JP5279372B2 - Storage case for processing jig - Google Patents
Storage case for processing jig Download PDFInfo
- Publication number
- JP5279372B2 JP5279372B2 JP2008177175A JP2008177175A JP5279372B2 JP 5279372 B2 JP5279372 B2 JP 5279372B2 JP 2008177175 A JP2008177175 A JP 2008177175A JP 2008177175 A JP2008177175 A JP 2008177175A JP 5279372 B2 JP5279372 B2 JP 5279372B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage case
- ring frame
- sides
- processing jig
- lid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
本発明は、半導体ウェーハ等からなる各種の基板を搭載する処理治具のリングフレーム収納用の収納ケースを蓋体により開閉する処理治具用の収納ケースに関するものである。 The present invention relates to a storage case for a processing jig for opening and closing a storage case for storing a ring frame of a processing jig on which various substrates made of a semiconductor wafer or the like are mounted.
半導体ウェーハは半導体パッケージの製造時にダイシング用テープフレームと呼ばれる処理治具に搭載されるが、この処理治具は一般的に収納ケースに保管して搬送されたり、工場間を輸送される。この処理治具用の収納ケースは、図示しないが、半導体ウェーハを搭載する処理治具のリングフレームを水平に整列収納する収納ケースと、この収納ケースの開口した前後面をそれぞれ着脱自在に開閉するフラットな蓋体とを備えて構成されている(特許文献1、2、3参照)。
従来における処理治具用の収納ケースは、以上のように構成され、収納ケースの開口した前後面を剛性に欠ける蓋体により単に開閉するので、搬送時や輸送時に収納されたリングフレームがばたついたり、振動して収納ケースと擦れ、汚染源となる異物を発生させたり、半導体ウェーハを損傷させてしまうという問題がある。 The conventional storage case for processing jigs is configured as described above, and the front and rear surfaces of the storage case that are opened and closed simply by a lid lacking rigidity. There is a problem that it is attached or vibrated and rubs against the storage case to generate a foreign substance as a contamination source or damage the semiconductor wafer.
本発明は上記に鑑みなされたもので、リングフレームのばたつきや振動を防いで異物の発生を抑制し、基板損傷のおそれを排除することのできる処理治具用の収納ケースを提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a storage case for a processing jig that can prevent fluttering and vibration of a ring frame, suppress the generation of foreign matter, and eliminate the possibility of substrate damage. It is said.
本発明においては上記課題を解決するため、基板を搭載する処理治具のリングフレームを収納する収納ケースと、この収納ケースの開口面を開閉する蓋体とを備えたものであって、
収納ケースを前後がそれぞれ開口した箱形に構成してその両側壁には、処理治具のリングフレームを支持する一対の支持片を設け、この一対の支持片を収納ケースの側壁上下方向に所定のピッチで複数配列し、上下方向に隣接する支持片と支持片との間に、リングフレーム用の挿入溝を区画し、支持片の下面後部には、リングフレームの周縁側部の後方に対向するストッパを形成するとともに、このストッパには、リングフレームのがたつきを規制する傾斜面を形成し、
蓋体は、収納ケースの開口面に着脱自在に嵌合される断面略皿形のカバー体と、このカバー体の収納ケースの開口面に対向する対向面の中央部に配列形成され、収納ケースに収納されたリングフレームの周縁端部を挟み持つ複数の挟持突部と、カバー体の収納ケースの開口面に対向する対向面の両側部にそれぞれ一体形成され、収納ケースに収納されたリングフレームの周縁端部の両側に接触する一対の膨出壁とを含み、
カバー体の周壁内面に、収納ケースの開口面外周に接触する複数の脱落防止突部を突出形成し、複数の挟持突部の両側部を隣接する膨出壁方向にそれぞれ略円弧形に伸長形成して各膨出壁の側部とし、この複数の挟持突部の両側部を収納ケースに収納されたリングフレームの周縁端部からその両側の間に沿わせるようにしたことを特徴としている。
In the present invention, in order to solve the above-mentioned problem, a storage case for storing a ring frame of a processing jig for mounting a substrate, and a lid for opening and closing the opening surface of the storage case,
The storage case is formed in a box shape with front and rear openings, and a pair of support pieces for supporting the ring frame of the processing jig is provided on both side walls, and the pair of support pieces are predetermined in the vertical direction of the side wall of the storage case. A ring frame insertion groove is defined between the support pieces adjacent to each other in the vertical direction, and the bottom face of the support piece faces the rear of the peripheral side of the ring frame. In addition to forming a stopper to form an inclined surface that regulates the shakiness of the ring frame,
The lid body is formed in an array at the center portion of the cover body having a substantially dish-shaped cross section that is detachably fitted to the opening surface of the storage case and the opening surface of the storage case of the cover body. A ring frame that is integrally formed on a plurality of sandwiching protrusions sandwiching the peripheral edge of the ring frame housed in the housing and on both sides of the facing surface of the cover body that faces the opening surface of the housing case, and housed in the housing case A pair of bulging walls that contact both sides of the peripheral edge of the
A plurality of drop-off prevention protrusions that contact the outer periphery of the opening surface of the storage case are formed on the inner surface of the peripheral wall of the cover body, and both sides of the plurality of sandwiching protrusions extend in a substantially arc shape in the direction of the adjacent bulging wall. It is formed to be a side portion of each bulging wall, and both side portions of the plurality of sandwiching protrusions are arranged between the both sides from the peripheral edge portion of the ring frame stored in the storage case. .
なお、蓋体を、ポリエチレンテレフタレートあるいはポリスチレンを含む成形材料を使用して真空成形することができる。 The lid can be vacuum formed using a molding material containing polyethylene terephthalate or polystyrene.
ここで、特許請求の範囲における基板には、φ200mm、300mm、450mmの半導体ウェーハ、液晶基板、ガラス板、マスクガラス等が含まれる。処理治具は、リングフレームに基板を搭載した治具でも良いし、そうでなくても良い。収納ケースと蓋体とは、収納した処理治具を視認できるよう透明が好ましいが、何らこれに限定されるものではなく、不透明や半透明でも良い。 Here, the substrates in the claims include semiconductor wafers of φ200 mm, 300 mm, and 450 mm, liquid crystal substrates, glass plates, mask glasses, and the like. The processing jig may or may not be a jig with a substrate mounted on a ring frame. The storage case and the lid are preferably transparent so that the stored processing jig can be visually recognized. However, the storage case and the lid are not limited thereto and may be opaque or translucent.
本発明によれば、複数の挟持突部の両側部が伸びて膨出壁の側部と立体的に一体化し、蓋体を補強してその強度を増大させるので、収納ケースに収納された処理治具のリングフレームがばたついたり、振動して収納ケースと擦れることが少ない。 According to the present invention, both sides of the plurality of sandwiching protrusions extend and are three-dimensionally integrated with the sides of the bulging wall to reinforce the lid and increase its strength. The jig ring frame does not flutter or vibrate and rub against the storage case.
本発明によれば、リングフレームのばたつきや振動を防いで異物の発生を抑制し、基板損傷のおそれを排除することができるという効果がある。また、収納ケースの支持片のストッパがリングフレームの後部を規制するので、挿入されたリングフレームの位置ずれやがたつきを防止することができる。また、ストッパの傾斜面が挿入溝の余分なスペースを徐々に埋めるので、振動に伴うリングフレームのがたつきを防ぐことができ、基板の損傷防止が期待できる。さらに、蓋体に、カバー体の周壁の内面に突出形成されて収納ケースの開口面外周に接触する複数の脱落防止突部を含むので、収納ケースから蓋体が抜けにくくなり、蓋体が収納ケースから脱落するのを有効に防ぐことが可能になる。 According to the present invention, it is possible to prevent the ring frame from flapping and vibrating, to suppress the generation of foreign matters, and to eliminate the possibility of substrate damage. In addition, since the stopper of the support piece of the storage case regulates the rear portion of the ring frame, it is possible to prevent positional deviation and rattling of the inserted ring frame. Further, since the inclined surface of the stopper gradually fills the extra space of the insertion groove, it is possible to prevent the ring frame from rattling due to vibration, and to prevent damage to the substrate. Furthermore, since the lid includes a plurality of drop-out preventing protrusions that are formed on the inner surface of the peripheral wall of the cover body and come into contact with the outer periphery of the opening surface of the storage case, the lid body is difficult to be removed from the storage case, and the cover body is stored. It is possible to effectively prevent the case from falling off.
また、蓋体を、ポリエチレンテレフタレート、あるいはポリスチレンを含む成形材料を使用して真空成形すれば、優れた寸法安定性や耐候性等を得ることができる。また、部分的なデザイン変更が簡易となり、小ロット化にも簡単に対応することができ、さらには、静電気対策や軽量化が容易になり、射出成形に比べて蓋体を安価に製造することが可能になる。 Moreover, if the lid is vacuum molded using a molding material containing polyethylene terephthalate or polystyrene, excellent dimensional stability, weather resistance, and the like can be obtained. In addition, partial design changes can be simplified, and even small lots can be easily handled.Furthermore, countermeasures against static electricity and weight reduction are easy, and the lid can be manufactured at a lower cost than injection molding. Is possible.
以下、図面を参照して本発明に係る処理治具用の収納ケースの好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における処理治具用の収納ケースは、図1ないし図8に示すように、半導体ウェーハWを搭載する処理治具1のリングフレーム2を収納する透明の収納ケース10と、この収納ケース10の開口した前後面をそれぞれ開閉する一対の蓋体20とを備え、各蓋体20を、カバー体21、複数の挟持リブ24、及び一対の膨出壁25から形成し、複数の挟持リブ24の両側部を円弧形に伸長形成して各膨出壁25の側部26とし、この複数の挟持リブ24の両側部を収納されたリングフレーム2の周縁端部からその両側の間に沿わせて面接触させるようにしている。
Hereinafter, a preferred embodiment of a storage case for a processing jig according to the present invention will be described with reference to the drawings. The storage case for a processing jig in the present embodiment is a semiconductor as shown in FIGS. A
半導体ウェーハWは、図2に示すように、例えば薄く丸くスライスされたφ200mmのシリコンウェーハからなり、周縁部には位置合わせ用の平面略半形のノッチが選択的に切り欠かれる。 As shown in FIG. 2, the semiconductor wafer W is made of, for example, a thin and sliced φ200 mm silicon wafer, and a notch having a substantially planar half for alignment is selectively cut out at the peripheral edge.
処理治具1は、図1や図2に示すように、例えば半導体ウェーハWを収容可能なSUS製あるいは樹脂製の中空のリングフレーム2を備え、このリングフレーム2の裏面には、中空を下方から覆う粘着層3が着脱自在に粘着されており、この粘着層3に収容された半導体ウェーハWが着脱自在に粘着保持される。このリングフレーム2は、その周縁前端部の両側に切り欠き4がそれぞれ平面略三角形に形成され、後部表面の中央には、移動体識別用のRFIDタグ5が粘着される。 As shown in FIGS. 1 and 2, the processing jig 1 includes a hollow ring frame 2 made of, for example, SUS or resin that can accommodate a semiconductor wafer W. The adhesive layer 3 is attached in a detachable manner, and the semiconductor wafer W accommodated in the adhesive layer 3 is detachably attached. The ring frame 2 has cutouts 4 formed in a substantially triangular shape on both sides of the front end of the periphery thereof, and an RFID tag 5 for identifying a moving body is adhered to the center of the rear surface.
収納ケース10は、図1、図3、図4に示すように、リングフレーム2よりも大きい底板11と、この底板11に複数のリングフレーム2の収容空間をおいて上方から相対向する同形の天板13と、これら底板11と天板13との両側部間を縦に連結する左右一対の側壁14とを備えて前後面がそれぞれ横長の矩形に開口した箱形に構成され、半導体ウェーハWを搭載した処理治具1のリングフレーム2、あるいは半導体ウェーハWを搭載しないリングフレーム2を図示しないロボットを介して水平に複数枚(例えば、13枚や25枚等)整列収納するよう機能する。
As shown in FIGS. 1, 3, and 4, the
底板11、天板13、及び一対の側壁14は、例えばポリカーボネート等の樹脂を含む成形材料を使用して射出成形され、ビス等の締結具を用いて組み立てられる。底板11の内面前端部には、下方のリングフレーム2の出し入れに資する矩形の切り欠き部12が切り欠かれ、一対の側壁14の上部前方間と上部後方間とには、握持操作用のハンドル15がそれぞれ起伏可能に軸支される。
The
一対の側壁14の内面には、リングフレーム2の両側部を略水平に支持する一対の支持片16がそれぞれ対設され、この一対の支持片16が側壁14の上下方向に所定のピッチで複数配列形成されており、各支持片16が収納ケース10の前後方向に伸びる細長い板に形成される。各側壁14の上下方向において隣接する支持片16と支持片16との間には、リングフレーム2用の挿入溝17が区画形成され、各挿入溝17が収納ケース10の前後方向に伸び、かつリングフレーム2の厚さ以上の高さ(幅)を有する溝とされる。
A pair of
支持片16の下面後部には図4に示すように、リングフレーム2の周縁側部の後方に干渉・対向して位置決めするストッパ18が一体形成され、ストッパ18の側面には、下方の支持片16に向かうに従い徐々に狭まる傾斜面19が滑らかに形成されており、この傾斜面19がリングフレーム2の後部表面に隙間をおいて対向する。
As shown in FIG. 4, a
各蓋体20は、静電気対策やコスト削減等の観点からポリエチレンテレフタレートあるいはポリスチレンを含む成形材料を使用して透明に真空成形される。この蓋体20のカバー体21は、図4ないし図8に示すように、収納ケース10の開口した前面あるいは後面に対応する横長の矩形、かつ断面略皿形に形成され、収納ケース10の開口した前後面に着脱自在に密嵌されて収納ケース10に対する異物の外部からの流入を防止する。
Each
カバー体21の周壁22は、正面略枠形に形成されて複数の挟持リブ24、及び一対の膨出壁25を包囲し、両側部の内面上下には、収納ケース10の前後面の外周に圧接する小判形の脱落防止リブ23がそれぞれ複数突出形成されており、この複数の脱落防止リブ23が蓋体20の収納ケース10からの落下を防止するよう機能する。
The
複数の挟持リブ24は、カバー体21の収納ケース10の前後面に対向する対向面の中央部上下方向に所定のピッチで配列形成されて一対の膨出壁25の間に介在し、各挟持リブ24が左右水平方向に細長い断面略山形に形成されており、収納ケース10に収納されたリングフレーム2の周縁端部を上下方向から挟持してリングフレーム2のばたつきや振動を防止するよう機能する。
The plurality of
一対の膨出壁25は、カバー体21の収納ケース10の前後面に対向する対向面の両側部にそれぞれ一体的に膨出形成されて複数の挟持リブ24の両側に隣接し、各膨出壁25が縦長の矩形に形成されて蓋体20の強度を高めており、収納ケース10に収納されたリングフレーム2の周縁端部の両側に圧接してリングフレーム2のばたつきや振動を防止する。
The pair of bulging
各膨出壁25の側部26は、図5ないし図7に示すように、隣接する複数の挟持リブ24の円弧形に湾曲伸長した側部と立体的に一体化され、収納ケース10に収納されたリングフレーム2の周縁端部からその両側の間に沿って面接触で圧接するとともに、蓋体20に剛性を付与する。換言すれば、複数の挟持リブ24の両側部は、隣接する膨出壁25方向にそれぞれ円弧形に湾曲伸長して各膨出壁25の曲がった側部26とされ、膨出壁25と一体化して蓋体20の撓みや変形を抑制するよう機能する。
As shown in FIGS. 5 to 7, the
上記において、収納ケース10に処理治具1のリングフレーム2を収納する場合には、先ず、収納ケース10に処理治具1のリングフレーム2を前方からロボットにより挿入すれば良い。すると、収納ケース10の挿入溝17にリングフレーム2が水平に挿入されてスライドするとともに、一対の支持片16にリングフレーム2の両側部が下方から水平に支持され、ストッパ18の傾斜面19にリングフレーム2が案内されて接触・停止し、これらにより、収納ケース10内に処理治具1のリングフレーム2が適切に位置決め収納されることとなる。
In the above description, when the ring frame 2 of the processing jig 1 is stored in the
収納ケース10内に処理治具1のリングフレーム2が適切に収納されると、収納ケース10の開口した前後面に蓋体20がそれぞれ手動操作で嵌合され、各蓋体20の複数の挟持リブ24がリングフレーム2の周縁端部を上下方向から挟持してその動きや不揃いを規制し、搬送時や輸送時におけるリングフレーム2のばたつきや振動が防止される。この際、蓋体20の複数の挟持リブ24の両側部や一対の膨出壁25は、リングフレーム2の周縁端部からその両側に亘って面接触する。
When the ring frame 2 of the processing jig 1 is properly stored in the
上記構成によれば、複数の挟持リブ24の両側部を立体的に伸長して各膨出壁25の側部26と一体化し、蓋体20の強度を増大させてその撓みや変形を防止するので、搬送時や輸送時に収納されたリングフレーム2がばたついたり、振動して収納ケース10と擦れることがない。したがって、汚染源となる異物の発生を抑制し、半導体ウェーハWの損傷を未然に防止することができる。
According to the above configuration, both side portions of the plurality of holding
また、支持片16のストッパ18がリングフレーム2の後部を規制するので、挿入されたリングフレーム2の位置ずれやがたつきを有効に防止することができる。さらに、ストッパ18の傾斜面19が挿入溝17の余分なスペースを徐々に埋めるので、振動に伴うリングフレーム2のがたつきを防ぐことができ、半導体ウェーハWの損傷防止が大いに期待できる。
In addition, since the
なお、上記実施形態では収納ケース10の前後面をそれぞれ開口させたが、収納ケース10の前面のみを開口させても良い。また、底板11の内面前端部に切り欠き部12を切り欠いたが、底板11の内面後端部に、下方のリングフレーム2の出し入れに資する矩形の切り欠き部12を切り欠いても良い。また、支持片16を細長い平板に形成するのではなく、支持片16を略J字形等の板に形成しても良い。さらに、周壁22の上下部の内面両側に、収納ケース10の前後面の外周に圧接する脱落防止リブ23をそれぞれ突出形成することもできる。
In the above embodiment, the front and rear surfaces of the
1 処理治具
2 リングフレーム
10 収納ケース
14 側壁
16 支持片
17 挿入溝
18 ストッパ
19 傾斜面
20 蓋体
21 カバー体
22 周壁
23 脱落防止リブ(脱落防止突部)
24 挟持リブ(挟持突部)
25 膨出壁
26 側部
W 半導体ウェーハ(基板)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Processing jig 2
24 Clamping rib (Clamping protrusion)
25
Claims (2)
収納ケースを前後がそれぞれ開口した箱形に構成してその両側壁には、処理治具のリングフレームを支持する一対の支持片を設け、この一対の支持片を収納ケースの側壁上下方向に所定のピッチで複数配列し、上下方向に隣接する支持片と支持片との間に、リングフレーム用の挿入溝を区画し、支持片の下面後部には、リングフレームの周縁側部の後方に対向するストッパを形成するとともに、このストッパには、リングフレームのがたつきを規制する傾斜面を形成し、
蓋体は、収納ケースの開口面に着脱自在に嵌合される断面略皿形のカバー体と、このカバー体の収納ケースの開口面に対向する対向面の中央部に配列形成され、収納ケースに収納されたリングフレームの周縁端部を挟み持つ複数の挟持突部と、カバー体の収納ケースの開口面に対向する対向面の両側部にそれぞれ一体形成され、収納ケースに収納されたリングフレームの周縁端部の両側に接触する一対の膨出壁とを含み、
カバー体の周壁内面に、収納ケースの開口面外周に接触する複数の脱落防止突部を突出形成し、複数の挟持突部の両側部を隣接する膨出壁方向にそれぞれ略円弧形に伸長形成して各膨出壁の側部とし、この複数の挟持突部の両側部を収納ケースに収納されたリングフレームの周縁端部からその両側の間に沿わせるようにしたことを特徴とする処理治具用の収納ケース。 A storage case for a processing jig comprising a storage case for storing a ring frame of a processing jig for mounting a substrate, and a lid for opening and closing the opening surface of the storage case,
The storage case is formed in a box shape with front and rear openings, and a pair of support pieces for supporting the ring frame of the processing jig is provided on both side walls, and the pair of support pieces are predetermined in the vertical direction of the side wall of the storage case. A ring frame insertion groove is defined between the support pieces adjacent to each other in the vertical direction, and the bottom face of the support piece faces the rear of the peripheral side of the ring frame. In addition to forming a stopper to form an inclined surface that regulates the shakiness of the ring frame,
The lid body is formed in an array at the center portion of the cover body having a substantially dish-shaped cross section that is detachably fitted to the opening surface of the storage case and the opening surface of the storage case of the cover body. A ring frame that is integrally formed on a plurality of sandwiching protrusions sandwiching the peripheral edge of the ring frame housed in the housing and on both sides of the facing surface of the cover body that faces the opening surface of the housing case, and housed in the housing case A pair of bulging walls that contact both sides of the peripheral edge of the
A plurality of drop-off prevention protrusions that contact the outer periphery of the opening surface of the storage case are formed on the inner surface of the peripheral wall of the cover body, and both sides of the plurality of sandwiching protrusions extend in a substantially arc shape in the direction of the adjacent bulging wall. It is formed to be a side portion of each bulging wall, and both side portions of the plurality of sandwiching protrusions are arranged between both sides from the peripheral edge portion of the ring frame stored in the storage case. Storage case for processing jigs.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008177175A JP5279372B2 (en) | 2008-07-07 | 2008-07-07 | Storage case for processing jig |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008177175A JP5279372B2 (en) | 2008-07-07 | 2008-07-07 | Storage case for processing jig |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010013176A JP2010013176A (en) | 2010-01-21 |
JP5279372B2 true JP5279372B2 (en) | 2013-09-04 |
Family
ID=41699678
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008177175A Active JP5279372B2 (en) | 2008-07-07 | 2008-07-07 | Storage case for processing jig |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5279372B2 (en) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0613452A (en) * | 1992-06-25 | 1994-01-21 | Sony Corp | Carrier for semiconductor wafer and processing method thereof |
JP3938293B2 (en) * | 2001-05-30 | 2007-06-27 | 信越ポリマー株式会社 | Precision substrate storage container and its holding member |
US6923325B2 (en) * | 2001-07-12 | 2005-08-02 | Entegris, Inc. | Horizontal cassette |
JP4485963B2 (en) * | 2005-01-14 | 2010-06-23 | 信越ポリマー株式会社 | Plate-shaped object storage container |
-
2008
- 2008-07-07 JP JP2008177175A patent/JP5279372B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010013176A (en) | 2010-01-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI285179B (en) | Container for housing a large pellicle | |
JP5269077B2 (en) | Support and substrate storage container | |
KR101511813B1 (en) | Retainer and substrate storage container | |
JP5361805B2 (en) | Substrate storage container | |
JP6190726B2 (en) | Substrate storage container | |
JP4592449B2 (en) | Substrate storage container | |
JPWO2014084115A1 (en) | Substrate storage container | |
JP4965472B2 (en) | Storage container for processing jig | |
JP2011060994A (en) | Substrate storage container, and method of handling substrate | |
JP2009123814A (en) | Cushion and packaging material | |
JP5279372B2 (en) | Storage case for processing jig | |
JP5409343B2 (en) | Substrate storage container | |
JP4852023B2 (en) | Retainer and substrate storage container | |
JP2007142192A (en) | Thin-plate body storage container | |
JP4764865B2 (en) | Retainer and substrate storage container | |
JP6491590B2 (en) | Substrate storage container | |
JP7467367B2 (en) | Panel storage container | |
JP6576811B2 (en) | Substrate storage container | |
JPWO2008102804A1 (en) | Injection mold and injection molding method | |
KR101486612B1 (en) | Container for processing tool for mounting substrate | |
JP4823094B2 (en) | Teeth body and substrate storage container | |
TWI652211B (en) | Substrate storage container and holding member | |
JP6068096B2 (en) | Package of wafer cassette | |
JP4965380B2 (en) | Storage case for processing jig | |
JP2001092114A (en) | Housing case of substrate such as photomask |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110613 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121225 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130218 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130521 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130521 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5279372 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |