JP5285783B2 - 拭取り清掃装置及び拭取り清掃方法 - Google Patents
拭取り清掃装置及び拭取り清掃方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5285783B2 JP5285783B2 JP2011539251A JP2011539251A JP5285783B2 JP 5285783 B2 JP5285783 B2 JP 5285783B2 JP 2011539251 A JP2011539251 A JP 2011539251A JP 2011539251 A JP2011539251 A JP 2011539251A JP 5285783 B2 JP5285783 B2 JP 5285783B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressing head
- long sheet
- processed
- wiping
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 205
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 257
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 82
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 24
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 42
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 40
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 16
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 14
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- 238000009991 scouring Methods 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 235000019587 texture Nutrition 0.000 description 2
- 238000009941 weaving Methods 0.000 description 2
- 239000002759 woven fabric Substances 0.000 description 2
- 240000006829 Ficus sundaica Species 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 235000019592 roughness Nutrition 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 239000012209 synthetic fiber Substances 0.000 description 1
- 229920002994 synthetic fiber Polymers 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/30—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1316—Methods for cleaning the liquid crystal cells, or components thereof, during manufacture: Materials therefor
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Registering, Tensioning, Guiding Webs, And Rollers Therefor (AREA)
Description
本発明は、拭取り清掃装置及び拭取り清掃方法に関するものである。
従来から、液晶表示装置などの製造において、ガラス基板の縁部に形成された端子部に対してIC(Integrated Circuit)チップや配線基板などを実装する実装工程での品質及び歩留りを向上させるために、その実装工程に先立ち、ガラス基板の端子形成面に付着した異物の除去を目的とした清掃工程を採用している。
このような清掃工程で使用される清掃装置として、テープ状の長尺シートを用いて拭取り清掃する装置が知られている。例えば、特許文献1には、被処理体である平板を前進させながら、この平板の両面に洗浄液を供給し、一対のプレスローラを介してこの平板を表裏両側から挟むようにこの平板の表面に研掃テープ(長尺シート)を押し付けると共に、これら研掃テープを平板の前進方向とは逆方向に走行させ、この平板の片面に押し付けた研掃テープをさらに横方向に往復移動させて平板の両面を同時に研掃する清掃装置が開示されている。そして、これによれば、平板の両面を短時間で高度に平坦且つ清浄に研掃できる、と記載されている。
しかしながら、上述のような清掃装置では洗浄液を用いて拭取り清掃するため、清掃された基板表面が湿潤状態となり、実装工程などの次工程に搬送する途中において浮遊異物が再付着する虞がある。基板の端子形成面に異物が再付着した場合には、その端子形成面に実装されるICチップや配線基板と基板上の端子との間に接続不良が発生することとなり、製造歩留りが低下する。
そこで、基板表面への異物の再付着を防止するためには、洗浄液を用いて拭取り清掃を行った後にその基板表面の湿気を拭き取ることが考えられるが、洗浄液を用いた異物拭取り用のシートとは別個に湿気拭取り用のシートを清掃装置に追加すると、これら2本のシートが必要になるため、ランニングコストが嵩んでしまう。
本発明は、斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、低コストに被処理体への異物の再付着を防止することにある。
上記の目的を達成するために、本発明は、洗浄液が含浸した長尺シートにより被処理体に付着した異物を拭き取った後、乾燥状態にある上記長尺シートにより異物拭取り後の被処理体の湿気を拭き取るようにしたものである。
具体的に、本発明は、被処理体を清掃作業位置まで搬送経路に沿って搬送する搬送手段と、上記搬送経路側方の上方に設けられ、テープ状の長尺シートを送給するシート送給手段と、上記清掃作業位置の搬送経路上方に上下動可能に接近配置され、上記シート送給手段から送給された長尺シートを下方移動により上記搬送手段上の被処理体に押し付ける第1押付けヘッドと、上記第1押付けヘッド近傍で上記長尺シートに洗浄液を含浸供給する洗浄液供給手段とを備え、上記被処理体の搬送方向への移動及び上記第1押付けヘッドの上記被処理体の反搬送方向への移動の少なくとも一方の動作を行う過程で、上記洗浄液が含浸した長尺シートを上記被処理体に所定の押付力で摺動させることにより、該被処理体に付着した異物を拭き取る拭取り清掃装置を対象とし、以下の解決手段を講じたものである。
すなわち、第1の発明は、上記第1押付けヘッドに対して上記被処理体の搬送方向下流側に上下動可能に並設され、上記長尺シートを下方移動により上記被処理体に押し付ける第2押付けヘッドと、上記長尺シートの上記第1押付けヘッドによる上記被処理体への押付面と上記第2押付けヘッドによる上記被処理体への押付面とが反対面となるように上記長尺シートを反転させるシート反転手段とを備え、上記被処理体の搬送方向への移動及び上記第2押付けヘッドの上記被処理体の反搬送方向への移動の少なくとも一方の動作を行う過程で、上記洗浄液供給手段により洗浄液が供給される前の乾燥状態の上記長尺シート又は上記第1押付けヘッドを経て含浸した洗浄液を乾燥させた状態の上記長尺シートを上記被処理体に所定の押圧力で摺動させることにより、該被処理体の湿気を拭き取るように構成されていることを特徴とする。
第2の発明は、第1の発明において、上記長尺シートは、表面粗さが一方面と他方面とで異なる布で構成されており、表面粗さが小さい方の長尺シート面により上記被処理体に付着した異物を拭き取り、表面粗さが大きい方の長尺シート面により上記被処理体の湿気を拭き取るように構成されていることを特徴とする。
第3の発明は、第1又は第2の発明において、上記第1押付けヘッド及び第2押付けヘッドには、ヘッド上部からヘッド先端部及びヘッド下部を順に経て送られるように上記長尺シートが巻き掛けられ、上記シート反転手段は、上記第1押付けヘッド後側に設けられた第1反転ガイドローラと、上記第2押付けヘッド後側に設けられた第2反転ガイドローラとを備え、該第1反転ガイドローラ及び第2反転ガイドローラが上記搬送手段側に向かって互いの間隔が広がるハの字状に配置されており、該第1反転ガイドローラ及び第2反転ガイドローラにより上記第1押付けヘッド及び第2押付けヘッドの一方から他方に上記長尺シートを反転させて掛け渡すように構成されていることを特徴とする。
第4の発明は、第1から第3の発明のいずれか1つの発明において、上記シート送給手段、第1押付けヘッド、洗浄液供給手段、第2押付けヘッド及びシート反転手段は、上記清掃作業位置における上記搬送手段上の被処理体に対して対称となるように上記搬送手段の下方にも設けられていることを特徴とする。
また、本発明は、被処理体に付着した異物を拭き取る拭取り清掃方法も対象としている。
すなわち、第5の発明は、拭取り清掃方法において、シート送給手段から送給されたテープ状の長尺シートを第2押付けヘッド及び第1押付けヘッドに順に掛け渡し、上記第1押付けヘッドに上記長尺シートを掛け渡すと共に該長尺シートに洗浄液を含浸供給し、該洗浄液が含浸した長尺シートを上記第1押付けヘッドによって上記被処理体に押し付けて摺動させることにより該被処理体に付着した異物を拭き取り、上記洗浄液が供給される前の乾燥状態の長尺シートを上記第2押付けヘッドによって異物拭取り後の上記被処理体に押し付けて摺動させることにより該被処理体の湿気を拭き取ることを特徴とする。
第6の発明は、第5の発明において、上記第2押付けヘッドを経た長尺シートを上記第1押付けヘッドに掛け渡すときに、上記長尺シートの上記第1押付けヘッドによる上記被処理体への押付面と上記第2押付けヘッドによる上記被処理体への押付面とが反対面となるように上記長尺シートを反転させることを特徴とする。
また、第7の発明は、拭取り清掃方法において、シート送給手段から送給されたテープ状の長尺シートを第1押付けヘッド及び第2押付けヘッドに順に掛け渡し、上記第1押付けヘッドに上記長尺シートを掛け渡すと共に該長尺シートに洗浄液を含浸供給し、該洗浄液が含浸した長尺シートを上記第1押付けヘッドによって上記被処理体に押し付けて摺動させることにより該被処理体に付着した異物を拭き取り、上記第1押付けヘッドを経た長尺シートを反転させると共に乾燥させ、反転した乾燥状態の上記長尺シートを上記第2押付けヘッドによって異物拭取り後の上記被処理体に押し付けて摺動させることにより該被処理体の湿気を拭き取ることを特徴とする。
−作用−
次に、本発明の作用について説明する。
次に、本発明の作用について説明する。
第1から第7の発明によると、洗浄液が含浸した長尺シートを第1押付けヘッドによって被処理体に押し付けて摺動させることによりその被処理体に付着した異物を拭取り清掃し、続いて、乾燥状態の長尺シートを第2押付けヘッドによって異物拭取り後の湿潤状態にある被処理体に押し付けて摺動させることによりその被処理体の湿気を拭き取るため、この清掃工程後の次工程に被処理体を搬送する途中においてその被処理体に浮遊異物が再付着することが防止される。さらに、1本の長尺シートにより洗浄液を用いた異物の拭取りと湿気の拭取りとを被処理体に連続して行うため、異物拭取り用のシートと湿気拭取り用のシートとを別個に準備する場合に比べて、ランニングコストが低減される。したがって、低コストに被処理体への異物の再付着を防止することが可能になる。
そのことに加えて、第1の発明によると、長尺シートの第1押付けヘッドによる被処理体への押付面と第2押付けヘッドによる被処理体への押付面とがシート反転手段により反対面となることにより、長尺シートの一方面と他方面とが洗浄液を用いた異物の拭取りと湿気の拭取りとで使い分けられるため、1本の長尺シートにより洗浄液を用いた異物の拭取りと湿気の拭取りとを被処理体に良好に行える。
すなわち、洗浄液が供給される前の乾燥状態の長尺シートを第2押付けヘッドにより被処理体に押し付けて摺動させる場合には、長尺シートは第2押付けヘッドを経た後に第1押付けヘッドに送られることとなる。この場合において、第1押付けヘッドにより長尺シートで拭き取りきれなかった異物を第2押付けヘッドにより長尺シートで湿気と共に拭き取ったとしても、その長尺シートが後に第1押付けヘッドに送られて異物を拭き取る際に、その長尺シートの異物拭き取り面は反転後の未使用面であるため、第2押付けヘッドにより長尺シートに先に拭き取った異物が被処理体に転写されて再付着することがない。一方、第1押付けヘッドを経て含浸した洗浄液を乾燥させた状態の長尺シートを第2押付けヘッドにより被処理体に押し付けて摺動させる場合には、長尺シートは第1押付けヘッドを経た後に第2押付けヘッドに送られることとなる。この場合において、第2押付けヘッドにより長尺シートで湿気を拭き取る際に、その長尺シートの湿気拭取り面は反転後の未使用面であるため、第1押付けヘッドにより長尺シートに先に拭き取った異物が被処理体に転写されて再付着することがない。したがって、いずれの場合にも、1本の長尺シートにより洗浄液を用いた異物の拭取りと湿気の拭取りとを被処理体に良好に行える。
第2の発明によると、表面粗さが小さい方の長尺シート面により被処理体に付着した異物を拭き取るため、例えば端子パターンなどの微細な段差にも洗浄液が浸透し、被処理体を高品位に拭取り清掃することが可能になる。さらに、異物を拭き取る長尺シート面の表面粗さが小さいと、長尺シート面と被処理体表面との間の摩擦抵抗が比較的高くなるが、その摩擦抵抗は長尺シートが洗浄液を含浸していることにより低減される。そのため、長尺シートで被処理体に付着した異物を拭き取ることにより、被処理体が所定の位置からずれること及び被処理体表面が傷付くことが防止されると共に、その摩擦による静電気の発生が低減される。また、表面粗さが大きい方の長尺シート面で被処理体の湿気を拭き取るため、乾燥状態であってもその長尺シート面と被処理体表面との摩擦抵抗が比較的低く、被処理体が所定の位置からずれること及び被処理体表面が傷付くことが防止されると共に、その摩擦による静電気の発生が低減される。
第3の発明によると、シート反転手段が一対のガイドローラによる簡素な構成で実現されるため、拭取り清掃装置の構成を簡略化することが可能になる。
ところで、被処理体の裏面に付着した異物は、被処理体の表面に実装部品を実装する場合にその接続に直接は関与しないが、被処理体表面への実装部品の実装はその裏面を支持して行われるため、被処理体と実装部品との平行度に誤差が生じ、実装部品が被処理体に接続不良となる虞がある。
これに対して、第4の発明によると、被処理体の表面及び裏面の両面において並行して、洗浄液を用いた異物の拭取り及び湿気の拭取りを連続して行うことが可能になるため、被処理体の両面を効率良く拭取り清掃することが可能になる。そのことにより、被処理体の裏面に異物が付着していることで被処理体裏面を支持して行われる実装部品の実装に際して実装部品の接続に悪影響が及ぼされることが防止され、被処理体表面に実装部品をより確実に接続することが可能になる。さらに、清掃作業位置における搬送手段上の被処理体に対して上方と下方とで対称となる同様の構成を有しているので、拭取り清掃装置を簡単な構成で実現できる。
第6の発明によると、長尺シートの第2押付けヘッドによる被処理体への押付面とは反対側の面を第1押付けヘッドによって被処理体に摺動させることにより、第1押付けヘッドにより長尺シートで拭き取れなかった異物が第2押付けヘッドにより長尺シートで湿気と共に拭き取られたとしても、その長尺シートが後に第1押付けヘッドに送られて一方面で異物を拭き取る際に、その異物拭取り面は反転後の未使用面である。このため、長尺シートの他方面に拭き取られた異物が被処理体に転写されて再付着することがなく、1本の長尺シートにより洗浄液を用いた異物の拭取りと湿気の拭取りとを被処理体に良好に行える。
第7の発明によっても、第1押付けヘッドを経た後に反転させると共に洗浄液を乾燥させた状態の長尺シートを第2押付けヘッドにより被処理体に摺動させることにより、長尺シートの一方面で湿気を拭き取る際に、その湿気拭取り面は反転後の未使用面である。このため、長尺シートの他方面に拭き取った異物が被処理体に転写されて再付着することがなく、1本の長尺シートにより洗浄液を用いた異物の拭取りと湿気の拭取りとを被処理体に良好に行える。
本発明によれば、洗浄液が含浸した長尺シートにより被処理体に付着した異物を拭き取った後、乾燥状態にある上記長尺シートにより異物拭取り後の被処理体の湿気を拭き取るので、低コストに被処理体への異物の再付着を防止することができる。これにより、例えば表示パネルの端子部を拭取り清掃する場合には、表示パネルに実装されるICチップや配線基板などの実装部品とパネル端子部との良好な接続を実現でき、その結果、表示装置の製造歩留りを向上させることができる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の各実施形態に限定されるものではない。
《発明の実施形態1》
本実施形態の拭取り清掃装置は、例えば、液晶表示パネル、有機EL(ElectroLuminescence)表示パネル、プラズマ表示パネルなどの表示パネルや配線基板などの板状の被処理体における端子部に付着したパーティクルなどの異物をシートで拭き取って清掃する装置である。本実施形態では、被処理体として、縁部の一辺側に端子部が形成された液晶表示パネルを例に挙げて説明する。
本実施形態の拭取り清掃装置は、例えば、液晶表示パネル、有機EL(ElectroLuminescence)表示パネル、プラズマ表示パネルなどの表示パネルや配線基板などの板状の被処理体における端子部に付着したパーティクルなどの異物をシートで拭き取って清掃する装置である。本実施形態では、被処理体として、縁部の一辺側に端子部が形成された液晶表示パネルを例に挙げて説明する。
<液晶表示パネルの構成>
液晶表示パネルPの全体斜視図を図3に示す。
液晶表示パネルPの全体斜視図を図3に示す。
液晶表示パネルPは、TFT(Thin Film Transistor)などが設けられたTFT基板1と、カラーフィルタなどが設けられたカラーフィルタ基板2とが、液晶層3を封入する枠状のシール材4を介して貼り合わされた構造を有する。TFT基板1は、縁部の一辺側がカラーフィルタ基板2よりも突出し、その突出部分が端子部(以下、パネル端子部ともいう)1tを構成している。このパネル端子部1tは、カラーフィルタ基板2側の表面が端子形成面となっており、図示は省略するが、その端子形成面にICチップ及び配線基板に接続するための複数の端子が外部に露出して形成されている。
<拭取り清掃装置の概略構成>
本実施形態に係る拭取り清掃装置Sの全体斜視図を図1に示す。
本実施形態に係る拭取り清掃装置Sの全体斜視図を図1に示す。
拭取り清掃装置Sは、液晶表示パネル(以下、単に表示パネルという)Pを保持しながら搬送する搬送手段と、搬送手段上の表示パネルPの端子部1tを拭取り清掃する拭取り清掃ユニット15とを備えている。
<搬送手段の構成>
搬送手段は、拭取り清掃ユニット15側に端子部1tが張り出すように端子形成面を上側にして表示パネルPが載置される搬送ステージ10と、搬送ステージ10を搬送経路(以下、ステージ搬送経路という)に沿って水平移動させる水平移動機構(不図示)と、搬送ステージ10を昇降移動させる昇降移動機構(不図示)とを備えている。
搬送手段は、拭取り清掃ユニット15側に端子部1tが張り出すように端子形成面を上側にして表示パネルPが載置される搬送ステージ10と、搬送ステージ10を搬送経路(以下、ステージ搬送経路という)に沿って水平移動させる水平移動機構(不図示)と、搬送ステージ10を昇降移動させる昇降移動機構(不図示)とを備えている。
搬送ステージ10は、真空ポンプなどの真空吸引手段と接続される複数の吸着口(不図示)が上面に形成されており、真空吸引手段の駆動により、載置された表示パネルPを吸着保持するように構成されている。この搬送ステージ10は、水平移動機構及び昇降移動機構と着脱可能となっており、表示パネルPのサイズに応じて適切な大きさの搬送ステージ10を採用することが可能になっている。
水平移動機構は、上面に載置した表示パネルPを、搬送ステージ10外側に張り出した端子部1tが拭取り清掃ユニット15による清掃作業位置(後述する第1押付けヘッド又は第2押付けヘッドに重なる位置)を通過するようにその端子部1tの張出し方向(以下、端子部張出し方向という)に対して直交する搬送方向に沿って移動可能に構成されている。図1中の矢印5は、搬送ステージ10の移動方向、つまり表示パネルPの搬送方向(以下、パネル搬送方向という)を示している。一方、昇降移動機構は、搬送ステージ10上に保持した表示パネルPの端子部1t(TFT基板1)の厚さに応じてその高さ位置を拭取り清掃ユニット15に対して所定の位置に調節するように構成されている。
<拭取り清掃ユニット15の概略構成>
拭取り清掃ユニット15は、清掃作業位置においてステージ搬送経路の側方に近接して設けられ、表示パネルPの端子部1t表面を拭取り清掃する表面清掃機構20Aと、表示パネルPの端子部1t裏面を拭取り清掃する裏面清掃機構20Bとにより構成されている。
拭取り清掃ユニット15は、清掃作業位置においてステージ搬送経路の側方に近接して設けられ、表示パネルPの端子部1t表面を拭取り清掃する表面清掃機構20Aと、表示パネルPの端子部1t裏面を拭取り清掃する裏面清掃機構20Bとにより構成されている。
<表面清掃機構20Aの構成>
表面清掃機構20Aは、全体としてステージ搬送経路側方の上方に設けられており、清掃作業位置におけるステージ搬送経路の上方に接近配置された第1押付けヘッド23及び第2押付けヘッド25と、第2押付けヘッド25の後側上方に設けられた繰出しリール21と、第1押付けヘッド23の後側上方に設けられた巻取りリール22と、第1押付けヘッド23及び巻取りリール22の間に設けられた第1反転ガイドローラ26aと、第2押付けヘッド25の後側で繰出しリール21の下方に設けられた第2反転ガイドローラ26bと、繰出しリール21及び第2反転ガイドローラ26bの間に設けられた複数の第1ガイドローラ27と、第1押付けヘッド23の後側で巻取りリール22の下方に設けられた第2ガイドローラ28とを備えている。
表面清掃機構20Aは、全体としてステージ搬送経路側方の上方に設けられており、清掃作業位置におけるステージ搬送経路の上方に接近配置された第1押付けヘッド23及び第2押付けヘッド25と、第2押付けヘッド25の後側上方に設けられた繰出しリール21と、第1押付けヘッド23の後側上方に設けられた巻取りリール22と、第1押付けヘッド23及び巻取りリール22の間に設けられた第1反転ガイドローラ26aと、第2押付けヘッド25の後側で繰出しリール21の下方に設けられた第2反転ガイドローラ26bと、繰出しリール21及び第2反転ガイドローラ26bの間に設けられた複数の第1ガイドローラ27と、第1押付けヘッド23の後側で巻取りリール22の下方に設けられた第2ガイドローラ28とを備えている。
繰出しリール21及び巻取りリール22は、テープ状の長尺シート6を送給するシート送給手段を構成している。繰出しリール21は、未使用の長尺シート6が巻回された状態でその回転軸がパネル搬送方向に平行な方向となるように保持され、長尺シート6を繰り出すようになっている。巻取りリール22は、繰出しリール21から繰り出された後に第1押付けヘッド23及び第2押付けヘッド25を経た使用済みの長尺シート6を巻き取り可能に繰出しリール21と回転軸が平行となるように保持されている。
長尺シート6は、いわゆる綾織りやとも織りなどの技法で織られた液体含浸性を有する織布であり、織り目の粗さが一方面と他方面とで異なっている。そのことにより、長尺シート6は、織り目の細かい一方面(図1中白抜き表面)の表面粗さが、織り目の粗い他方面(図1中斜線表面)の表面粗さよりも小さくなっている。なお、長尺シート6は、織布であるとしているが、合成繊維を編み込んだ編布や不織布などの布であってもよく、液体含浸性を有するシートであればよい。
第1押付けヘッド23及び第2押付けヘッド25は、その先端部がステージ搬送経路側に向くようにパネル搬送方向に並設され、第1押付けヘッド23がパネル搬送方向上流側、第2押付けヘッド25がパネル搬送方向下流側にそれぞれ設けられている。さらに、第1押付けヘッド23及び第2押付けヘッド25は、それぞれ独立して上下動可能に構成され、パネル端子部1tの清掃作業前においては清掃作業位置での搬送ステージ10上の表示パネルPの端子部1t表面と同じ高さ位置から上方に離間した初期位置に配置されている。そして、第1押付けヘッド23及び第2押付けヘッド25は、下方移動によりパネル端子部1tに所定の押付力で長尺シート6を押し付けるようになっている。
これら第1押付けヘッド23及び第2押付けヘッド25の上部には、両側面が上方に突出して長尺シート6におけるシート幅方向のずれを規制する一対のガイド片(図2に示す)23g,25gが構成されている。また、第1押付けヘッド23の側部には、長尺シート6に洗浄液を含浸供給する洗浄液供給手段である洗浄液供給ノズル24が接続されている。
この洗浄液供給ノズル24は、洗浄液として、有機溶剤やオゾン液を第1押付けヘッド23に供給する。この第1押付けヘッド23の上面23sには、洗浄液供給ノズル24から供給された洗浄液を当該ヘッド内部に形成された流路を介し長尺シート6に向けて吐出する吐出口23hが形成されている。そして、第1押付けヘッド23の上面23sを通過する長尺シート6に対し、洗浄液供給ノズル24により、パネル端子部1tとの接触面側にその反対面側から有機溶剤を含浸させて供給するようになっている。ここで、洗浄液として、エタノールやIPA(Isopropyl Alcohol)などの有機溶剤を使用すると、パネル端子部1t上の塵埃やガラス片だけでなく、油分が付着している場合にも効果的に除去することが可能となる。
第1反転ガイドローラ26a及び第2反転ガイドローラ26bは、長尺シート6の第2押付けヘッド25によるパネル端子部1tへの押付面とは反対側の面が第1押付けヘッド23によるパネル端子部1tへの押付面となるように長尺シート6を反転させるシート反転手段26を構成している。これら第1反転ガイドローラ26a及び第2反転ガイドローラ26bは、ステージ搬送経路側に向かって互いの間隔が広がるハの字状に配置されている。
そして、繰出しリール21から繰り出される長尺シート6は、各第1ガイドローラ27を介して、第2押付けヘッド25に所定のテンションを保った状態で掛け渡されるように掛け回される。第2押付けヘッド25には、長尺シート6がヘッド上部からヘッド先端部及びヘッド下部を順に経て送られるように、且つ表面粗さが小さい方の長尺シート面が外側面、つまりパネル端子部1tへの押付面となるように端子部張り出し方向に平行に巻き掛けられる。第2押付けヘッド25に巻き掛けられてヘッド後方に折り返された長尺シート6は、第2押付けヘッド23によるパネル端子部1tへの押付面を上側に向けた状態で第1反転ガイドローラ26aに掛け渡すように第2反転ガイドローラ26bに掛け回される。第2反転ガイドローラ26bから第1反転ガイドローラ26aに掛け回された長尺シート6は、その上側面と下側面とを反転させて第1押付けヘッド23に掛け渡すように掛け回される。第1押付けヘッド23には、長尺シート6がヘッド上部からヘッド先端部及びヘッド下部を順に経て送られるように、且つシート反転手段26により反転された表面粗さが大きい方の長尺シート面が外側面(パネル端子部1tへの押付面)となるように端子部張り出し方向に平行に巻き掛けられる。第1押付けヘッド23に巻き掛けられてヘッド後方に折り返された長尺シート6は、第2ガイドローラ28を介して、巻取りリール22に所定のテンションを保った状態で巻き取られるように巻回される。
<表面清掃機構20Aの作動>
上記構成の表面清掃機構20Aでは、繰出しリール21及び巻取りリール22を駆動させることにより、長尺シート6が、各第1ガイドローラ27及び第2押付けヘッド25を順に経て送られ、続いて、第2反転ガイドローラ26b及び第1反転ガイドローラ26aに順に経て送られるその過程で一方面と他方面とが反転され、その後、第1押付けヘッド23及び第2ガイドローラ28を順に経て送られて、巻取りリール22に巻き取られるように走行する。なお、図1中において、繰出しリール21、巻取りリール22、ガイドローラ26a,26b,27,28側方の矢印は、各々の回転方向を示している。そして、搬送ステージ10上の表示パネルPが搬送により清掃作業位置を通過する過程において、上述のように長尺シート6を走行させた状態で、第1押付けヘッド23を下方移動させ、洗浄液が含浸した長尺シート6の一方面(表面粗さが小さい方の面)をパネル端子部1tに押付けて摺動させることにより、そのパネル端子部1t表面の異物を拭き取る。さらに、第2押付けヘッド25を下方移動させ、洗浄液供給前のシート走行方向上流側の乾燥状態にある長尺シート6の他方面(表面粗さが大きい方の面)を異物拭取り後のパネル端子部1t表面に押付けて摺動させることにより、そのパネル端子部1t表面の湿気を拭き取るようになっている。
上記構成の表面清掃機構20Aでは、繰出しリール21及び巻取りリール22を駆動させることにより、長尺シート6が、各第1ガイドローラ27及び第2押付けヘッド25を順に経て送られ、続いて、第2反転ガイドローラ26b及び第1反転ガイドローラ26aに順に経て送られるその過程で一方面と他方面とが反転され、その後、第1押付けヘッド23及び第2ガイドローラ28を順に経て送られて、巻取りリール22に巻き取られるように走行する。なお、図1中において、繰出しリール21、巻取りリール22、ガイドローラ26a,26b,27,28側方の矢印は、各々の回転方向を示している。そして、搬送ステージ10上の表示パネルPが搬送により清掃作業位置を通過する過程において、上述のように長尺シート6を走行させた状態で、第1押付けヘッド23を下方移動させ、洗浄液が含浸した長尺シート6の一方面(表面粗さが小さい方の面)をパネル端子部1tに押付けて摺動させることにより、そのパネル端子部1t表面の異物を拭き取る。さらに、第2押付けヘッド25を下方移動させ、洗浄液供給前のシート走行方向上流側の乾燥状態にある長尺シート6の他方面(表面粗さが大きい方の面)を異物拭取り後のパネル端子部1t表面に押付けて摺動させることにより、そのパネル端子部1t表面の湿気を拭き取るようになっている。
<裏面清掃機構20Bの構成・作動>
裏面清掃機構20Bは、全体としてステージ搬送経路側方の下方に設けられており、表面清掃機構20Aと同様な繰出しリール21、巻取りリール22、第1押付けヘッド23、洗浄液供給ノズル24、第2押付けヘッド25、シート反転手段26(第1反転ガイドローラ26a及び第2反転ガイドローラ26b)、第1ガイドローラ27及び第2ガイドローラ28を備え、これらが清掃作業位置における搬送ステージ10上の表示パネルPに対して上方と下方とで表面清掃機構20Aに対称となるように設けられている。ここで、裏面清掃機構20Bにおける表面清掃機構20Aと共通の要素については、図1中に同じ符合を付して、その説明を省略する。
裏面清掃機構20Bは、全体としてステージ搬送経路側方の下方に設けられており、表面清掃機構20Aと同様な繰出しリール21、巻取りリール22、第1押付けヘッド23、洗浄液供給ノズル24、第2押付けヘッド25、シート反転手段26(第1反転ガイドローラ26a及び第2反転ガイドローラ26b)、第1ガイドローラ27及び第2ガイドローラ28を備え、これらが清掃作業位置における搬送ステージ10上の表示パネルPに対して上方と下方とで表面清掃機構20Aに対称となるように設けられている。ここで、裏面清掃機構20Bにおける表面清掃機構20Aと共通の要素については、図1中に同じ符合を付して、その説明を省略する。
このような構成の裏面清掃機構20Bでは、搬送ステージ10上の表示パネルPが搬送により清掃作業位置を通過する過程において、表面清掃機構20Aと同期して、長尺シート6を走行させた状態で、第1押付けヘッド23を上方移動させ、洗浄液が含浸した長尺シート6の一方面(表面粗さが小さい方の面)をパネル端子部1tに押付けて摺動させることにより、そのパネル端子部1t裏面の異物を拭き取る。さらに、第2押付けヘッド25を上方移動させ、洗浄液供給前のシート走行方向上流側の乾燥状態にある長尺シート6の他方面(表面粗さが大きい方の面)を異物拭取り後のパネル端子部1t表面に押付けて摺動させることにより、そのパネル端子部1t裏面の湿気を拭き取るようになっている。
−清掃方法−
次に、上記拭取り清掃装置Sを用いて表示パネルPの端子部1tを拭取り清掃する方法について、図1及び図2を参照しながら説明する。図2は、拭取り清掃装置Sの拭取り清掃動作を示す斜視図である。なお、図2では、裏面清掃機構20Bの構成を省略している。また、図2中の長尺シート6上の矢印はシート走行方向を示している。
次に、上記拭取り清掃装置Sを用いて表示パネルPの端子部1tを拭取り清掃する方法について、図1及び図2を参照しながら説明する。図2は、拭取り清掃装置Sの拭取り清掃動作を示す斜視図である。なお、図2では、裏面清掃機構20Bの構成を省略している。また、図2中の長尺シート6上の矢印はシート走行方向を示している。
まず、搬送ロボットなどにより、図1に示すように、パネル搬送方向上手側の初期位置に配置された状態の搬送ステージ10上に、被処理体である表示パネルPを拭取り清掃ユニット15側に端子部1tが張り出すように載置し、その後、この搬送ステージ10に接続された真空吸引手段を駆動させることにより、搬送ステージ10と表示パネルPとの間の空気を各吸着口から排出し、搬送ステージ10表面に表示パネルPを吸着保持させる。この段階では、繰出しリール21及び巻取りリール22は駆動しておらず、長尺シート6は走行状態でない。
次いで、昇降移動機構を駆動することにより、搬送ステージ10上の表示パネルPの高さ位置をパネル端子部1tの厚さに応じて所定の位置に調整する。それと共に、水平移動機構を駆動することにより、搬送ステージ10上に保持した表示パネルPを、その端子部1tが各第1押付けヘッド23に重なる清掃作業位置まで搬送する。
そして、搬送ステージ10外側に張り出したパネル端子部1tにおける搬送方向上流側の端部の上下に各第1押付けヘッド23が位置したとき、両清掃機構20A,20Bにおいて、繰出しリール21及び巻取りリール22を駆動させることにより、長尺シート6を第2押付けヘッド25及び第1押付けヘッド23に順に掛け渡すように走行させる。このシート走行動作により、繰出しリール21から繰り出された長尺シート6は、洗浄液が供給される前の乾燥状態で第2押付けヘッド25に掛け渡され、第2押付けヘッド25を経た後に第1押付けヘッド23に掛け渡され、その際にシート反転手段26によりその一方面と他方面とが反転し、第1押付けヘッド23に掛け渡されると共に該ヘッド上面23s又はヘッド下面において洗浄液が含浸供給され、第1押付けヘッド23を経た後に巻取りリール22に巻き取られる。
また、このとき、表面清掃機構20Aの第1押付けヘッド23を下方移動させ、それと同期して、裏面清掃機構20Bの第1押付けヘッド23を上方移動させる。そのことにより、両第1押付けヘッド23によってパネル端子部1tを挟み込んでその表面及び裏面に洗浄液が含浸した長尺シート6をそれぞれ押し付ける。このように走行状態の長尺シート6をパネル端子部1tの両面に押し付けた状態で、続けて水平移動機構を駆動させることにより、搬送ステージ10上の表示パネルPを搬送経路に沿ってさらに搬送して、パネル端子部1tに第1押付けヘッド23を沿わせる。その過程において、洗浄液が含浸した長尺シート6の一方面(表面粗さが小さい方の面)をパネル端子部1tの両面に摺動させることによりそのパネル端子部1t両面の異物を拭き取る。
さらに、異物拭取り後のパネル端子部1t部分の上下に各第2押付けヘッド25が位置したとき、図2に示すように、表面清掃機構20Aの第2押付けヘッド25を下方移動させ、それと同期して、裏面清掃機構20Bの第2押付けヘッド25を上方移動させる。そのことにより、両第2押付けヘッド25によってパネル端子部1tを挟み込んでその表面及び裏面に洗浄液供給前の乾燥状態にある長尺シート6を押し付ける。そして、走行状態の長尺シート6をパネル端子部1tの両面に押し付けた状態で、各第2押付けヘッド25も各第1押付けヘッド23と共にそのパネル搬送方向下流側でパネル端子部1tに沿わせる。その過程において、洗浄液供給前の乾燥状態にある長尺シート6の他方面(表面粗さが大きい方の面)を異物拭取り後の湿潤状態にあるパネル端子部1tの両面に摺動させることによりそのパネル端子部1t両面の湿気を拭き取る。
このように、パネル端子部1tが清掃作業位置を通過するときに、そのパネル端子部1tの表面及び裏面において並行して、異物の拭き取り及び湿気の拭き取りを順に連続して行う。そして、パネル端子部1tが清掃作業位置を通過した際に、両清掃機構20A,20Bにおいて、繰出しリール21及び巻取りリール22の駆動を停止させ、シート走行動作を止めると共に、第1押付けヘッド23及び第2押付けヘッド25をパネル端子部1tが通過した際に初期位置までそれぞれ上方移動又は下方移動させる。
その後、水平移動機構の駆動により搬送ステージ10上の表示パネルPをパネル分離位置(図1中に2点鎖線で示す位置)まで搬送し、そして、搬送ステージ10の各吸着口による表示パネルPの吸着を解除することにより、搬送ステージ10表面から表示パネルPを分離する。
以上のようにして、表示パネルPの端子部1tを拭取り清掃することができる。そして、このように拭取り清掃した表示パネルPを実装工程に搬送し、そのパネル端子部1tに対し、ICチップ51及び配線基板52などの実装部品を実装することにより、図4に示す液晶表示装置50を製造することができる。
−実施形態1の効果−
この実施形態1によると、洗浄液が含浸した長尺シート6を第1押付けヘッド23によってパネル端子部1tに押し付けて摺動させることによりそのパネル端子部1tの両面に付着した異物を拭取り清掃し、続いて、洗浄液供給前の乾燥状態にある長尺シート6を第2押付けヘッド25によって異物拭取り後の湿潤状態にあるパネル端子部1tに押し付けて摺動させることによりそのパネル端子部1tの両面の湿気を拭き取り、パネル端子部1tの表面及び裏面において並行して、洗浄液を用いた異物の拭き取り及び湿気の拭き取りを連続して行うため、パネル端子部1tの両面を効率良く拭取り清掃できる。そして、清掃工程後の次工程に表示パネルPを搬送する途中において、そのパネル端子部1tの両面に浮遊異物が再付着することを抑制できる。
この実施形態1によると、洗浄液が含浸した長尺シート6を第1押付けヘッド23によってパネル端子部1tに押し付けて摺動させることによりそのパネル端子部1tの両面に付着した異物を拭取り清掃し、続いて、洗浄液供給前の乾燥状態にある長尺シート6を第2押付けヘッド25によって異物拭取り後の湿潤状態にあるパネル端子部1tに押し付けて摺動させることによりそのパネル端子部1tの両面の湿気を拭き取り、パネル端子部1tの表面及び裏面において並行して、洗浄液を用いた異物の拭き取り及び湿気の拭き取りを連続して行うため、パネル端子部1tの両面を効率良く拭取り清掃できる。そして、清掃工程後の次工程に表示パネルPを搬送する途中において、そのパネル端子部1tの両面に浮遊異物が再付着することを抑制できる。
しかも、長尺シート6の第1押付けヘッド23によるパネル端子部1tへの押付面と第2押付けヘッド25によるパネル端子部1tへの押付面とがシート反転手段26によって反対面となることにより、長尺シート6の一方面と他方面とが洗浄液を用いた異物の拭取りと湿気の拭取りとで使い分けられる。そのことにより、第1押付けヘッド23により長尺シート6で拭き取りきれなかった異物を第2押付けヘッド25により長尺シート6で湿気と共に拭き取ったとしても、その長尺シート6が後に第1押付けヘッド23に送られて異物を拭き取る際に、その長尺シート6の異物拭き取り面は反転後の未使用面であるため、第2押付けヘッド25により長尺シート6に先に拭き取られた異物がパネル端子部1tに転写されて再付着することがない。したがって、各1本の長尺シート6により洗浄液を用いた異物の拭取りと湿気の拭取りとをパネル端子部1tの表面及び裏面に良好に行うことができる。
さらに、パネル端子部1tを拭取り清掃する際に、表面粗さが小さい方の長尺シート面によりパネル端子部1tに付着した異物を拭き取るため、端子パターンの微細な段差にも洗浄液が浸透し、端子形成面(端子部1t表面)を高品位に拭取り清掃できる。さらに、異物を拭き取る長尺シート面の表面粗さが小さいので、長尺シート面とパネル端子部1tとの間の摩擦抵抗が比較的高くなるが、その摩擦抵抗は長尺シート6が洗浄液を含浸していることにより低減される。そのため、長尺シート6でパネル端子部1tに付着した異物を拭き取ることにより、表示パネルPが所定の位置からずれること及び端子形成面が傷付くことを防止できると共に、その摩擦による静電気の発生を低減できる。また、表面粗さが大きい方の長尺シート面でパネル端子部1tの湿気を拭き取るため、乾燥状態であってもその長尺シート面とパネル端子部1tとの摩擦抵抗が比較的低く、表示パネルPが所定の位置からずれること及び端子形成面が傷付くことを防止できると共に、その摩擦による静電気の発生を低減できる。
そして、この実施形態1の拭取り清掃装置Sは、シート反転手段26が一対のガイドローラ26a,26bによる簡素な構成で実現されるため、拭取り清掃装置Sの構成を簡略化できる。さらに、清掃作業位置における搬送ステージ10上の表示パネルPに対して上方と下方とで対称となる同様の構成を有しているので、拭取り清掃装置Sを簡単な構成で実現できる。
以上により、表示パネルPの端子部1tの両面を簡単な構成で良好に拭取り清掃でき、且つその拭取り清掃後のパネル端子部1tへの異物の再付着も抑制できる。このため、表示パネルPに実装されるICチップ51や配線基板52などの実装部品とパネル端子部1tとの間に異物が介在すること、及びパネル端子部1tの裏面に異物が付着していることで表示パネルP裏面を支持して行われる実装部品51,52の実装に際して実装部品51,52の接続に悪影響が及ぼされることを抑制でき、パネル端子部1tへの実装部品51,52の良好な接続を実現できる。その結果、液晶表示装置50の製造歩留りを向上させることができる。
《発明の実施形態2》
図5は、本実施形態に係る拭取り清掃装置Sの全体斜視図である。なお、以降では、図1から図4と同じ部分については同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。
図5は、本実施形態に係る拭取り清掃装置Sの全体斜視図である。なお、以降では、図1から図4と同じ部分については同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。
上記実施形態1では、長尺シート6が第2押付けヘッド25から第1押付けヘッド23に送られるように掛け回されて、洗浄液供給前の乾燥状態にある長尺シート6を第2押付けヘッド25によって異物拭取り後のパネル端子部1tに摺動させることにより、そのパネル端子部1tの湿気を拭き取るとしたが、本実施形態では、長尺シート6が第1押付けヘッド23から第2押付けヘッド25に送られるように掛け回されて、第1押付けヘッド23を経た後に乾燥させた状態の長尺シート6を第2押付けヘッド25によって異物拭取り後のパネル端子部1tに摺動させることにより、そのパネル端子部1tの湿気を拭き取るように構成されている。
当該拭取り清掃装置Sは、第1押付けヘッド23及び第2押付けヘッド25の後側に、エアブローノズル40をそれぞれ備えている。このエアブローノズル40は、先端の吹出し口が、第1押付けヘッド23と第2押付けヘッド25との間の走行経路途中の長尺シート6表面、例えば第1押付けヘッド23によるパネル端子部1tへの押付面が上側に向いた部分に臨むように配置されており、長尺シート6が第1押付けヘッド23から第2押付けヘッド25に送られる際に、その長尺シート6に圧縮空気を吹き付けて洗浄液を乾燥させるように構成されている。
−清掃方法−
次に、上記拭取り清掃装置Sを用いて表示パネルPの端子部1tを拭取り清掃する方法について説明する。
次に、上記拭取り清掃装置Sを用いて表示パネルPの端子部1tを拭取り清掃する方法について説明する。
まず、上記実施形態1と同様に、パネル搬送方向上手側の初期位置に配置された状態の搬送ステージ10表面に表示パネルPを吸着保持させ、次いで、昇降移動機構及び水平移動機構を駆動することにより、搬送ステージ10上の表示パネルPの高さ位置をパネル端子部1tの厚さに応じて所定の位置に調整すると共に、搬送ステージ10上に保持した表示パネルPを、その端子部1tが清掃作業位置を通過するように搬送する。
そして、パネル端子部1tが清掃作業位置を通過する過程において、搬送ステージ10外側に張り出したパネル端子部1tにおける搬送方向上流側の端部の上下に各第1押付けヘッド23が位置したとき、両清掃機構10A,20Bにおいて、繰出しリール21及び巻取りリール22を駆動させることにより長尺シート6を第1押付けヘッド25及び第2押付けヘッド23に順に掛け渡すように走行させる。このシート走行動作により、繰出しリール21から繰り出された長尺シート6は、第1押付けヘッド23に掛け渡されると共に該ヘッド上面23s又はヘッド下面において洗浄液が含浸供給され、第1押付けヘッド23を経た後に第2押付けヘッド25に掛け渡される際に、シート反転手段26によりその一方面と他方面とが反転すると共に、エアブローノズル40による圧縮空気の吹き付けにより洗浄液が乾燥し、第2押付けヘッド25を経た後に巻取りリール22に巻き取られる。また、このとき、各第1押付けヘッド23を駆動(下方移動又は下方移動)させることにより、両第1押付けヘッド23によってパネル端子部1tを挟み込んでその表面及び裏面に長尺シート6を押し付ける。
さらに、パネル端子部1tにおける搬送方向上流側の端部の上下に各第2押付けヘッド25が位置したとき、これら各第2押付けヘッド25を駆動(下方移動又は上方移動)させることにより、両第2押付けヘッド25によってパネル端子部1tを挟み込んでその表面及び裏面に洗浄液が乾燥させた後の長尺シート6を押し付ける。
このようにして、表示パネルPの搬送過程において、洗浄液が含浸した長尺シート6の一方面(表面粗さが小さい方の面)をパネル端子部1t両面に摺動させることによりそのパネル端子部1t両面の異物を拭き取り、続いて、乾燥状態の長尺シート6の他方面(表面粗さが大きい方の面)を異物拭取り後の湿潤状態にあるパネル端子部1t両面に摺動させることによりそのパネル端子部1t両面の湿気を拭き取る。
その後、上記実施形態1と同様に、両清掃機構20A,20Bにおいて、繰出しリール21及び巻取りリール22の駆動を停止させ、シート走行動作を止めると共に、第1押付けヘッド23及び第2押付けヘッド25を初期位置までそれぞれ移動させる。そして、水平移動機構の駆動により搬送ステージ10上の表示パネルPをパネル分離位置(図5中に2点鎖線で示す位置)まで搬送し、搬送ステージ10の各吸着口による表示パネルPの吸着を解除することにより、搬送ステージ10表面から表示パネルPを分離する。
以上のようにして、表示パネルPの端子部1tを拭取り清掃することができ、その後、表示パネルPを実装工程に搬送し、そのパネル端子部1tに対し、ICチップ51及び配線基板52などの実装部品を実装することにより、図4に示す液晶表示装置50を製造することができる。
−実施形態2の効果−
この実施形態2によると、長尺シート6は第1押付けヘッド23を経た後に第2押付けヘッド25に送られることとなるが、第1押付けヘッド23から第2押付けヘッド25に掛け渡す際に長尺シート6の洗浄液が乾燥するので、第2押付けヘッド25により異物拭取り後のパネル端子部1tに乾燥状態の長尺シート6を摺動させることができ、そのパネル端子部1tの湿気を拭き取ることができる。
この実施形態2によると、長尺シート6は第1押付けヘッド23を経た後に第2押付けヘッド25に送られることとなるが、第1押付けヘッド23から第2押付けヘッド25に掛け渡す際に長尺シート6の洗浄液が乾燥するので、第2押付けヘッド25により異物拭取り後のパネル端子部1tに乾燥状態の長尺シート6を摺動させることができ、そのパネル端子部1tの湿気を拭き取ることができる。
そして、シート反転手段26により長尺シート6の一方面と他方面とを使い分けて洗浄液を用いた異物の拭き取りと湿気の拭き取りとを行うため、第2押付けヘッド25により長尺シート6で湿気を拭き取る際に、その長尺シート6の湿気拭き取り面は反転後の未使用面であり、第1押付けヘッド23により長尺シート6で先に拭き取った異物がパネル端子部1tに転写されて再付着することがない。したがって、各1本の長尺シート6によりパネル端子部1tの表面及び裏面を効率良く拭取り清掃でき、清掃工程後の次工程に表示パネルPを搬送する途中において、そのパネル端子部1tに浮遊異物が再付着することを防止できる。このため、上記実施形態1と同様の効果を得ることができ、液晶表示装置50の製造歩留りを向上させることができる。
《その他の実施形態》
上記実施形態1では、シート反転手段26を備え、長尺シート6が第2押付けヘッド25から第1押付けヘッド23に掛け渡される際に反転させるよう構成されているとしたが、本発明はこれに限られず、シート反転手段26を備えず、長尺シート6の第1押付けヘッド23によるパネル端子部1tへの押付面と第2押付けヘッド25によるパネル端子部1tへの押付面とが同一面となっていてもよい。このように構成されていても、洗浄液が含浸した長尺シート6によりそのパネル端子部1tに付着した異物を拭取り清掃し、続いて、乾燥状態の長尺シート6により異物拭取り後のパネル端子部1tの湿気を拭き取るため、この清掃工程後の次工程に表示パネルPを搬送する途中においてそのパネル端子部1tに浮遊異物が再付着することを抑制できる。
上記実施形態1では、シート反転手段26を備え、長尺シート6が第2押付けヘッド25から第1押付けヘッド23に掛け渡される際に反転させるよう構成されているとしたが、本発明はこれに限られず、シート反転手段26を備えず、長尺シート6の第1押付けヘッド23によるパネル端子部1tへの押付面と第2押付けヘッド25によるパネル端子部1tへの押付面とが同一面となっていてもよい。このように構成されていても、洗浄液が含浸した長尺シート6によりそのパネル端子部1tに付着した異物を拭取り清掃し、続いて、乾燥状態の長尺シート6により異物拭取り後のパネル端子部1tの湿気を拭き取るため、この清掃工程後の次工程に表示パネルPを搬送する途中においてそのパネル端子部1tに浮遊異物が再付着することを抑制できる。
上記各実施形態では、搬送ステージ10上の表示パネルPを搬送する過程で、パネル端子部1tに付着した異物の拭き取りと、異物拭取り後のパネル端子部1tにおける湿気の拭き取りとを行うとしたが、本発明はこれに限られない。例えば、拭取り清掃ユニット15は、第1押付けヘッド23及び第2押付けヘッド25を反パネル搬送方向に一体的に移動可能に構成されており、これら第1押付けヘッド23及び第2押付けヘッド25を移動させる過程で、パネル端子部1tに対して異物の拭き取り及び湿気の拭き取りを行うようにしてもよい。さらには、表示パネルPの搬送方向への移動と第1押付けヘッド23及び第2押付けヘッド25の反パネル搬送方向への移動との両方を行う過程で、パネル端子部1tに対して異物の拭き取り及び湿気の拭き取りを行うようにしても構わない。
上記各実施形態において、シート反転手段26は、第1反転ガイドローラ26a及び第2反転ガイドローラ26bで構成されているとしたが、本発明はこれに限られず、シート反転手段26は、長尺シート6の第1押付けヘッド23によるパネル端子部1tへの押付面と第2押付けヘッド25によるパネル端子部1tへの押付面とが反対面となるように長尺シート6を反転させるように構成されていればよい。例えば、シート反転手段26は、第1押付けヘッド23又は第2押付けヘッド25の後側に設けられた1つの反転ガイドローラで構成され、第1押付けヘッド23又は第2押付けヘッド25と反転ガイドローラとの間のシート走行経路で長尺シート6が捻って反転させるようにしてもよい。このように構成すれば、シート反転手段26を1つのガイドローラで構成できるため、拭取り清掃装置Sの構成をさらに簡略化してコンパクトにできる。
上記各実施形態において、搬送手段として搬送ステージ10を備える構成を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限られず、搬送手段は、表示パネルPを上下で挟みつつ回転することで保持しながら搬送する複数の搬送ローラにより構成されていもよく、表示パネルPを支持しながら搬送するアームを有する搬送機構などの公知の搬送手段を採用することが可能である。
上記各実施形態では、拭取り清掃ユニット15は表面清掃機構20A及び裏面清掃機構20Bを備えているとしたが、本発明はこれに限られず、表面清掃機構A及び裏面清掃機構Bの一方のみで構成されていてもよい。例えば、拭取り清掃ユニット15は表面清掃機構20Aのみで構成されており、パネル端子部1tの表面だけを拭取り清掃するように構成されていてもよい。また、パネル端子部1tの表面を拭取り清掃した後、表示パネルPの表面と裏面とを反転させ、続いてパネル端子部1tの裏面を拭取り清掃するように構成されていてもよい。
以上説明したように、本発明は、拭取り清掃装置及び拭取り清掃方法について有用であり、特に、低コストに被処理体への異物の再付着を抑制することが要望される拭取り清掃装置及び拭取り清掃方法に適している。
S 拭取り清掃装置
P 液晶表示パネル(被処理体)
5 被処理体の搬送方向
6 長尺シート
10 搬送ステージ(搬送手段)
21 繰出しリール(シート送給手段)
22 巻取りリール(シート送給手段)
23 第1押付けヘッド
24 洗浄液供給ノズル(洗浄液供給手段)
25 第2押付けヘッド
26 シート反転手段
26a 第1反転ガイドローラ
26b 第2反転ガイドローラ
P 液晶表示パネル(被処理体)
5 被処理体の搬送方向
6 長尺シート
10 搬送ステージ(搬送手段)
21 繰出しリール(シート送給手段)
22 巻取りリール(シート送給手段)
23 第1押付けヘッド
24 洗浄液供給ノズル(洗浄液供給手段)
25 第2押付けヘッド
26 シート反転手段
26a 第1反転ガイドローラ
26b 第2反転ガイドローラ
Claims (7)
- 被処理体を清掃作業位置まで搬送経路に沿って搬送する搬送手段と、
上記搬送経路側方の上方に設けられ、テープ状の長尺シートを送給するシート送給手段と、
上記清掃作業位置の搬送経路上方に上下動可能に接近配置され、上記シート送給手段から送給された長尺シートを下方移動により上記搬送手段上の被処理体に押し付ける第1押付けヘッドと、
上記第1押付けヘッド近傍で上記長尺シートに洗浄液を含浸供給する洗浄液供給手段とを備え、
上記被処理体の搬送方向への移動及び上記第1押付けヘッドの上記被処理体の反搬送方向への移動の少なくとも一方の動作を行う過程で、上記洗浄液が含浸した長尺シートを上記被処理体に所定の押付力で摺動させることにより、該被処理体に付着した異物を拭き取る拭取り清掃装置であって、
上記第1押付けヘッドに対して上記被処理体の搬送方向下流側に上下動可能に並設され、上記長尺シートを下方移動により上記被処理体に押し付ける第2押付けヘッドと、
上記長尺シートの上記第1押付けヘッドによる上記被処理体への押付面と上記第2押付けヘッドによる上記被処理体への押付面とが反対面となるように上記長尺シートを反転させるシート反転手段とを備え、
上記被処理体の搬送方向への移動及び上記第2押付けヘッドの上記被処理体の反搬送方向への移動の少なくとも一方の動作を行う過程で、上記洗浄液供給手段により洗浄液が供給される前の乾燥状態の上記長尺シート又は上記第1押付けヘッドを経て含浸した洗浄液を乾燥させた状態の上記長尺シートを上記被処理体に所定の押圧力で摺動させることにより、該被処理体の湿気を拭き取るように構成されている
ことを特徴とする拭取り清掃装置。 - 請求項1に記載の拭取り清掃装置において、
上記長尺シートは、表面粗さが一方面と他方面とで異なる布で構成されており、
表面粗さが小さい方の長尺シート面により上記被処理体に付着した異物を拭き取り、表面粗さが大きい方の長尺シート面により上記被処理体の湿気を拭き取るように構成されている
ことを特徴とする拭取り清掃装置。 - 請求項1又は2に記載の拭取り清掃装置において、
上記第1押付けヘッド及び第2押付けヘッドには、ヘッド上部からヘッド先端部及びヘッド下部を順に経て送られるように上記長尺シートが巻き掛けられ、
上記シート反転手段は、上記第1押付けヘッド後側に設けられた第1反転ガイドローラと、上記第2押付けヘッド後側に設けられた第2反転ガイドローラとを備え、該第1反転ガイドローラ及び第2反転ガイドローラが上記搬送手段側に向かって互いの間隔が広がるハの字状に配置されており、該第1反転ガイドローラ及び第2反転ガイドローラにより上記第1押付けヘッド及び第2押付けヘッドの一方から他方に上記長尺シートを反転させて掛け渡すように構成されている
ことを特徴とする拭取り清掃装置。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の拭取り清掃装置において、
上記シート送給手段、第1押付けヘッド、洗浄液供給手段、第2押付けヘッド及びシート反転手段は、上記清掃作業位置における上記搬送手段上の被処理体に対して対称となるように上記搬送手段の下方にも設けられている
ことを特徴とする拭取り清掃装置。 - シート送給手段から送給されたテープ状の長尺シートを第2押付けヘッド及び第1押付けヘッドに順に掛け渡し、上記第1押付けヘッドに上記長尺シートを掛け渡すと共に該長尺シートに洗浄液を含浸供給し、該洗浄液が含浸した長尺シートを上記第1押付けヘッドによって上記被処理体に押し付けて摺動させることにより該被処理体に付着した異物を拭き取り、上記洗浄液が供給される前の乾燥状態の長尺シートを上記第2押付けヘッドによって異物拭取り後の上記被処理体に押し付けて摺動させることにより該被処理体の湿気を拭き取る
ことを特徴とする拭取り清掃方法。 - 請求項5に記載の拭取り清掃方法において、
上記第2押付けヘッドを経た長尺シートを上記第1押付けヘッドに掛け渡すときに、上記長尺シートの上記第1押付けヘッドによる上記被処理体への押付面と上記第2押付けヘッドによる上記被処理体への押付面とが反対面となるように上記長尺シートを反転させる
ことを特徴とする拭取り清掃方法。 - シート送給手段から送給されたテープ状の長尺シートを第1押付けヘッド及び第2押付けヘッドに順に掛け渡し、上記第1押付けヘッドに上記長尺シートを掛け渡すと共に該長尺シートに洗浄液を含浸供給し、該洗浄液が含浸した長尺シートを上記第1押付けヘッドによって上記被処理体に押し付けて摺動させることにより該被処理体に付着した異物を拭き取り、上記第1押付けヘッドを経た長尺シートを反転させると共に乾燥させ、反転させた乾燥状態の上記長尺シートを上記第2押付けヘッドによって異物拭取り後の上記被処理体に押し付けて摺動させることにより該被処理体の湿気を拭き取る
ことを特徴とする拭取り清掃方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011539251A JP5285783B2 (ja) | 2009-11-04 | 2010-07-08 | 拭取り清掃装置及び拭取り清掃方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009253177 | 2009-11-04 | ||
JP2009253177 | 2009-11-04 | ||
PCT/JP2010/004456 WO2011055471A1 (ja) | 2009-11-04 | 2010-07-08 | 拭取り清掃装置及び拭取り清掃方法 |
JP2011539251A JP5285783B2 (ja) | 2009-11-04 | 2010-07-08 | 拭取り清掃装置及び拭取り清掃方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2011055471A1 JPWO2011055471A1 (ja) | 2013-03-21 |
JP5285783B2 true JP5285783B2 (ja) | 2013-09-11 |
Family
ID=43969714
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011539251A Expired - Fee Related JP5285783B2 (ja) | 2009-11-04 | 2010-07-08 | 拭取り清掃装置及び拭取り清掃方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5285783B2 (ja) |
CN (1) | CN102596434A (ja) |
WO (1) | WO2011055471A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015122338A1 (ja) * | 2014-02-12 | 2015-08-20 | シャープ株式会社 | 貼り合わせ基板の拭浄装置、及び貼り合わせ基板の製造方法 |
CN103920686B (zh) * | 2014-04-06 | 2016-03-16 | 深圳市诚亿自动化科技有限公司 | 自适应恒压清洗夹头机构 |
CN104550158B (zh) * | 2014-12-25 | 2017-05-17 | 深圳市联得自动化装备股份有限公司 | 全自动lcd端子清洗机 |
CN106540893B (zh) * | 2015-09-17 | 2019-08-02 | 杨家军 | 一种电池极片分条机清洁布除尘机构 |
CN110145009B (zh) * | 2019-05-31 | 2021-04-30 | 重庆建工第九建设有限公司 | 一种节能型的建筑水循环*** |
CN110523733A (zh) * | 2019-09-11 | 2019-12-03 | 周瑞明 | 一种液晶模组边缘清洗机 |
CN111940374A (zh) * | 2020-05-25 | 2020-11-17 | 南京冠石科技股份有限公司 | 一种液晶屏端子自动清洁*** |
CN113441458B (zh) * | 2021-07-26 | 2022-05-10 | 中电科风华信息装备股份有限公司 | 一种端子清洗机专用擦拭夹头装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000237699A (ja) * | 1999-02-17 | 2000-09-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガラス基板のクリーニング装置 |
JP2004033970A (ja) * | 2002-07-05 | 2004-02-05 | Casio Comput Co Ltd | 端子配列部洗浄装置 |
JP2006272223A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Seiko Epson Corp | 異物除去装置および基板保持装置、電気光学装置の製造方法および異物除去方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005081297A (ja) * | 2003-09-10 | 2005-03-31 | Yodogawa Medekku Kk | 基板表面清掃装置 |
WO2006106803A1 (ja) * | 2005-04-01 | 2006-10-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 基板端子クリーニング装置及び基板端子のクリーニング方法 |
JP4719051B2 (ja) * | 2006-03-30 | 2011-07-06 | ソニー株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
-
2010
- 2010-07-08 JP JP2011539251A patent/JP5285783B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-07-08 CN CN2010800490918A patent/CN102596434A/zh active Pending
- 2010-07-08 WO PCT/JP2010/004456 patent/WO2011055471A1/ja active Application Filing
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000237699A (ja) * | 1999-02-17 | 2000-09-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガラス基板のクリーニング装置 |
JP2004033970A (ja) * | 2002-07-05 | 2004-02-05 | Casio Comput Co Ltd | 端子配列部洗浄装置 |
JP2006272223A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Seiko Epson Corp | 異物除去装置および基板保持装置、電気光学装置の製造方法および異物除去方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2011055471A1 (ja) | 2011-05-12 |
JPWO2011055471A1 (ja) | 2013-03-21 |
CN102596434A (zh) | 2012-07-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5285783B2 (ja) | 拭取り清掃装置及び拭取り清掃方法 | |
JP4644202B2 (ja) | 基板端子クリーニング装置及び基板端子のクリーニング方法 | |
US11237478B2 (en) | Cleaning module, cleaning apparatus and method of cleaning photomask | |
KR100500170B1 (ko) | 기판의 수평 및 상하 이송장치 | |
TWI505393B (zh) | Substrate processing device | |
JP5600624B2 (ja) | 塗布膜形成装置及び塗布膜形成方法 | |
JP2007184391A (ja) | 基板の搬送方法及び装置 | |
WO2011099222A1 (ja) | 基板処理装置 | |
KR20170048136A (ko) | 클리닝 헤드 및 청소 방법 | |
KR102166933B1 (ko) | 필름 세정 장치 | |
JP2016140816A (ja) | 透明板清掃システム | |
JP4785210B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2012232269A (ja) | 基板浮上型搬送機構用スリットコート式塗布装置 | |
KR20070085666A (ko) | 기판의 청소 장치 및 청소 방법 | |
JP4602567B2 (ja) | 基板の洗浄装置 | |
JP2016140815A (ja) | 透明板清掃システム | |
KR20190089182A (ko) | 이물질 제거 장치 및 이물질 제거 방법 | |
JP6517522B2 (ja) | 清掃装置及びワーク清掃システム | |
JP4976358B2 (ja) | 基板乾燥装置 | |
TWI713790B (zh) | 處理裝置、具備該處理裝置之鍍覆裝置、搬送裝置、以及處理方法 | |
JP5271242B2 (ja) | 基板洗浄装置、および、基板洗浄方法 | |
JP2011056374A (ja) | 塗布装置 | |
JP2010017634A (ja) | 基板の清掃装置及び清掃方法 | |
JPH10193561A (ja) | スクリーン印刷機 | |
KR101329765B1 (ko) | 기판 세정장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130507 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130531 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5285783 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |