JP5290267B2 - セラミック基板の焼成用バッファシート及びこれを用いたセラミック基板の製造方法 - Google Patents
セラミック基板の焼成用バッファシート及びこれを用いたセラミック基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5290267B2 JP5290267B2 JP2010287816A JP2010287816A JP5290267B2 JP 5290267 B2 JP5290267 B2 JP 5290267B2 JP 2010287816 A JP2010287816 A JP 2010287816A JP 2010287816 A JP2010287816 A JP 2010287816A JP 5290267 B2 JP5290267 B2 JP 5290267B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- powder
- ceramic substrate
- firing
- buffer sheet
- spherical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/64—Burning or sintering processes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
Description
上記第1粉末及び第2粉末は、互いに異なる材質または密度を有することができる。
11 板状形の第1粉末
12 球形の第2粉末
C セラミック基板
S 焼成セッター
Claims (9)
- 板状形の第1粉末と球形の第2粉末を含むスラリーを製造するステップと、
上記スラリーにせん断応力を与え、上記板状形の第1粉末が上部に配置され、上記球形の第2粉末が下部に配置されるようバッファシートを成形するステップと、
を含むセラミック基板の焼成用バッファシートの製造方法。 - 上記第1粉末及び第2粉末は互いに異なる材質または密度を有することを特徴とする請求項1に記載のセラミック基板の焼成用バッファシートの製造方法。
- セラミック基板が積載される第1面と上記第1面に対向する第2面とを有し、板状形の第1粉末及び球形の第2粉末を含み、上記第1面は、上記第2面に比べ上記第2粉末より上記第1粉末の分布比率が高い焼成用バッファシートを設けるステップと、
上記第2面が接触するよう焼成セッターに積載するステップと、
上記第1面にセラミックグリーンシートを積載するステップと、
上記セラミックグリーンシートを焼成するステップと、を含み、
上記焼成用バッファシートを設けるステップは、上記板状形の第1粉末と上記球形の第2粉末を含むスラリーを製造するステップと、
上記スラリーにせん断応力を与え、上記板状形の第1粉末が上部に配置され、上記球形の第2粉末が下部に配置されるようバッファシートを成形するステップと、
を含むセラミック基板の製造方法。 - 上記第1粉末及び第2粉末は、上記セラミック基板の焼結温度で焼結されない難焼結性粉末であることを特徴とする請求項3に記載のセラミック基板の製造方法。
- 上記第1粉末及び第2粉末は、互いに異なる材質または密度を有することを特徴とする請求項3に記載のセラミック基板の製造方法。
- 上記第1粉末の80%以上は、上記バッファシートの第1面から一定の範囲の厚さに亘って分布され、
上記一定の範囲の厚さは、上記第1面を基準に上記バッファシートの厚さの10%〜80%の厚さの範囲にあることを特徴とする請求項3に記載のセラミック基板の製造方法。 - 上記板状形の第1粉末の幅は5μm〜20μmであり、厚さは0.1μm〜1.0μmであることを特徴とする請求項3に記載のセラミック基板の製造方法。
- 上記球形の第2粉末の平均粒径は1μm〜3μmであることを特徴とする請求項3に記載のセラミック基板の製造方法。
- 上記焼成用バッファシートの厚さは3μm〜300μmであることを特徴とする請求項3に記載のセラミック基板の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2010-0070978 | 2010-07-22 | ||
KR1020100070978A KR101179336B1 (ko) | 2010-07-22 | 2010-07-22 | 세라믹 기판의 소성용 버퍼시트 및 이를 이용한 세라믹 기판의 제조방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012025647A JP2012025647A (ja) | 2012-02-09 |
JP5290267B2 true JP5290267B2 (ja) | 2013-09-18 |
Family
ID=45779035
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010287816A Expired - Fee Related JP5290267B2 (ja) | 2010-07-22 | 2010-12-24 | セラミック基板の焼成用バッファシート及びこれを用いたセラミック基板の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5290267B2 (ja) |
KR (1) | KR101179336B1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101963274B1 (ko) * | 2014-10-10 | 2019-03-28 | 삼성전기주식회사 | 다층 세라믹 기판 및 그 제조 방법 |
CN112194505A (zh) * | 2020-10-15 | 2021-01-08 | 中科传感技术(青岛)研究院 | 一种叠层压电陶瓷片的整形方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3315483B2 (ja) * | 1993-07-02 | 2002-08-19 | 晧一 新原 | セラミックス複合焼結体 |
JP2001220260A (ja) * | 2000-02-07 | 2001-08-14 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | アルミナ系多孔質シート状耐火物及びその製造方法 |
KR100905855B1 (ko) * | 2007-11-06 | 2009-07-02 | 삼성전기주식회사 | 구속용 그린시트 및 이를 이용한 다층 세라믹 기판제조방법 |
KR100930176B1 (ko) | 2007-12-12 | 2009-12-07 | 삼성전기주식회사 | 세라믹 기판 및 그 제조방법 |
-
2010
- 2010-07-22 KR KR1020100070978A patent/KR101179336B1/ko active IP Right Grant
- 2010-12-24 JP JP2010287816A patent/JP5290267B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101179336B1 (ko) | 2012-09-03 |
KR20120009124A (ko) | 2012-02-01 |
JP2012025647A (ja) | 2012-02-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6139666A (en) | Method for producing ceramic surfaces with easily removable contact sheets | |
US20020043530A1 (en) | Ceramic heater | |
US20100038120A1 (en) | Layered ceramic electronic component and manufacturing method therefor | |
JP5290267B2 (ja) | セラミック基板の焼成用バッファシート及びこれを用いたセラミック基板の製造方法 | |
US7887905B2 (en) | Constraining green sheet and manufacturing method of multi-layer ceramic substrate using the same | |
KR940010095B1 (ko) | 그린 세라믹체 소성시의 수축 감소 방법 | |
KR20100053464A (ko) | 세라믹 기판 및 전자 부품의 제조 방법 | |
US20120199270A1 (en) | Method of manufacturing a multi-layer ceramic substrate using a constraining green sheet | |
JP2006253563A (ja) | 電子部品の製造方法、焼成方法 | |
JP4619026B2 (ja) | ガラスセラミック基板およびその製造方法 | |
JP2007115852A (ja) | セラミック基板の製造方法 | |
JP2004281392A (ja) | 酸化物皮膜層を備えた高融点金属材料とその製造方法とそれを用いた焼結用板 | |
JP2007281108A (ja) | 多層セラミック基板 | |
JP4726566B2 (ja) | 電子部品の製造方法 | |
JP5284227B2 (ja) | 静電チャック及び静電チャックの製造方法 | |
JP4683891B2 (ja) | 導体形成用シートおよび導体の形成方法ならびに電子部品の製造方法 | |
JP2003273515A (ja) | セラミックの低温焼結の間の収縮を低減するための方法および抑制層 | |
JP2006310805A (ja) | 電子部品の製造方法 | |
CN115745577B (zh) | 一种超薄低温烧结陶瓷基板的制备方法 | |
JP3825224B2 (ja) | ガラスセラミック基板の製造方法 | |
US6395337B1 (en) | Substrate with ceramic coating for camber modification and method for making | |
JP3872440B2 (ja) | ガラスセラミック回路基板の製造方法 | |
JP5441810B2 (ja) | 配線パターン付きセラミックグリーンシートの製造方法 | |
JP2019001094A (ja) | セラミックグリーンシート | |
JP2004288939A (ja) | 低温焼成多層セラミック配線基板の製法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120713 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120731 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121031 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121120 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130220 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130225 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130319 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130325 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130401 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130507 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130605 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5290267 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |