JP5292966B2 - Manufacturing method of color filter - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、着色層の平坦性に優れ、混色欠点が少ないカラーフィルタの製造方法に関するものである。 The present invention relates to a method for producing a color filter, which is excellent in flatness of a colored layer and has few color mixing defects.
近年、パーソナルコンピューターの発達、特に携帯用パーソナルコンピューターの発達に伴って、液晶ディスプレイの需要が増加している。また、最近においては家庭用の液晶テレビの普及率も高まっており、益々液晶ディスプレイの市場は拡大する状況にある。さらに近年普及している液晶ディスプレイは大画面化の傾向があり、特に家庭用の液晶テレビに関してはその傾向が強くなってきている。
このような状況において、液晶ディスプレイを構成する部材については、より低コストで高品質なものを製造することが望まれている。特に液晶ディスプレイをカラー表示化させる機能を有するカラーフィルタは、従来高コストであったことからこのような要望が高まっている。
In recent years, with the development of personal computers, particularly portable personal computers, the demand for liquid crystal displays has increased. In recent years, the penetration rate of home-use liquid crystal televisions has been increasing, and the market for liquid crystal displays is expanding. Furthermore, liquid crystal displays that have become widespread in recent years tend to have larger screens, and this tendency is particularly strong for home-use liquid crystal televisions.
Under such circumstances, it is desired to manufacture a high-quality member at a lower cost as a member constituting the liquid crystal display. In particular, a color filter having a function of color-displaying a liquid crystal display has been highly demanded since it has been conventionally expensive.
ここで、一般的な液晶ディスプレイに用いられるカラーフィルタは、通常、基板と、上記基板上に形成され、複数の開口部を備える遮光部と、上記開口部内に形成された赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）各色の着色層とを有するものである。
そして、このようなカラーフィルタのＲ、Ｇ、Ｂの各色に対応する電極をＯＮ、ＯＦＦさせることで液晶がバックライトのシャッタとして作動し、Ｒ、Ｇ、Ｂのそれぞれの画素を光が通過してカラー表示が行われるものである。
Here, a color filter used for a general liquid crystal display is usually a substrate, a light-shielding portion formed on the substrate and having a plurality of openings, and red (R) and green formed in the openings. (G) and a blue (B) colored layer of each color.
Then, by turning on and off the electrodes corresponding to the R, G, and B colors of the color filter, the liquid crystal operates as a backlight shutter, and light passes through the R, G, and B pixels. Color display.
このような、カラーフィルタを製造する方法としては、従来、染色法や顔料分散法等のＲ、Ｇ、Ｂの３色を着色するために同一の工程を３回繰り返す方法が用いられてきた。しかしながら、このような製造方法は、高精度なＲ、Ｇ、Ｂパターンが形成されたカラーフィルタを形成できるという点においては有用であったが、必ずしも生産性の高いものではなかった。この点、特許文献１にはインクジェット法を用いたカラーフィルタの製造方法が開示されている。インクジェット法は、大面積のカラーフィルタを高生産性で製造できる点において有効であり、低コストでカラーフィルタを製造できる方法として着目されている。
As a method for producing such a color filter, a method of repeating the same process three times in order to color three colors of R, G, and B such as a dyeing method and a pigment dispersion method has been conventionally used. However, such a manufacturing method is useful in that it can form a color filter on which high-precision R, G, and B patterns are formed, but it is not always highly productive. In this regard,
このようなインクジェット法を用いた着色層の形成方法としては、基板上の開口部に溶媒を含む着色層形成用塗工液を塗布することにより、乾燥前着色層が形成される。その後、上記乾燥前着色層に含まれる溶媒を乾燥除去することにより着色層が形成される。
ここで、着色層形成用塗工液のインクジェットノズルからの吐出安定性を高めるため、通常、上記着色層形成用塗工液の溶媒として高沸点の溶媒が主溶媒として用いられる。また、このようなことから、一般的な加熱乾燥では、乾燥に長時間要するといった問題があった。
As a method of forming a colored layer using such an ink jet method, a colored layer before drying is formed by applying a coating solution for forming a colored layer containing a solvent to the opening on the substrate. Then, the colored layer is formed by drying and removing the solvent contained in the colored layer before drying.
Here, in order to enhance the ejection stability of the colored layer forming coating solution from the inkjet nozzle, a solvent having a high boiling point is usually used as a solvent for the colored layer forming coating solution. In addition, for this reason, the general heat drying has a problem that it takes a long time to dry.
このような問題に対して、近年、カラーフィルタの製造用として減圧環境下で乾燥する減圧乾燥装置が用いられている（特許文献２〜６）。ここで、減圧乾燥装置とは、インクジェット法により塗布された着色層形成用塗工液からなる乾燥前着色層を有するカラーフィルタ用基板を減圧状態のチャンバ内に置くことにより被乾燥体を乾燥させるものであり、溶剤等の蒸発速度を飛躍的に高めることができるものである。 In order to solve such a problem, a reduced-pressure drying apparatus for drying in a reduced pressure environment has recently been used for manufacturing color filters (Patent Documents 2 to 6). Here, the reduced-pressure drying apparatus dries the object to be dried by placing a color filter substrate having a pre-drying colored layer made of a colored layer-forming coating solution applied by an inkjet method in a vacuum chamber. The evaporation rate of the solvent and the like can be dramatically increased.
しかしながら、このような減圧乾燥装置を用いて減圧乾燥を行なう場合、蒸発した溶媒が、減圧乾燥装置の内面と接触した際に、上記溶媒が装置の内面に結露しやすいといった現象があった。このように減圧乾燥装置内に結露が存在することにより乾燥速度に変化が生ずると乾燥条件を精度良く制御することが困難となり、着色層の平坦性が低下するといった問題があった。
また、減圧乾燥装置内に結露した溶媒が、被乾燥体であるカラーフィルタ用基板上に落下して、混色欠点となるといった問題があった。
However, when vacuum drying is performed using such a vacuum drying apparatus, there has been a phenomenon that when the evaporated solvent comes into contact with the inner surface of the vacuum drying apparatus, the solvent tends to condense on the inner surface of the apparatus. Thus, if there is a change in the drying speed due to the presence of dew condensation in the vacuum drying apparatus, it is difficult to control the drying conditions with high accuracy and the flatness of the colored layer is lowered.
Further, there has been a problem that the solvent condensed in the vacuum drying apparatus falls on the color filter substrate which is an object to be dried, resulting in a color mixing defect.
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、着色層の平坦性に優れ、混色欠点が少ないカラーフィルタの製造方法を提供することを主目的とするものである。 The present invention has been made in view of such problems, and a main object of the present invention is to provide a method for producing a color filter which has excellent color layer flatness and few color mixing defects.
上記課題を解決するために、本発明は、基板と、上記基板上に形成され、開口部を備える遮光部と、上記開口部にインクジェット法により塗布された着色層形成用塗工液からなる乾燥前着色層と、を有するカラーフィルタ用基板を、加熱減圧乾燥装置を用いて減圧乾燥する乾燥工程と、上記乾燥工程後のカラーフィルタ用基板を取り出した後の加熱減圧乾燥装置を、減圧下定常圧力となるまで減圧乾燥する結露防止工程と、を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。 In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a drying method comprising a substrate, a light-shielding portion formed on the substrate and having an opening, and a coating solution for forming a colored layer applied to the opening by an inkjet method. A color filter substrate having a pre-colored layer is dried under reduced pressure using a heating vacuum drying device, and the heating vacuum drying device after taking out the color filter substrate after the drying step is subjected to steady state under reduced pressure. There is provided a method for producing a color filter, comprising: a dew condensation preventing step of drying under reduced pressure until a pressure is reached.
本発明によれば、上記結露防止工程が、上記乾燥工程後のカラーフィルタ用基板を取り出した後の加熱減圧乾燥装置を、減圧下定常圧力となるまで減圧乾燥するものであるため、上記結露防止工程後の加熱減圧乾燥装置のチャンバー内に残存する溶媒がほとんど無い状態とすることができる。したがって、その後再度乾燥工程を行なった場合に、上記チャンバー内に結露した溶媒がほぼ無い状態で乾燥を開始できる。
その結果、上記加熱減圧乾燥装置を用いてカラーフィルタ用基板の乾燥を複数回重ねた場合であっても、上記加熱減圧乾燥装置内に溶媒が結露している場合に生じる乾燥速度等の乾燥条件の変動への影響をほとんど無いものとすることができる。したがって、乾燥条件を精度良く制御することができ、着色層を平坦性に優れたものとすることができる。
また、結露した溶媒が上記カラーフィルタ用基板上に滴下することにより生じる混色欠点をほとんど無いものとすることができる。
According to the present invention, since the dew condensation prevention step is a step of drying under reduced pressure until the pressure reduction drying apparatus after taking out the color filter substrate after the drying step reaches a steady pressure under reduced pressure, the dew condensation prevention step is performed. It can be set as the state which hardly has the solvent which remains in the chamber of the heating vacuum drying apparatus after a process. Therefore, when the drying process is performed again thereafter, the drying can be started in a state where there is almost no condensed solvent in the chamber.
As a result, even if the drying of the color filter substrate is repeated a plurality of times using the heating and vacuum drying apparatus, drying conditions such as the drying speed generated when the solvent is condensed in the heating and vacuum drying apparatus. It is possible to have almost no influence on the fluctuation of Therefore, the drying conditions can be controlled with high accuracy, and the colored layer can be excellent in flatness.
In addition, it is possible to make almost no color mixing defect caused by dripping of the condensed solvent onto the color filter substrate.
本発明においては、上記乾燥工程後、毎回、上記結露防止工程を行なうことが好ましい。上記乾燥工程後、毎回、上記結露防止工程を行なうことにより、次の乾燥工程を開始する際におけるチャンバー内の結露量をより少ないものとすることができ、さらに上記乾燥工程を開始する際の上記チャンバー内の結露量をより一定なものとすることができる。このため、着色層の平坦性の制御をより確実に行なうことができるからである。 In the present invention, it is preferable to perform the condensation prevention step every time after the drying step. By performing the condensation prevention step each time after the drying step, it is possible to reduce the amount of condensation in the chamber when starting the next drying step, and further when starting the drying step The amount of condensation in the chamber can be made more constant. This is because the flatness of the colored layer can be controlled more reliably.
本発明は、着色層の平坦性に優れ、混色欠点が少ないカラーフィルタの製造方法を提供することができるという効果を奏する。 INDUSTRIAL APPLICATION This invention has the effect that it can provide the manufacturing method of the color filter which is excellent in the flatness of a colored layer, and there are few color mixing faults.
以下、本発明のカラーフィルタの製造方法について詳細に説明する。
本発明のカラーフィルタの製造方法は、基板と、上記基板上に形成され、開口部を備える遮光部と、上記開口部にインクジェット法により塗布された着色層形成用塗工液からなる乾燥前着色層と、を有するカラーフィルタ用基板を、加熱減圧乾燥装置を用いて減圧乾燥する乾燥工程と、上記乾燥工程後のカラーフィルタ用基板を取り出した後の加熱減圧乾燥装置を、減圧下定常圧力となるまで減圧乾燥する結露防止工程と、を有することを特徴とするものである。
Hereinafter, the manufacturing method of the color filter of this invention is demonstrated in detail.
The method for producing a color filter of the present invention includes a substrate, a light-shielding portion formed on the substrate and having an opening, and a pre-drying coloring comprising a coating solution for forming a colored layer applied to the opening by an inkjet method. A drying step of drying the substrate for color filter having a layer under reduced pressure using a heating vacuum drying device, and a heating vacuum drying device after taking out the substrate for color filter after the drying step, And a dew condensation preventing step of drying under reduced pressure until it becomes.
一般に、インクジェット法により塗布される着色層形成用塗工液に含まれる溶媒は、インクジェット装置のノズルの詰まりを防止する等の理由から比較的沸点が高いものが用いられる。このため、上記着色層形成用塗工液が塗布されて形成される乾燥前着色層の乾燥方法としては、一般的な加熱乾燥方法では乾燥に長時間要することから、減圧環境下で上記乾燥前着色層を加熱し乾燥する加熱減圧乾燥方法が用いられる。
また、このような乾燥前着色層を有するカラーフィルタ用基板を、減圧乾燥装置を用いて一定の運転条件下で運転し減圧乾燥した場合には、時間経過により、チャンバー内の圧力が変動する。このようなチャンバー内の圧力変動は、具体的には、図１に例示するように、横軸を乾燥時間、縦軸をチャンバー内の圧力とした場合、減圧開始時から徐々に圧力の低下が観察され、やがて、圧力の変動が少ない状態（第１平衡圧力、図１中のｔ１〜ｔ２）となる。その後、圧力が下がりはじめ、再度圧力の変動が少ない状態（第２平衡圧力、図１中のｔ３以降）となり、以後、圧力一定の状態が維持される。
In general, a solvent having a relatively high boiling point is used as a solvent contained in the coating solution for forming a colored layer applied by an ink jet method, for example, to prevent clogging of nozzles of an ink jet device. For this reason, as a drying method of the pre-drying colored layer formed by applying the coating liquid for forming the colored layer, a general heat drying method requires a long time for drying. A heating vacuum drying method is used in which the colored layer is heated and dried.
Further, when the color filter substrate having such a colored layer before drying is operated under a certain operating condition using a reduced pressure drying apparatus and dried under reduced pressure, the pressure in the chamber varies with time. Specifically, as illustrated in FIG. 1, such pressure fluctuations in the chamber are such that when the horizontal axis is the drying time and the vertical axis is the pressure in the chamber, the pressure gradually decreases from the start of decompression. Observed and will eventually be in a state where there is little fluctuation in pressure (first equilibrium pressure, t 1 to t 2 in FIG. 1). Thereafter, it begins to decrease the pressure, a small state change of pressure again (a second equilibrium pressure, t 3 or later in FIG. 1), and thereafter, the pressure constant state is maintained.
ここで、上記第１平衡圧力時は、上記乾燥前着色層や上記加熱減圧乾燥装置のチャンバー内に結露により付着した溶媒から揮発する溶媒量が一定となっている状態であり、上記チャンバー内には結露および揮発している溶媒が多量に存在していると考えられる。また、このような第１平衡圧力時にチャンバー内の圧力を大気圧まで復圧した場合には、チャンバー内に揮発していた溶媒が結露する。このようなことから、上記第１平衡圧力時に減圧乾燥を終了した場合には、次に上記カラーフィルタ用基板を減圧乾燥する乾燥工程を開始する際のチャンバー内の結露量が多いものとなるのである。 Here, at the time of the first equilibrium pressure, the amount of solvent volatilized from the solvent attached by condensation in the pre-drying colored layer or the chamber of the heating and vacuum drying apparatus is constant. Is considered to contain a large amount of dew condensation and volatile solvent. Further, when the pressure in the chamber is restored to the atmospheric pressure during the first equilibrium pressure, the solvent that has volatilized in the chamber is condensed. For this reason, when vacuum drying is completed at the first equilibrium pressure, the amount of condensation in the chamber when starting the drying process for drying the color filter substrate under reduced pressure is increased. is there.
ここで、従来の乾燥前着色層の乾燥方法が用いられているカラーフィルタの製造方法においては、生産性の観点から、乾燥が終了したカラーフィルタ用基板は、乾燥終了後すぐに乾燥装置から取り出され、次工程に送られる。この場合の乾燥前着色層における乾燥の終了とは、上記乾燥前着色層に含まれる溶媒を除去し所定の硬度を有する乾燥後着色層となるまで乾燥を行なうことである。したがって、乾燥終了後すぐに取り出した場合、乾燥終了時におけるチャンバー内の圧力は、通常、上記第１平衡圧力の状態となっている。
したがって、従来のインクジェット法により形成された着色層の乾燥方法が用いられるカラーフィルタの製造方法においては、このように上記第１平衡圧力中に減圧乾燥が終了されることから、上述したように上記乾燥装置内に結露が多い状態で、再度乾燥工程が行なわれることとなる。このため、着色層の平坦化には乾燥速度の高精度な制御が要求されるところ、従来のカラーフィルタの製造方法では、上述した乾燥装置内の結露による影響により乾燥速度の高精度な制御が難しく、着色層の平坦化が困難となるといった問題等があった。
Here, in the color filter manufacturing method in which the conventional drying method of the colored layer before drying is used, from the viewpoint of productivity, the color filter substrate after drying is taken out from the drying device immediately after the drying is completed. And sent to the next process. In this case, the completion of drying in the colored layer before drying means that the solvent contained in the colored layer before drying is removed and drying is performed until the colored layer after drying has a predetermined hardness. Therefore, when it is taken out immediately after the completion of drying, the pressure in the chamber at the end of the drying is usually in the state of the first equilibrium pressure.
Therefore, in the color filter manufacturing method in which the drying method of the colored layer formed by the conventional ink jet method is used, the reduced-pressure drying is completed during the first equilibrium pressure as described above. The drying process is performed again in a state where there is much condensation in the drying apparatus. For this reason, high-precision control of the drying speed is required for the flattening of the colored layer. However, in the conventional color filter manufacturing method, high-precision control of the drying speed is caused by the influence of the condensation in the drying apparatus described above. There is a problem that it is difficult to flatten the colored layer.
一方、本発明においては、上記結露防止工程が、上記乾燥工程後のカラーフィルタ用基板を取り出した後の加熱減圧乾燥装置を、減圧下定常圧力となるまで減圧乾燥するものであるため、上記結露防止工程後の加熱減圧乾燥装置のチャンバー内に残存する溶媒がほとんど無い状態とすることができる。したがって、その後再度乾燥工程を行なった場合に、上記チャンバー内に結露した溶媒がほぼ無い状態で乾燥を開始できる。
その結果、上記加熱減圧乾燥装置を用いてカラーフィルタ用基板の乾燥を複数回重ねた場合であっても、上記加熱減圧乾燥装置内に溶媒が結露している場合に生じる乾燥速度等の乾燥条件の変動への影響をほとんど無いものとすることができる。したがって、乾燥条件を精度良く制御することができ、着色層を平坦性に優れたものとすることができるのである。
また、結露した溶媒が上記カラーフィルタ用基板上に滴下することにより生じる混色欠点をほとんど無いものとすることができるのである。
なお、このような現象は、インクジェット法により形成された乾燥前着色層を乾燥する際に特有の現象であり、さらに具体的には加熱減圧乾燥装置を用いて、インクジェット法により形成された乾燥前着色層を減圧乾燥する際に特有の現象であるといえる。本発明は、このような特有の課題を、乾燥が終了したカラーフィルタ用基板を取り出した後の加熱減圧乾燥装置を減圧下定常圧力となるまで減圧乾燥を行なうことにより解決したものである。
On the other hand, in the present invention, the dew condensation preventing step is a step of drying under reduced pressure until the steady pressure under reduced pressure is applied to the heated vacuum drying apparatus after taking out the color filter substrate after the drying step. It can be set as the state which hardly has the solvent which remains in the chamber of the heating-vacuum drying apparatus after a prevention process. Therefore, when the drying process is performed again thereafter, the drying can be started in a state where there is almost no condensed solvent in the chamber.
As a result, even if the drying of the color filter substrate is repeated a plurality of times using the heating and vacuum drying apparatus, drying conditions such as the drying speed generated when the solvent is condensed in the heating and vacuum drying apparatus. It is possible to have almost no influence on the fluctuation of Therefore, the drying conditions can be controlled with high accuracy, and the colored layer can have excellent flatness.
Further, it is possible to eliminate almost all color mixing defects caused by dripping of the condensed solvent onto the color filter substrate.
In addition, such a phenomenon is a phenomenon peculiar when drying the colored layer before drying formed by the ink jet method, and more specifically, before drying formed by the ink jet method using a heating and vacuum drying apparatus. It can be said that this phenomenon is peculiar when the colored layer is dried under reduced pressure. The present invention solves such a specific problem by performing vacuum drying in a heating and vacuum drying apparatus after taking out a color filter substrate after drying until a steady pressure is obtained under reduced pressure.
本発明のカラーフィルタの製造方法は、少なくとも、乾燥工程と、結露防止工程と、を有するものである。以下、本発明のカラーフィルタの製造方法に用いられる各工程について詳細に説明する。 The manufacturing method of the color filter of this invention has a drying process and a dew condensation prevention process at least. Hereinafter, each process used for the manufacturing method of the color filter of this invention is demonstrated in detail.
１．乾燥工程
本発明のカラーフィルタの製造方法における乾燥工程は、カラーフィルタ用基板を、加熱減圧乾燥装置を用いて減圧乾燥する工程である。
1. Drying Step The drying step in the method for producing a color filter of the present invention is a step of drying the color filter substrate under reduced pressure using a heating and vacuum drying apparatus.
このような減圧乾燥方法としては、上記カラーフィルタ用基板の乾燥前着色層に含まれる溶媒を除去し所望の硬度を有する乾燥後着色層とすることができる方法であれば良く、カラーフィルタの製造において一般的に設定される乾燥完了期間減圧乾燥する方法とすることができる。
上記乾燥完了期間の決定方法としては、具体的には、上記カラーフィルタ用基板と同形状のカラーフィルタ用基板をテスト用基板として用いて、上記加熱減圧乾燥装置による乾燥テストを行い、所望の硬度を有する乾燥後着色層を得ることができる乾燥期間を調査し決定する方法を用いることができる。
As such a reduced-pressure drying method, any method can be used as long as it is a method capable of removing the solvent contained in the colored layer before drying of the color filter substrate to obtain a colored layer after drying having a desired hardness. In general, a method for drying under reduced pressure can be used, which is generally set in step (b).
As a method for determining the drying completion period, specifically, a color filter substrate having the same shape as the color filter substrate is used as a test substrate, a drying test is performed by the heating and vacuum drying apparatus, and a desired hardness is obtained. A method of investigating and determining the drying period during which a colored layer after drying can be obtained can be used.
（１）加熱減圧乾燥装置
本工程に用いられる加熱減圧乾燥装置としては、上記乾燥前着色層に含まれる溶媒を所望量以下まで除去し、所望の硬度を有する乾燥後着色層とすることができるものであれば良く、カラーフィルタの製造に一般的に用いられるものを使用することができる。
具体的には、上記カラーフィルタを加熱する加熱手段と、上記加熱手段を収納するチャンバーと、上記チャンバー内を所望の圧力まで減圧する減圧手段とを有するものを挙げることができる。
(1) Heating reduced pressure drying apparatus As the heating reduced pressure drying apparatus used in this step, the solvent contained in the pre-drying colored layer can be removed to a desired amount or less to obtain a post-drying colored layer having a desired hardness. What is necessary is just what is used, and what is generally used for manufacture of a color filter can be used.
Specifically, a heating means for heating the color filter, a chamber for storing the heating means, and a decompression means for reducing the pressure in the chamber to a desired pressure can be given.
上記加熱手段としては、上記カラーフィルタ用基板を所望の温度に加熱することができるものであれば良い。
このような加熱手段としては、ホットプレート、電熱線、ランプ、赤外線放射装置等を挙げることができる。本工程においては、なかでも、ホットプレートであることが好ましい。上記カラーフィルタ用基板を平面視上均一に加熱することが容易であるからである。このため、上記乾燥前着色層を乾燥することにより形成される着色層を平坦性に優れたものとすることができるからである。
Any heating means may be used as long as it can heat the color filter substrate to a desired temperature.
Examples of such heating means include a hot plate, a heating wire, a lamp, and an infrared radiation device. In this step, a hot plate is particularly preferable. This is because it is easy to heat the color filter substrate uniformly in plan view. For this reason, it is because the colored layer formed by drying the said colored layer before drying can be made excellent in flatness.
本工程に用いられる加熱手段の加熱能力としては、上記カラーフィルタ用基板を所望の温度に加熱することができるものであれば良い。具体的には、上記カラーフィルタ用基板を、３５℃〜８０℃の範囲内、なかでも４０℃〜５０℃の範囲内に加熱することができるものであることが好ましい。上記範囲内であることにより、上記溶媒を効率よく除去することができるからである。 The heating capability of the heating means used in this step may be any as long as the color filter substrate can be heated to a desired temperature. Specifically, it is preferable that the color filter substrate can be heated within a range of 35 ° C. to 80 ° C., particularly within a range of 40 ° C. to 50 ° C. It is because the said solvent can be removed efficiently by being in the said range.
また、上記加熱手段の上記カラーフィルタ用基板に対する配置としては、上記カラーフィルタ用基板を下方から加熱するように、上記加熱手段が上記カラーフィルタ用基板の下方に配置されるものであっても良く、上記カラーフィルタ用基板を上方から加熱するように、上記加熱手段が上記カラーフィルタ用基板の上方に配置されるものであっても良い。本発明においては、なかでも、上記カラーフィルタ用基板を上下の両面から加熱するように、上記カラーフィルタ用基板の下方と上方とに配置されるものであることが好ましい。上記カラーフィルタ用基板を平面視上均一に加熱することができることにより、着色層を平坦性に優れたものとすることができるからである。 The heating means may be arranged with respect to the color filter substrate so that the heating means is arranged below the color filter substrate so as to heat the color filter substrate from below. The heating means may be disposed above the color filter substrate so as to heat the color filter substrate from above. In the present invention, it is particularly preferable that the color filter substrate is disposed below and above the color filter substrate so that the color filter substrate is heated from both the upper and lower sides. This is because the colored layer can be made excellent in flatness by heating the color filter substrate uniformly in plan view.
上記加熱手段の形状およびサイズとしては、乾燥するカラーフィルタ用基板のサイズ等に応じて適宜設定するものである。 The shape and size of the heating means are appropriately set according to the size of the color filter substrate to be dried.
本工程においては、上記加熱手段の配置数としては、１つ配置されるものであっても良く、複数配置されるものであっても良い。 In this step, the number of heating means may be one, or a plurality of heating means may be arranged.
（ｂ）チャンバー
本工程におけるチャンバーとしては、その内部に、上記加熱手段を収容することができ、乾燥時に密閉性が高いものとすることができるものであれば良い。
本工程においては、なかでも、上記チャンバーを加熱するチャンバー加熱手段を有するものであることが好ましい。このようなチャンバー加熱手段により加熱されるものとすることにより、上記乾燥前着色層から蒸発した溶媒が、上記チャンバーに接触した場合であっても温度が低下することを抑え、結露することを抑制することができるからである。したがって、本工程後のチャンバー内の上記溶媒の結露が少ないものとすることができ、後述する結露防止工程における減圧乾燥期間を短縮することができるからである。
(B) Chamber As the chamber in this step, any chamber may be used as long as the heating means can be accommodated therein and the airtightness can be high during drying.
In this step, it is preferable to have a chamber heating means for heating the chamber. By being heated by such a chamber heating means, the solvent evaporated from the pre-drying colored layer is prevented from decreasing in temperature even when it contacts the chamber, and dew condensation is suppressed. Because it can be done. Therefore, the condensation of the solvent in the chamber after this step can be reduced, and the reduced-pressure drying period in the condensation prevention step described later can be shortened.
上記チャンバーの形状およびサイズとしては、乾燥するカラーフィルタ用基板のサイズ等に応じて適宜設定するものである。 The shape and size of the chamber are appropriately set according to the size of the color filter substrate to be dried.
（ｃ）減圧手段
本工程における減圧手段は、上記チャンバー内を減圧するものである。このような減圧手段としては、真空ポンプ等の一般的な減圧装置を用いることができる。
(C) Depressurization means The decompression means in this step is for depressurizing the inside of the chamber. As such pressure reducing means, a general pressure reducing device such as a vacuum pump can be used.
本工程に用いられる減圧手段の減圧能力としては、上記チャンバー内を、上記カラーフィルタ用基板を所望の速度で乾燥することができる圧力とすることができるものであれば良い。具体的には、上記チャンバー内の減圧下定常圧力を、４Ｐａ未満の範囲とすることができるものであることが好ましく、なかでも１Ｐａ未満の範囲とすることができるものであることが好ましい。上記範囲であることにより、上記溶媒を容易に除去することができるからである。
なお、減圧下定常圧力は、上記加熱減圧乾燥装置のチャンバー内を空にした状態、すなわち、カラーフィルタ用基板や、結露した溶剤が全くない状態で、減圧乾燥した際に到達する平衡圧力をいうものである。また、平衡圧力とは、一定状態となった圧力であり、より具体的には、９０秒間の圧力が、９０秒間の平均圧力を基準として、上記平均圧力の上下１０％以内に含まれる状態における上記平均圧力をいうものである。
The pressure reducing capability of the pressure reducing means used in this step is not particularly limited as long as the inside of the chamber can be set to a pressure capable of drying the color filter substrate at a desired speed. Specifically, the steady pressure under reduced pressure in the chamber is preferably one that can be set to a range of less than 4 Pa, and particularly preferably one that can be set to a range of less than 1 Pa. It is because the said solvent can be easily removed because it is the said range.
The steady pressure under reduced pressure refers to the equilibrium pressure that is reached when vacuum drying is performed in a state where the chamber of the heating vacuum drying apparatus is emptied, that is, without any color filter substrate or condensed solvent. Is. Further, the equilibrium pressure is a pressure that is in a constant state, and more specifically, in a state in which the pressure for 90 seconds is included within 10% above and below the average pressure based on the average pressure for 90 seconds. It means the average pressure.
（２）カラーフィルタ用基板
本工程におけるカラーフィルタ用基板は、基板と、上記基板上に形成され、開口部を備える遮光部と、上記開口部にインクジェット法により塗布された着色層形成用塗工液からなる乾燥前着色層と、を有するものである。
(2) Color filter substrate The color filter substrate in this step is a substrate, a light shielding portion formed on the substrate and having an opening, and a coating for forming a colored layer applied to the opening by an inkjet method. And a pre-drying colored layer made of a liquid.
（ａ）乾燥前着色層
本工程に用いられるカラーフィルタ用基板の乾燥前着色層は、基板と、上記基板上に形成され、開口部を備える遮光部とを有するカラーフィルタ形成用基板の開口部に、インクジェット法により塗布された着色層形成用塗工液からなるものである。
(A) Pre-drying colored layer The pre-drying colored layer of the color filter substrate used in this step is an opening of a color filter forming substrate having a substrate and a light-shielding part having an opening formed on the substrate. And a coating solution for forming a colored layer applied by an ink jet method.
本工程における着色層形成用塗工液は溶媒を含むものであり、インクジェット法により、着色層を形成する際に、一般的に用いられるものと同様とすることができる。このような着色層形成用塗工液としては、通常、少なくとも赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色を含む、３色以上の着色層形成用塗工液が用いられる。 The coating liquid for forming a colored layer in this step contains a solvent, and can be the same as that generally used when forming a colored layer by an inkjet method. As such a colored layer forming coating solution, usually, a colored layer forming coating solution of three or more colors including at least three colors of red (R), green (G), and blue (B) is used. .
上記着色層形成用塗工液に含まれ、上記加熱減圧乾燥装置により、上記乾燥前着色層から除去される溶媒としては、単一溶媒であっても良く、２種以上の溶媒を混合した混合溶媒であっても良い。 The solvent contained in the colored layer forming coating liquid and removed from the colored layer before drying by the heating and vacuum drying apparatus may be a single solvent or a mixture of two or more solvents. It may be a solvent.
上記溶媒としては、インクに含有されている着色剤と硬化剤を所望の濃度で溶解できるものであれば特に限定されるものではない。このような溶媒としては、例えば、メチルアルコール、エチルアルコール、ｎ−プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、ｎ−ブチルアルコール、ｓｅｃ−ブチルアルコール、ｔｅｒｔ−ブチルアルコール等の炭素数１〜４のアルキルアルコール類；ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド等のアミド類；アセトン、ジアセトンアルコール類のケトン類、またはケトアルコール類；テトラヒドロフラン、ジオキサン等のエーテル類；ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコールなどのポリアルキレングリコール類；エチレングリコール、プロピレングリコール、ブチレングリコール、トリエチレングリコール、チオジグリコール、ヘキシレングリコール、ジエチレングリコール等のアルキレン基が２〜４個の炭素を含有するアルキレングリコール類；グリセリン類；エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル等の多価アルコールの低級アルキルエーテル類；Ｎ−メチル−２−ピロリドン、２−ピロリドン、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート等；ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル等のジエチレングリコールモノアルキルエーテル類；ジエチレングリコールモノ-n-ブチルエーテルアセテート等のジエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のジプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；ジエチレングリコールジメチルエーテル等の他のエーテル類；シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等のケトン類；２−ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステル類；３−メチル−３−メトキシブチルプロピオネート、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸ｎ−アミル、酢酸イソアミル、プロピオン酸ｎ−ブチル、酪酸エチル、酪酸イソプロピル、酪酸ｎ−ブチル、ピルビン酸エチル等の他のエステル類；γ−ブチロラクトン等を挙げることができる。なかでも本工程においては、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−エトキシプロピオン酸エチル、マロン酸ジメチルなどが好適に用いられる。 The solvent is not particularly limited as long as it can dissolve the colorant and the curing agent contained in the ink at a desired concentration. Examples of such a solvent include alkyl alcohols having 1 to 4 carbon atoms such as methyl alcohol, ethyl alcohol, n-propyl alcohol, isopropyl alcohol, n-butyl alcohol, sec-butyl alcohol, tert-butyl alcohol; Amides such as formamide and dimethylacetamide; Ketones of acetone, diacetone alcohols, or keto alcohols; Ethers such as tetrahydrofuran and dioxane; Polyalkylene glycols such as polyethylene glycol and polypropylene glycol; Ethylene glycol, propylene glycol, Alkylene groups such as butylene glycol, triethylene glycol, thiodiglycol, hexylene glycol and diethylene glycol contain 2 to 4 carbons Alkylene glycols; glycerols; lower alkyl ethers of polyhydric alcohols such as ethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol methyl ether, triethylene glycol monomethyl ether; N-methyl-2-pyrrolidone, 2-pyrrolidone, ethylene glycol monomethyl ether acetate Ethylene glycol monoalkyl ether acetates such as diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoalkyl ethers such as diethylene glycol monoethyl ether; diethylene glycol monoalkyl ether acetates such as diethylene glycol mono-n-butyl ether acetate; dipropylene glycol monomethyl ether acetate Dipropylene glycol monoalkyl Ether acetates; propylene glycol monoalkyl ether acetates such as propylene glycol monomethyl ether acetate and propylene glycol monomethyl ether acetate; other ethers such as diethylene glycol dimethyl ether; ketones such as cyclohexanone, 2-heptanone and 3-heptanone; Lactic acid alkyl esters such as ethyl hydroxypropionate; 3-methyl-3-methoxybutylpropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, n-butyl acetate, acetic acid Other esters such as isobutyl, n-amyl formate, isoamyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, isopropyl butyrate, n-butyl butyrate, ethyl pyruvate Γ-butyrolactone can be mentioned. Among these, in this step, diethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, ethyl 3-ethoxypropionate, dimethyl malonate and the like are preferably used.
また、このような着色層形成用塗工液は、上記溶媒以外に、通常、各色の顔料、熱硬化性樹脂等が含まれる。 Such a colored layer forming coating solution usually contains pigments of various colors, thermosetting resins, and the like in addition to the above solvents.
本工程における乾燥前着色層の厚みとしては、上記着色層形成用塗工液等により異なるものであるが、インクジェット法により形成された着色層を有するカラーフィルタにおいて一般的に形成される乾燥前着色層と同様とすることができる。 The thickness of the colored layer before drying in this step varies depending on the colored layer forming coating solution, etc., but is colored before drying generally formed in a color filter having a colored layer formed by an inkjet method. It can be similar to the layer.
本工程における乾燥前着色層の形成方法としては、上記カラーフィルタ形成用基板の開口部に、インクジェット法により上記溶媒を含む着色層形成用塗工液を塗布する方法であれば良く、カラーフィルタの製造に一般的に用いられる方法を用いることができる。
具体的には、上記カラーフィルタ形成用基板と、ノズルを複数備えるインクジェットヘッドとを相対的に移動させながら、上記ノズルから上記着色層形成用塗工液を塗布する方法を挙げることができる。
As a method for forming the pre-drying colored layer in this step, any method may be used as long as it is a method of applying a coloring layer forming coating solution containing the solvent to the openings of the color filter forming substrate by an inkjet method. A method generally used for production can be used.
Specifically, a method of applying the colored layer forming coating solution from the nozzles while relatively moving the color filter forming substrate and an inkjet head having a plurality of nozzles can be mentioned.
このようなインクジェットヘッドとしては、上記乾燥前着色層が形成されるカラーフィルタ形成用基板の面積や開口部等に応じて、所望のノズル数、ノズル間隔および吐出方式等を有するものであれば特に限定されず、一般的にインクジェット法に用いられるインクジェットヘッドを用いることができる。 Such an inkjet head is particularly suitable if it has a desired number of nozzles, nozzle spacing, ejection method, etc., depending on the area or opening of the color filter forming substrate on which the pre-drying colored layer is formed. Without being limited, an ink jet head generally used in an ink jet method can be used.
（ｂ）遮光部
本工程に用いられるカラーフィルタ用基板の遮光部としては、通常、開口部が等間隔で規則的に形成されたものが用いられる。ここで、上記開口部の具体的な大きさや配置態様は特に限定されるものではなく、上記カラーフィルタ用基板の用途等に応じて適宜決定することができる。
(B) Light-shielding part As a light-shielding part of the substrate for color filters used for this process, the thing in which the opening part was formed regularly at equal intervals normally is used. Here, the specific size and arrangement of the openings are not particularly limited, and can be appropriately determined according to the use of the color filter substrate.
このような上記遮光部としては、所望の遮光性を有することができる材料からなるものであれば特に限定されるものではないが、通常、遮光性材料および樹脂から構成されるものが用いられる。 Such a light-shielding part is not particularly limited as long as it is made of a material that can have a desired light-shielding property, but a material composed of a light-shielding material and a resin is usually used.
上記遮光部が遮光性材料および樹脂から構成されるものである場合、上記遮光性材料としては、一般的なカラーフィルタの樹脂製遮光部に用いられる材料を用いることができる。このような遮光性材料としては、例えば、カーボン微粒子、金属酸化物、無機顔料、有機顔料等の遮光性粒子等を挙げることができる。 In the case where the light shielding part is composed of a light shielding material and a resin, a material used for a resin light shielding part of a general color filter can be used as the light shielding material. Examples of such a light-shielding material include light-shielding particles such as carbon fine particles, metal oxides, inorganic pigments, and organic pigments.
また、上記樹脂としては、例えば、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−塩化ビニル共重合体、エチレン−ビニル共重合体、ポリスチレン、アクリロニトリル−スチレン共重合体、ＡＢＳ樹脂、ポリメタクリル酸樹脂、エチレン−メタクリル酸樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、塩素化塩化ビニル、ポリビニルアルコール、セルロースアセテートプロピオネート、セルロースアセテートブチレート、ナイロン６、ナイロン６６、ナイロン１２、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリビニルアセタール、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレート、ポリビニルブチラール、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミック酸樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂等を用いることができる。 Examples of the resin include ethylene-vinyl acetate copolymer, ethylene-vinyl chloride copolymer, ethylene-vinyl copolymer, polystyrene, acrylonitrile-styrene copolymer, ABS resin, polymethacrylic acid resin, ethylene. -Methacrylic acid resin, polyvinyl chloride resin, chlorinated vinyl chloride, polyvinyl alcohol, cellulose acetate propionate, cellulose acetate butyrate, nylon 6, nylon 66, nylon 12, polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polycarbonate, polyvinyl acetal, Polyether ether ketone, polyether sulfone, polyphenylene sulfide, polyarylate, polyvinyl butyral, epoxy resin, phenoxy resin, polyimide resin, polyamid Imide resins, polyamic acid resins, polyether imide resins, phenolic resins, and urea resins.
上記遮光部を形成する方法としては、上記開口部が所望の態様で配置された遮光部を形成できる方法であれば特に限定されるものではない。このような方法としては、例えば、遮光性粒子を含有させた樹脂組成物を用いたフォトリソグラフィー法、および、上記樹脂組成物を用いた熱転写法等を挙げることができる。このような遮光部を形成する具体的な方法としては、一般的にカラーフィルタに用いられる遮光部を形成する方法と同様の方法を用いることができるため、ここでの詳しい説明は省略する。 The method for forming the light shielding part is not particularly limited as long as it is a method capable of forming the light shielding part in which the opening is arranged in a desired manner. Examples of such a method include a photolithography method using a resin composition containing light-shielding particles, a thermal transfer method using the resin composition, and the like. As a specific method for forming such a light-shielding portion, a method similar to the method for forming the light-shielding portion generally used for color filters can be used, and thus detailed description thereof is omitted here.
また、本工程における遮光部は、撥液性を有するものであることが好ましい。インクジェット法により塗布される着色層形成用塗工液を、上記開口部内に安定的に塗布することができ、着色層を混色の無いものとすることができるからである。 Moreover, it is preferable that the light shielding part in this process has liquid repellency. This is because the coating liquid for forming a colored layer applied by the ink jet method can be stably applied in the opening, and the colored layer can be free of color mixing.
上記遮光部が撥液性を有するものとする方法としては、所望の撥液性を付与することができる方法であれば特に限定されるものではないが、例えば、上記遮光部を構成する材料として、上記基板表面よりも撥液性の高い材料を用い、上述した方法により遮光部を形成する方法（以下、第１態様）や、上述した方法によって基板上に遮光部を形成した後、事後的に上記遮光部を上記基板表面よりも撥液性とする方法（以下、第２態様）等を挙げることができる。 The method for making the light-shielding part have liquid repellency is not particularly limited as long as it can provide a desired liquid repellency. For example, as a material constituting the light-shielding part, A method of forming a light-shielding portion by the above-described method using a material having higher liquid repellency than the substrate surface (hereinafter referred to as the first embodiment), or after forming the light-shielding portion on the substrate by the above-described method. In addition, a method of making the light-shielding part more liquid repellent than the substrate surface (hereinafter referred to as a second aspect) can be exemplified.
上記第１態様としては、具体的には、上記遮光部を、樹脂および遮光材料を含むものとして形成し、上記樹脂に撥液化剤を含有させる方法を挙げることができる。 Specific examples of the first aspect include a method in which the light-shielding portion is formed as a resin and a light-shielding material, and the resin contains a liquid repellent agent.
また、上記第２態様としては、具体的には、後述する基板として無機材料からなる基板を用い、かつ、上記遮光部として樹脂および遮光性材料から構成されるものを用い、上述した方法によって基板上に遮光部を形成した後、フッ素ガスを導入ガスとしたプラズマ処理を行なう方法が挙げられる。
また、上記導入ガスに用いられるフッ素化合物としては、例えば、ＣＦ４、ＳＦ６、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、Ｃ３Ｆ８、Ｃ５Ｆ８等を挙げることができる。また、上記導入ガスとしては、上記フッ素ガスと他のガスとが混合されたものであってもよい。上記他のガスとしては、例えば、窒素、酸素、アルゴン、ヘリウム等を挙げることができるが、なかでも窒素を用いることが好ましい。さらに上記他のガスとして窒素を用いる場合、窒素の混合比率は５０％以上であることが好ましい。
In addition, as the second aspect, specifically, a substrate made of an inorganic material is used as a substrate to be described later, and a substrate made of a resin and a light shielding material is used as the light shielding portion, and the substrate is formed by the method described above. There is a method of performing a plasma treatment using a fluorine gas as an introduction gas after forming a light shielding part on the top.
As the fluorine compound for use in the gas introduced, for example, a CF 4, SF 6, CHF 3 , C 2 F 6, C 3 F 8, C 5 F 8 or the like. Further, the introduced gas may be a mixture of the fluorine gas and another gas. Examples of the other gas include nitrogen, oxygen, argon, helium, etc. Among them, nitrogen is preferably used. Further, when nitrogen is used as the other gas, the mixing ratio of nitrogen is preferably 50% or more.
また、上記プラズマ照射を実施する方法としては、上記遮光部の撥液性を向上できる方法であれば特に限定されるものではなく、例えば、減圧下でプラズマ照射してもよく、または、大気圧下でプラズマ照射してもよい。なかでも、本工程においては特に大気圧下でプラズマ照射が行うことが好ましい。これにより、減圧用の装置等が必要なく、コストや製造効率等の面おいて有利になるからである。 In addition, the method of performing the plasma irradiation is not particularly limited as long as it can improve the liquid repellency of the light shielding portion. For example, the plasma irradiation may be performed under reduced pressure, or the atmospheric pressure Plasma irradiation may be performed below. Among these, in this step, it is particularly preferable to perform plasma irradiation under atmospheric pressure. This is because an apparatus for decompression or the like is not necessary, which is advantageous in terms of cost, manufacturing efficiency, and the like.
なお、上記プラズマ照射を行った後の、上記遮光部におけるフッ素の存在は、Ｘ線光電子分光分析装置（ＸＰＳ：ＥＳＣＡＬＡＢ ２２０ｉ−ＸＬ）による分析において、遮光部の表面より検出される全元素中のフッ素元素の割合を測定することにより確認することができる。 In addition, the presence of fluorine in the light-shielding part after the plasma irradiation is performed in all elements detected from the surface of the light-shielding part in the analysis by an X-ray photoelectron spectrometer (XPS: ESCALAB 220i-XL). This can be confirmed by measuring the proportion of fluorine element.
なお、上記「撥液性」とは、上記着色層形成用塗工液との接触角が大きいことを意味するものである。 The “liquid repellency” means that the contact angle with the colored layer forming coating liquid is large.
具体的には、上記遮光部表面の上記着色層形成用塗工液との接触角が、上記基板表面の上記着色層形成用塗工液との接触角よりも大きいものとすることができるものであれば良い。なかでも本工程においては、上記遮光部表面の、表面張力４０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以上となる程度であることが好ましく、特に表面張力３０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以上となる程度であることが好ましく、さらには表面張力２０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以上となる程度であることが好ましい。また、純水との接触角が１１°以上となる程度であることが好ましい。 Specifically, the contact angle between the light shielding portion surface and the colored layer forming coating solution may be larger than the contact angle between the substrate surface and the colored layer forming coating solution. If it is good. In particular, in this step, it is preferable that the contact angle of the surface of the light-shielding part with a liquid with a surface tension of 40 mN / m is about 10 ° or more, and particularly the contact angle with a liquid with a surface tension of 30 mN / m. The contact angle with the liquid having a surface tension of 20 mN / m is more preferably about 10 ° or more. Moreover, it is preferable that the contact angle with pure water is about 11 ° or more.
（ｃ）基板
本工程における基板としては、上記遮光部および着色層を形成できるものであれば特に限定されるものではなく、従来よりカラーフィルタに用いられているものを用いることができる。このような基板としては、例えば、石英ガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、合成石英板等の可撓性のない透明な無機基板、および、透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する透明な樹脂基板等を挙げることができる。なかでも、上記遮光部の撥液化を第２態様で行う場合、本工程においては、無機基板を用いることが好ましい。上記基板として無機材料を用いることにより、本工程により、上記遮光部のみを撥液化することが容易となるからである。
本工程において、基板としてはガラス基板を用いることが好ましく、上記ガラス基板のなかでも無アルカリタイプのガラス基板を用いることが好ましい。上記無アルカリタイプのガラス基板は寸度安定性および高温加熱処理における作業性に優れ、かつ、ガラス中にアルカリ成分を含まないことから、アクティブマトリックス方式によるカラー液晶表示装置用のカラーフィルタに好適に用いることができるからである。
(C) Substrate The substrate in this step is not particularly limited as long as it can form the light shielding part and the colored layer, and those conventionally used for color filters can be used. Examples of such substrates include non-flexible transparent inorganic substrates such as quartz glass, Pyrex (registered trademark) glass, and synthetic quartz plates, and flexibility such as transparent resin films and optical resin plates. Examples thereof include a transparent resin substrate. Especially, when performing the liquid repellency of the said light shielding part in a 2nd aspect, it is preferable to use an inorganic substrate in this process. This is because, by using an inorganic material as the substrate, it becomes easy to make the light-shielding part only liquid-repellent by this step.
In this step, it is preferable to use a glass substrate as the substrate, and it is preferable to use a non-alkali type glass substrate among the glass substrates. The alkali-free glass substrate is excellent in dimensional stability and workability in high-temperature heat treatment, and contains no alkali component in the glass, so it is suitable for color filters for color liquid crystal display devices using an active matrix method. This is because it can be used.
上記基板は、透明な基板であってもよく、または、反射性の基板や白色に着色したものであってもよいが、本工程においては通常透明なものが用いられる。 The substrate may be a transparent substrate, or may be a reflective substrate or a white colored substrate, but a transparent substrate is usually used in this step.
また、上記基板は、必要に応じてアルカリ溶出防止やガスバリア性付与、その他の目的の表面処理を施されたものであってもよい。このような表面処理としては、例えば表面を親液性とするために、酸素ガスを導入ガスとしたプラズマ等を照射する処理を挙げることができる。
ここで、親液性とは、上記着色層形成用塗工液との接触角が小さいことを意味するものである。
The substrate may be subjected to surface treatment for preventing alkali elution, imparting a gas barrier property, and other purposes as necessary. Examples of such a surface treatment include a treatment of irradiating plasma or the like using oxygen gas as an introduction gas in order to make the surface lyophilic.
Here, the lyophilic property means that the contact angle with the colored layer forming coating solution is small.
具体的には、上記基板表面の上記着色層形成用塗工液との接触角が、上記遮光部表面の上記着色層形成用塗工液との接触角よりも小さいものとすることができるものであれば良い。なかでも本工程においては、上記基板表面の表面張力４０ｍＮ／ｍの液体との接触角が９°未満となる程度であることが好ましく、特に表面張力５０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以下となる程度であることが好ましく、さらには表面張力６０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以下となる程度であることが好ましい。 Specifically, the contact angle of the substrate surface with the colored layer forming coating solution may be smaller than the contact angle of the light shielding part surface with the colored layer forming coating solution. If it is good. In particular, in this step, the contact angle of the substrate surface with a liquid having a surface tension of 40 mN / m is preferably less than 9 °, and in particular, the contact angle with a liquid having a surface tension of 50 mN / m is 10 °. It is preferable that the contact angle with a liquid having a surface tension of 60 mN / m is 10 ° or less.
（３）乾燥工程
本工程は、上記カラーフィルタ用基板を、加熱減圧乾燥装置を用いて減圧乾燥することにより、上記カラーフィルタ用基板に含まれる乾燥前着色層を乾燥後着色層とする工程である。
このような乾燥工程を行うことにより形成される乾燥後着色層に含まれる溶媒の含有量としては、上記乾燥後着色層が所望の硬度を発揮するものであれば良く、一般的なカラーフィルタの製造における乾燥後着色層と同様とすることができる。
(3) Drying step This step is a step in which the pre-drying colored layer contained in the color filter substrate is made into a colored layer after drying by drying the color filter substrate under reduced pressure using a heating and vacuum drying apparatus. is there.
The content of the solvent contained in the colored layer after drying formed by performing such a drying step is not particularly limited as long as the colored layer after drying exhibits a desired hardness. It can be the same as the colored layer after drying in production.
２．結露防止工程
本発明のカラーフィルタの製造方法における結露防止工程は、上記乾燥工程後のカラーフィルタ用基板を取り出した後の加熱減圧乾燥装置を、減圧下定常圧力となるまで減圧乾燥する工程である。
より具体的には、上記乾燥工程後の加熱減圧乾燥装置内を大気圧まで復圧し、上記乾燥工程後のカラーフィルタ用基板を取り出し、上記カラーフィルタ用基板が取り出された後の加熱減圧乾燥装置を、上記減圧下定常圧力となるまで減圧乾燥する工程である。
なお、本工程における減圧下定常圧力については、上記「１．乾燥工程」の「（２）加熱減圧乾燥装置」の項に記載した内容と同様であるので、ここでの説明は省略する。
2. Condensation prevention step The condensation prevention step in the method for producing a color filter of the present invention is a step of drying the heated vacuum drying apparatus after taking out the color filter substrate after the drying step until a steady pressure is reached under reduced pressure. .
More specifically, the pressure reduction drying apparatus after the drying step is restored to atmospheric pressure, the color filter substrate after the drying step is taken out, and the heating pressure reduction drying device after the color filter substrate is taken out Is a step of drying under reduced pressure until the steady pressure is reached.
Note that the steady pressure under reduced pressure in this step is the same as that described in the section “(2) Heating reduced pressure drying apparatus” in “1. Drying step”, and therefore the description thereof is omitted here.
本発明においては上記結露防止工程を有することにより、上記結露防止工程後の加熱減圧乾燥装置のチャンバー内に残存する溶媒がほとんど無い状態とすることができる。したがって、その後再度乾燥工程を行なった場合に、上記チャンバー内に結露した溶媒がほぼ無い状態で乾燥を開始できる。
その結果、上記加熱減圧乾燥装置を用いてカラーフィルタ用基板の乾燥を複数回重ねた場合であっても、上記加熱減圧乾燥装置内に溶媒が結露している場合に生じる乾燥速度等の乾燥条件の変動への影響をほとんど無いものとすることができる。したがって、乾燥条件を精度良く制御することができ、着色層を平坦性に優れたものとすることができる。
また、結露した溶媒が上記カラーフィルタ用基板上に滴下することにより生じる混色欠点をほとんど無いものとすることができる。
In this invention, by having the said dew condensation prevention process, it can be set as the state which hardly has the solvent which remains in the chamber of the heating-vacuum drying apparatus after the said dew condensation prevention process. Therefore, when the drying process is performed again thereafter, the drying can be started in a state where there is almost no condensed solvent in the chamber.
As a result, even if the drying of the color filter substrate is repeated a plurality of times using the heating and vacuum drying apparatus, drying conditions such as the drying speed generated when the solvent is condensed in the heating and vacuum drying apparatus. It is possible to have almost no influence on the fluctuation of Therefore, the drying conditions can be controlled with high accuracy, and the colored layer can be excellent in flatness.
In addition, it is possible to make almost no color mixing defect caused by dripping of the condensed solvent onto the color filter substrate.
このような減圧乾燥方法において、上記減圧下定常圧力に到達したか否かの判断は、上記加熱減圧乾燥装置のチャンバー内の圧力を常時モニタリングし、上記減圧下定常圧力到達を確認するものであっても良く、減圧乾燥開始からの経過時間により減圧下定常圧力到達を決定するものであっても良い。
ここで、経過時間により減圧下定常圧力到達を決定する方法としては、具体的には、上記乾燥工程で減圧乾燥されるカラーフィルタ用基板と同形状のカラーフィルタ用基板をテスト用基板として用い、上記加熱減圧乾燥装置により上記乾燥工程における減圧乾燥条件と同一条件で減圧乾燥する。次いで、大気圧まで復圧し、上記カラーフィルタ用基板を取り出した後、再度、上記乾燥工程と同条件で減圧乾燥を行ない、チャンバー内の圧力が減圧下定常圧力に到達する時間を得る。そしてその結果得られた到達時間により、減圧下定常圧力到達を決定する方法を挙げることができる。
本工程においては、なかでも、経過時間により決定するものであることが好ましい。管理が容易だからである。
In such a vacuum drying method, the determination as to whether or not the steady pressure under the reduced pressure has been reached is to constantly monitor the pressure in the chamber of the heating and vacuum drying apparatus to confirm that the steady pressure has been reached under the reduced pressure. Alternatively, the arrival of steady pressure under reduced pressure may be determined based on the elapsed time from the start of drying under reduced pressure.
Here, as a method of determining the arrival of steady pressure under reduced pressure according to elapsed time, specifically, a color filter substrate having the same shape as the color filter substrate dried under reduced pressure in the drying step is used as a test substrate. Drying under reduced pressure is performed under the same conditions as the reduced-pressure drying conditions in the drying step by the heating and vacuum drying apparatus. Next, the pressure is restored to atmospheric pressure, and after the color filter substrate is taken out, drying under reduced pressure is performed again under the same conditions as in the drying step to obtain time for the pressure in the chamber to reach a steady pressure under reduced pressure. And the method of determining steady pressure arrival under pressure reduction can be mentioned with the arrival time obtained as a result.
In this step, it is preferable to determine the elapsed time. This is because management is easy.
本工程における、上記加熱減圧乾燥装置のチャンバーおよび加熱手段の温度としては、上記乾燥工程後に上記加熱減圧乾燥装置のチャンバー内に結露している溶媒を除去することができる温度であれば良く、上記乾燥工程における温度と同程度とすることができる。 In this step, the temperature of the chamber and the heating means in the heating and vacuum drying apparatus may be any temperature that can remove the solvent condensed in the chamber of the heating and vacuum drying apparatus after the drying step. The temperature can be the same as the temperature in the drying step.
３．カラーフィルタの製造方法
本発明のカラーフィルタの製造方法は、上記乾燥工程後に、上記結露防止工程を行なうものであれば良く、上記結露防止工程が上記乾燥工程後に毎回行なわれるものであっても良く、上記乾燥工程が複数回連続して行なわれた後に、上記結露防止工程が行なわれるものであっても良い。
本発明においては、なかでも、上記乾燥工程後、毎回、上記結露防止工程を行なうものであることが好ましい。上記乾燥工程後、毎回、上記結露防止工程を行なうことにより、次の乾燥工程を開始する際におけるチャンバー内の結露量をより少ないものとすることができ、さらに上記乾燥工程を開始する際の上記チャンバー内の結露量をより一定なものとすることができる。このため、着色層の平坦性の制御をより確実に行なうことができるからである。
3. Manufacturing method of color filter The manufacturing method of the color filter of the present invention may be any method as long as the condensation prevention step is performed after the drying step, and the condensation prevention step may be performed every time after the drying step. The dew condensation prevention step may be performed after the drying step is continuously performed a plurality of times.
In the present invention, it is preferable that the dew condensation prevention step is performed every time after the drying step. By performing the condensation prevention step each time after the drying step, it is possible to reduce the amount of condensation in the chamber when starting the next drying step, and further when starting the drying step The amount of condensation in the chamber can be made more constant. This is because the flatness of the colored layer can be controlled more reliably.
また、本発明においては、上記乾燥工程および結露防止工程を少なくとも有するものであれば良く、その他の工程を有するものであっても良い。
このようなその他の工程としては、上記開口部にインクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布して乾燥前着色層を形成するインクジェット工程、上記乾燥工程後のカラーフィルタの着色層を加熱し硬化させるプリベイク工程およびポストベイク工程、上記着色層上にオーバーコート層を形成するオーバーコート層形成工程、上記着色層上にＩＴＯ，ＩＺＯ等の透明電極を形成する透明電極形成工程、対向基板とのセルギャップを均一にするためのスペーサー材を所定の位置に形成するスペーサー形成工程、ならびに、液晶の配向を制御するための構造物を形成する配向制御構造物形成工程等を挙げることができる。
Moreover, in this invention, what is necessary is just to have at least the said drying process and dew condensation prevention process, and may have another process.
Examples of such other processes include an inkjet process in which a colored layer forming coating solution is applied to the openings by an inkjet method to form a colored layer before drying, and the colored layer of the color filter after the drying process is heated. Pre-bake and post-bake steps for curing, overcoat layer forming step for forming an overcoat layer on the colored layer, transparent electrode forming step for forming a transparent electrode such as ITO or IZO on the colored layer, cell with counter substrate Examples include a spacer forming step of forming a spacer material for making the gap uniform at a predetermined position, an alignment control structure forming step of forming a structure for controlling the alignment of the liquid crystal, and the like.
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。 The present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and the present invention has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention, and any device that exhibits the same function and effect is the present invention. It is included in the technical scope of the invention.
以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明する。 Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples.
［実施例１］
１．カラーフィルタ形成用基板の調整工程
カラーフィルタ用ガラス基板として、厚み０．７ｍｍ、縦１８５０ｍｍ、横１５００ｍｍの旭ガラス社製ＡＮ１００を準備し、このガラス基板上にフォトリソグラフィ法にて樹脂製の遮光部を形成した。
[Example 1]
1. Color filter forming substrate adjustment process As a glass substrate for a color filter, an AN100 manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. having a thickness of 0.7 mm, a length of 1850 mm, and a width of 1500 mm is prepared. Formed.
上記遮光部は、開口部が１００μｍ×３００μｍ、遮光部分の線幅が２０μｍとなるように形成し、横方向に１２０μｍピッチ（短辺方向に隣接する開口部の中心間の距離）、縦方向３２０μｍピッチ（長辺方向に隣接する開口部の中心間の距離）にて配置されているものとした。この際、遮光部分の膜厚は平均２．３μｍとした。 The light-shielding part is formed so that the opening is 100 μm × 300 μm, the line width of the light-shielding part is 20 μm, the pitch is 120 μm in the horizontal direction (the distance between the centers of adjacent openings in the short side direction), and the vertical direction is 320 μm. It is assumed that they are arranged at a pitch (distance between the centers of openings adjacent in the long side direction). At this time, the film thickness of the light shielding portion was set to 2.3 μm on average.
上記遮光部付ガラス基板に対して、フッ素化合物を導入ガスとしたプラズマ処理を加えることにより、遮光部の表面を撥液性に、それ以外の領域（着色層形成領域）すなわち開口部を親液性とした。このようにしてカラーフィルタ形成用基板を作製した。 By applying a plasma treatment using a fluorine compound as an introduction gas to the glass substrate with a light shielding part, the surface of the light shielding part is made liquid repellent, and other regions (colored layer forming regions), that is, openings are made lyophilic. It was sex. In this way, a color filter forming substrate was produced.
２．着色層形成用塗工液塗布工程
着色層形成用塗工液には、カラーフィルタ用顔料と熱硬化型樹脂等とからなるＲＧＢ各色の顔料分散型インクを用いて、１つの開口部（着色層形成領域）あたり１０００ｐｌにて所望のカラーフィルタの色が表現できるように濃度を設計したものを用いた。
上記カラーフィルタ形成用基板に対して、インクジェットヘッドを用いて着色層形成用塗工液を塗布し、乾燥前着色層を形成した。このようにして、カラーフィルタ用基板を作製した。
2. Colored layer forming coating liquid application step The colored layer forming coating liquid uses pigment dispersed inks of RGB colors composed of a pigment for a color filter and a thermosetting resin, and the like. The density is designed so that the desired color filter color can be expressed at 1000 pl per (formation area).
A colored layer-forming coating solution was applied to the color filter-forming substrate using an inkjet head to form a colored layer before drying. In this way, a color filter substrate was produced.
３．加熱減圧乾燥の処理時間設定工程
上記乾燥前着色層が形成されたカラーフィルタ用基板を収容した状態で加熱減圧乾燥装置の処理を以下の条件で開始し、第２平衡圧力に達するまで処理し、その圧力プロファイルを取得した。得られた圧力プロファイルから、既に説明した図１に示されるように、上記第１平衡圧力となる時間（ｔ１）、上記第１平衡圧力が終了する時間（ｔ２）、第２平衡圧力となる時間（ｔ３）を得た。また、上記第１平衡圧力の中間となる時間（ｔ４＝ｔ１＋（ｔ2-ｔ1）／２）および、上記第１平衡圧力と第２平衡圧力の中間となる時間（ｔ5＝ｔ2＋（ｔ3-ｔ2）／２）を得た。
なお、本工程は、上記カラーフィルタ用基板を連続して加熱減圧乾燥する場合においては、最初の一回にのみ行なった。
3. Processing time setting process of heating and vacuum drying The process of the heating and vacuum drying apparatus is started under the following conditions in a state where the color filter substrate on which the colored layer before drying is formed is received, and is processed until the second equilibrium pressure is reached. The pressure profile was obtained. From the obtained pressure profile, as shown in FIG. 1 already described, the time (t 1 ) when the first equilibrium pressure is reached, the time (t 2 ) when the first equilibrium pressure ends, the second equilibrium pressure and Time (t 3 ) was obtained. Further, a time (t 4 = t 1 + (t 2 -t 1 ) / 2) intermediate between the first equilibrium pressure and a time (t 5 = t) between the first equilibrium pressure and the second equilibrium pressure. t 2 + (t 3 -t 2 ) / 2) was obtained.
In addition, this process was performed only once at the time of drying the above-mentioned color filter substrate continuously by heating under reduced pressure.
４．加熱減圧乾燥工程
上記着色形成用インクを着弾させた基板を、加熱減圧乾燥装置内に配置し、加熱減圧乾燥した。上記加熱減圧乾燥における加熱温度は４０℃とし、処理時間は第１平衡圧力と第２平衡圧力との中間となる圧力に達する時間(＝ｔ５)とした。
4). Heating under reduced pressure drying step The substrate on which the color forming ink was landed was placed in a heating under reduced pressure drying apparatus and dried under heat under reduced pressure. The heating temperature in the heating and vacuum drying was 40 ° C., and the treatment time was the time to reach a pressure intermediate between the first equilibrium pressure and the second equilibrium pressure (= t 5 ).
５．結露防止工程
上記加熱減圧工程を行なった後の基板を取り出し、上記加熱減圧乾燥装置内が空の状態とした後、第２平衡圧力に達するまで減圧乾燥を行なった。
5. Condensation prevention step The substrate after the heating and depressurization step was taken out, the interior of the heating and depressurization drying device was emptied, and then dried under reduced pressure until the second equilibrium pressure was reached.
６．プリベイクおよびポストベイク
上記加熱減圧乾燥した基板を、１５０℃のホットプレート（ＨＰ）で４ｍｉｎのプリベイクを実施した。その後２４０℃のオーブンで４０ｍｉｎのポストベイクを実施し、カラーフィルタを作製した。
6). Pre-baking and post-baking The substrate heated and dried under reduced pressure was pre-baked for 4 minutes on a hot plate (HP) at 150 ° C. Thereafter, post-baking for 40 minutes was carried out in an oven at 240 ° C. to produce a color filter.
［実施例２］
上記加熱減圧乾燥工程における加熱温度を４５℃とした以外は、実施例１と同様にしてカラーフィルタを作製した。
[Example 2]
A color filter was produced in the same manner as in Example 1 except that the heating temperature in the heating and vacuum drying step was 45 ° C.
［実施例３］
上記加熱減圧乾燥工程における加熱温度を５０℃とした以外は、実施例１と同様にしてカラーフィルタを作製した。
[Example 3]
A color filter was produced in the same manner as in Example 1 except that the heating temperature in the heating and vacuum drying step was 50 ° C.
［比較例１］
上記結露防止工程を行なわなかった以外は、実施例１と同様にしてカラーフィルタを作製した。
[Comparative Example 1]
A color filter was produced in the same manner as in Example 1 except that the condensation prevention step was not performed.
［比較例２］
上記結露防止工程を行なわなかった以外は、実施例２と同様にしてカラーフィルタを作製した。
[Comparative Example 2]
A color filter was produced in the same manner as in Example 2 except that the condensation prevention step was not performed.
［比較例３］
上記結露防止工程を行なわなかった以外は、実施例３と同様にしてカラーフィルタを作製した。
[Comparative Example 3]
A color filter was produced in the same manner as in Example 3 except that the condensation prevention step was not performed.
［比較例４］
上記加熱減圧乾燥工程における処理時間を、第１平衡圧力に達する時間（ｔ１）とし、さらに上記結露防止工程を行なわなかった以外は、実施例１と同様にしてカラーフィルタを作製した。
[Comparative Example 4]
A color filter was produced in the same manner as in Example 1 except that the treatment time in the heating and vacuum drying step was set to the time (t 1 ) to reach the first equilibrium pressure, and the dew condensation prevention step was not performed.
［比較例５］
上記加熱減圧乾燥工程における処理時間を、第１平衡圧力に達する時間（ｔ１）とし、さらに上記結露防止工程を行なわなかった以外は、実施例２と同様にしてカラーフィルタを作製した。
[Comparative Example 5]
A color filter was produced in the same manner as in Example 2 except that the treatment time in the heating and vacuum drying step was set to the time (t 1 ) until the first equilibrium pressure was reached, and the condensation prevention step was not performed.
［比較例６］
上記加熱減圧乾燥工程における処理時間を、第１平衡圧力に達する時間（ｔ１）とし、さらに上記結露防止工程を行なわなかった以外は、実施例３と同様にしてカラーフィルタを作製した。
[Comparative Example 6]
A color filter was produced in the same manner as in Example 3 except that the treatment time in the heating and vacuum drying step was set to the time (t 1 ) to reach the first equilibrium pressure, and the dew condensation prevention step was not performed.
［比較例７］
上記結露防止工程において、第１平衡圧力に達するまで減圧乾燥を行なった以外は、実施例１と同様にしてカラーフィルタを作製した。
[Comparative Example 7]
A color filter was produced in the same manner as in Example 1 except that in the condensation prevention step, drying under reduced pressure was performed until the first equilibrium pressure was reached.
［比較例８］
上記結露防止工程において、第１平衡圧力に達するまで減圧乾燥を行なった以外は、実施例２と同様にしてカラーフィルタを作製した。
[Comparative Example 8]
A color filter was produced in the same manner as in Example 2 except that in the condensation prevention step, drying under reduced pressure was performed until the first equilibrium pressure was reached.
［比較例９］
上記結露防止工程において、第１平衡圧力に達するまで減圧乾燥を行なった以外は、実施例３と同様にしてカラーフィルタを作製した。
[Comparative Example 9]
A color filter was produced in the same manner as in Example 3 except that in the condensation prevention step, drying under reduced pressure was performed until the first equilibrium pressure was reached.
［比較例１０］
上記結露防止工程において、第１平衡圧力と第２平衡圧力との中間の圧力に達するまで減圧乾燥を行なった以外は、実施例１と同様にしてカラーフィルタを作製した。
[Comparative Example 10]
A color filter was produced in the same manner as in Example 1 except that in the dew condensation prevention step, drying was performed under reduced pressure until a pressure intermediate between the first equilibrium pressure and the second equilibrium pressure was reached.
［比較例１１］
上記結露防止工程において、第１平衡圧力と第２平衡圧力との中間の圧力に達するまで減圧乾燥を行なった以外は、実施例２と同様にしてカラーフィルタを作製した。
[Comparative Example 11]
A color filter was produced in the same manner as in Example 2 except that in the dew condensation prevention step, drying under reduced pressure was performed until a pressure intermediate between the first equilibrium pressure and the second equilibrium pressure was reached.
［比較例１２］
上記結露防止工程において、第１平衡圧力と第２平衡圧力との中間の圧力に達するまで減圧乾燥を行なった以外は、実施例３と同様にしてカラーフィルタを作製した。
[Comparative Example 12]
A color filter was produced in the same manner as in Example 3 except that in the dew condensation prevention step, drying under reduced pressure was performed until a pressure intermediate between the first equilibrium pressure and the second equilibrium pressure was reached.
［評価］
実施例および比較例に記載の方法にてカラーフィルタを１０枚連続で作製した。その後、各実施例および比較例で作製された１０枚カラーフィルタを用いて液晶表示装置を作製し、点灯試験を行った。その結果、実施例では、混色決壊が無いカラーフィルタを安定的に製造することができた。一方、比較例１〜６では、カラーフィルタ基板上に液滴落下に起因する混色箇所が発生していた。また、比較例７〜比較例１２では、比較例１〜６と比較して混色箇所の発生量の低下が見られたが、混色箇所の発生を完全に抑制することはできなかった。
[Evaluation]
Ten color filters were produced in succession by the methods described in Examples and Comparative Examples. Thereafter, a liquid crystal display device was produced using the 10 color filters produced in each example and comparative example, and a lighting test was performed. As a result, in the example, it was possible to stably manufacture a color filter without color mixing failure. On the other hand, in Comparative Examples 1 to 6, there were color-mixed portions due to droplets dropping on the color filter substrate. Further, in Comparative Examples 7 to 12, a decrease in the amount of color mixing spots was observed as compared with Comparative Examples 1 to 6, but the generation of color mixing spots could not be completely suppressed.
また、実施例および比較例において、上記方法にてカラーフィルタを１０枚連続乾燥処理した後の上記加熱減圧乾燥装置内の内部の結露状態を目視により観察した。その結果、実施例では装置内に結露が生じていなかった。一方、比較例１〜６では、加熱減圧乾燥装置上蓋および外周に結露した溶媒が液滴状に付着していた。また、比較例７〜比較例１２では、比較例１〜６と比較して結露量の低減が見られたが、結露を完全に抑制することはできなかった。 Further, in the examples and comparative examples, the internal dew condensation state in the heating and vacuum drying apparatus after 10 color filters were continuously dried by the above method was visually observed. As a result, in the example, no condensation occurred in the apparatus. On the other hand, in Comparative Examples 1 to 6, the solvent condensed on the upper lid and the outer periphery of the heating and vacuum drying apparatus was attached in the form of droplets. Further, in Comparative Examples 7 to 12, although the amount of dew condensation was reduced as compared with Comparative Examples 1 to 6, dew condensation could not be completely suppressed.
さらに、上記方法にてカラーフィルタを１０枚連続乾燥処理した場合における乾燥状態を観察した。その結果、実施例では、同一乾燥時間で、同程度に乾燥したカラーフィルタを得ることができた。一方、比較例１〜６では、上記基板を処理する毎に乾燥具合が悪くなり、乾燥ムラが生じた。また、比較例７〜比較例１２では、比較例１〜６と比較して程度は小さいが乾燥具合の悪化が生じ、乾燥ムラを完全に抑制することはできなかった。 Furthermore, the dry state when 10 color filters were continuously dried by the above method was observed. As a result, in the example, it was possible to obtain a color filter dried to the same extent in the same drying time. On the other hand, in Comparative Examples 1-6, every time the said board | substrate was processed, the drying condition worsened and drying unevenness arose. Moreover, in Comparative Examples 7 to 12, the degree of drying deteriorated to a lesser extent than Comparative Examples 1 to 6, but drying unevenness could not be completely suppressed.
Claims (3)
前記乾燥工程後のカラーフィルタ用基板を取り出した後の加熱減圧乾燥装置を、減圧下定常圧力となるまで減圧乾燥する結露防止工程と、
を有し、
前記結露防止工程が、前記乾燥工程後の加熱減圧乾燥装置内を大気圧まで復圧し、前記乾燥工程後の前記カラーフィルタ用基板を取り出し、前記カラーフィルタ用基板が取り出された後の前記加熱減圧乾燥装置を、前記減圧下定常圧力となるまで減圧乾燥するものであり、
前記乾燥工程が第１平衡圧力以下、かつ、第２平衡圧力より高い圧力まで減圧乾燥するものであることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 A substrate for a color filter comprising: a substrate; a light-shielding portion formed on the substrate and having an opening; and a colored layer before drying composed of a coating solution for forming a coloring layer applied to the opening by an inkjet method. A drying step of drying under reduced pressure using a heating vacuum drying apparatus;
A condensation prevention step of drying under reduced pressure until a steady pressure under reduced pressure is applied to the heating vacuum drying apparatus after taking out the color filter substrate after the drying step;
Have
In the dew condensation prevention step, the inside of the heating and decompression drying apparatus after the drying step is restored to atmospheric pressure, the substrate for color filter after the drying step is taken out, and the heating and decompression step after the color filter substrate is taken out The drying apparatus is dried under reduced pressure until the steady pressure is reached under the reduced pressure,
The method for producing a color filter, wherein the drying step is to dry under reduced pressure to a pressure not higher than the first equilibrium pressure and higher than the second equilibrium pressure .
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