JP5286840B2 - Ink jet head and coating apparatus provided with ink jet head - Google Patents

Ink jet head and coating apparatus provided with ink jet head Download PDF

Info

Publication number
JP5286840B2
JP5286840B2 JP2008060907A JP2008060907A JP5286840B2 JP 5286840 B2 JP5286840 B2 JP 5286840B2 JP 2008060907 A JP2008060907 A JP 2008060907A JP 2008060907 A JP2008060907 A JP 2008060907A JP 5286840 B2 JP5286840 B2 JP 5286840B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ink
channel
channels
side wall
ink channel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2008060907A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2009214437A (en
Inventor
肇志 平野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Konica Minolta Inc
Original Assignee
Konica Minolta Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Konica Minolta Inc filed Critical Konica Minolta Inc
Priority to JP2008060907A priority Critical patent/JP5286840B2/en
Publication of JP2009214437A publication Critical patent/JP2009214437A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5286840B2 publication Critical patent/JP5286840B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
    • B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

本発明は、インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドを備えた塗布装置に関するものである。   The present invention relates to an inkjet head and a coating apparatus including the inkjet head.

インクジェットヘッドには種々の方式が提案されているが、その一つにせん断モードタイプのインクジェットヘッドがある（特許文献１〜５参照）。   Various types of ink jet heads have been proposed, and one of them is a shear mode type ink jet head (see Patent Documents 1 to 5).

このせん断モードタイプのインクジェットヘッドでは、隣接するインクチャネルのクロストークが原因となって、連続駆動する場合の端部のインクチャネルに対応するノズルから吐出されるインク液滴の液滴量あるいは液滴速度が低下するという問題がある。   In this shear mode type ink jet head, due to crosstalk between adjacent ink channels, the amount of ink droplets or droplets ejected from the nozzle corresponding to the ink channel at the end when continuously driven There is a problem that the speed decreases.

従来、このようなクロストークの問題を解決するための技術として、駆動波形を変更する技術（特許文献１）、個々のインクチャネルの駆動電圧またはパルス幅を調整する技術（特許文献２）、印字しているインクチャネルに隣接しているインクチャネルにダミーパルスを与える技術（特許文献３）、同相で駆動される隣接チャネルの駆動位相が重ならないようにする技術（特許文献４）、全インクチャネルを４つのグループに分けて４サイクルで分割駆動し、同一サイクルの駆動位相をずらす技術（特許文献５）等が知られている。
特開平１０−１６２１２号公報 特開２０００−７９６８４号公報 特開２０００−２５５０５５号公報 特開２０００−２５５０５４号公報 特開２００１−２３９６６５号公報 Conventionally, as a technique for solving such a crosstalk problem, a technique for changing a driving waveform (Patent Document 1), a technique for adjusting a driving voltage or a pulse width of each ink channel (Patent Document 2), printing A technique for giving a dummy pulse to an ink channel adjacent to the ink channel being performed (Patent Document 3), a technique for preventing the driving phases of adjacent channels driven in the same phase from overlapping (Patent Document 4), all ink channels There is known a technique (Patent Document 5) or the like that divides these into four groups and divides and drives them in four cycles and shifts the drive phase of the same cycle.
Japanese Patent Laid-Open No. 10-16212 JP 2000-79684 A JP 2000-255055 A JP 2000-255054 A JP 2001-239665 A

インクジェット方式による印刷や塗布を高速で行うシステムとして、複数のせん断モードタイプのインクジェットヘッドをライン状に並べて固定し、被印刷物や被塗布物に対して１パスで印刷あるいは塗布するシステムが考えられ、例えば、ロール状の被印刷物や被塗布物を連続的に処理することができる。   As a system for performing printing and application by an ink jet method at high speed, a system in which a plurality of shear mode type ink jet heads are arranged in a line and fixed, and a print or an object to be printed or applied in one pass is considered. For example, a roll-like printed material or a coated material can be continuously processed.

このとき問題になるのがヘッドの端部に発生するクロストークによる印刷濃度むらである。ヘッドの端部は構造的にクロストークが避けられないことから、ヘッドの繋ぎ目部分の濃度異常は筋状に固定した塗布欠陥となり、印刷物の品質を著しく損ねる。   At this time, the problem is uneven print density due to crosstalk occurring at the end of the head. Since crosstalk is unavoidable structurally at the end of the head, an abnormal density at the joint portion of the head becomes a coating defect fixed in a streak, and the quality of the printed matter is significantly impaired.

図１４は、側壁の幅が互いに等しい３２個のインクチャネルを有するせん断モードタイプのインクジェットヘッドについて、共通の電圧パルスを印加して全インクチャネルを時分割で３周期（インクチャネル２本おきに）駆動させた場合の液適量分布の一例であり、一方の端部３チャネルと他方の端部３チャネルで液適量が著しく低下しているのが判る。   FIG. 14 shows a shear mode type inkjet head having 32 ink channels having the same side wall width, and a common voltage pulse is applied so that all ink channels are divided into three periods in a time-division manner (every two ink channels). This is an example of an appropriate amount distribution of liquid when driven, and it can be seen that the appropriate amount of liquid is significantly reduced in one end 3 channel and the other end 3 channel.

クロストーク対策として上記の従来技術が知られているが、駆動方法が複雑であるため、駆動回路が複雑化し、コストが上がる問題がある。一方で、ヘッドの端部に位置するインクチャネルでは、その外側に隣接部がほとんど存在しないために十分なクロストーク対策がとれない問題がある。   The above prior art is known as a countermeasure against crosstalk. However, since the driving method is complicated, there is a problem that the driving circuit becomes complicated and the cost increases. On the other hand, the ink channel positioned at the end of the head has a problem that a sufficient countermeasure against crosstalk cannot be taken because there is almost no adjacent portion outside the ink channel.

本発明は、単純な駆動回路を用いているにもかかわらず、クロストークに起因するヘッド単体の端部のインクチャネルからのインク滴の液滴量の低下を改善し、印刷物品質を改善できるインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドを備えた塗布装置を提供することを課題とする。   The present invention can improve the quality of printed matter by improving the drop in the amount of ink droplets from the ink channel at the end of a single head due to crosstalk despite the use of a simple drive circuit. It is an object to provide a coating apparatus including a head and an inkjet head.

本発明の課題は、以下のような構成により達成される。
１．
少なくとも一部が圧電材料で構成された側壁により隔てられた複数のインクチャネルが配列され、前記側壁のせん断変形によりインクチャネル内の圧力を変化させて、インクチャネル内のインクをノズルから吐出せしめるインクジェットヘッドであって、
前記複数のインクチャネルは全て同じ深さであり、
インクチャネルの配列方向端部側の側壁における配列方向に沿う方向の側壁の幅が、インクを吐出する前記複数のインクチャネルのうちの配列方向の両端に位置する２つのインクチャネルにおいて、中央に位置するインクチャネルよりも小さいことを特徴とするインクジェットヘッド。
２．
前記両端に位置する２つのインクチャネルは、前記側壁の幅が互いに等しいことを特徴とする１に記載のインクジェットヘッド。
３．
前記インクを吐出する複数のインクチャネルのうち、前記両端に位置する２つのインクチャネルと前記中央に位置するインクチャネルとを除いた他のインクチャネルと、前記中央に位置するインクチャネルとは、前記側壁の幅が互いに等しいことを特徴とする１または２に記載のインクジェットヘッド。
４．
前記両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルおよび他方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルにおける前記側壁の幅が、前記中央に位置するインクチャネルの前記側壁の幅よりも小さいことを特徴とする１に記載のインクジェットヘッド。
５．
前記両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルおよび他方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルは、前記側壁の幅が互いに等しいことを特徴とする４に記載のインクジェットヘッド。
６．
前記インクを吐出する複数のインクチャネルのうち、前記両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルおよび他方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルと前記中央に位置するインクチャネルとを除いた他のインクチャネルと、前記中央に位置するインクチャネルとは、前記側壁の幅が互いに等しいことを特徴とする４または５に記載のインクジェットヘッド。
７．
前記両端に位置する２つのインクチャネルの外側にインクを吐出しないダミーチャネルを有することを特徴とする１乃至６の何れか１項に記載のインクジェットヘッド。
８．
１乃至７の何れか１項に記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とする塗布装置。
９．
前記側壁は、側壁の少なくとも一部に形成された電極に印加される電圧パルスによりせん断変形され、前記インクを吐出する複数のインクチャネルの全てのインクチャネルの側壁の電極に共通の電圧パルスが印加されることを特徴とする８に記載の塗布装置。
１０．
前記インクを吐出する複数のインクチャネルのうち、間に２本のインクチャネルを挟んで離れているインクチャネルをまとめて１つの組として、全インクチャネルを３つの組に分割し、各組毎に順次電圧パルスが印加されることを特徴とする９に記載の塗布装置。
１１．
連続搬送される長尺状の支持体上に、支持体の幅方向に塗布幅に対応して配置された複数の前記インクジェットヘッドのノズルから塗布液の液滴を吐出させて塗膜を形成させることを特徴とする８乃至１０の何れか１項に記載の塗布装置。 The object of the present invention is achieved by the following configurations.
1.
An ink jet in which a plurality of ink channels separated by a side wall at least partially made of a piezoelectric material are arranged, and the pressure in the ink channel is changed by shear deformation of the side wall, and the ink in the ink channel is ejected from the nozzle. Head,
The plurality of ink channels are all at the same depth;
The width of the side wall in the direction along the arrangement direction of the side wall on the end side in the arrangement direction of the ink channel is positioned at the center in the two ink channels located at both ends in the arrangement direction among the plurality of ink channels that eject ink. An ink-jet head characterized by being smaller than an ink channel.
2.
2. The ink jet head according to 1, wherein the two ink channels located at both ends have the same side wall width.
3.
Of the plurality of ink channels for ejecting the ink, the other ink channels excluding the two ink channels located at both ends and the ink channel located at the center, and the ink channel located at the center, 3. The inkjet head according to 1 or 2, wherein the side walls have the same width.
4).
Three ink channels that are continuous from one ink channel of the two ink channels located at both ends toward the ink channel that is centrally located, and three inks that are continuous from the other ink channel toward the ink channel that is centrally located 2. The inkjet head according to 1, wherein a width of the side wall in the channel is smaller than a width of the side wall of the ink channel located at the center.
5.
Three ink channels that are continuous from one ink channel of the two ink channels located at both ends toward the ink channel that is centrally located, and three inks that are continuous from the other ink channel toward the ink channel that is centrally located 5. The inkjet head according to 4, wherein the channels have the same side wall width.
6).
Out of the plurality of ink channels that eject ink, three ink channels that continue from one ink channel of the two ink channels located at both ends toward the ink channel that is located at the center and the other ink channel that are located at the center The width of the side wall of each of the other ink channels excluding the three ink channels that are continuous toward the located ink channel and the ink channel located in the center, and the ink channel located in the center is equal to each other. 6. The ink jet head according to 4 or 5,
7).
The inkjet head according to any one of claims 1 to 6, further comprising a dummy channel that does not eject ink outside the two ink channels positioned at both ends.
8).
A coating apparatus comprising the inkjet head according to any one of 1 to 7.
9.
The side wall is shear-deformed by a voltage pulse applied to an electrode formed on at least a part of the side wall, and a common voltage pulse is applied to the electrode on the side wall of all the ink channels discharging the ink. 8. The coating apparatus according to 8, wherein
10.
Of the plurality of ink channels that eject ink, the ink channels that are separated by two ink channels in between are combined into one set, and all the ink channels are divided into three sets. 10. The coating apparatus according to 9, wherein voltage pulses are sequentially applied.
11.
A coating film is formed by discharging droplets of a coating liquid from a plurality of nozzles of the inkjet heads arranged in correspondence with the coating width in the width direction of the support on a long support that is continuously conveyed. 11. The coating apparatus according to any one of 8 to 10, wherein

本発明によれば、単純な駆動回路を用いているにもかかわらず、クロストークに起因するヘッド単体の端部のインクチャネルからのインク滴の液滴量の低下を改善し、印刷物品質を改善できるインクジェットヘッド及インクジェットヘッドを備えた塗布装置を提供することができる。   According to the present invention, despite the use of a simple drive circuit, the drop in the amount of ink droplets from the ink channel at the end of a single head due to crosstalk is improved, and the print quality is improved. An inkjet head and a coating apparatus including the inkjet head can be provided.

以下に本発明に関する実施の形態の例を示すが、本発明の態様はこれらに限定されるものではない。   Although the example of embodiment regarding this invention is shown below, the aspect of this invention is not limited to these.

図１は、ライン型の塗布装置１の構成を示す模式図である。   FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration of a line-type coating apparatus 1.

ロール状に巻かれた長尺状の支持体１０は、図示しない駆動手段により巻き出しロール１０Ａから矢印Ｘ方向に繰り出され搬送される。   The long support 10 wound in a roll shape is fed out in the direction of the arrow X from the unwinding roll 10A by a driving means (not shown) and conveyed.

長尺状の支持体１０はバックロール２０に巻回され支持されながら搬送される。インクジェットヘッドユニット３０より塗布液であるインクが支持体１０に向け吐出され、インクが支持体１０に塗布される。インクジェットユニット３０は、支持体幅方向に塗布幅に対応した複数のインクジェットヘッド３１を有する。また、各インクジェットヘッド３１毎に設けられた電圧パルス発生手段１０１（図５参照）を備え、制御部（図示せず）は、電圧パルス発生手段１０１を制御して、各インクジェットヘッド３１毎に共通の電圧パルスをインクジェットヘッド３１に出力させ、ノズルからインク液滴を吐出させる。   The long support 10 is wound around and supported by the back roll 20. Ink, which is a coating liquid, is ejected from the inkjet head unit 30 toward the support 10, and the ink is applied to the support 10. The inkjet unit 30 has a plurality of inkjet heads 31 corresponding to the coating width in the support width direction. Further, a voltage pulse generation means 101 (see FIG. 5) provided for each inkjet head 31 is provided, and a control unit (not shown) controls the voltage pulse generation means 101 and is common to each inkjet head 31. The voltage pulse is output to the inkjet head 31 and the ink droplet is ejected from the nozzle.

図２は、インクジェットヘッドユニット３０のインクジェットヘッド３１の配置例である。また、全てのインクジェットヘッド３１が、インクを一時的に貯留する中間タンク４０に対して同じ高さに配置されている例である。前述のように、１つのインクジェットヘッドで吐出できる塗布幅（吐出幅）はインクジェットヘッドの外形寸法よりも狭いことから、隙間なく塗布するために複数のインクジェットヘッドを支持体搬送方向に対して千鳥配置している。図２に示す例では、支持体幅方向に塗布幅に対応した複数のインクジェットヘッドを２列の千鳥配置としている。図３に、インクジェットヘッド３１の外形、吐出幅及び千鳥配置の関係を示す。インクジェットヘッド３１の数及び千鳥配置の列数は、インクジェットヘッド３１の吐出幅、塗布幅等により適宜設定されるものであり、図２の例に限定されるものではない。   FIG. 2 is an arrangement example of the inkjet head 31 of the inkjet head unit 30. Moreover, all the inkjet heads 31 are examples arranged at the same height with respect to the intermediate tank 40 that temporarily stores ink. As described above, the coating width (ejection width) that can be ejected by one inkjet head is narrower than the outer dimensions of the inkjet head. Therefore, a plurality of inkjet heads are arranged in a staggered manner in the support conveyance direction in order to apply without gaps. doing. In the example shown in FIG. 2, a plurality of inkjet heads corresponding to the coating width are arranged in two rows in a staggered manner in the support width direction. FIG. 3 shows the relationship among the outer shape, the ejection width, and the staggered arrangement of the inkjet head 31. The number of inkjet heads 31 and the number of rows in a staggered arrangement are appropriately set according to the ejection width, application width, and the like of the inkjet head 31, and are not limited to the example of FIG.

インクは、インクジェットヘッド３１のインクの背圧を調整する中間タンク４０から複数の送液配管４３を介してインクジェットヘッド３１毎に供給される。なお、本説明において、図中の送液配管４３は、複数の配管である。   The ink is supplied from the intermediate tank 40 that adjusts the back pressure of the ink in the ink jet head 31 to each ink jet head 31 via a plurality of liquid feeding pipes 43. In this description, the liquid supply pipe 43 in the figure is a plurality of pipes.

中間タンク４０へのインク供給は、インクを貯留する貯留タンク５０から供給管５１の途中に配設された送液ポンプＰで行われる。   Ink supply to the intermediate tank 40 is performed by a liquid feed pump P provided in the middle of the supply pipe 51 from the storage tank 50 for storing ink.

塗膜が形成された支持体は、乾燥部１００で塗膜の乾燥が行われ、巻き取りロール１０Ｂに巻き取られる。   The support on which the coating film is formed is dried by the drying unit 100 and wound around the winding roll 10B.

次に、せん断モードタイプのインクジェットヘッド３１について説明する。   Next, the shear mode type inkjet head 31 will be described.

各インクジェットヘッド３１は、ノズル面側が支持体１０の塗布面と対向するように配置されており、フレキシケーブル６を介して、電圧パルスを生成するための回路が設けられる電圧パルス発生手段１０１（図５参照）に電気的に接続されている。   Each ink jet head 31 is arranged so that the nozzle surface side faces the application surface of the support 10, and a voltage pulse generating means 101 (FIG. 5) provided with a circuit for generating a voltage pulse via the flex cable 6. 5)).

図４は、せん断モードタイプのインクジェットヘッド３１の一例の概略構成を示す図であり、（ａ）は一部断面で示す斜視図、（ｂ）はインク供給部を備えた状態の断面図である。図９は、インクチャネル列の断面図であり、わかりやすいように各インクチャネルに対応して設けられたノズルの位置を示してある。   4A and 4B are diagrams showing a schematic configuration of an example of a shear mode type ink jet head 31, wherein FIG. 4A is a perspective view showing a partial cross section, and FIG. 4B is a cross-sectional view showing a state where an ink supply unit is provided. . FIG. 9 is a cross-sectional view of the ink channel row, and shows the positions of the nozzles provided corresponding to each ink channel for easy understanding.

図５（ａ）〜（ｃ）はその動作を示す図である。   FIGS. 5A to 5C are diagrams illustrating the operation.

図４及び図５において１０１は電圧パルス発生手段、３１はインクジェットヘッド、２２はノズル形成部材、２３はノズル、２４はカバープレート、２５はインク供給口、２６は基板、２７は側壁、Ｌはインクチャネルの長さ、Ｄはインクチャネルの深さ、Ｗはインクチャネルの幅、Ｂは側壁の幅（インクチャネルの配列方向に沿う方向の幅）である。そして、インクチャネル２８が側壁２７、カバープレート２４及び基板２６によって形成されている。また。Ｂの大きさはインクチャネルの長さ方向及び深さ方向でほぼ一定である。   4 and 5, 101 is a voltage pulse generating means, 31 is an inkjet head, 22 is a nozzle forming member, 23 is a nozzle, 24 is a cover plate, 25 is an ink supply port, 26 is a substrate, 27 is a side wall, and L is ink. The length of the channel, D is the depth of the ink channel, W is the width of the ink channel, and B is the width of the side wall (the width in the direction along the arrangement direction of the ink channels). An ink channel 28 is formed by the side wall 27, the cover plate 24, and the substrate 26. Also. The size of B is substantially constant in the length direction and depth direction of the ink channel.

ここで、図からも明らかなように、インクチャネルにおけるインクチャネルの配列方向の長さをインクチャネルの幅、配列方向に垂直な２方向のうち、長手方向の長さをインクチャネルの長さ、もう一方の長さをインクチャネルの深さと定義している。   Here, as is apparent from the figure, the length of the ink channel in the arrangement direction of the ink channel is the width of the ink channel, and the length in the longitudinal direction of the two directions perpendicular to the arrangement direction is the length of the ink channel. The other length is defined as the depth of the ink channel.

インクジェットヘッド３１は、図５、図９に示すように、カバープレート２４と基板２６の間に、電気・機械変換手段であるＰＺＴ等の圧電材料からなる複数の側壁２７で隔てられたインクチャネル２８が１７個配列されたせん断モードタイプのヘッドである。図５では１７個のインクチャネル２８の一部である３本（２８Ａ、２８Ｂ、２８Ｃ）が示されている。インクチャネル２８の一端（以下、これをノズル端という場合がある）はノズル形成部材２２に形成されたノズル２３につながり、他端（以下、これをマニホールド端という場合がある）はインク供給口２５を経て、送液配管４３に接続されている。そして、各インクチャネル２８内の側壁２７表面には両側壁２７の上方から基板２６の底面に亘って繋がる電極２９Ａ、２９Ｂ、２９Ｃが密着形成され、各電極２９Ａ、２９Ｂ、２９Ｃは電圧パルス発生手段１０１に接続している。   As shown in FIGS. 5 and 9, the ink jet head 31 includes an ink channel 28 that is separated between a cover plate 24 and a substrate 26 by a plurality of side walls 27 made of a piezoelectric material such as PZT that is an electromechanical conversion means. Is a shear mode type head in which 17 are arranged. In FIG. 5, three (28A, 28B, 28C) which are a part of the 17 ink channels 28 are shown. One end of the ink channel 28 (hereinafter sometimes referred to as a nozzle end) is connected to a nozzle 23 formed on the nozzle forming member 22, and the other end (hereinafter also referred to as a manifold end) is connected to the ink supply port 25. Then, it is connected to the liquid feeding pipe 43. Electrodes 29A, 29B, and 29C connected from above the side walls 27 to the bottom surface of the substrate 26 are formed in close contact with the surface of the side wall 27 in each ink channel 28. The electrodes 29A, 29B, and 29C are voltage pulse generating means. 101 is connected.

インクを吐出する１７個のインクチャネル２８の両外側には、ノズル２３が形成されておらず、インクの吐出を行わない２つのダミーチャネル１２８が設けられている。本実施形態では、このダミーチャネルにインクが供給されるように構成されている。   Nozzles 23 are not formed on both outer sides of the 17 ink channels 28 that eject ink, and two dummy channels 128 that do not eject ink are provided. In this embodiment, ink is supplied to the dummy channel.

インクを吐出する１７個のインクチャネル２８の配列方向の両端に位置する２つのインクチャネルにおける配列方向端部側の側壁の幅Ｂ２は、中央に位置するインクチャネルにおける配列方向端部側の側壁の幅Ｂ１より相対的に小さくしている。また、その他のインクチャネルにおける配列方向端部側の側壁の幅は、Ｂ１に等しくしてある。なお、図９では、電極２９を省略してある。なお、中央に位置するインクチャネルにおける配列方向端部側の側壁とは、中央に位置するインクチャネルの両側の側壁のうちの何れか一方の側壁を指す。   The width B2 of the side wall on the end side in the arrangement direction of the two ink channels located at both ends in the arrangement direction of the 17 ink channels 28 that eject ink is the width of the side wall on the end side in the arrangement direction in the ink channel located in the center. It is relatively smaller than the width B1. In addition, the width of the side wall on the side in the arrangement direction of the other ink channels is made equal to B1. In FIG. 9, the electrode 29 is omitted. Note that the side wall on the end side in the arrangement direction of the ink channel located in the center refers to any one of the side walls on both sides of the ink channel located in the center.

インクジェットヘッド３１のインクチャネル数は、インクジェットヘッド３１の吐出幅により適宜、１０個〜１０００個程度に設定されるものであり、図９の例に限定されるものではない。なお、例えば、インクチャネル数が偶数の場合のように、中央にインクチャネルが存在しない場合の中央に位置するインクチャネルとは、中央近傍に位置する２つのインクチャネルのうちの何れか一方のインクチャネルを指す。   The number of ink channels of the inkjet head 31 is appropriately set to about 10 to 1000 depending on the ejection width of the inkjet head 31, and is not limited to the example of FIG. For example, as in the case where the number of ink channels is an even number, the ink channel located at the center when no ink channel exists at the center is one of the two ink channels located near the center. Refers to the channel.

また、図９以外にも様々な実施形態をとりうる。図１０は、インクの吐出を行わない４つのダミーチャネルが設けられている例である。端部のインクチャネルに隣接して設けられたダミーチャネルは、端部に位置するインクチャネルと隣接するダミーチャネルを仕切る側壁の金属電極に電圧パルスを印加し、この側壁も駆動して両端のインクチャネルからより安定的にインクを吐出させるためのものであるが、さらにその外側にダミーチャネルを設けることにより、端部に位置するインクチャネルのクロストークの影響を低減できるため好ましい。   Various embodiments other than those shown in FIG. 9 can be used. FIG. 10 shows an example in which four dummy channels that do not discharge ink are provided. The dummy channel provided adjacent to the ink channel at the end applies a voltage pulse to the metal electrode on the side wall that partitions the dummy channel adjacent to the ink channel located at the end, and the side wall is also driven to drive the ink at both ends. Although it is for discharging ink more stably from the channel, it is preferable to provide a dummy channel on the outside of the channel because the influence of crosstalk of the ink channel located at the end can be reduced.

図１１は、両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルおよび他方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルにおける配列方向端部側の側壁の幅Ｂ２を、中央部に位置するインクチャネルにおける配列方向端部側の側壁の幅Ｂ１より相対的に小さくしている。また、その他のインクチャネルにおける配列方向端部側の側壁の幅は、Ｂ１に等しくしてある。複数のインクチャネルのうち間に２本のインクチャネルを挟んで離れているインクチャネルをまとめて１つの組として、全インクチャネルを３つの組に分割し、各組毎にインク吐出動作を時分割で順次行う場合に特に有効であり、本発明の効果がより一層顕著に発揮される。これは、前述の図２６に示すように３つの組に分割して駆動すると、各駆動において両端に位置することになる各端部の３チャネルにおいて液滴量が低下するからである。   FIG. 11 shows three ink channels that are continuous from one ink channel of two ink channels that are located at both ends toward the ink channel that is centrally located, and continuous from the other ink channel toward the ink channel that is centrally located. The width B2 of the side wall on the side in the arrangement direction in the three ink channels is relatively smaller than the width B1 of the side wall on the side in the arrangement direction in the ink channel located at the center. In addition, the width of the side wall on the side in the arrangement direction of the other ink channels is made equal to B1. Ink channels that are separated by two ink channels between multiple ink channels are combined into one set, all ink channels are divided into three sets, and the ink ejection operation is time-divided for each set. This is particularly effective in the case of sequentially carrying out the above, and the effect of the present invention is more remarkably exhibited. This is because, as shown in FIG. 26 described above, when the driving is divided into three groups, the amount of droplets decreases in the three channels at each end that are positioned at both ends in each driving.

次に、インクジェットヘッド３１の製造方法と構成材料について説明する。   Next, a manufacturing method and constituent materials of the inkjet head 31 will be described.

基板２６上に互いに分極方向が異なる２枚の圧電材料２７ａ、２７ｂを接着剤を介して上下に貼り合わせ、その上側の圧電材料２７ａからダイヤモンドブレード等により、インクチャネル２８となる複数の溝が全て同じ幅、同じ長さで平行に切削加工される。   Two piezoelectric materials 27a and 27b having different polarization directions are bonded to each other on the substrate 26 via an adhesive, and all of the plurality of grooves serving as the ink channels 28 are formed from the upper piezoelectric material 27a by a diamond blade or the like. Cutting is performed in parallel with the same width and length.

インクチャネルにおける配列方向端部側の側壁の幅は、図９〜図１１に示すように中央より両端で小さくなるように加工する。隣接するインクチャネル２８は、矢印の方向に分極された側壁２７によって区画される。また、インクチャネル２８は、インクチャネル２８の出口側（図４における左側）の深溝部２８ａと、該深溝部２８ａからインクチャネル２８の入口側（図４における右側）に行くに従って徐々に浅くなる浅溝部２８ｂとを有している。   As shown in FIGS. 9 to 11, the width of the side wall on the side in the arrangement direction of the ink channel is processed so as to be smaller at both ends than the center. Adjacent ink channels 28 are delimited by side walls 27 that are polarized in the direction of the arrows. Further, the ink channel 28 is a shallow groove that gradually becomes shallower as it goes from the deep groove portion 28a to the inlet side (right side in FIG. 4) of the deep groove portion 28a on the outlet side (left side in FIG. 4) of the ink channel 28. And a groove portion 28b.

各側壁２７は、ここでは図５の矢印で示すように分極方向が異なる２枚の圧電材料２７ａ、２７ｂによって構成されているが、圧電材料は例えば符号２７ａの部分のみであってもよく、側壁２７の少なくとも一部にあればよい。   Here, each side wall 27 is constituted by two piezoelectric materials 27a and 27b having different polarization directions as indicated by arrows in FIG. 5, but the piezoelectric material may be only a portion indicated by reference numeral 27a. 27 may be present in at least a part of 27.

圧電材料２７ａ，２７ｂに使用される圧電材料としては、電圧を加えることにより変形を生じるものであれば特に限定されず、公知のものが用いられ、有機材料からなる基板であっても良いが、圧電性非金属材料からなる基板が好ましく、この圧電性非金属材料からなる基板として、例えば成形、焼成等の工程を経て形成されるセラミックス基板、又は塗布や積層の工程を経て形成される基板等がある。有機材料としては、有機ポリマー、有機ポリマーと無機物とのハイブリッド材料が挙げられる。   The piezoelectric material used for the piezoelectric materials 27a and 27b is not particularly limited as long as it deforms when a voltage is applied, and a known material may be used, and a substrate made of an organic material may be used. A substrate made of a piezoelectric non-metallic material is preferable, and a substrate made of a piezoelectric non-metallic material such as a ceramic substrate formed through a process such as molding or firing, or a substrate formed through a coating or lamination process, etc. There is. Examples of the organic material include organic polymers and hybrid materials of organic polymers and inorganic materials.

セラミックス基板としては、ＰＺＴ（ＰｂＺｒＯ3−ＰｂＴｉＯ3）、第三成分添加ＰＺＴがあり、第三成分としてはＰｂ（Ｍｇ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3、Ｐｂ（Ｍｎ1/3Ｓｂ2/3）Ｏ3、Ｐｂ（Ｃｏ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3等があり、さらにＢａＴｉＯ3、ＺｎＯ、ＬｉＮｂＯ3、ＬｉＴａＯ3等を用いて形成することができる。 As the ceramic substrate, there are PZT (PbZrO 3 -PbTiO 3 ) and third component added PZT. As the third component, Pb (Mg 1/3 Nb 2/3 ) O 3 , Pb (Mn 1/3 Sb 2 / 3 ) O 3 , Pb (Co 1/3 Nb 2/3 ) O 3, and the like, and further, BaTiO 3 , ZnO, LiNbO 3 , LiTaO 3, and the like can be used.

また、塗布や積層の工程を経て形成される基板として、例えば、ゾル−ゲル法、積層基板コーティング等で形成することができる。   Moreover, as a board | substrate formed through the process of application | coating or lamination, it can form by the sol-gel method, laminated substrate coating, etc., for example.

圧電材料２７ａの上面には、全インクチャネル２８に亘って深溝部２８ａ上を覆うようにカバープレート２４が接着剤を介して接着されると共に、各インクチャネル２８の浅溝部２８ｂ上に、インクチャネル２８内へのインク流入口７７が形成されている。   A cover plate 24 is bonded to the upper surface of the piezoelectric material 27a through an adhesive so as to cover the entire deep ink channel 28 over the entire ink channel 28, and the ink channel is formed on the shallow groove 28b of each ink channel 28. Ink inlet 77 into 28 is formed.

カバープレート２４の接着後、ノズル２３が開設された１枚のノズル形成部材２２が接着剤を介して接着される。   After the cover plate 24 is bonded, the single nozzle forming member 22 provided with the nozzle 23 is bonded through an adhesive.

カバープレート２４及び基板２６の材料は、特に限定されず、有機材料からなる基板であっても良いが、非圧電性非金属材料からなる基板が好ましく、この非圧電性非金属材料からなる基板として、アルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニア、シリコン、窒化シリコン、シリコンカーバイド、石英、分極されていないＰＺＴの少なくとも１つから選ばれることが好ましい。有機材料としては、有機ポリマー、有機ポリマーと有機物とのハイブリッド材料が挙げられる。   The material of the cover plate 24 and the substrate 26 is not particularly limited, and may be a substrate made of an organic material. However, a substrate made of a non-piezoelectric nonmetallic material is preferable. It is preferably selected from at least one of alumina, aluminum nitride, zirconia, silicon, silicon nitride, silicon carbide, quartz, and unpolarized PZT. Examples of the organic material include organic polymers and hybrid materials of organic polymers and organic substances.

また、ノズル形成部材２３の材料としては、ポリイミド樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、液晶ポリマー、アロマティックポリアミド樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリサルフォン樹脂等の合成樹脂のほか、ステンレス等の金属材料を用いることもできる。   Further, as the material of the nozzle forming member 23, a synthetic resin such as polyimide resin, polyethylene terephthalate resin, liquid crystal polymer, aromatic polyamide resin, polyethylene naphthalate resin, polysulfone resin, or a metal material such as stainless steel can be used. .

各インクチャネル２８及びダミーチャネル１２８内には、その両側面から底面にかけて金属電極２９が形成されており、この金属電極２９は、浅溝部２８ｂを通って圧電材料２７ａの後部側表面まで延びている。各金属電極２９には、この後部側表面において異方導電性フィルム７８を介してフレキシブルケーブル６が接着されており、電圧パルス発生手段１０１から各金属電極２９に電圧パルスを印加することにより側壁２７をせん断変形させ、その変形時の圧力によりインクチャネル２８内のインクをノズルプレート２２に形成されたノズル２３から吐出するようになっている。また、両端に位置するインクチャネルと隣接するダミーチャネルを仕切る側壁の金属電極にも電圧パルスが印加され、この側壁も駆動して両端のインクチャネルからインクを吐出させる。   In each ink channel 28 and dummy channel 128, a metal electrode 29 is formed from both side surfaces to the bottom surface, and the metal electrode 29 extends to the rear side surface of the piezoelectric material 27a through the shallow groove portion 28b. . The flexible cable 6 is bonded to each metal electrode 29 via an anisotropic conductive film 78 on the rear side surface. By applying a voltage pulse from the voltage pulse generating means 101 to each metal electrode 29, the side wall 27 is applied. The ink in the ink channel 28 is ejected from the nozzles 23 formed on the nozzle plate 22 by the pressure at the time of deformation. A voltage pulse is also applied to the metal electrode on the side wall that partitions the dummy channel adjacent to the ink channel located at both ends, and this side wall is also driven to eject ink from the ink channels at both ends.

金属電極２９に用いられる金属としては、白金、金、銀、銅、アルミニウム、パラジウム、ニッケル、タンタル、チタンを用いることができ、特に、電気的特性、加工性の点から、金、アルミニウム、銅、ニッケルが好ましく、めっき、蒸着、スパッタで形成される。   As the metal used for the metal electrode 29, platinum, gold, silver, copper, aluminum, palladium, nickel, tantalum, and titanium can be used. In particular, from the viewpoint of electrical characteristics and workability, gold, aluminum, copper Nickel is preferable and is formed by plating, vapor deposition, or sputtering.

せん断モードタイプのインクジェットヘッド３１は、以上のように圧電材料２７ａ，２７ｂにインクチャネル２８を形成して、その側壁２７に金属電極２９を形成するだけで、ヘッドの主要部分を構成できるので、製造が簡単で、多数のインクチャネル２８を高密度に配置できるために、高精細な画像記録を行う上で好ましい態様である。   The shear mode type inkjet head 31 can be manufactured by forming the ink channel 28 in the piezoelectric materials 27a and 27b and forming the metal electrode 29 on the side wall 27 as described above. Is simple, and a large number of ink channels 28 can be arranged at a high density, which is a preferable mode for recording high-definition images.

次に、吐出動作について説明する。   Next, the discharge operation will be described.

各側壁２７表面に密着形成された電極２９Ａ、２９Ｂ、２９Ｃに電圧パルス発生手段１０１から電圧パルスが印加されると、以下に例示する動作によってインク滴をノズル２３から吐出する。なお、図５ではノズルは省略してある。   When a voltage pulse is applied from the voltage pulse generating means 101 to the electrodes 29A, 29B, 29C formed in close contact with the surfaces of the side walls 27, ink droplets are ejected from the nozzles 23 by the operation exemplified below. In FIG. 5, the nozzle is omitted.

なお、かかるインクジェットヘッド３１では、以上のように、側壁２７の変形によってインクチャネル２８内のインクに正負の圧力が付与されるものであり、この側壁２７は圧力付与手段を構成している。   In the inkjet head 31, as described above, positive and negative pressure is applied to the ink in the ink channel 28 by deformation of the side wall 27, and the side wall 27 constitutes pressure applying means.

図６は、本発明に係る実施の形態の液滴吐出方法における電圧パルスを示している。図６において、横軸は時間、縦軸は駆動電圧を表す。   FIG. 6 shows voltage pulses in the droplet discharge method according to the embodiment of the present invention. In FIG. 6, the horizontal axis represents time, and the vertical axis represents drive voltage.

（１）かかるインクジェットヘッド３１は、図５（ａ）に示す状態において、電極２９Ａ及び２９Ｃをアースに接続すると共に電極２９Ｂに、パルス幅がＰＷの矩形波からなる膨張パルス（正電圧）を印加すると、まず、パルスの最初の立ち上がり（Ｐ１）によって、側壁２７Ｂ、２７Ｃを構成する圧電材料２７ａ、２７ｂの分極方向に直角な方向の電界が生じ、２７ａ、２７ｂともに側壁の接合面にズリ変形を生じ、図５（ｂ）に示すように側壁２７Ｂ及び側壁２７Ｃは互いに外側に向けて変形し、インクチャネル２８Ｂの容積が膨張する。これによりインクチャネル２８Ｂ内のインクに負の圧力が生じてインクが流れ込む（Ｄｒａｗ）。   (1) In the state shown in FIG. 5A, the ink jet head 31 connects the electrodes 29A and 29C to the ground and applies an expansion pulse (positive voltage) composed of a rectangular wave having a pulse width of PW to the electrode 29B. Then, first, an electric field in a direction perpendicular to the polarization direction of the piezoelectric materials 27a and 27b constituting the side walls 27B and 27C is generated by the first rising edge (P1) of the pulse, and both 27a and 27b are deformed in the joint surface of the side walls. As a result, as shown in FIG. 5B, the side wall 27B and the side wall 27C are deformed outward from each other, and the volume of the ink channel 28B is expanded. As a result, a negative pressure is generated in the ink in the ink channel 28B, and the ink flows (Draw).

（２）この最初のＰ１の印加からＰＷ時間経過後に電位を０に戻す（Ｐ２）と、側壁２７Ｂ，２７Ｃは膨張位置から図５（ａ）に示す中立位置に戻り、インクチャネル２８Ｂ内のインクに高い圧力が掛かる。   (2) When the potential is returned to 0 after the lapse of PW time from the first application of P1 (P2), the side walls 27B and 27C return from the expanded position to the neutral position shown in FIG. 5A, and the ink in the ink channel 28B. High pressure is applied.

引き続いて、矩形波からなるパルス幅が２ＰＷの収縮パルス（負電圧）を印加する。まず収縮パルスの立ち下がり（Ｐ３）によって、図５（ｃ）に示すように、側壁２７Ｂ及び２７Ｃは互いに逆方向に変形し、インクチャネル２８Ｂの容積が収縮する。この収縮によりインクチャネル２８Ｂ内のインクに更に高い圧力を掛かる（Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅ）。これによりノズル内のインクメニスカスがノズル２３から押し出される方向に変化する。この正の圧力がインク滴をノズルから吐出させるほど大きくなるとインク滴はノズルから吐出する。   Subsequently, a contraction pulse (negative voltage) having a pulse width of 2 PW made of a rectangular wave is applied. First, due to the fall of the contraction pulse (P3), as shown in FIG. 5C, the side walls 27B and 27C are deformed in opposite directions, and the volume of the ink channel 28B contracts. Due to this contraction, a higher pressure is applied to the ink in the ink channel 28B (Reinforce). As a result, the ink meniscus in the nozzle changes in the direction in which it is pushed out from the nozzle 23. When this positive pressure increases as the ink droplets are ejected from the nozzles, the ink droplets are ejected from the nozzles.

（３）更に、２ＰＷ時間経過すると、電位を０に戻し（Ｐ４）、側壁２７Ｂ、２７Ｃを収縮位置から中立位置に戻す。   (3) Further, when 2PW time elapses, the potential is returned to 0 (P4), and the side walls 27B and 27C are returned from the contracted position to the neutral position.

これらの一連の動作によりインクチャネル２８Ｂ内のインクの一部がインク滴としてノズル２３から飛翔する。   By a series of these operations, a part of the ink in the ink channel 28B flies from the nozzle 23 as an ink droplet.

このような液滴吐出方法は、いわゆるＤＲＲ（Ｄｒａｗ−Ｒｅｌｅａｓｅ−Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅ）方式による液滴吐出方法であり、膨張パルスのパルス幅ＰＷはインク滴の吐出力に大きく影響し、１ＡＬ近傍にこのパルス幅が一致したときにインク滴吐出力（吐出速度）は最大となる。   Such a droplet discharge method is a droplet discharge method based on a so-called DRR (Draw-Release-Reinforce) method, and the pulse width PW of the expansion pulse greatly affects the discharge force of the ink droplet, and this pulse width is close to 1AL. The ink droplet ejection force (ejection speed) is maximized when the two coincide.

なお、ＡＬ（Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｌｅｎｇｔｈ）とは、上述したように、インクチャネルの音響的共振周期の１／２である。このＡＬは、電気・機械変換手段である側壁２７に矩形波のパルスを印加して吐出するインク滴の速度を測定し、矩形波の電圧値を一定にして矩形波のパルス幅を変化させたときに、インク滴の飛翔速度が最大になるパルス幅として求められる。このＡＬの値は、ヘッドの構造やインクの密度等に依存して決まるものである。   Note that AL (Acoustic Length) is ½ of the acoustic resonance period of the ink channel, as described above. This AL measured the speed of ink droplets ejected by applying a rectangular wave pulse to the side wall 27, which is an electrical / mechanical conversion means, and changed the rectangular wave pulse width while keeping the rectangular wave voltage value constant. Sometimes it is determined as the pulse width that maximizes the flying speed of the ink droplets. The value of AL is determined depending on the structure of the head, the ink density, and the like.

また、パルスとは、一定電圧波高値の矩形波であり、０Ｖを０％、波高値電圧を１００％とした場合に、パルス幅とは、電圧の０Ｖからの電圧の立ち上がり始め又は立ち下がり始めの１０％から波高値電圧からの立ち下がり始め又は立ち上がり始めの１０％との間の時間として定義する。更に、ここで矩形波とは、電圧の１０％と９０％との間の立ち上がり時間、立ち下がり時間のいずれもがＡＬの１／２以内、好ましくは１／４以内であるような波形を指す。   A pulse is a rectangular wave having a constant voltage peak value. When 0V is 0% and a peak voltage is 100%, the pulse width is the start of rising or falling of the voltage from 0V. Is defined as the time between 10% of 10% and 10% of the start of falling from the peak voltage or 10% of rising. Furthermore, the rectangular wave here refers to a waveform in which both the rise time and fall time between 10% and 90% of the voltage are within ½ of AL, preferably within ¼. .

電圧パルスとして矩形波を用いることは、吐出効率が向上するとともにパルス幅の設定が容易になるため好ましい。   It is preferable to use a rectangular wave as the voltage pulse because the ejection efficiency is improved and the pulse width can be easily set.

また、図６の電圧パルスでは、膨張パルスの駆動電圧Ｖｏｎ（Ｖ）と収縮パルスの駆動電圧Ｖｏｆｆ（Ｖ）の比を｜Ｖｏｎ｜＞｜Ｖｏｆｆ｜とすることが好ましい。このように｜Ｖｏｎ｜＞｜Ｖｏｆｆ｜の関係とすると、インクチャネル内へのインクの供給を促進する効果があり、特に、高粘度インクで高周波駆動を行う場合に好ましい。なお、この電圧Ｖｏｎと電圧Ｖｏｆｆの基準電圧は０とは限らない。この電圧Ｖｏｎと電圧Ｖｏｆｆは、それぞれ基準電圧からの差分の電圧である。また、｜Ｖｏｎ｜／｜Ｖｏｆｆ｜＝２とすることがより好ましい。   In the voltage pulse of FIG. 6, it is preferable that the ratio of the expansion pulse drive voltage Von (V) and the contraction pulse drive voltage Voff (V) is | Von |> | Voff |. Thus, the relationship | Von |> | Voff | has an effect of promoting the supply of ink into the ink channel, and is particularly preferable when high-frequency driving is performed with high-viscosity ink. Note that the reference voltage of the voltage Von and the voltage Voff is not always zero. The voltage Von and the voltage Voff are respectively differential voltages from the reference voltage. Further, it is more preferable that | Von | / | Voff | = 2.

かかるせん断モードタイプのインクジェットヘッドでは、側壁２７の変形は壁の両側に設けられる電極に掛かる電圧差で起こるので、インク吐出を行うインクチャネルの電極に負電圧を掛ける代わりに、インク吐出を行うインクチャネルの電極を接地して、その両隣のインクチャネルの電極に正電圧を掛けるようにしても同様に動作させることができる。この後者の方法によれば、正電圧だけで駆動できるため、電源コストの点で好ましい態様である。   In such a shear mode type ink jet head, the deformation of the side wall 27 occurs due to a voltage difference applied to the electrodes provided on both sides of the wall. Therefore, instead of applying a negative voltage to the electrode of the ink channel that performs ink ejection, the ink that ejects ink is used. The same operation can be performed by grounding the electrode of the channel and applying a positive voltage to the electrodes of the ink channels on both sides. According to this latter method, since it can be driven only by a positive voltage, it is a preferable aspect in terms of power supply cost.

このように少なくとも一部が圧電材料で構成された側壁２７によって隔てられた複数のインクチャネル２８を有するインクジェットヘッドを駆動する場合、一つのインクチャネルの側壁が吐出の動作をすると、隣のインクチャネルが影響を受けるため、通常、複数のインクチャネル２８のうち、互いに１本以上のインクチャネル２８を挟んで離れているインクチャネル２８をまとめて１つの組となすようにして、２つ以上の組に分割し、各組毎にインク吐出動作を時分割で順次行うように駆動制御される。例えば、全インクチャネル２８を駆動してベタ画像を出力する場合には、インクチャネル２８を２チャネルおきに選んで３相に分けて吐出する、いわゆる３サイクル吐出法が行われる。   When an inkjet head having a plurality of ink channels 28 separated at least partially by a side wall 27 made of a piezoelectric material is driven as described above, when the side wall of one ink channel performs an ejection operation, the adjacent ink channel In general, among the plurality of ink channels 28, two or more sets are formed by combining the ink channels 28 that are separated from each other with one or more ink channels 28 therebetween. Drive control is performed so that the ink ejection operation is sequentially performed in a time division manner for each group. For example, when all the ink channels 28 are driven to output a solid image, a so-called three-cycle ejection method is performed in which the ink channels 28 are selected every two channels and ejected in three phases.

本実施形態では、１７個のインクチャネルについて、一方の端部のインクチャネルから他方の端部のインクチャネルに向かって順次チャネル番号１、２，３・・・・・１７としたとき、全インクチャネルを、チャネル番号１，４，７，１０、１３、１６をＡ組、チャネル番号２，５，８，１１、１４、１７をＢ組、チャネル番号３，６，９，１２、１５をＣ組として３組に分けて分割駆動する。   In this embodiment, when 17 ink channels are sequentially assigned channel numbers 1, 2, 3,... 17 from one end ink channel to the other end ink channel, Channel numbers 1, 4, 7, 10, 13, and 16 are group A, channel numbers 2, 5, 8, 11, 14, and 17 are group B, and channel numbers 3, 6, 9, 12, and 15 are C Divided drive is divided into three groups.

かかる３サイクル吐出動作について図６の電圧パルスで駆動する場合について図７を用いて説明する。図７には、１７個のインクチャネルのうち中央近傍の各組３個づつ計９固のインクチャネル２８が図示されている。また、このときのＡ、Ｂ、Ｃの各組のインクチャネル２８に印加される電圧パルスのタイミングチャートを図８に示す。   Such a three-cycle ejection operation will be described with reference to FIG. 7 in the case of driving with the voltage pulse of FIG. FIG. 7 shows a total of nine ink channels 28 each including three groups in the vicinity of the center among the 17 ink channels. Further, FIG. 8 shows a timing chart of voltage pulses applied to the ink channels 28 of each set of A, B, and C at this time.

インク吐出時には、まずＡ組の各チャネルの電極に図６の電圧パルスを印加し、その両隣のチャネルの電極を接地して、Ａ組の各チャネルのノズルからインク滴を吐出させる。   At the time of ink ejection, first, the voltage pulse of FIG. 6 is applied to the electrodes of each channel of the A set, the electrodes of the adjacent channels are grounded, and ink droplets are ejected from the nozzles of each channel of the A set.

続いてＢ組の各チャネル２８、更に続いてＣ組の各チャネル２８へと上記同様に動作する。   Subsequently, the operation is performed in the same manner as described above for each channel 28 of the group B, and further to each channel 28 of the group C.

次に、本実施形態のインクジェットヘッドの作用について説明する。
（従来例）
図１２は、各インクチャネルにおける側壁の幅Ｂ１が互いに等しい従来のインクジェットヘッドのインクチャネル列の断面図である。このヘッドにおいて、インクチャネルの密度は１８０ｄｐｉ（１４１μｍピッチ）とし、各インクチャネルの深さＤは３２５μｍ、Ｂ１が５９μｍ、幅Ｗは８２μｍ、長さＬは６．５ｍｍ、各ノズルはインク吐出側の開口の直径φ３９μｍ、インクチャネル側の開口の直径φ５０μｍとし、インクには水系インクを使用した場合について説明する。 Next, the operation of the inkjet head of this embodiment will be described.
(Conventional example)
FIG. 12 is a cross-sectional view of an ink channel row of a conventional inkjet head in which the side wall width B1 of each ink channel is equal. In this head, the density of the ink channels is 180 dpi (141 μm pitch), the depth D of each ink channel is 325 μm, B1 is 59 μm, the width W is 82 μm, the length L is 6.5 mm, and each nozzle is on the ink ejection side. The case where the diameter of the opening is 39 μm, the diameter of the opening on the ink channel side is 50 μm, and water-based ink is used as the ink will be described.

インクチャネルのＡＬは１１．０μｓであった。   The ink channel AL was 11.0 μs.

ヘッドの評価は、図６に示す電圧パルスを基本とし矩形波の膨張パルスの駆動電圧Ｖｏｎと矩形波の収縮パルスの駆動電圧Ｖｏｆｆの比（｜Ｖｏｎ｜／｜Ｖｏｆｆ｜）を２とし、膨張パルスの駆動電圧Ｖｏｎが１４．５Ｖになる電圧で、膨張パルスのパルス幅ＰＷをインクチャネルのＡＬである１１．０μｓに、収縮パルスのパルス幅２ＰＷを２２．０μｓとした全インクチャネルに共通の電圧パルスを印加してヘッドを図８に示すように全インクチャネルを時分割で３周期（インクチャネル２本おきに）駆動させることにより、１７個の全インクチャネルのノズルから吐出されるインク滴（１滴）の液滴量を測定した。   The evaluation of the head is based on the voltage pulse shown in FIG. 6, and the ratio (| Von | / | Voff |) of the driving voltage Von of the rectangular wave expansion pulse to the driving voltage Voff of the rectangular wave contraction pulse is 2, and the expansion pulse The voltage at which the drive voltage Von is 14.5 V, the expansion pulse width PW is 11.0 μs, which is the ink channel AL, and the contraction pulse width 2 PW is 22.0 μs. As shown in FIG. 8, by applying pulses, the ink droplets are driven from the nozzles of all 17 ink channels by driving all the ink channels in three cycles (every two ink channels) in a time-sharing manner. 1 drop) was measured.

各端部の３チャネルずつで液適量の低下が見られた。中央部のノズルの液滴量に対する端部のノズルの液滴量の比は０．９０であり、端部のノズルの液滴量が大きく低下していた。   A decrease in the appropriate amount of liquid was observed in three channels at each end. The ratio of the droplet amount of the end nozzle to the droplet amount of the center nozzle was 0.90, and the droplet amount of the end nozzle was greatly reduced.

従来のヘッドで、中央部と端部の液滴量を均一にするには、各チャネル毎に駆動電圧や電圧パルス幅を最適化する方法があるが、各チャネル毎に駆動回路を用意する必要があり、コストがかかる問題がある。   There is a method of optimizing the drive voltage and voltage pulse width for each channel in order to make the droplet volume at the center and the edge uniform with the conventional head, but it is necessary to prepare a drive circuit for each channel There is a problem that costs.

次に、この従来のヘッドについて、インクチャネルの深さを２００μｍ、３１０μｍ、３６０μｍ、側壁の幅を５４μｍ、５９μｍ、６４μｍに変更した９種類のヘッドを作製し、各ヘッドについて同一の駆動パルスを印加し、液滴量を測定した。測定の結果、液滴量は、インクチャネルの側壁の幅と関係していることが解った。   Next, for this conventional head, nine types of heads with ink channel depths changed to 200 μm, 310 μm, 360 μm and side wall widths of 54 μm, 59 μm, 64 μm were produced, and the same drive pulse was applied to each head. Then, the amount of droplets was measured. As a result of the measurement, it was found that the droplet amount is related to the width of the side wall of the ink channel.

表１に各ヘッドの液適量の測定結果をそれぞれ示す。液適量は、側壁の幅が６４μｍのヘッドを１としたときの相対値で表している。   Table 1 shows the measurement results of the appropriate amount of liquid for each head. The appropriate amount of liquid is expressed as a relative value when a head having a side wall width of 64 μm is 1.

Figure 0005286840
Figure 0005286840

表１から明らかなように、側壁の幅が小さくなるにつれて液滴量が大きくなる傾向にある。従って、これらの関係性を用いることにより、中央におけるインクチャネルの側壁の幅に対して両端におけるインクチャネルの側壁の幅をどのように設定するかの目安とすることができる。   As is apparent from Table 1, the amount of droplets tends to increase as the side wall width decreases. Therefore, by using these relationships, it can be used as a guide for setting the width of the side wall of the ink channel at both ends with respect to the width of the side wall of the ink channel at the center.

このように前述の液滴量分布と表１に示す測定結果に基づいて該液滴量分布が均一となるように、インクチャネルの側壁の幅の変更度合いを調整すればよい。
（実施の形態例）
次に、図１１に示すインクジェットヘッドを、両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルおよび他方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルのＢ２＝５４μｍ、中央に位置するインクチャネルとその他のインクチャネルのＢ１＝５９μｍとした以外は、従来のヘッドと同様にして作製し、同様の評価を行った場合について説明する。 In this way, the degree of change in the width of the side wall of the ink channel may be adjusted so that the droplet volume distribution becomes uniform based on the above-described droplet volume distribution and the measurement results shown in Table 1.
(Embodiment example)
Next, the ink jet head shown in FIG. 11 is located at the center from three ink channels that are continuous from one ink channel of the two ink channels located at both ends toward the ink channel that is located at the center and the other ink channel. The ink is produced in the same manner as the conventional head except that B2 of three ink channels continuous toward the ink channel is 54 μm and B1 of the ink channel located at the center and other ink channels is 59 μm. The case where it went is demonstrated.

インクチャネルのＡＬは従来と同様に１１．０μｓであった。各インクチャネルに従来と同じ共通の電圧パルスを印加し、全インクチャネルの各ノズルから吐出される液滴量を測定したところ、最大の液滴量に対する最小の液滴量の比率が、ほぼ１．０であり、分布は均一であることが確認できた。   The AL of the ink channel was 11.0 μs as before. When the same common voltage pulse as before was applied to each ink channel and the amount of droplets discharged from each nozzle of all ink channels was measured, the ratio of the minimum droplet amount to the maximum droplet amount was approximately 1. It was confirmed that the distribution was uniform.

なお、図１２の従来のインクジェットヘッドでは、ノズルのピッチをＰ１、インクチャネルのピッチをＰ２とすると、Ｐ１＝Ｐ２であり、各ノズルは対応するインクチャネルの幅Ｗ方向の中心に配置される。しかしながら図１１のインクジェットヘッドで、各インクチャネルの幅Ｗを同じにした場合、各端部の３チャネル間のピッチＰ２が（Ｂ１−Ｂ２）分だけ小さくなり、特に両端の２つのインクチャネルではチャネル位置が２（Ｂ１−Ｂ２）だけ中央側にずれることになる。ノズルのピッチＰ１は一定である必要があるので、チャネル位置のずれの影響によりノズルの位置が側壁部分にかからないようにすることが好ましい。即ち、本実施形態ではインクチャネル幅をＷ、ノズルのインクチャネル側の開口の直径をＮとしたとき、側壁の変形の影響を無視すると、以下の条件式
０＜２（Ｂ１−Ｂ２）＜（Ｗ−Ｎ）／２
を満足するようにＢ２を設定した。 In the conventional inkjet head of FIG. 12, assuming that the nozzle pitch is P1 and the ink channel pitch is P2, P1 = P2, and each nozzle is arranged at the center in the width W direction of the corresponding ink channel. However, when the width W of each ink channel is the same in the ink jet head of FIG. 11, the pitch P2 between the three channels at each end is reduced by (B1-B2), and in particular, the channel in the two ink channels at both ends. The position is shifted to the center side by 2 (B1-B2). Since the nozzle pitch P1 needs to be constant, it is preferable that the position of the nozzle does not reach the side wall due to the influence of the shift of the channel position. That is, in the present embodiment, when the ink channel width is W and the diameter of the opening on the ink channel side of the nozzle is N, the following conditional expression 0 <2 (B1-B2) <( W-N) / 2
B2 was set so as to satisfy the above.

剪断モードで圧電材料の側壁を変形させる場合、側壁の幅が小さい方が変位量が大きくなり効率よく変形することができる。   When the side wall of the piezoelectric material is deformed in the shear mode, the smaller the side wall width, the larger the displacement amount, and the more efficiently the deformation can be performed.

従って、側壁の幅を小さくすると変位量が大きくなり、インクチャネルの体積変位が大きくなり、インク滴をノズルより吐出するための圧力変化が大きくなる。このように、本実施形態のインクジェットヘッドでは、インクチャネルによって、側壁の幅を異ならせることにより、具体的には、インクチャネルにおけるインクチャネル配列方向端部側の側壁の幅を、インク適量の低下する端部において中央部より小さくすることにより端部の液適量低下を補償することができる。   Therefore, when the width of the side wall is reduced, the amount of displacement increases, the volume displacement of the ink channel increases, and the pressure change for ejecting ink droplets from the nozzles increases. As described above, in the ink jet head of this embodiment, the width of the side wall varies depending on the ink channel, and specifically, the width of the side wall in the ink channel arrangement direction side of the ink channel is reduced by a suitable amount of ink. By making the end portion smaller than the central portion, it is possible to compensate for a decrease in the appropriate amount of liquid at the end portion.

以上のように、本実施の形態では、インクチャネルにおけるインクチャネル配列方向端部側の側壁の幅が、インクを吐出する複数のインクチャネルの配列方向の両端に位置する２つのインクチャネルにおいて、中央に位置するインクチャネルよりも小さいので、両端のインクチャネルの吐出効率が中央部より高くなるため、端部ノズルより吐出されるインク滴量の低下を補うことができ、高品質の印字を行うことができる。これにより、各インクチャネルに共通の電圧パルスを印加する単純な駆動回路を用いることが可能になる。   As described above, in the present embodiment, the width of the side wall on the ink channel arrangement direction end side in the ink channel is the center of the two ink channels positioned at both ends in the arrangement direction of the plurality of ink channels that eject ink. Since the discharge efficiency of the ink channels at both ends is higher than that of the central portion because the ink channel is smaller than the ink channel located at the center, it is possible to compensate for the drop in the amount of ink droplets discharged from the end nozzles and to perform high-quality printing. Can do. This makes it possible to use a simple drive circuit that applies a common voltage pulse to each ink channel.

さらに、本発明は、図１３に示すような、１チャネルおきにインクを供給してインクチャネル２８とし、その間のチャネルにはインク供給せずに空気チャネルとし、インクチャネル２８と空気チャネル２８’が交互に形成された独立チャネルヘッドにも適用できる。インクチャネルに対応してノズル２３を設けることにより、ノズル２３からインクが吐出される。また、入口と出口を有するインクチャネルの略中央部分に設けたノズルからインクを吐出するサイドシューターと呼ばれるタイプのヘッドにも適用できる。例えば、図４に示すインクジェットヘッドにおいて、ノズル形成部材側をインク出口側として、第２の圧電材料２４あるいは第１の圧電材料２６におけるインクチャネル長手方向の略中央の位置に各ノズルを設け、インクチャネルの入口から出口に向かって連続的にインクを流しながら、インクチャネルの略中央に設けたノズルからインクを吐出させる。   Further, according to the present invention, as shown in FIG. 13, ink is supplied every other channel to form an ink channel 28, and ink is not supplied to the channel between them to form an air channel, and an ink channel 28 and an air channel 28 ′ are provided. The present invention can also be applied to alternately formed independent channel heads. By providing the nozzles 23 corresponding to the ink channels, ink is ejected from the nozzles 23. Further, the present invention can also be applied to a type of head called a side shooter that ejects ink from a nozzle provided at a substantially central portion of an ink channel having an inlet and an outlet. For example, in the ink jet head shown in FIG. 4, each nozzle is provided at a substantially central position in the longitudinal direction of the ink channel in the second piezoelectric material 24 or the first piezoelectric material 26 with the nozzle forming member side as the ink outlet side. While continuously flowing ink from the inlet to the outlet of the channel, the ink is ejected from a nozzle provided substantially at the center of the ink channel.

ライン型の塗布装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of a line type coating device. インクジェットヘッドの配置例を示す図である。It is a figure which shows the example of arrangement | positioning of an inkjet head. インクジェットヘッドの千鳥配置の位置関係を示す図である。It is a figure which shows the positional relationship of zigzag arrangement | positioning of an inkjet head. 実施の形態に係るせん断モード（シェアモード）タイプのインクジェットヘッドの概略構成を示す図であり、（ａ）は一部断面で示す斜視図、（ｂ）はインク供給部を備えた状態の断面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows schematic structure of the shear mode (shear mode) type inkjet head which concerns on embodiment, (a) is a perspective view which shows a partial cross section, (b) is sectional drawing of the state provided with the ink supply part It is. （ａ）〜（ｃ）はヘッドの動作を示す図である。(A)-(c) is a figure which shows operation | movement of a head. 電圧パルスの波形を示す図である。It is a figure which shows the waveform of a voltage pulse. （ａ）〜（ｃ）はヘッドの時分割駆動の説明図である。(A)-(c) is explanatory drawing of the time division drive of a head. Ａ、Ｂ、Ｃの各組のインクチャネルの電極に印加される電圧パルスのタイミングチャートである。It is a timing chart of the voltage pulse applied to the electrode of each set of ink channels of A, B, and C. 実施の形態に係るインクチャネル列の断面図である。It is sectional drawing of the ink channel row | line | column which concerns on embodiment. 他の実施の形態に係るインクチャネル列の断面図である。It is sectional drawing of the ink channel row | line concerning other embodiment. 他の実施の形態に係るインクチャネル列の断面図である。It is sectional drawing of the ink channel row | line concerning other embodiment. 従来のインクジェットヘッドのインクチャネル列の断面図である。It is sectional drawing of the ink channel row | line | column of the conventional inkjet head. 他の実施の形態に係るインクチャネル列の断面図である。It is sectional drawing of the ink channel row | line concerning other embodiment. 従来のインクジェットヘッドの液適量分布の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of liquid suitable amount distribution of the conventional inkjet head.

