージ８は、例えば圧電素子（ピエゾ素子）から構成され、可動部８ａを支持するアクチュエーター８ｃを有する。図５及び図６に示すように、Ｚステージ８は、制御回路４と電気的に接続されており、制御回路４に制御されてアクチュエーター８ｃが伸縮する。   5 and 6 are diagrams for explaining the operation of the Z stage of the optical scanner shown in FIG. As shown in FIGS. 5 and 6, the Z stage 8 includes a movable portion 8a and a fixed portion 8b. The movable portion 8a is provided with a main body 1 including the scanning portion 2 and a mirror 83, and is fixed. At this time, in the main body 1, the axis A shown in FIGS. 2 and 4 is perpendicular to the axis B shown in FIG. 1 (in FIGS. 5 and 6, the axis B corresponds to the Z-axis direction and the axis A is Y (Corresponding to the axial direction). As shown in FIG. 5, the movable portion 8a is placed on the fixed portion 8b in a non-movable state (hereinafter referred to as an initial state). As shown in FIG. 6, the Z stage 8 is composed of, for example, a piezoelectric element (piezo element) and includes an actuator 8c that supports the movable portion 8a. As shown in FIGS. 5 and 6, the Z stage 8 is electrically connected to the control circuit 4, and the actuator 8 c expands and contracts under the control of the control circuit 4.

具体的には、アクチュエーター８ｃが伸縮することにより、図６に示すように、可動部８ａが矢印で示すように上方向（図６におけるＺ軸方向）に移動（上昇）し、図５に示すように、可動部８ａが矢印で示すように下方向（図５におけるＺ軸方向）に移動（下降）し、初期状態（元の位置）に戻る。すなわち、Ｚステージ８は、本発明における第２軸方向移動体の一具体例に相当する。   Specifically, when the actuator 8c expands and contracts, as shown in FIG. 6, the movable portion 8a moves (rises) upward (in the Z-axis direction in FIG. 6) as shown by an arrow, and is shown in FIG. As described above, the movable portion 8a moves (lowers) downward (in the Z-axis direction in FIG. 5) as indicated by an arrow, and returns to the initial state (original position). That is, the Z stage 8 corresponds to a specific example of the second axially moving body in the present invention.

図１に示す中空モーター７０は、軸Ｂ回りに３６０度回動可能（回転可能）に構成された回動体（回転体）である。中空モーター７０には、光スキャナー１０（本体１及びＺステージ８）と、ミラー８１，８２とが設けられ、固定されている。光スキャナー１０及びミラー８１，８２は、中空モーター７０とともに軸Ｂ回りに回動（回転）する。また、中空モーター７０は、軸Ｂの近傍の部分に中空に形成された中空部７０ａを有する。中空部７０ａにおける軸Ｂに垂直な断面は、光が通過可能な大きさ以上であればよい。中空モーター７０には、ダイレクトドライブモーター、ステッピングモーター、サーボモーター、ＤＣモーターなどを用いることができる。   The hollow motor 70 shown in FIG. 1 is a rotating body (rotating body) configured to be rotatable (rotatable) 360 degrees around the axis B. The hollow motor 70 is provided with an optical scanner 10 (the main body 1 and the Z stage 8) and mirrors 81 and 82, and is fixed. The optical scanner 10 and the mirrors 81 and 82 rotate (rotate) around the axis B together with the hollow motor 70. Further, the hollow motor 70 has a hollow portion 70a formed hollow in a portion near the shaft B. The cross section perpendicular to the axis B in the hollow portion 70a only needs to be larger than the size through which light can pass. As the hollow motor 70, a direct drive motor, a stepping motor, a servo motor, a DC motor, or the like can be used.

図７は、図１に示した中空モーターの他の例を示す斜視図である。なお、図１に示す中空モーター７０に代えて、図７に示すように、モーター７１、第１の回転ギア７２、及び第２の回転ギア７３から構成される回動体（回転体）を用いるようにしてもよい。モーター７１には、ダイレクトドライブモーター、ステッピングモーター、サーボモーター、ＤＣモーターなどを用いることができる。第１の回転ギア７２は、モーター７１に接続し、軸Ｂ’の回りに３６０度回動（回転）可能である。第２の回転ギア７３は第１の回転ギア７２に咬合し、軸Ｂの回りに３６０度回動（回転）可能である。第２の回転ギア７３は、軸Ｂの近傍の部分に光が通過可能な程度の大きさ以上の中空に形成された中空部７３ａを有する。また、第２の回転ギア７３には、光スキャナー１０（図示省略）と、ミラー８１，８２とが設けられ、固定されている。光スキャナー１０及びミラー８１，８２は、第２の回転ギア７３とともに回動（回転）する。このように、高価な中空モーター７０の代わりにモーター７１、第１の回転ギア７２、及び第２の回転ギア７３から構成される回動体（回転体）を用いることにより、本実施形態の光走査装置１００を低コストで製造することができる。   FIG. 7 is a perspective view showing another example of the hollow motor shown in FIG. Instead of the hollow motor 70 shown in FIG. 1, as shown in FIG. 7, a rotating body (rotating body) composed of a motor 71, a first rotating gear 72, and a second rotating gear 73 is used. It may be. As the motor 71, a direct drive motor, a stepping motor, a servo motor, a DC motor, or the like can be used. The first rotating gear 72 is connected to the motor 71 and can be rotated (rotated) 360 degrees around the axis B ′. The second rotation gear 73 meshes with the first rotation gear 72 and can rotate (rotate) 360 degrees around the axis B. The second rotating gear 73 has a hollow portion 73a formed in a hollow portion having a size larger than a size that allows light to pass in a portion in the vicinity of the axis B. The second rotary gear 73 is provided with an optical scanner 10 (not shown) and mirrors 81 and 82, which are fixed. The optical scanner 10 and the mirrors 81 and 82 rotate (rotate) together with the second rotation gear 73. As described above, by using a rotating body (rotating body) including the motor 71, the first rotating gear 72, and the second rotating gear 73 instead of the expensive hollow motor 70, the optical scanning of the present embodiment. The apparatus 100 can be manufactured at low cost.

光源９０は、光を出射するためのものであり、例えば、レーザー光を出射するレーザー光源である。また、光源９０は、中空モーター７０を挟んで光スキャナー１０及びミラー８１，８２，８３と反対側に配置される。光源９０から出射した光Ｌｉは、軸Ｂに沿って中空モーター７０の中空部７０ａを通過するように調整されている。なお、光源９０から出射される光Ｌｉは、赤色の光、緑色の光、及び青色の光を、例えばクロスダイクロイックプリズムなどで合成した３色の合成光であってもよい。   The light source 90 is for emitting light, and is, for example, a laser light source that emits laser light. The light source 90 is disposed on the opposite side of the optical scanner 10 and the mirrors 81, 82, and 83 with the hollow motor 70 interposed therebetween. The light Li emitted from the light source 90 is adjusted so as to pass through the hollow portion 70 a of the hollow motor 70 along the axis B. The light Li emitted from the light source 90 may be combined light of three colors obtained by combining red light, green light, and blue light using, for example, a cross dichroic prism.

前述したように、ミラー８１，８２は、それぞれ中空モーター７０に設けられて固定され、ミラー８３はＺステージ８に設けられて固定される。図１に示したように、ミラー８１は中空モーター７０の軸Ｂ上に配置され、ミラー８２はミラー８１から一定距離離れた位置に配置される。ミラー８３は、ミラー８２によって反射された光Ｌｉが入射する位置に配置される。また、図５及び図６に示したように、ミラー８３は、反射した光Ｌｉが本体１（走査部２）の光反射部材２１に入射するように調整されている。   As described above, the mirrors 81 and 82 are respectively provided and fixed to the hollow motor 70, and the mirror 83 is provided and fixed to the Z stage 8. As shown in FIG. 1, the mirror 81 is disposed on the axis B of the hollow motor 70, and the mirror 82 is disposed at a position away from the mirror 81 by a certain distance. The mirror 83 is disposed at a position where the light Li reflected by the mirror 82 enters. Further, as shown in FIGS. 5 and 6, the mirror 83 is adjusted so that the reflected light Li is incident on the light reflecting member 21 of the main body 1 (scanning unit 2).

本実施形態では、ミラー８１，８２を中空モーター７０に設け、ミラー８３をＺステージ８に設けるようにしたが、これに限定されない。本発明のミラーは、光源９０から出射されて中空モーター７０の中空部７０ａを通過した光Ｌｉが、光スキャナー１０の光反射部材２１に入射するように構成されていればよく、ミラーの数、ミラーの配置（位置）、ミラーの大きさなどは適宜変更してもよい。   In the present embodiment, the mirrors 81 and 82 are provided on the hollow motor 70 and the mirror 83 is provided on the Z stage 8, but this is not limitative. The mirror of the present invention only needs to be configured such that the light Li emitted from the light source 90 and passed through the hollow portion 70a of the hollow motor 70 enters the light reflecting member 21 of the optical scanner 10, and the number of mirrors, You may change suitably the arrangement | positioning (position) of a mirror, the magnitude | size of a mirror, etc.

図１に示す半球面スクリーンＳＣ１は、点Ｏを頂点とする半球の内面を被走査面とするスクリーンである。なお、図１に示すように、光スキャナー１０の光反射部材２１が揺動していないときに、光源９０から出射された光Ｌｉが図２乃至図４に示す光反射部材２１に入射し、光反射部材２１によって反射された反射光Ｄが、軸Ｂ上の半球面スクリーンＳＣ１の頂点Ｏに照射（走査）されるように調整することが望ましい。これにより、反射光Ｄを半球面スクリーンＳＣ１に直径走査させることが可能となる。   A hemispherical screen SC1 shown in FIG. 1 is a screen in which the inner surface of a hemisphere having a point O as a vertex is a scanned surface. As shown in FIG. 1, when the light reflecting member 21 of the optical scanner 10 is not swinging, the light Li emitted from the light source 90 enters the light reflecting member 21 shown in FIGS. It is desirable to adjust so that the reflected light D reflected by the light reflecting member 21 is irradiated (scanned) to the vertex O of the hemispherical screen SC1 on the axis B. Thereby, the reflected light D can be scanned in diameter on the hemispherical screen SC1.

次に、図８を参照して光走査装置１００の動作について説明する。図８は、図１に示した光走査装置の動作を説明する図である。図８に示すように、光源９０から出射された光Ｌｉは、中空モーター７０の中空部７０ａを通過し、ミラー８１，８２，８３を介して、光スキャナー１０の光反射部材２１（図示省略）に入射する。よって、光反射部材２１が軸Ａ回りに揺動する（図中矢印ｑ方向に揺動する）ことにより、光反射部材２１によって反射された反射光が、図８に示す矢印Ｑの方向に走査される（直径走査される）。   Next, the operation of the optical scanning device 100 will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a diagram for explaining the operation of the optical scanning device shown in FIG. As shown in FIG. 8, the light Li emitted from the light source 90 passes through the hollow portion 70 a of the hollow motor 70 and passes through the mirrors 81, 82, 83, and the light reflecting member 21 (not shown) of the light scanner 10. Is incident on. Therefore, when the light reflecting member 21 swings around the axis A (swings in the direction of arrow q in the figure), the reflected light reflected by the light reflecting member 21 scans in the direction of arrow Q shown in FIG. (Diameter scanned).

さらに、中空モーター７０が軸Ｂ回りに回動（回転）する（図中矢印ｐ方向に回動する）ことにより、光反射部材２１によって反射された反射光が図８に示す矢印Ｐの方向に走査される。このように、光反射部材２１における軸Ａ回りの揺動と、中空モーター７０の軸Ｂ回りの回動（回転）とを組み合わせることにより、半球面スクリーンＳＣ１全体に光反射部材２１の反射光を走査させることができる。なお、この場合に、中空モーター７０は１８０度回動（回転）すればよい。   Further, when the hollow motor 70 rotates (rotates) around the axis B (rotates in the direction of arrow p in the figure), the reflected light reflected by the light reflecting member 21 is directed in the direction of arrow P shown in FIG. Scanned. In this way, by combining the oscillation of the light reflecting member 21 around the axis A and the rotation (rotation) around the axis B of the hollow motor 70, the reflected light of the light reflecting member 21 is applied to the entire hemispherical screen SC1. Can be scanned. In this case, the hollow motor 70 may be rotated (rotated) 180 degrees.

次に、図９乃至図１１を参照して、被走査面上における反射光の走査速度について説明する。図９は、図１に示した光スキャナーと被走査面との関係を説明する平面図であり、図１０は、図１に示した光スキャナーの反射光を走査させる被走査面を説明する正面図である。前述したように、図１に示した光スキャナー１０は、光反射部材２１が軸Ａ回りに揺動することにより、光反射部材２１によって反射された反射光Ｄを被走査面、例えば、スクリーン上の所定方向（一方向）に走査させることができる。図９に示すように、光スキャナー１０の本体１（走査部２）は、Ｚステージ８の初期状態で、平面スクリーンＳＣ２から距離Ｌだけ離れた位置にある。厳密には、本体１の光反射部材２１（図示省略）が平面スクリーンＳＣ２から距離Ｌだけ離れた位置にある。図９又は図１０に示すように、走査部２を含む本体１は、光源９０からの光Ｌｉを光反射部材２１によって反射させ、矩形状の平面スクリーンＳＣ２の所定方向（図１０における長手方向（横方向））に反射光Ｄを走査させる。ここで、本体１の光反射部材２１が揺動していないときに、反射光Ｄの走査位置をＸ0とする。また、走査位置Ｘ0から一方向側（図９における左側）へ走査させたときの光反射部材２１の揺動角θをプラスの角度とし、走査位置Ｘ0から他方向側（図９における右側）へ走査させたときの光反射部材２１の揺動角θをマイナスの角度とする。 Next, the scanning speed of the reflected light on the surface to be scanned will be described with reference to FIGS. FIG. 9 is a plan view for explaining the relationship between the optical scanner shown in FIG. 1 and the surface to be scanned, and FIG. 10 is a front view for explaining the surface to be scanned for scanning the reflected light of the optical scanner shown in FIG. FIG. As described above, the optical scanner 10 shown in FIG. 1 causes the reflected light D reflected by the light reflecting member 21 on the surface to be scanned, for example, on the screen, by the light reflecting member 21 swinging about the axis A. Can be scanned in a predetermined direction (one direction). As shown in FIG. 9, the main body 1 (scanning unit 2) of the optical scanner 10 is in a position separated from the flat screen SC2 by a distance L in the initial state of the Z stage 8. Strictly speaking, the light reflecting member 21 (not shown) of the main body 1 is at a position separated from the flat screen SC2 by a distance L. As shown in FIG. 9 or FIG. 10, the main body 1 including the scanning unit 2 reflects the light Li from the light source 90 by the light reflecting member 21, and a predetermined direction (longitudinal direction in FIG. The reflected light D is scanned in the horizontal direction)). Here, the scanning position of the reflected light D is X 0 when the light reflecting member 21 of the main body 1 is not swinging. Further, the swing angle θ of the light reflecting member 21 when scanning from the scanning position X 0 to one direction side (left side in FIG. 9) is a plus angle, and from the scanning position X 0 to the other direction side (right side in FIG. 9). The swing angle θ of the light reflecting member 21 when scanned to) is a negative angle.

図１１は、光反射部材の揺動角の一例を示すグラフである。図９及び図１０に示した例において、本体１（走査部２）における振動系ＳＩ（光反射部材２１）が所定の振動数（周波数）で揺動し、反射光Ｄを平面スクリーンＳＣ２上の走査位置をＸ0から走査させ、走査位置Ｘ1と走査位置Ｘ2との間で往復走査させる場合（Ｘ0→Ｘ1→Ｘ0→Ｘ2→Ｘ0→Ｘ1→…）、図１１に示すように、光反射部材２１の揺動角θは、正弦関数で時間変化する（θ＝ｓｉｎ（ｔ））。この場合、図示を省略するが、揺動角θの速度ω1は、余弦関数で時間変化する（ω1＝ｄθ／ｄｔ＝ｃｏｓ（ｔ））。 FIG. 11 is a graph showing an example of the swing angle of the light reflecting member. In the example shown in FIGS. 9 and 10, the vibration system SI (light reflecting member 21) in the main body 1 (scanning unit 2) oscillates at a predetermined frequency (frequency), and the reflected light D is reflected on the flat screen SC2. When the scanning position is scanned from X 0 and reciprocating scanning is performed between the scanning position X 1 and the scanning position X 2 (X 0 → X 1 → X 0 → X 2 → X 0 → X 1 →...), FIG. As shown in FIG. 4, the swing angle θ of the light reflecting member 21 changes with time as a sine function (θ = sin (t)). In this case, although not shown, the speed ω 1 of the swing angle θ changes with time by a cosine function (ω 1 = dθ / dt = cos (t)).

このように所定の振動数（周波数）で振動系ＳＩ（光反射部材２１）が揺動して反射光Ｄを走査させる場合、平面スクリーンＳＣ２上の走査位置ｘは、距離Ｌと揺動角θとを用いて、以下の式（１）のように表すことができる。
ｘ＝Ｌ×ｔａｎθ …（１） In this way, when the vibration system SI (light reflecting member 21) swings at a predetermined frequency (frequency) to scan the reflected light D, the scanning position x on the flat screen SC2 has a distance L and a swing angle θ. And can be expressed as the following formula (1).
x = L × tan θ (1)

よって、変更手段により走査速度を変更する前の走査速度ｖ1（以下、変更前の走査速度という）は、以下の式（２）のように表すことができる。
ｖ1＝ｄｘ／ｄｔ＝Ｌ×｛１／（ｃｏｓθ）2｝ …（２） Therefore, the scanning speed v 1 before changing the scanning speed by the changing means (hereinafter referred to as the scanning speed before changing) can be expressed as the following equation (2).
v 1 = dx / dt = L × {1 / (cos θ) 2 } (2)

以上説明したように、所定の振動数（周波数）で本体１の振動系ＳＩ（光反射部材２１）が揺動して反射光Ｄを走査させる場合、走査位置ｘにより走査速度ｖ1が変化する。これは、被走査面が図１に示した半球面スクリーンＳＣ１であっても同様である。 As described above, when the vibration system SI (light reflecting member 21) of the main body 1 swings at a predetermined frequency (frequency) to scan the reflected light D, the scanning speed v 1 changes depending on the scanning position x. . This is the same even if the surface to be scanned is the hemispherical screen SC1 shown in FIG.

図１２は、図１に示した光スキャナーと図１に示した半球面スクリーンとの関係を説明する側面図である。図１２に示すＺステージ８は、半球面スクリーンＳＣ１上における反射光Ｄの走査速度を変えるために、本体１（走査部２）の空間的位置を変更する。具体的には、Ｚステージ８は、本体１（走査部２）と半球面スクリーンＳＣ１との距離を変更するように、本体１（走査部２）を移動させる。すなわち、Ｚステージ８は、本発明における変更手段の一具体例に相当する。   12 is a side view for explaining the relationship between the optical scanner shown in FIG. 1 and the hemispherical screen shown in FIG. The Z stage 8 shown in FIG. 12 changes the spatial position of the main body 1 (scanning unit 2) in order to change the scanning speed of the reflected light D on the hemispherical screen SC1. Specifically, the Z stage 8 moves the main body 1 (scanning unit 2) so as to change the distance between the main body 1 (scanning unit 2) and the hemispherical screen SC1. That is, the Z stage 8 corresponds to a specific example of changing means in the present invention.

図５及び図６に示した制御回路４は、Ｚステージ８により変更された走査速度（以下、変更後の走査速度という）が所定速度になるように、Ｚステージ８を制御する。具体的には、制御回路４は、本体１（走査部２）と半球面スクリーンＳＣ１との距離を変更することにより、変更前の走査速度の変化を相殺するように、Ｚステージ８を制御する。   The control circuit 4 shown in FIGS. 5 and 6 controls the Z stage 8 so that the scanning speed changed by the Z stage 8 (hereinafter referred to as the changed scanning speed) becomes a predetermined speed. Specifically, the control circuit 4 controls the Z stage 8 so as to cancel the change in the scanning speed before the change by changing the distance between the main body 1 (scanning unit 2) and the hemispherical screen SC1. .

ここで、例えば、本体１（走査部２）と半球面スクリーンＳＣ１との距離を短くすることにより変更前の走査速度を下げることができる。また、例えば、本体１（走査部２）と半球面スクリーンＳＣ１との距離を長くすることにより変更前の走査速度を上げることができる。よって、本体１（走査部２）と半球面スクリーンＳＣ１との距離を変更することにより、半球面スクリーンＳＣ１上における反射光Ｄの走査速度を変化させ、変更前の走査速度の変化を相殺すれば、変更後の走査速度を所定速度にすることが可能となる。   Here, for example, the scanning speed before the change can be lowered by shortening the distance between the main body 1 (scanning unit 2) and the hemispherical screen SC1. Further, for example, the scanning speed before the change can be increased by increasing the distance between the main body 1 (scanning unit 2) and the hemispherical screen SC1. Therefore, if the scanning speed of the reflected light D on the hemispherical screen SC1 is changed by changing the distance between the main body 1 (scanning unit 2) and the hemispherical screen SC1, the change in the scanning speed before the change is offset. The changed scanning speed can be set to a predetermined speed.

従って、制御回路４は、例えば、変更前の走査速度が高いときに、Ｚステージ８の可動部８ａを上昇させて本体１（走査部２）を半球面スクリーンＳＣ１に接近させ、変更前の走査速度を下げる。また、制御回路４は、例えば、変更前の走査速度が低いときに、Ｚステージ８の可動部８ａを下降させて（元の位置に戻して）本体１（走査部２）を半球面スクリーンＳＣ１から遠ざけ、変更前の走査速度を上げる。これにより、変更後の走査速度を、周期的に向き（方向）を変えながら一定又は略一定にすることができる。   Therefore, for example, when the scanning speed before the change is high, the control circuit 4 raises the movable part 8a of the Z stage 8 to bring the main body 1 (scanning part 2) closer to the hemispherical screen SC1, thereby scanning before the change. Reduce speed. Further, for example, when the scanning speed before the change is low, the control circuit 4 lowers the movable part 8a of the Z stage 8 (returns it to the original position) and moves the main body 1 (scanning part 2) to the hemispherical screen SC1. Increase the scanning speed before the change. As a result, the changed scanning speed can be made constant or substantially constant while periodically changing the direction (direction).

なお、本発明において、「空間的位置を変更する」とは、所定の空間座標系、例えば、直交座標系や極座標系において、少なくとも一つの座標（パラメータ）を変更することをいい、物体の一部が空間的位置を変更する場合も含む。例えば、走査部２が軸Ａ回りに回動する場合、走査部２における一対の軸部材２８は半球面スクリーンＳＣ１に対する空間的位置を変えないが、光反射部材２１と枠部２７とのうち少なくとも一方は半球面スクリーンＳＣ１に対する空間的位置を変えるので、走査部２は「空間的位置を変更する」ことに該当する。   In the present invention, “changing the spatial position” means changing at least one coordinate (parameter) in a predetermined spatial coordinate system, for example, an orthogonal coordinate system or a polar coordinate system. This includes the case where the section changes the spatial position. For example, when the scanning unit 2 rotates about the axis A, the pair of shaft members 28 in the scanning unit 2 does not change the spatial position with respect to the hemispherical screen SC1, but at least of the light reflecting member 21 and the frame unit 27. One of them changes the spatial position with respect to the hemispherical screen SC1, so that the scanning unit 2 corresponds to “changing the spatial position”.

図１３乃至図１５は、図１に示したに示した被走査面の他の例を説明する側面図であり、図１６は図１５に示した顔型スクリーンの斜視図である。本実施形態では、光走査装置１００が反射光Ｄを走査させる被走査面として、半球面スクリーンＳＣ１の場合を示したが、これに限定されない。例えば、図１３に示すように、完全には半球ではないが略半球の内面である略半球面スクリーンＳＣ３であってもよいし、図１４に示すように、半球（又は略半球）と平面とを組み合わせた疑似半球面の内面である疑似半球面スクリーンＳＣ４であってもよい。また、図１５及び図１６に示すように、人の顔の形状を模した顔型スクリーンＳＣ５であってもよい。このように、本発明の光走査装置１００は、少なくとも一部に曲面を有するスクリーンを被走査面として反射光を走査させる場合に適している。   13 to 15 are side views for explaining another example of the surface to be scanned shown in FIG. 1, and FIG. 16 is a perspective view of the face type screen shown in FIG. In the present embodiment, the case of the hemispherical screen SC1 is shown as the scanning surface on which the optical scanning device 100 scans the reflected light D. However, the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIG. 13, it may be a substantially hemispherical screen SC3 which is not a complete hemisphere but is an inner surface of a substantially hemisphere, and as shown in FIG. 14, a hemisphere (or substantially hemisphere) and a plane May be a pseudo hemispherical screen SC4 which is an inner surface of a pseudo hemispherical surface. Moreover, as shown in FIG.15 and FIG.16, the face type | mold screen SC5 imitating the shape of a human face may be sufficient. Thus, the optical scanning device 100 of the present invention is suitable for scanning reflected light using a screen having a curved surface at least in part as a surface to be scanned.

このように、本実施形態における光走査装置１００によれば、光反射部材２１が揺動することにより、光反射部材２１によって反射された反射光Ｄを被走査面上に走査可能な光スキャナー１０と、軸Ｂ回りに回動（回転）可能に構成された中空モーター７０と、を備える。これにより、光反射部材２１を軸Ａ回りに揺動させるとともに、光スキャナー１０が設けられた中空モーター７０を軸Ａに垂直な軸Ｂ回りに回動させることにより、例えば、半球面スクリーンＳＣ１に、過不足無く反射光Ｄを走査させることができる。また、半球面スクリーンＳＣ１上における反射光Ｄの所定方向の走査速度を変更するために、本体１（走査部２）の半球面スクリーンＳＣ１に対する空間的位置が変更される。ここで、本体１（走査部２）の半球面スクリーンＳＣ１に対する空間的位置を変更する、例えば、走査部２を軸Ａ回りに回動させたり、本体１（走査部２）を移動させたりすることにより、半球面スクリーンＳＣ１上における反射光の走査速度を変えることができる。よって、例えば、光反射部材２１の揺動運動に応じて本体１（走査部２）の半球面スクリーンＳＣ１に対する空間的位置を変更することにより、半球面スクリーンＳＣ１上における反射光の走査速度を所定速度にすることが可能となる。これにより、例えば、光源９０から一定光量の光を光反射部材２１に入射させる場合に、半球面スクリーンＳＣ１上の走査位置による明るさの差異を低減させることができる。   As described above, according to the optical scanning device 100 of the present embodiment, the optical scanner 10 that can scan the reflected light D reflected by the light reflecting member 21 on the surface to be scanned by the light reflecting member 21 swinging. And a hollow motor 70 configured to be rotatable (rotated) about the axis B. As a result, the light reflecting member 21 is swung around the axis A, and the hollow motor 70 provided with the light scanner 10 is rotated around the axis B perpendicular to the axis A, for example, to the hemispherical screen SC1. The reflected light D can be scanned without excess or deficiency. Further, in order to change the scanning speed of the reflected light D in the predetermined direction on the hemispherical screen SC1, the spatial position of the main body 1 (scanning unit 2) with respect to the hemispherical screen SC1 is changed. Here, the spatial position of the main body 1 (scanning unit 2) with respect to the hemispherical screen SC1 is changed, for example, the scanning unit 2 is rotated around the axis A, or the main body 1 (scanning unit 2) is moved. Thus, the scanning speed of the reflected light on the hemispherical screen SC1 can be changed. Therefore, for example, by changing the spatial position of the main body 1 (scanning unit 2) with respect to the hemispherical screen SC1 according to the swinging motion of the light reflecting member 21, the scanning speed of the reflected light on the hemispherical screen SC1 is predetermined. It becomes possible to make speed. Thereby, for example, when a fixed amount of light is incident on the light reflecting member 21 from the light source 90, the difference in brightness depending on the scanning position on the hemispherical screen SC1 can be reduced.

また、本実施形態における光走査装置１００によれば、Ｚステージ８により変更された走査速度が所定速度になるように、Ｚステージ８が制御される。これにより、例えば、光反射部材２１の揺動運動による半球面スクリーンＳＣ１上における走査速度の変化を相殺するように、Ｚステージ８が制御されるので、半球面スクリーンＳＣ１上における変更後の走査速度を所定速度にすることができる。これにより、例えば、光源９０から一定光量の光を光反射部材２１に入射させる場合に、半球面スクリーンＳＣ１上における反射光Ｄの明るさを一定又は略一定にすることができる。   Further, according to the optical scanning device 100 of the present embodiment, the Z stage 8 is controlled so that the scanning speed changed by the Z stage 8 becomes a predetermined speed. Thereby, for example, the Z stage 8 is controlled so as to cancel the change in the scanning speed on the hemispherical screen SC1 due to the swinging motion of the light reflecting member 21, so the changed scanning speed on the hemispherical screen SC1. Can be set to a predetermined speed. Thereby, for example, when a certain amount of light is incident on the light reflecting member 21 from the light source 90, the brightness of the reflected light D on the hemispherical screen SC1 can be made constant or substantially constant.

また、本実施形態における光走査装置１００によれば、本体１（走査部２）と半球面スクリーンＳＣ１との距離を変更するように、Ｚステージ８によって本体１（走査部２）が移動させられる。これにより、例えば、光反射部材２１の揺動運動に応じて、本体１（走査部２）と半球面スクリーンＳＣ１との距離を変更するようにＺステージ８の可動部８ａが移動するので、半球面スクリーンＳＣ１上における変更後の走査速度を容易に所定速度にすることができる。これにより、例えば、光源９０から一定光量の光を光反射部材２１に入射させる場合に、半球面スクリーンＳＣ１上における反射光Ｄの明るさを容易に一定又は略一定にすることができる。   Further, according to the optical scanning device 100 of the present embodiment, the main body 1 (scanning unit 2) is moved by the Z stage 8 so as to change the distance between the main body 1 (scanning unit 2) and the hemispherical screen SC1. . Thereby, for example, the movable part 8a of the Z stage 8 moves so as to change the distance between the main body 1 (scanning part 2) and the hemispherical screen SC1 according to the swinging motion of the light reflecting member 21, so that the hemisphere The changed scanning speed on the surface screen SC1 can be easily set to a predetermined speed. Thereby, for example, when a certain amount of light is incident on the light reflecting member 21 from the light source 90, the brightness of the reflected light D on the hemispherical screen SC1 can be easily made constant or substantially constant.

また、本実施形態における光走査装置１００によれば、変更手段は、走査部２が設けられ、軸Ｂの方向に移動するＺステージ８である。これにより、Ｚステージ８の可動部８ａが中空モーター７０の回動軸である軸Ｂの方向に移動することで、本体１（走査部２）が半球面スクリーンＳＣ１に接近し、又は半球面スクリーンＳＣ１から遠ざかるので、本体１（走査部２）と半球面スクリーンＳＣ１との距離を変更するように、本体１（走査部２）を容易に移動させることができる。   Further, according to the optical scanning device 100 in the present embodiment, the changing means is the Z stage 8 provided with the scanning unit 2 and moving in the direction of the axis B. As a result, the movable portion 8a of the Z stage 8 moves in the direction of the axis B that is the rotation axis of the hollow motor 70, so that the main body 1 (scanning portion 2) approaches the hemispherical screen SC1, or the hemispherical screen. Since it moves away from SC1, the main body 1 (scanning section 2) can be easily moved so as to change the distance between the main body 1 (scanning section 2) and the hemispherical screen SC1.

また、本実施形態における光走査装置１００によれば、光源９０が中空モーター７０を挟んで光スキャナー１０と反対側に配置され、光源９０から出射されて中空部７０ａを通過した光Ｌｉが光反射部材２１に入射するように、ミラー８１，８２，８３が構成される。これにより、中空モーター７０を挟んで光スキャナー１０と反対側に光源９０を配置し、光源９０から出射されて中空モーター７０の中空部７０ａを通過した光Ｌｉが光スキャナー１０の光反射部材２１に入射するように、ミラー８１，８２，８３を構成したので、半球面スクリーンＳＣ１上に走査される反射光Ｄが光源９０や配線によって遮られることがない。また、中空モーター７０や光スキャナー１０の外部に光源９０を配置したので、光源９０を回動させる必要がなく、モーターなどの駆動系に余分な負荷をかけずに済むとともに、光源９０の駆動信号、特にレーザー光源における駆動信号がノイズの影響を受けにくくなり、安定した光源９０を実現することができる。さらに、光源９０は中空モーター７０を挟んで光スキャナー１０と反対側であればよく、ミラー８１，８２，８３は中空モーター７０の中空部７０ａを通過した光が光反射部材２１に入射すればよいので、光源９０及びミラー８１，８２，８３は位置、大きさ、数などの制約（制限）が少なく、光学系（光源及びミラー）の設計自由度が高いという利点がある。   Further, according to the optical scanning device 100 in the present embodiment, the light source 90 is disposed on the opposite side of the optical scanner 10 with the hollow motor 70 interposed therebetween, and the light Li emitted from the light source 90 and passing through the hollow portion 70a is reflected. Mirrors 81, 82, and 83 are configured to enter the member 21. Accordingly, the light source 90 is disposed on the opposite side of the optical scanner 10 with the hollow motor 70 interposed therebetween, and the light Li emitted from the light source 90 and passing through the hollow portion 70a of the hollow motor 70 is applied to the light reflecting member 21 of the optical scanner 10. Since the mirrors 81, 82, and 83 are configured to be incident, the reflected light D scanned on the hemispherical screen SC1 is not blocked by the light source 90 or wiring. Further, since the light source 90 is disposed outside the hollow motor 70 and the optical scanner 10, it is not necessary to rotate the light source 90, and it is not necessary to apply an extra load to the drive system such as the motor, and the drive signal of the light source 90 In particular, the drive signal in the laser light source is less affected by noise, and a stable light source 90 can be realized. Further, the light source 90 may be on the side opposite to the optical scanner 10 with the hollow motor 70 interposed therebetween, and the mirrors 81, 82, and 83 may be configured such that light that has passed through the hollow portion 70 a of the hollow motor 70 enters the light reflecting member 21. Therefore, the light source 90 and the mirrors 81, 82, and 83 have the advantage that there are few restrictions (limitations) such as position, size, and number, and the degree of freedom in designing the optical system (light source and mirror) is high.

（第２実施形態）
図１７乃至図１９は、本発明に係る光走査装置の第２実施形態を示すものである。なお、前述した第１実施形態と同一構成部分は同一符号をもって表し、その説明を省略する。 (Second Embodiment)
17 to 19 show a second embodiment of the optical scanning device according to the present invention. Note that the same components as those of the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

第２実施形態と第１実施形態との相違点は、Ｚステージ８に代えてＸステージ９を備えるようにしたことである。   The difference between the second embodiment and the first embodiment is that an X stage 9 is provided instead of the Z stage 8.

図１７は、本発明に係る光走査装置の第２実施形態における構成を説明する概略側面図である。図１７に示すように、光スキャナー１０Ａは、Ｘステージ９を備える。Ｘステージ９は、中空モーター７０に固定されたレール９ａと、レール９ａ上に設置された移動部９ｂとを有する。移動部９ｂには、走査部２を含む本体１が設けられ、固定されている。また、レール９ａは、図２及び図４に示した軸Ａと軸Ｂとに直交する方向（図１７において、軸ＡがＹ軸方向、軸ＢがＺ軸方向に対してＸ軸方向）に伸び、中空モーター７０に設けられ、固定されている。移動部９ｂは、本体１（走査部２）とともにレール９ａに沿って移動する。すなわち、Ｘステージ９は、本発明における第３軸方向移動体の一具体例に相当する。   FIG. 17 is a schematic side view illustrating the configuration of the second embodiment of the optical scanning device according to the present invention. As shown in FIG. 17, the optical scanner 10 </ b> A includes an X stage 9. The X stage 9 has a rail 9a fixed to the hollow motor 70 and a moving portion 9b installed on the rail 9a. The moving unit 9b is provided with a main body 1 including the scanning unit 2 and is fixed. The rail 9a is in a direction orthogonal to the axis A and the axis B shown in FIGS. 2 and 4 (in FIG. 17, the axis A is the Y-axis direction and the axis B is the X-axis direction with respect to the Z-axis direction). Elongated, provided in a hollow motor 70 and fixed. The moving part 9b moves along the rail 9a together with the main body 1 (scanning part 2). That is, the X stage 9 corresponds to a specific example of the third axially moving body in the present invention.

ミラー８１，８４は、それぞれ中空モーター７０に設けられ、固定されている。ミラー８１は、中空モーター７０の軸Ｂ上に配置される。ミラー８４は、ミラー８１によって反射された光Ｌｉが入射する位置に配置される。また、ミラー８４は、反射した光Ｌｉが本体１（走査部２）の光反射部材２１（図示省略）に入射するように調整されている。   The mirrors 81 and 84 are respectively provided in the hollow motor 70 and fixed. The mirror 81 is disposed on the axis B of the hollow motor 70. The mirror 84 is disposed at a position where the light Li reflected by the mirror 81 is incident. The mirror 84 is adjusted so that the reflected light Li is incident on the light reflecting member 21 (not shown) of the main body 1 (scanning unit 2).

本実施形態では、ミラー８１，８４を中空モーター７０に設けるようにしたが、これに限定されない。第１実施形態と同様に、光源９０から出射されて中空モーター７０の中空部７０ａを通過した光Ｌｉが、光スキャナー１０の光反射部材２１に入射するように構成されていればよく、ミラーの数、ミラーの配置（位置）、ミラーの大きさなどは適宜変更してもよい。   In the present embodiment, the mirrors 81 and 84 are provided in the hollow motor 70, but the present invention is not limited to this. Similarly to the first embodiment, it is sufficient that the light Li emitted from the light source 90 and passed through the hollow portion 70a of the hollow motor 70 is incident on the light reflecting member 21 of the optical scanner 10, and the mirror The number, the arrangement (position) of the mirror, the size of the mirror, and the like may be changed as appropriate.

Ｘステージ９は、半球面スクリーンＳＣ１上における反射光Ｄの走査速度を変えるために、本体１（走査部２）の空間的位置を変更する。具体的には、Ｘステージ９は、本体１（走査部２）と半球面スクリーンＳＣ１との距離を変更するように、本体１（走査部２）を移動させる。すなわち、Ｘステージ９は、本発明における変更手段の一具体例に相当する。   The X stage 9 changes the spatial position of the main body 1 (scanning unit 2) in order to change the scanning speed of the reflected light D on the hemispherical screen SC1. Specifically, the X stage 9 moves the main body 1 (scanning unit 2) so as to change the distance between the main body 1 (scanning unit 2) and the hemispherical screen SC1. That is, the X stage 9 corresponds to a specific example of changing means in the present invention.

図１８及び図１９は、図１７に示した光スキャナーの動作を説明する図である。図１８及び図１９に示すように、Ｘステージ９は、制御回路４に電気的に接続されており、制御回路４に制御されて移動部９ｂが移動する。制御回路４は、Ｘステージ９により変更された走査速度（以下、変更後の走査速度という）が所定速度になるように、Ｘステージ９を制御する。具体的には、制御回路４は、第１実施形態と同様に、本体１（走査部２）と半球面スクリーンＳＣ１との距離を変更することにより、変更前の走査速度の変化を相殺するように、Ｘステージ９を制御する。   18 and 19 are diagrams for explaining the operation of the optical scanner shown in FIG. As shown in FIGS. 18 and 19, the X stage 9 is electrically connected to the control circuit 4, and the moving unit 9 b moves under the control of the control circuit 4. The control circuit 4 controls the X stage 9 so that the scanning speed changed by the X stage 9 (hereinafter referred to as the changed scanning speed) becomes a predetermined speed. Specifically, as in the first embodiment, the control circuit 4 changes the distance between the main body 1 (scanning unit 2) and the hemispherical screen SC1 so as to cancel the change in the scanning speed before the change. Next, the X stage 9 is controlled.

すなわち、制御回路４は、例えば、図１８に示すように、半球面スクリーンＳＣ１の走査範囲における左端に反射光Ｄを走査させるときに、Ｘステージ９の移動部９ｂをレール９ａの右端に移動させる。また、制御回路４は、例えば、図１９に示すように、半球面スクリーンＳＣ１の右端に反射光Ｄを走査させるときに、Ｘステージ９の移動部９ｂをレール９ａの左端に移動させる。このように、Ｘステージ９の移動部９ｂをレール９ａの左端又は右端に移動させて本体１（走査部２）を半球面スクリーンＳＣ１から遠ざけ、本体１（走査部２）と半球面スクリーンＳＣ１との距離を長くすることで、変更前の走査速度を上げる。一方、制御回路４は、例えば、図１７に示したように、半球面スクリーンＳＣ１の頂点Ｏに反射光Ｄを走査させるときに、Ｘステージ９の移動部９ｂをレール９ａの中央に移動させる。このように、Ｘステージ９の移動部９ｂをレール９ａの中央に移動させて本体１（走査部２）を半球面スクリーンＳＣ１に接近させ、本体１（走査部２）と半球面スクリーンＳＣ１との距離を短くすることで、変更前の走査速度を下げる。これにより、変更後の走査速度を、周期的に向き（方向）を変えながら一定又は略一定にすることができる。   That is, for example, as shown in FIG. 18, the control circuit 4 moves the moving portion 9b of the X stage 9 to the right end of the rail 9a when the reflected light D is scanned at the left end in the scanning range of the hemispherical screen SC1. . Further, for example, as shown in FIG. 19, the control circuit 4 moves the moving portion 9b of the X stage 9 to the left end of the rail 9a when scanning the reflected light D on the right end of the hemispherical screen SC1. Thus, the moving part 9b of the X stage 9 is moved to the left end or the right end of the rail 9a to move the main body 1 (scanning part 2) away from the hemispherical screen SC1, and the main body 1 (scanning part 2) and the hemispherical screen SC1. By increasing the distance, the scanning speed before the change is increased. On the other hand, for example, as shown in FIG. 17, the control circuit 4 moves the moving portion 9b of the X stage 9 to the center of the rail 9a when the reflected light D is scanned on the vertex O of the hemispherical screen SC1. In this way, the moving part 9b of the X stage 9 is moved to the center of the rail 9a to bring the main body 1 (scanning part 2) closer to the hemispherical screen SC1, and the main body 1 (scanning part 2) and the hemispherical screen SC1. By shortening the distance, the scanning speed before the change is lowered. As a result, the changed scanning speed can be made constant or substantially constant while periodically changing the direction (direction).

なお、制御回路４は、図１７乃至図１９に示したように、反射光Ｄが半球面スクリーンＳＣ１の中心Ｃを通るように、Ｘステージ９を制御するのが好ましい。これにより、反射光Ｄを半球面スクリーンＳＣ１上に直角に走査（照射）させることができる。   As shown in FIGS. 17 to 19, the control circuit 4 preferably controls the X stage 9 so that the reflected light D passes through the center C of the hemispherical screen SC1. Thereby, the reflected light D can be scanned (irradiated) on the hemispherical screen SC1 at a right angle.

本実施形態では、被走査面として、半球面スクリーンＳＣ１の場合を示し、反射光Ｄが半球面スクリーンＳＣ１の中心Ｃを通るようにしたが、これに限定されない。図１３に示したように、略半球面スクリーンＳＣ３であってもよいし、図１４に示したように、疑似半球面スクリーンＳＣ４であってもよい。また、球体の内面である球面スクリーン（図示省略）であってもよい。これらの場合に、制御回路４は、反射光Ｄが各被走査面の中心を通るように、Ｘステージ９を制御するのが好ましい。   In the present embodiment, the scanning surface is a hemispherical screen SC1, and the reflected light D passes through the center C of the hemispherical screen SC1, but the present invention is not limited to this. As shown in FIG. 13, it may be a substantially hemispherical screen SC3 or a pseudo hemispherical screen SC4 as shown in FIG. Moreover, the spherical screen (illustration omitted) which is the inner surface of a spherical body may be sufficient. In these cases, the control circuit 4 preferably controls the X stage 9 so that the reflected light D passes through the center of each scanned surface.

なお、本発明において、「球体」とは、球体の他に、半球体、略半球体、半球体（略半球体）と平面とを組み合わせた疑似半球体などの略球体も含む意味である。   In the present invention, the term “sphere” means not only a sphere but also a substantially sphere such as a hemisphere, a substantially hemisphere, and a pseudo hemisphere in which a hemisphere (substantially hemisphere) and a plane are combined.

このように、本実施形態における光走査装置１００によれば、変更手段は、本体１（走査部２）が設置され、軸Ａ及び軸Ｂに直交する方向に移動するＸステージ９である。これにより、Ｘステージ９の移動部９ｂが中空モーター７０の回動軸である軸Ｂ及び光反射部材２１の揺動軸である軸Ａに直交する方向に移動することで、本体１（走査部２）が半球面スクリーンＳＣ１に接近し、又は半球面スクリーンＳＣ１から遠ざかるので、本体１（走査部２）と半球面スクリーンＳＣ１との距離を変更するように、本体１（走査部２）を容易に移動させることができる。   Thus, according to the optical scanning device 100 of the present embodiment, the changing means is the X stage 9 in which the main body 1 (scanning unit 2) is installed and moves in a direction perpendicular to the axis A and the axis B. As a result, the moving part 9b of the X stage 9 moves in a direction perpendicular to the axis B that is the rotation axis of the hollow motor 70 and the axis A that is the swinging axis of the light reflecting member 21, so that the main body 1 (scanning part) 2) approaches the hemispherical screen SC1 or moves away from the hemispherical screen SC1, so the main body 1 (scanning unit 2) can be easily changed to change the distance between the main body 1 (scanning unit 2) and the hemispherical screen SC1. Can be moved to.

また、本実施形態における光走査装置１００によれば、反射光Ｄが半球面スクリーンＳＣ１の中心Ｃを通るように、Ｘステージ９が制御される。ここで、Ｘステージ９の移動部９ｂは、中空モーター７０の回動軸である軸Ｂ及び光反射部材２１の揺動軸である軸Ａに直交する方向に移動するので、半球面スクリーンＳＣ１における反射光Ｄの走査軌跡と平行に移動する。よって、反射光Ｄが半球面スクリーンＳＣ１の中心Ｃを通るように、Ｘステージ９を制御することにより、光反射部材２１の揺動角（振れ角）によらずに、反射光Ｄを半球面スクリーンＳＣ１に直角に走査（照射）させることができる。これにより、半球面スクリーンＳＣ１上における走査位置によらずに、反射光Ｄの入射角度を直角又は略直角にすることができ、どの方向から半球面スクリーンＳＣ１を見ても（半球面スクリーンＳＣ１を見る角度によらずに）、半球面スクリーンＳＣ１上における反射光Ｄの明るさを一定又は略一定にすることができる。   Further, according to the optical scanning device 100 in the present embodiment, the X stage 9 is controlled so that the reflected light D passes through the center C of the hemispherical screen SC1. Here, the moving part 9b of the X stage 9 moves in a direction perpendicular to the axis B which is the rotation axis of the hollow motor 70 and the axis A which is the swinging axis of the light reflecting member 21, so that in the hemispherical screen SC1. It moves parallel to the scanning trajectory of the reflected light D. Therefore, by controlling the X stage 9 so that the reflected light D passes through the center C of the hemispherical screen SC1, the reflected light D is transmitted to the hemispherical surface regardless of the rocking angle (swing angle) of the light reflecting member 21. The screen SC1 can be scanned (irradiated) at a right angle. Thereby, the incident angle of the reflected light D can be set to a right angle or a substantially right angle regardless of the scanning position on the hemispherical screen SC1, and the hemispherical screen SC1 can be viewed from any direction (the hemispherical screen SC1 is changed). Regardless of the viewing angle, the brightness of the reflected light D on the hemispherical screen SC1 can be made constant or substantially constant.

（第３実施形態）
図２０乃至図２３は、本発明に係る光走査装置の第３実施形態を示すものである。なお、前述した第１実施形態又は第２実施形態と同一構成部分は同一符号をもって表し、その説明を省略する。 (Third embodiment)
20 to 23 show a third embodiment of the optical scanning device according to the present invention. The same components as those in the first embodiment or the second embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

第３実施形態と第１実施形態との相違点は、Ｚステージ８に代えてアクチュエーター３Ａを備えるようにしたことである。   The difference between the third embodiment and the first embodiment is that an actuator 3 </ b> A is provided instead of the Z stage 8.

図２０は、本発明に係る光走査装置の第３実施形態における構成を説明する概略側面図である。図２０に示すように、光スキャナー１０Ｂは、本体１Ｂのみを備える。光スキャナー１０Ｂは、中空モーター７０に設けられ、固定されている。   FIG. 20 is a schematic side view illustrating the configuration of the optical scanning device according to the third embodiment of the present invention. As shown in FIG. 20, the optical scanner 10B includes only a main body 1B. The optical scanner 10B is provided and fixed to the hollow motor 70.

ミラー８１，８５，８６は、それぞれ中空モーター７０に設けられ、固定されている。ミラー８１は、中空モーター７０の軸Ｂ上に配置される。ミラー８５は、ミラー８１によって反射された光Ｌｉが入射する位置に配置され、ミラー８６は、ミラー８５によって反射された光Ｌｉが入射する位置に配置される。また、ミラー８６は、反射した光Ｌｉが走査部２を含む本体１Ｂの光反射部材２１（図示省略）に入射するように調整されている。   The mirrors 81, 85, and 86 are provided and fixed to the hollow motor 70, respectively. The mirror 81 is disposed on the axis B of the hollow motor 70. The mirror 85 is disposed at a position where the light Li reflected by the mirror 81 is incident, and the mirror 86 is disposed at a position where the light Li reflected by the mirror 85 is incident. The mirror 86 is adjusted so that the reflected light Li is incident on the light reflecting member 21 (not shown) of the main body 1 </ b> B including the scanning unit 2.

本実施形態では、ミラー８１，８５，８６を中空モーター７０に設けるようにしたが、これに限定されない。第１実施形態と同様に、光源９０から出射されて中空モーター７０の中空部７０ａを通過した光Ｌｉが、光スキャナー１０の光反射部材２１に入射するように構成されていればよく、ミラーの数、ミラーの配置（位置）、ミラーの大きさなどは適宜変更してもよい。   In the present embodiment, the mirrors 81, 85, 86 are provided in the hollow motor 70, but the present invention is not limited to this. Similarly to the first embodiment, it is sufficient that the light Li emitted from the light source 90 and passed through the hollow portion 70a of the hollow motor 70 is incident on the light reflecting member 21 of the optical scanner 10, and the mirror The number, the arrangement (position) of the mirror, the size of the mirror, and the like may be changed as appropriate.

図２１及び図２２は、図２０に示した光スキャナーの動作を説明する斜視図である。図２１及び図２２に示すように、光スキャナー１０Ｂ（本体１Ｂ）は、走査部２を支持する支持基板３に代えて、アクチュエーター３Ａを備える。４つのアクチュエーター３Ａは、矩形状の枠部２７の角部をそれぞれ支持する。各アクチュエーター３Ａは、例えば、圧電素子（ピエゾ素子）から構成される圧電アクチュエーター、又はリニアアクチュエーターなどである。また、各アクチュエーター３Ａは、制御回路４と電気的に接続されており、制御回路４に制御されて伸縮する。   21 and 22 are perspective views for explaining the operation of the optical scanner shown in FIG. As shown in FIGS. 21 and 22, the optical scanner 10 </ b> B (main body 1 </ b> B) includes an actuator 3 </ b> A instead of the support substrate 3 that supports the scanning unit 2. The four actuators 3A support the corners of the rectangular frame portion 27, respectively. Each actuator 3A is, for example, a piezoelectric actuator composed of a piezoelectric element (piezo element), a linear actuator, or the like. Each actuator 3A is electrically connected to the control circuit 4 and is expanded and contracted under the control of the control circuit 4.

具体的には、アクチュエーター３Ａは、伸縮することにより、走査部２を軸Ａ回りに回動させる。すなわち、図２１に示すように、枠部２７の右側を支持する２つのアクチュエーター３Ａがそれぞれ矢印で示すように下方に縮むとともに、枠部２７の左側を支持する２つのアクチュエーター３Ａがそれぞれ矢印で示すように上方に伸びることにより、走査部２は軸Ａに関して時計回り（右回り）に回動（回転）する。また、図２２に示すように、枠部２７の右側を支持する２つのアクチュエーター３Ａがそれぞれ矢印で示すように上方に伸びるとともに、枠部２７の左側を支持する２つのアクチュエーター３Ａがそれぞれ矢印で示すように下方に縮むことにより、走査部２は軸Ａに関して反時計回り（左回り）に回動（回転）する。   Specifically, the actuator 3A expands and contracts to rotate the scanning unit 2 around the axis A. That is, as shown in FIG. 21, the two actuators 3A that support the right side of the frame portion 27 are contracted downward as indicated by arrows, and the two actuators 3A that support the left side of the frame portion 27 are indicated by arrows. Thus, the scanning unit 2 rotates (rotates) clockwise (clockwise) with respect to the axis A. Further, as shown in FIG. 22, the two actuators 3A that support the right side of the frame portion 27 extend upward as indicated by arrows, and the two actuators 3A that support the left side of the frame portion 27 are indicated by arrows, respectively. By contracting downward in this way, the scanning unit 2 rotates (rotates) counterclockwise (counterclockwise) with respect to the axis A.

アクチュエーター３Ａは、半球面スクリーンＳＣ１上における反射光Ｄの走査速度を変えるために、走査部２の空間的位置を変更する。すなわち、アクチュエーター３Ａは、本発明における変更手段の一具体例に相当する。   The actuator 3A changes the spatial position of the scanning unit 2 in order to change the scanning speed of the reflected light D on the hemispherical screen SC1. That is, the actuator 3A corresponds to a specific example of changing means in the present invention.

制御回路４は、アクチュエーター３Ａにより変更された走査速度（以下、変更後の走査速度という）が所定速度になるように、アクチュエーター３Ａを制御する。具体的には、制御回路４は、走査部２を軸Ａ回りに回動させることにより、変更前の走査速度の変化を相殺するように、各アクチュエーター３Ａを制御する。   The control circuit 4 controls the actuator 3A so that the scanning speed changed by the actuator 3A (hereinafter referred to as the changed scanning speed) becomes a predetermined speed. Specifically, the control circuit 4 controls the actuators 3A so as to cancel the change in the scanning speed before the change by rotating the scanning unit 2 around the axis A.

ここで、例えば、光反射部材２１が揺動する方向（例えば時計回り）と逆方向（例えば反時計回り）に、走査部２を軸Ａ回りに回動させることにより、変更前の走査速度を下げることができる。また、例えば、光反射部材２１が揺動する方向（例えば時計回り）と同方向（例えば時計回り）に、走査部２を軸Ａ回りに回動させることにより、変更前の走査速度を上げることができる。よって、走査部２を軸Ａ回りに回動させることにより、半球面スクリーンＳＣ１上における反射光Ｄの走査速度を変化させ、変更前の走査速度の変化を相殺すれば、変更後の走査速度を所定速度にすることが可能となる。   Here, for example, by rotating the scanning unit 2 about the axis A in a direction opposite to the direction in which the light reflecting member 21 swings (for example, clockwise) (for example, counterclockwise), the scanning speed before the change is changed. Can be lowered. Further, for example, the scanning speed before change is increased by rotating the scanning unit 2 about the axis A in the same direction (for example, clockwise) as the direction in which the light reflecting member 21 swings (for example, clockwise). Can do. Therefore, by rotating the scanning unit 2 around the axis A, the scanning speed of the reflected light D on the hemispherical screen SC1 is changed, and if the change in the scanning speed before the change is offset, the changed scanning speed is obtained. A predetermined speed can be achieved.

従って、制御回路４は、例えば、変更前の走査速度が高いときに、アクチュエーター３Ａにより光反射部材２１が揺動する方向と逆方向に走査部２を回動させ、変更前の走査速度を下げる。また、制御回路４は、例えば、変更前の走査速度が低いときに、アクチュエーター３Ａにより光反射部材２１が揺動する方向と同方向に走査部２を回動させ、変更前の走査速度を上げる。これにより、変更後の走査速度を、周期的に向き（方向）を変えながら一定又は略一定にすることができる。   Therefore, for example, when the scanning speed before the change is high, the control circuit 4 rotates the scanning unit 2 in the direction opposite to the direction in which the light reflecting member 21 swings by the actuator 3A, thereby reducing the scanning speed before the change. . For example, when the scanning speed before the change is low, the control circuit 4 rotates the scanning unit 2 in the same direction as the direction in which the light reflecting member 21 swings by the actuator 3A to increase the scanning speed before the change. . As a result, the changed scanning speed can be made constant or substantially constant while periodically changing the direction (direction).

図２３は、本発明に係る光走査装置の第３実施形態における他の構成を説明する概略側面図である。本実施形態では、光スキャナー１０Ｂの光反射部材２１が揺動していないときに、反射光Ｄが半球面スクリーンＳＣ１の頂点Ｏを照射するように調整し、光反射部材２１が揺動することにより、反射光Ｄを直径走査させる場合を示したが、これに限定されない。例えば、図２３に示すように、光スキャナー１０Ｂの光反射部材２１が揺動していないときに、反射光Ｄと半球面スクリーンＳＣ１の水平軸とのなす角度が４５度となるように調整してもよい。この場合、中空モーター７０が３６０度回動（回転）することにより、半球面スクリーンＳＣ１全体に反射光Ｄを走査させることができる。なお、図２３に示したように、光スキャナー１０Ｂ（の光反射部材２１）を半球面スクリーンＳＣ１の中心Ｃに配置するのが好ましい。これにより、反射光Ｄを半球面スクリーンＳＣ１上に直角に走査（照射）させることができる。   FIG. 23 is a schematic side view for explaining another configuration in the third embodiment of the optical scanning device according to the present invention. In this embodiment, when the light reflecting member 21 of the optical scanner 10B is not swinging, the reflected light D is adjusted to irradiate the vertex O of the hemispherical screen SC1, and the light reflecting member 21 swings. Thus, the case where the reflected light D is scanned in diameter is shown, but the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIG. 23, when the light reflecting member 21 of the optical scanner 10B is not swinging, the angle between the reflected light D and the horizontal axis of the hemispherical screen SC1 is adjusted to 45 degrees. May be. In this case, when the hollow motor 70 is rotated (rotated) by 360 degrees, the reflected light D can be scanned over the entire hemispherical screen SC1. As shown in FIG. 23, it is preferable to arrange the optical scanner 10B (the light reflecting member 21) at the center C of the hemispherical screen SC1. Thereby, the reflected light D can be scanned (irradiated) on the hemispherical screen SC1 at a right angle.

このように、本実施形態における光走査装置１００によれば、アクチュエーター３Ａによって、走査部２が軸Ａ回りに回動させられる。これにより、例えば、光反射部材２１の軸Ａ回りの揺動運動に応じて走査部２が当該軸Ａ回りに回動するので、半球面スクリーンＳＣ１上における変更後の走査速度を容易に所定速度にすることができる。これにより、例えば、光源９０から一定光量の光を光反射部材２１に入射させる場合に、半球面スクリーンＳＣ１上における反射光Ｄの明るさを容易に一定又は略一定にすることができる。   Thus, according to the optical scanning device 100 in the present embodiment, the scanning unit 2 is rotated around the axis A by the actuator 3A. Thereby, for example, the scanning unit 2 rotates about the axis A in accordance with the swinging motion of the light reflecting member 21 about the axis A. Therefore, the changed scanning speed on the hemispherical screen SC1 can be easily set to a predetermined speed. Can be. Thereby, for example, when a certain amount of light is incident on the light reflecting member 21 from the light source 90, the brightness of the reflected light D on the hemispherical screen SC1 can be easily made constant or substantially constant.

また、本実施形態における光走査装置１００によれば、走査部２を軸Ａ回りに回動させる変更手段が、圧電アクチュエーターである。これにより、例えば、軸Ａの両側に各圧電アクチュエーターを配置して伸縮運動させることで、走査部２を容易に軸Ａ回りに回動させることができる。   Further, according to the optical scanning device 100 in the present embodiment, the changing means for rotating the scanning unit 2 around the axis A is a piezoelectric actuator. Accordingly, for example, the scanning unit 2 can be easily rotated around the axis A by arranging the piezoelectric actuators on both sides of the axis A and extending and contracting them.

また、本実施形態における光走査装置１００によれば、走査部２を軸Ａ回りに回動させる変更手段が、リニアアクチュエーターである。これにより、例えば、軸Ａの両側に各リニアアクチュエーターを配置して伸縮運動させることで、走査部２を容易に軸Ａ回りに回動させることができる。また、リニアアクチュエーターは、入力された制御信号に対してリニアに走査部２を回動（変位）させることができる。   Further, according to the optical scanning device 100 of the present embodiment, the changing unit that rotates the scanning unit 2 around the axis A is a linear actuator. Accordingly, for example, the scanning unit 2 can be easily rotated around the axis A by arranging and extending the linear actuators on both sides of the axis A. The linear actuator can rotate (displace) the scanning unit 2 linearly with respect to the input control signal.

また、本実施形態における光走査装置１００によれば、光反射部材２１が半球面スクリーンＳＣ１の中心Ｃに配置される。これにより、光反射部材２１の揺動角（振れ角）によらずに、反射光Ｄを半球体の内面である半球面スクリーンＳＣ１に直角に走査（照射）させることができる。これにより、半球面スクリーンＳＣ１上における走査位置によらずに、反射光Ｄの入射角度を直角又は略直角にすることができ、どの方向から半球面スクリーンＳＣ１を見ても（半球面スクリーンＳＣ１を見る角度によらずに）、半球面スクリーンＳＣ１上における反射光Ｄの明るさを一定又は略一定にすることができる。   Further, according to the optical scanning device 100 of the present embodiment, the light reflecting member 21 is disposed at the center C of the hemispherical screen SC1. As a result, the reflected light D can be scanned (irradiated) at right angles to the hemispherical screen SC1, which is the inner surface of the hemisphere, regardless of the rocking angle (swing angle) of the light reflecting member 21. Thereby, the incident angle of the reflected light D can be set to a right angle or a substantially right angle regardless of the scanning position on the hemispherical screen SC1, and the hemispherical screen SC1 can be viewed from any direction (the hemispherical screen SC1 is changed). Regardless of the viewing angle, the brightness of the reflected light D on the hemispherical screen SC1 can be made constant or substantially constant.

（第３実施形態の変形例）
図２４は、本発明に係る光走査装置の第３実施形態の変形例を示すものである。なお、前述した第３実施形態と同一構成部分は同一符号をもって表し、その説明を省略する。 (Modification of the third embodiment)
FIG. 24 shows a modification of the third embodiment of the optical scanning device according to the present invention. Note that the same components as those in the third embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

変形例と第３実施形態との相違点は、アクチュエーター３Ａに代えてモーター７を備えるようにしたことである。   The difference between the modification and the third embodiment is that a motor 7 is provided instead of the actuator 3A.

図２４は、図２０乃至図２３に示した光スキャナーの変形例を説明する斜視図である。図２４に示すように、光スキャナー１０Ｃは、モーター７を備える。モーター７は、ローター（回転子）７ａを有し、ローター７ａの回動軸（回転軸）と走査部２の軸Ａとが一致する（同軸になる）ように、走査部２を含む本体１Ｃがローター７ａの先端部に設置される。なお、本体１Ｃは、枠部２７を支持するものとして、アクチュエーター３Ａに代えて前述の支持基板３を備えていてもよい。   FIG. 24 is a perspective view for explaining a modification of the optical scanner shown in FIGS. As shown in FIG. 24, the optical scanner 10 </ b> C includes a motor 7. The motor 7 includes a rotor (rotor) 7a, and a main body 1C including the scanning unit 2 so that the rotation axis (rotation axis) of the rotor 7a and the axis A of the scanning unit 2 coincide (coaxial). Is installed at the tip of the rotor 7a. The main body 1 </ b> C may include the support substrate 3 described above instead of the actuator 3 </ b> A for supporting the frame portion 27.

モーター７は、第３実施形態と同様に、図２１及び図２２に示した制御回路４（図示省略）に電気的に接続されており、制御回路４に制御されてローター７ａが回動（回転）する。このように、ローター７ａが回動（回転）することにより、第３実施形態のアクチュエーター３Ａと同様に、走査部２を軸Ａ回りに回動させる。   As in the third embodiment, the motor 7 is electrically connected to the control circuit 4 (not shown) shown in FIGS. 21 and 22, and the rotor 7a rotates (rotates) under the control of the control circuit 4. ) As described above, the rotation of the rotor 7a causes the scanning unit 2 to rotate about the axis A in the same manner as the actuator 3A of the third embodiment.

このように、本実施形態における光走査装置１００によれば、走査部２を軸Ａ回りに回動させる変更手段が、モーター７である。これにより、例えば、ローター（回転子）７ａの回動軸（回転軸）と走査部２の軸Ａとが一致する（同軸になる）ように本体１Ｃ（走査部２）を配置することで、第３実施形態と同様に、走査部２を容易に軸Ａ回りに回動させることができる。   As described above, according to the optical scanning device 100 of the present embodiment, the changing unit that rotates the scanning unit 2 around the axis A is the motor 7. Thereby, for example, the main body 1C (scanning unit 2) is arranged so that the rotation axis (rotating axis) of the rotor (rotor) 7a and the axis A of the scanning unit 2 coincide (coaxial). As in the third embodiment, the scanning unit 2 can be easily rotated around the axis A.

（第３実施形態の他の変形例）
図２５は、図２０に示した光走査装置の変形例を説明する概略側面図である。なお、前述した第３実施形態と同一構成部分は同一符号をもって表し、その説明を省略する。 (Other variations of the third embodiment)
FIG. 25 is a schematic side view for explaining a modification of the optical scanning device shown in FIG. Note that the same components as those in the third embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

変形例と第３実施形態との相違点は、光源９０から出射されて中空モーター７０の中空部７０ａを通過した光Ｌｉが光反射部材２１に入射し、光反射部材２１によって反射された反射光Ｄがミラー８７に入射するように構成したことである。   The difference between the modification and the third embodiment is that the light Li emitted from the light source 90 and passed through the hollow portion 70a of the hollow motor 70 enters the light reflecting member 21 and is reflected by the light reflecting member 21. That is, D is configured to enter the mirror 87.

図２５は、本発明に係る光走査装置の第３実施形態の変形例を説明における構成を説明する概略側面図である。図２５に示すように、光スキャナー１０Ｂは、本体１Ｂのみを備える。光スキャナー１０Ｂは、中空モーター７０に設けられ、固定されている。本体１Ｂの光反射部材２１（図示省略）は、中空モーター７０の軸Ｂ上に配置され、光源９０から出射されて中空モーター７０の中空部７０ａを通過した光Ｌｉが入射する。   FIG. 25 is a schematic side view illustrating the configuration in the description of the modification of the third embodiment of the optical scanning device according to the present invention. As shown in FIG. 25, the optical scanner 10B includes only a main body 1B. The optical scanner 10B is provided and fixed to the hollow motor 70. The light reflecting member 21 (not shown) of the main body 1B is disposed on the axis B of the hollow motor 70, and the light Li emitted from the light source 90 and passing through the hollow portion 70a of the hollow motor 70 is incident thereon.

ミラー８７は、中空モーター７０に設けられ、固定されている。ミラー８７は、本体１Ｂの光反射部材２１によって反射された反射光Ｄが入射する位置に配置される。なお、ミラー８７によって反射された反射光Ｄは、光スキャナー１０の光反射部材２１が揺動していないときに、軸Ｂ上の半球面スクリーンＳＣ１の頂点Ｏに照射（走査）されるように調整されている。   The mirror 87 is provided in the hollow motor 70 and fixed. The mirror 87 is disposed at a position where the reflected light D reflected by the light reflecting member 21 of the main body 1B is incident. The reflected light D reflected by the mirror 87 is irradiated (scanned) to the vertex O of the hemispherical screen SC1 on the axis B when the light reflecting member 21 of the optical scanner 10 is not swinging. It has been adjusted.

本実施形態では、ミラー８７を中空モーター７０に設けるようにしたが、これに限定されない。本体１Ｂの光反射部材２１によって反射された反射光Ｄが入射するように構成されていればよく、ミラーの数、ミラーの配置（位置）、ミラーの大きさなどは適宜変更してもよい。   In the present embodiment, the mirror 87 is provided in the hollow motor 70, but the present invention is not limited to this. It is sufficient that the reflected light D reflected by the light reflecting member 21 of the main body 1B is incident, and the number of mirrors, the arrangement (position) of the mirrors, the size of the mirrors, and the like may be appropriately changed.

また、本実施形態では、本体１Ｂを備えた光スキャナー１０Ｂを用いるようにしたが、これに限定されず、例えば、前述した変形例の光スキャナー１０Ｃを用いるようにしてもよい。   In the present embodiment, the optical scanner 10B including the main body 1B is used. However, the present invention is not limited to this. For example, the optical scanner 10C according to the modified example described above may be used.

このように、本実施形態における光走査装置１００によれば、光源９０が中空モーター７０を挟んで光スキャナー１０Ｂと反対側に配置され、光源９０から出射されて中空部７０ａを通過した光Ｌｉが光反射部材２１に入射し、光反射部材２１によって反射された反射光Ｄが入射するように、ミラー８７が構成される。これにより、中空モーター７０を挟んで光スキャナー１０Ｂと反対側に光源９０を配置し、光源９０から出射されて中空モーター７０の中空部７０ａを通過した光Ｌｉが光スキャナー１０Ｂの光反射部材２１に入射し、光反射部材２１によって反射された反射光Ｄが入射するように、ミラー８７を構成したので、半球面スクリーンＳＣ１上に走査される反射光Ｄが光源９０や配線によって遮られることがない。また、中空モーター７０や光スキャナー１０Ｂの外部に光源９０を配置したので、光源９０を回動させる必要がなく、モーターなどの駆動系に余分な負荷をかけずに済むとともに、光源９０の駆動信号、特にレーザー光源における駆動信号がノイズの影響を受けにくくなり、安定した光源９０を実現することができる。さらに、光源９０は中空モーター７０を挟んで光スキャナー１０Ｂと反対側であればよく、ミラー８７は中空モーター７０の中空部７０ａを通過した光が光反射部材２１に入射し、光反射部材２１によって反射された反射光Ｄが入射すればよいので、光源９０及びミラー８７は位置、大きさ、数などの制約（制限）が少なく、光学系（光源及びミラー）の設計自由度が高いという利点がある。   As described above, according to the optical scanning device 100 of the present embodiment, the light source 90 is disposed on the opposite side of the optical scanner 10B with the hollow motor 70 interposed therebetween, and the light Li emitted from the light source 90 and passed through the hollow portion 70a. The mirror 87 is configured so that the reflected light D incident on the light reflecting member 21 and reflected by the light reflecting member 21 enters. Accordingly, the light source 90 is disposed on the opposite side of the optical scanner 10B across the hollow motor 70, and the light Li emitted from the light source 90 and passing through the hollow portion 70a of the hollow motor 70 is applied to the light reflecting member 21 of the optical scanner 10B. Since the mirror 87 is configured so that the reflected light D is incident and reflected by the light reflecting member 21, the reflected light D scanned on the hemispherical screen SC1 is not blocked by the light source 90 or the wiring. . Further, since the light source 90 is disposed outside the hollow motor 70 and the optical scanner 10B, it is not necessary to rotate the light source 90, and it is not necessary to apply an extra load to the drive system such as the motor. In particular, the drive signal in the laser light source is less affected by noise, and a stable light source 90 can be realized. Further, the light source 90 may be on the side opposite to the optical scanner 10B across the hollow motor 70, and the mirror 87 is incident on the light reflecting member 21 through the hollow portion 70a of the hollow motor 70. Since it is sufficient that the reflected light D is reflected, the light source 90 and the mirror 87 are less limited (restricted) in terms of position, size, number, etc., and have the advantage that the degree of freedom in designing the optical system (light source and mirror) is high. is there.

＜画像形成装置＞
前述した本発明に係る光走査装置１００は、例えば、画像を投影するスクリーンの少なくとも一部が曲面のプロジェクタ、イメージング用ディスプレイなどを備える画像形成装置に好適に適用することができる。なお、本発明に係る画像形成装置は、前述した光走査装置１００とほぼ同様の構成であるため、図示及びその説明を省略する。 <Image forming apparatus>
The above-described optical scanning device 100 according to the present invention can be suitably applied to, for example, an image forming apparatus including a projector, an imaging display, or the like in which at least a part of a screen that projects an image is a curved surface. Note that the image forming apparatus according to the present invention has substantially the same configuration as that of the optical scanning apparatus 100 described above, and therefore illustration and description thereof are omitted.

このように、本実施形態に係る画像形成装置によれば、前述した本発明に係る光走査装置１００を備える。これにより、例えば、被走査面の長手方向において、走査位置による明るさの差異を低減させることができ、優れた走査特性を有する。これにより、高解像度の画像を形成することができ、優れた描画特性を有する画像形成装置を実現することができる。   As described above, the image forming apparatus according to this embodiment includes the above-described optical scanning device 100 according to the present invention. Thereby, for example, in the longitudinal direction of the surface to be scanned, the difference in brightness depending on the scanning position can be reduced, and excellent scanning characteristics are obtained. Thereby, a high-resolution image can be formed, and an image forming apparatus having excellent drawing characteristics can be realized.

なお、前述の各実施形態の構成を組み合わせたり或いは一部の構成部分を入れ替えたりしてもよい。また、本発明の構成は、前述の実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加えてもよい。   In addition, you may replace the structure of each above-mentioned embodiment, or may replace some components. The configuration of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications may be made without departing from the scope of the present invention.

１，１Ｂ，１Ｃ…本体、２…走査部、３Ａ…アクチュエーター、４…制御回路、７…モーター、８…Ｚステージ、９…Ｘステージ、１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ…光スキャナー、２１…光反射部材、２６…支持部材、２７…枠部、２８…軸部材、７０…中空モーター、７０ａ…中空部、８１〜８７…ミラー、９０…光源、Ａ…軸、Ｂ…軸、Ｃ…中心、ＳＣ１…半球面スクリーン   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,1B, 1C ... Main body, 2 ... Scanning part, 3A ... Actuator, 4 ... Control circuit, 7 ... Motor, 8 ... Z stage, 9 ... X stage, 10, 10A, 10B, 10C ... Optical scanner, 21 ... Light Reflective member, 26 ... support member, 27 ... frame portion, 28 ... shaft member, 70 ... hollow motor, 70a ... hollow portion, 81-87 ... mirror, 90 ... light source, A ... shaft, B ... shaft, C ... center, SC1 ... Hemispherical screen

Claims (14)

光を反射する光反射部、前記光反射部を第１の軸回りに揺動可能に支持する支持部、を有し、前記光反射部によって反射された反射光を被走査面上に走査可能な走査部と、
前記走査部が設けられ、前記第１の軸に垂直な第２の軸回りに回動可能な回動体と、
前記被走査面上における前記反射光の所定方向の走査速度を変更するように、前記走査部の前記被走査面に対する空間的位置を変更する変更手段と、を備える
ことを特徴とする光走査装置。 Light reflection portion for reflecting light, support for supporting swingably said light reflecting portion to the first axis, the having, a pre-Symbol light reflecting portion Thus reflected light reflected on a surface to be scanned A scanning unit capable of scanning ;
The scanning unit is provided, a rotatable rotation body to a second axis perpendicular to said first axis,
Before SL so as to change the predetermined direction of the scanning speed of the reflected light on the scanned surface, the optical scanning, characterized in that it comprises a changing means for changing the spatial position relative to the surface to be scanned of the scanning unit apparatus. 前記走査部は、第１の走査角度と、前記第１の走査角度よりも走査角度が大きい第２の走査角度で少なくとも走査可能であり、前記第１の走査角度のときの前記走査部と前記被走査面との距離よりも、前記第２の走査角度のときの前記走査部と前記被走査面との距離の方が長くなるように、前記変更手段を制御する制御手段を備えるThe scanning unit is capable of scanning at least at a first scanning angle and a second scanning angle that is larger than the first scanning angle, and the scanning unit at the first scanning angle and the scanning unit Control means for controlling the changing means is provided so that the distance between the scanning unit and the surface to be scanned at the second scanning angle is longer than the distance from the surface to be scanned.
ことを特徴とする請求項１に記載の光走査装置。The optical scanning device according to claim 1. 前記変更手段により変更された前記走査速度が所定速度になるように、前記変更手段を制御する制御手段を更に備える
ことを特徴とする請求項２に記載の光走査装置。 The optical scanning apparatus according to claim 2 , further comprising a control unit that controls the changing unit so that the scanning speed changed by the changing unit becomes a predetermined speed. 前記変更手段は、前記走査部を前記第２の軸方向に移動させる第２軸方向移動体である
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の光走査装置。 Before Symbol changing means includes an optical scanning device according to claim 2 or 3, characterized in that the scanning unit is a second axial moving body causes movement in the second axis direction. 前記変更手段は、前記走査部を前記第１及び第２の軸に直交する第３の軸方向に移動させる第３軸方向移動体である
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の光走査装置。 Said changing means, light as claimed in claim 2 or 3, wherein the is a scanning unit in the third third axial moving body causes axial movement of which is perpendicular to said first and second axes Scanning device. 前記被走査面が球体の内面であり、
前記制御手段は、前記反射光が前記球体の中心を通るように、前記第３軸方向移動体を制御する
ことを特徴とする請求項５に記載の光走査装置。 The scanned surface is an inner surface of a sphere;
The optical scanning device according to claim 5, wherein the control unit controls the third axial direction moving body so that the reflected light passes through a center of the sphere. 前記変更手段は、前記走査部を前記第１の軸回りに回動させる
ことを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の光走査装置。 The optical scanning device according to any one of claims 1 to 3, wherein the changing unit rotates the scanning unit around the first axis. 前記変更手段は、圧電アクチュエーターである
ことを特徴とする請求項７に記載の光走査装置。 The optical scanning device according to claim 7, wherein the changing unit is a piezoelectric actuator. 前記変更手段は、リニアアクチュエーターである
ことを特徴とする請求項７に記載の光走査装置。 The optical scanning device according to claim 7, wherein the changing unit is a linear actuator. 前記変更手段は、モーターである
ことを特徴とする請求項７に記載の光走査装置。 The optical scanning device according to claim 7, wherein the changing unit is a motor. 前記被走査面が球体の内面であり、
前記光反射部は、前記球体の中心に配置される
ことを特徴とする請求項７乃至１０の何れか一項に記載の光走査装置。 The scanned surface is an inner surface of a sphere;
The optical scanning device according to claim 7, wherein the light reflecting portion is disposed at a center of the sphere. 前記回動体は、前記第２の軸の近傍の部分に中空に形成された中空部を有し、
前記回動体を挟んで前記走査部と反対側に配置され、光を出射する光源と、
前記光源から出射されて前記中空部を通過した光が前記光反射部に入射し、前記光反射部によって反射された前記反射光が入射するように構成されたミラーと、を更に備える
ことを特徴とする請求項７乃至１０の何れか一項に記載の光走査装置。 The rotating body has a hollow portion formed hollow in a portion in the vicinity of the second shaft,
A light source disposed on the opposite side of the scanning unit across the rotating body, and emitting light;
Light passing through the hollow portion is emitted from the light source is incident on the light reflecting portion, and a mirror in which the light reflection portion to thus reflected the reflected light is configured to be incident, further comprising a The optical scanning device according to claim 7, wherein the optical scanning device is characterized in that: 前記回動体は、前記第２の軸の近傍の部分に中空に形成された中空部を有し、
前記回動体を挟んで前記走査部と反対側に配置され、光を出射する光源と、
前記光源から出射されて前記中空部を通過した光が、前記光反射部に入射するように構成されたミラーと、を更に備える
ことを特徴とする請求項１乃至１１の何れか一項に記載の光走査装置。 The rotating body has a hollow portion formed hollow in a portion in the vicinity of the second shaft,
A light source disposed on the opposite side of the scanning unit across the rotating body, and emitting light;
The light emitted from the light source and passed through the hollow portion further includes a mirror configured to enter the light reflecting portion . The mirror according to any one of claims 1 to 11, further comprising: Optical scanning device. 請求項１乃至１３の何れか一項に記載の光走査装置を備える
ことを特徴とする画像形成装置。 An image forming apparatus comprising the optical scanning device according to claim 1.
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