JP5289710B2 - 圧電素子及びインクジェットヘッド - Google Patents
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Description
このように、特許文献2及び3においては、単層又は複数層からなる中間層を設けることにより、鉛の拡散防止と応力緩和との両方を図っている。
即ち、特許文献4においては、振動板に第2の絶縁膜としてアモルファスジルコニア等を形成することにより、圧電体膜から振動板側に鉛が拡散するの防止すると共に、圧電体膜と振動板との密着性を高めている。
即ち、特許文献5においては、振動板に柱状晶のジルコニア層を設けることにより、振動板と圧電体層との密着性を高めている。
図1は、本発明の一実施形態に係る圧電素子の一部を示す断面図である。
図1に示すように、この圧電素子は、基板1と、中間層2と、下部電極層3と、圧電体層(圧電膜)4と、上部電極層5とを含んでいる。このような構造において、下部電極層3及び上部電極層5を介して圧電体層4に電界を印加する。それにより、圧電体層4が圧電効果により伸縮する。このような圧電素子は、例えば、インクジェットプリンタにおいてインクを吐出するインクジェットヘッドを駆動するアクチュエータに適用される。或いは、超音波診断装置の超音波用探触子において超音波を送受信する超音波トランスデューサとして利用しても良い。
本実施形態において、シリコン基板1を用いるのは、半導体プロセスを利用することにより、微細な電極等のパターンを基板1上に高集積することができるからである。
圧電体層4の厚さは、圧電体層を伸縮させたときに十分な変位を得るために、3μm程度以上とすることが望ましい。また、本実施形態に係る圧電素子をインクジェットヘッド用のアクチュエータのように微細デバイスとして用いる場合には、圧電体層4の厚さを、最大で10μm程度とすれば十分である。
図2は、図1に示す圧電素子の製造方法を示すフローチャートである。また、図3は、この実験結果を示す表である。
図2の工程S1において、シリコン基板を用意する。通常は、圧電素子の用途(例えば、インクジェットヘッド用のアクチュエータ)に応じて、所望の形状及び厚さとなるように基板を成形するが、実験においては、厚さが約525μmのシリコン基板を用意した。このシリコン基板の表面には、厚さが約300nmの熱酸化膜が形成されている。
ジルコニウム層を形成する際には、例えば、金属ジルコニウムターゲットと、スパッタガスとしてアルゴンガスを用いたスパッタ法により成膜を行う。この場合には、スパッタガスの種類をアルゴン/酸素混合ガスからアルゴンガスに変更することにより、工程S2とS3とを連続して行っても良い。その場合には、酸化ジルコニウム層(金属酸化物層)からジルコニウム層(密着層)に向けて組成が徐々に変化するため、両者の境界は曖昧になるが、中間層の機能上は問題ない。
このようなAD法によれば、その成膜メカニズム(メカノケミカル反応と呼ばれているにより、強固で緻密な膜を形成できると共に、ゾル・ゲル法等によっては不可能な厚膜(例えば、厚さが3μm以上の膜)を形成することも可能である。
まず、基板及び圧電体層を含む積層体を観察し、いずれかの層に剥離やクラックが生じているか否かを観察した。
(1)圧電体層の厚さに対する中間層の厚さの割合(%)
=中間層(金属酸化物層+密着層)の厚さ/圧電体層の厚さ×100
(2)圧電体層の厚さに対する中間層及び下部電極層の厚さの割合(%)
=(金属酸化物層+密着層+下部電極層)の厚さ/圧電体層の厚さ×100
図5は、本発明の第1の実施形態に係るインクジェットヘッドの一部の構造を示す断面図である。
図5に示すように、このインクジェットヘッドは、基板1と、基板1上に中間層2を介して配置されている複数の圧電素子(下部電極層3、圧電体層4、上部電極層5)と、ノズルプレート41と、ノズルプレート41上の空間を圧電素子の配置に対応して複数の領域に仕切る隔壁42とを含んでいる。基板1は、圧電素子3〜5の配置面であると共に、圧電素子が圧電効果によって伸縮することにより振動(変形)する振動板として動作する。この基板1と、ノズルプレート41と、隔壁42とによって、インクが充填される複数の圧力室43が形成される。また、ノズルプレート41の面内には、複数の圧力室43に対応して、複数の吐出口(ノズル部)44が形成されている。なお、図5においては、説明を簡単にするために、各圧力室43にインクを補給するための機構は省略されている。また、中間層2は、金属酸化物層と密着層とを含んでいる(図1参照)。
印字を行う際には、制御信号に従って下部電極3及び上部電極5に電圧を印加ことにより、圧電体4を伸縮させる。それにより、振動板43が変形して圧力室43の容積が変化する。その結果、圧力室43内部に充填されているインクが加圧されて吐出部44から滴下する。
図6に示すように、このインクジェットヘッドは、図5に示すインクジェットヘッドに対して、圧力室51、インクを吐出する吐出部(ノズル部)52と、圧力室51から吐出部52にインクを供給するノズル流路53と、圧力室51にインクを供給するための共通流路54とを形成する3次元構造体60を、モノリシック構造化したものである。このようなインクジェットヘッドの製造方法について、図7及び図8を参照しながら説明する。
本実施形態においては、基板1と圧電素子3〜5の間に、十分な厚さを有する中間層が配置されているので、圧力室を形成するアルミナ層に熱処理を施す場合においても、基板1又は圧電体層4にクラックが生じたり、両者が互いに剥離するのを抑制することができる。
2 中間層
3 下部電極層
4 圧電体層
5 上部電極層
21 金属酸化物層
22 密着層
41 ノズルプレート
42 隔壁
43、51 圧力室
44、52 吐出部(ノズル部)
60 3次元構造体
53 ノズル流路
54 共通流路
61 第1のアルミナ層
62 溶解材料
63 第2のアルミナ層
64 第3のアルミナ層
65 第4のアルミナ層
66 第5のアルミナ層
67 第6のアルミナ層(ノズルプレート)
101 ガスボンベ
102 圧力調整部
103、106 搬送管
104 エアロゾル生成室
105 容器駆動部
107 成膜室
108 排気ポンプ
109 噴射ノズル
110 基板ホルダ
111 基板ホルダ駆動部
Claims (6)
- シリコン(Si)又は酸化シリコン(SiO2)を主成分とする基板と、
前記基板上に形成されて柱状結晶構造を有する酸化ジルコニウム(ZrOX)層、及び、前記酸化ジルコニウム層上に形成されてジルコニウム(Zr)又は酸化チタン(TiO Y )を含む密着層を含む中間層と、
前記中間層上に形成された第1の電極層と、
前記第1の電極層上に、鉛系圧電材料によって形成された圧電体層と、
前記圧電体層上に形成された第2の電極層と、
を具備し、
前記中間層及び前記第1の電極層を合わせた厚さが、前記圧電体層の厚さの15%以上、かつ、前記圧電体層の厚さの50%以下である、圧電素子。 - シリコン(Si)又は酸化シリコン(SiO2)を主成分とする基板と、
前記基板上に形成されて柱状結晶構造を有する酸化ジルコニウム(ZrOX)層、及び、前記酸化ジルコニウム層上に形成されてジルコニウム(Zr)又は酸化チタン(TiO Y )を含む密着層を含む中間層と、
前記中間層上に形成された第1の電極層と、
前記第1の電極層上に、鉛系圧電材料によって形成された圧電体層と、
前記圧電体層上に形成された第2の電極層と、
を具備し、
前記中間層の厚さが、前記圧電体層の厚さの6%以上であり、前記中間層及び前記第1の電極層を合わせた厚さが、前記圧電体層の厚さの50%以下である、圧電素子。 - 前記第1の電極層が、白金(Pt)と、金(Au)と、イリジウム(Ir)と、ルテニウム(Ru)との内のいずれかを含む、請求項1又は2記載の圧電素子。
- シリコン(Si)又は酸化シリコン(SiO2)を主成分とする基板と、
前記基板の一方の面上に形成されて柱状結晶構造を有する酸化ジルコニウム(ZrOX)層、及び、前記酸化ジルコニウム層上に形成されてジルコニウム(Zr)又は酸化チタン(TiO Y )を含む密着層を含む中間層と、
前記中間層上に形成された第1の電極層と、
前記第1の電極層上に、鉛系圧電材料によってパターン形成された圧電体層と、
前記圧電体層上に形成された第2の電極層と、
前記基板の他方の面上に形成され、液体が充填される複数の圧力室と、
前記複数の圧力室に液体を供給するための流路と、
を具備し、
前記中間層及び前記第1の電極層を合わせた厚さが、前記圧電体層の厚さの15%以上、かつ、前記圧電体層の厚さの50%以下である、インクジェットヘッド。 - シリコン(Si)又は酸化シリコン(SiO2)を主成分とする基板と、
前記基板の一方の面上に形成されて柱状結晶構造を有する酸化ジルコニウム(ZrOX)層、及び、前記酸化ジルコニウム層上に形成されてジルコニウム(Zr)又は酸化チタン(TiO Y )を含む密着層を含む中間層と、
前記中間層上に形成された第1の電極層と、
前記第1の電極層上に、鉛系圧電材料によってパターン形成された圧電体層と、
前記圧電体層上に形成された第2の電極層と、
前記基板の他方の面上に形成され、液体が充填される複数の圧力室と、
前記複数の圧力室に液体を供給するための流路と、
を具備し、
前記中間層の厚さが、前記圧電体層の厚さの6%以上であり、前記中間層及び前記第1の電極層を合わせた厚さが、前記圧電体層の厚さの50%以下である、インクジェットヘッド。 - 前記第1の電極層が、白金(Pt)と、金(Au)と、イリジウム(Ir)と、ルテニウム(Ru)との内のいずれかを含む、請求項4又は5記載のインクジェットヘッド。
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