符号の説明Explanation of symbols

１ 塗布装置
１０ 支持体
１０Ａ 捲き出しロール
１０Ｂ 巻き取りロール
２０ バックロール
３０ インクジェットユニット
３１ インクジェットヘッド DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Application | coating apparatus 10 Support body 10A Unwinding roll 10B Winding roll 20 Back roll 30 Inkjet unit 31 Inkjet head

Claims (11)

少なくとも一部が圧電材料で構成された側壁により隔てられた複数のインクチャネルが配列され、前記側壁のせん断変形によりインクチャネル内の圧力を変化させて、インクチャネル内のインクをノズルから吐出せしめるインクジェットヘッドであって、
前記複数のインクチャネルは全て同じ深さであり、
インクチャネルの配列方向端部側の側壁における配列方向に沿う方向の側壁の幅が、インクを吐出する前記複数のインクチャネルのうちの配列方向の両端に位置する２つのインクチャネルにおいて、中央に位置するインクチャネルよりも小さいことを特徴とするインクジェットヘッド。 An ink jet in which a plurality of ink channels separated by a side wall at least partially made of a piezoelectric material are arranged, and the pressure in the ink channel is changed by shear deformation of the side wall, and the ink in the ink channel is ejected from the nozzle. Head,
The plurality of ink channels are all at the same depth;
The width of the side wall in the direction along the arrangement direction of the side wall on the end side in the arrangement direction of the ink channel is positioned at the center in the two ink channels located at both ends in the arrangement direction among the plurality of ink channels that eject ink. An ink-jet head characterized by being smaller than an ink channel. 前記両端に位置する２つのインクチャネルは、前記側壁の幅が互いに等しいことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。 The inkjet head according to claim 1, wherein the two ink channels located at both ends have the same width of the side wall. 前記インクを吐出する複数のインクチャネルのうち、前記両端に位置する２つのインクチャネルと前記中央に位置するインクチャネルとを除いた他のインクチャネルと、前記中央に位置するインクチャネルとは、前記側壁の幅が互いに等しいことを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェットヘッド。 Of the plurality of ink channels for ejecting the ink, the other ink channels excluding the two ink channels located at both ends and the ink channel located at the center, and the ink channel located at the center, The inkjet head according to claim 1, wherein the side walls have the same width. 前記両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルおよび他方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルにおける前記側壁の幅が、前記中央に位置するインクチャネルの前記側壁の幅よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。 Three ink channels that are continuous from one ink channel of the two ink channels located at both ends toward the ink channel that is centrally located, and three inks that are continuous from the other ink channel toward the ink channel that is centrally located The inkjet head according to claim 1, wherein a width of the side wall in the channel is smaller than a width of the side wall of the ink channel located at the center. 前記両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルおよび他方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルは、前記側壁の幅が互いに等しいことを特徴とする請求項４に記載のインクジェットヘッド。 Three ink channels that are continuous from one ink channel of the two ink channels located at both ends toward the ink channel that is centrally located, and three inks that are continuous from the other ink channel toward the ink channel that is centrally located The inkjet head according to claim 4, wherein the side walls of the channel have the same width. 前記インクを吐出する複数のインクチャネルのうち、前記両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルおよび他方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルと前記中央に位置するインクチャネルとを除いた他のインクチャネルと、前記中央に位置するインクチャネルとは、前記側壁の幅が互いに等しいことを特徴とする請求項４または５に記載のインクジェットヘッド。 Out of the plurality of ink channels that eject ink, three ink channels that continue from one ink channel of the two ink channels located at both ends toward the ink channel that is located at the center and the other ink channel that are located at the center The width of the side wall of each of the other ink channels excluding the three ink channels that are continuous toward the located ink channel and the ink channel located in the center, and the ink channel located in the center is equal to each other. The inkjet head according to claim 4 or 5, characterized in that 前記両端に位置する２つのインクチャネルの外側にインクを吐出しないダミーチャネルを有することを特徴とする請求項１乃至６の何れか１項に記載のインクジェットヘッド。 The inkjet head according to claim 1, further comprising a dummy channel that does not eject ink outside the two ink channels positioned at both ends. 請求項１乃至７の何れか１項に記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とする塗布装置。 A coating apparatus comprising the inkjet head according to claim 1. 前記側壁は、側壁の少なくとも一部に形成された電極に印加される電圧パルスによりせん断変形され、前記インクを吐出する複数のインクチャネルの全てのインクチャネルの側壁の電極に共通の電圧パルスが印加されることを特徴とする請求項８に記載の塗布装置。 The side wall is shear-deformed by a voltage pulse applied to an electrode formed on at least a part of the side wall, and a common voltage pulse is applied to the electrode on the side wall of all the ink channels discharging the ink. The coating apparatus according to claim 8, wherein 前記インクを吐出する複数のインクチャネルのうち、間に２本のインクチャネルを挟んで離れているインクチャネルをまとめて１つの組として、全インクチャネルを３つの組に分割し、各組毎に順次電圧パルスが印加されることを特徴とする請求項９に記載の塗布装置。 Of the plurality of ink channels that eject ink, the ink channels that are separated by two ink channels in between are combined into one set, and all the ink channels are divided into three sets. The coating apparatus according to claim 9, wherein voltage pulses are sequentially applied. 連続搬送される長尺状の支持体上に、支持体の幅方向に塗布幅に対応して配置された複数の前記インクジェットヘッドのノズルから塗布液の液滴を吐出させて塗膜を形成させることを特徴とする請求項８乃至１０の何れか１項に記載の塗布装置。 A coating film is formed by discharging droplets of a coating liquid from a plurality of nozzles of the inkjet heads arranged in correspondence with the coating width in the width direction of the support on a long support that is continuously conveyed. The coating apparatus according to any one of claims 8 to 10, wherein:
JP2008060907A 2008-03-11 2008-03-11 Ink jet head and coating apparatus provided with ink jet head Expired - Fee Related JP5286840B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008060907A JP5286840B2 (en) 2008-03-11 2008-03-11 Ink jet head and coating apparatus provided with ink jet head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008060907A JP5286840B2 (en) 2008-03-11 2008-03-11 Ink jet head and coating apparatus provided with ink jet head

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009214437A JP2009214437A (en) 2009-09-24
JP5286840B2 true JP5286840B2 (en) 2013-09-11

Family

ID=41186838

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008060907A Expired - Fee Related JP5286840B2 (en) 2008-03-11 2008-03-11 Ink jet head and coating apparatus provided with ink jet head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5286840B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7488634B2 (en) 2019-07-10 2024-05-22 ロート製薬株式会社 Topical preparations

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6278692B2 (en) * 2013-12-24 2018-02-14 エスアイアイ・プリンテック株式会社 Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2935886B2 (en) * 1990-11-09 1999-08-16 シチズン時計株式会社 Inkjet head
JPH1178030A (en) * 1997-09-10 1999-03-23 Brother Ind Ltd Manufacture of ink jet head
JP2000255054A (en) * 1999-03-08 2000-09-19 Konica Corp Method for driving ink-jet head
JP2003011364A (en) * 2001-06-29 2003-01-15 Sharp Corp Ink jet head
JP2003063007A (en) * 2001-08-29 2003-03-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ink jet recording head and ink jet recorder
JP2007320278A (en) * 2006-06-05 2007-12-13 Konica Minolta Holdings Inc Line head and inkjet printer

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7488634B2 (en) 2019-07-10 2024-05-22 ロート製薬株式会社 Topical preparations

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009214437A (en) 2009-09-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4779578B2 (en) Droplet discharge apparatus and droplet discharge head driving method
US7410233B2 (en) Liquid droplet ejecting apparatus and a method of driving a liquid droplet ejecting head
JP4792752B2 (en) Droplet discharge apparatus and droplet discharge head driving method
JP5112889B2 (en) Ink jet head chip, method for manufacturing ink jet head chip, ink jet head, and ink jet recording apparatus
JP6202002B2 (en) Ink jet head driving method, ink jet head driving apparatus, and ink jet recording apparatus
JP5861513B2 (en) Inkjet recording device
JP2009090649A (en) Liquid-droplet discharge apparatus and droplet discharge method
US7086711B2 (en) Inkjet printing apparatus and actuator controller and actuator controlling method used in inkjet printing apparatus
JPWO2017145743A1 (en) Inkjet recording apparatus and inkjet head driving method
JP5533298B2 (en) Inkjet recording device
JP5407162B2 (en) INKJET HEAD, COATING APPARATUS HAVING INKJET HEAD, AND METHOD FOR DRIVING INKJET HEAD
JP5291347B2 (en) Inkjet head chip, inkjet head chip driving method, inkjet head, and inkjet recording apparatus
US8287071B2 (en) Inkjet recording apparatus
JP5459695B2 (en) Inkjet recording apparatus and inkjet recording method
JP5286840B2 (en) Ink jet head and coating apparatus provided with ink jet head
CN113696631A (en) Liquid ejection head and liquid ejection apparatus
JP5181711B2 (en) INKJET HEAD, COATING APPARATUS HAVING INKJET HEAD, AND METHOD FOR DRIVING INKJET HEAD
JP5183547B2 (en) Recording device
JP5040726B2 (en) Ink jet head and coating apparatus provided with ink jet head
JP5286715B2 (en) Droplet discharge apparatus and droplet discharge method
JP2012135900A (en) Liquid jet head, liquid jet apparatus and method of driving liquid jet head
JP5282301B2 (en) Liquid ejection device
JP2010143173A (en) Inkjet recording device
JP5304498B2 (en) Inkjet recording device
JP2009285922A (en) Liquid discharge head and recording device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20101109

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20110221

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120726

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120807

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20121005

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130507

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130520

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees