JP5272801B2 - 空気流量測定装置 - Google Patents
空気流量測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5272801B2 JP5272801B2 JP2009045222A JP2009045222A JP5272801B2 JP 5272801 B2 JP5272801 B2 JP 5272801B2 JP 2009045222 A JP2009045222 A JP 2009045222A JP 2009045222 A JP2009045222 A JP 2009045222A JP 5272801 B2 JP5272801 B2 JP 5272801B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow
- flow rate
- bypass
- sub
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title abstract description 9
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 50
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 35
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 16
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 18
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 10
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 7
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 7
- 230000010349 pulsation Effects 0.000 description 4
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
従来から、発熱抵抗体の放熱量を基に、空気流量を測定する熱式流量測定装置が公知であり、自動車用の内燃機関の吸入空気の流量を測定するエアフローメータとして採用されている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、本構造の空気流量測定装置では、バイパス流れを偏向することなく直接にバイパス流路に流入させ、しかもチップセンサをバイパス流れの流線に直交させているので、吸気中に浮遊する吸気ダストの比較的大きくて重いものまでが流れに直交して生じるよどみ部に堆積する可能性がある。
請求項1に記載の手段によれば、空気通路を流れる空気の一部を取り込むバイパス流路と、バイパス流路に設けられ、バイパス流路の出口方向に向って流路断面積を次第に減少する絞り部と、絞り部より上流側でバイパス流路より分岐して設けられ、バイパス流路を流れる空気の流れ方向と直交するバイパス流路の所定の径方向の一方側に入口が設けられ、バイパス流路を流れる空気の一部を取り込むサブバイパス流路と、サブバイパス流路内に配設され、サブバイパス流路を流れる空気の流量を測定する流量センサと、を有する空気流量測定装置において、流量センサは、半導体基板の表面に形成された薄膜抵抗体からなる熱式流量測定素子を有し、熱式流量測定素子は、サブバイパス流路を流れる空気の流れ方向と直交するように、半導体基板の長手方向を同軸とする平板状の支持部材に支持され、支持部材は、一端側で固定され他端側が自由端となる片持ち状態でサブバイパス流路内に垂下されており、かつ、支持部材は、その上流側端部が、サブバイパス流路を流れる空気の流れ方向に対して一端側から他端側の自由端に向かって鋭角状に傾斜して配設されていて、サブバイパス流路を流れる空気が上流側端部の傾斜に沿って自由端側へ分流することを特徴としている。
請求項2に記載の手段によれば、支持部材は、下流側端部が、上流側端部とは逆方向に傾斜して配設されており、全体として、一端側から他端側に向かって先細りとなる台形状を呈していることを特徴としている。
請求項3に記載の手段によれば、支持部材の上流側端部および下流側端部とサブバイパス流路を流れる空気の流れ方向とのなす傾斜角は、50〜70度であることを特徴としている。
これにより、傾斜角によるダスト堆積による劣化特性量と出力特性変化量のトレードオフの関係から、傾斜角の設定範囲は50〜70度が好適であると言える。この傾斜角の範囲ならば、流量測定素子の出力特性の低下を引き起こすことなくダスト堆積を防いで劣化特性量を最小値に抑えることが可能となる。
図1〜図3は、本発明の実施例1を示したもので、図1は空気流量測定装置の構成を示す部分断面図である。図2は、図1に示す空気流量測定装置の要部の流量センサを示し、(a)は平面図であり、(b)は流れ特性図である。図3は空気流量測定装置の流量センサの支持部材の傾斜角θに対して、ダスト堆積による劣化特性量、および出力特性変化量を併記した特性図である。
上流側端部44を流れに対し傾斜させることは、流れの傾斜方向への分流を生じさせて、流れによるよどみ部の生成を抑え、よどみ部から派生するダスト堆積を防ぐ狙いのものであった。従って、傾斜角θを大きくすれば分流も大きくなり、大きな分流によりよどみ部の生成は完全に解消されるとともに、吸気ダストも分流側に混流して下流側に流出して堆積することはない。
なお、上記傾斜角θの範囲(20〜40度)を、支持部材43の上流側端部44とサブバイパス流路8を流れる空気の流れ方向(サブバイパス流れ方向)とのなす傾斜角の範囲に換算すると、(90−40)〜(90−20)度=50〜70度となる。
エンジンの始動により、吸気管2の内部に空気の流れ(メイン流れ)が発生すると、メイン流れの一部がセンサボディ3のバイパス流路7に取り込まれバイパス流れとなり、さらに、バイパス流れの一部がサブバイパス流路8に取り込まれる。このとき、サブバイパス流路8に配置された流量センサ4では、サブバイパス流れの流速が大きくなると、発熱素子41の伝熱が上流側へは小さく、下流側へは大きくなり、上下流の感温素子42の抵抗値差が大きくなる。
本実施例では、メイン流路6を流れる空気の一部がセンサボディ3のバイパス流路7に取り込まれバイパス流れとなり、さらに、バイパス流れの一部が略直角に偏向するサブバイパス流路8に取り込まれてサブバイパス流れとなる。このサブバイパス流れに直交する向きに流量センサ4のチップセンサ構造の流量測定素子40を配設している。そして、流量センサ4の支持部材43の上流側端部44をサブバイパス流れに対し所定の傾斜角θだけ傾斜して配置した。
本発明の実施例2を図4に示す。図4は、空気流量測定装置の構成を示し、(a)は部分断面図であり、(b)は要部の流量センサの拡大詳細平面図である。実施例1と実質的に同一構成部分に同一符号を付して、詳細な説明は省略する。
従って、逆流に混流する吸気ダストが支持部材43の下流側端部45に衝突しても、よどみ部が生成されないため分流とともに流されることとなる。よって、逆流が生じた場合にも、吸気ダストの堆積が抑えられ、流量センサ4の逆流の検出精度が向上する。
4 流量センサ
5 回路モジュール
6 メイン流路(空気通路)
7 バイパス流路
8 サブバイパス流路
40 流量測定素子(チップセンサ、熱式流量測定素子)
41 発熱素子(薄膜抵抗体)
42 感温素子(薄膜抵抗体)
43 支持部材
44 上流側端部
45 下流側端部
θ 上流傾斜角(傾斜角)
Claims (3)
- 空気通路を流れる空気の一部を取り込むバイパス流路と、
該バイパス流路に設けられ、前記バイパス流路の出口方向に向って流路断面積を次第に減少する絞り部と、
該絞り部より上流側で前記バイパス流路より分岐して設けられ、前記バイパス流路を流れる空気の流れ方向と直交する前記バイパス流路の所定の径方向の一方側に入口が設けられ、前記バイパス流路を流れる空気の一部を取り込むサブバイパス流路と、
該サブバイパス流路内に配設され、前記サブバイパス流路を流れる空気の流量を測定する流量センサと、を有する空気流量測定装置において、
前記流量センサは、半導体基板の表面に形成された薄膜抵抗体からなる熱式流量測定素子を有し、
前記熱式流量測定素子は、前記サブバイパス流路を流れる空気の流れ方向と直交するように、前記半導体基板の長手方向を同軸とする平板状の支持部材に支持され、
前記支持部材は、一端側で固定され他端側が自由端となる片持ち状態で前記サブバイパス流路内に垂下されており、かつ、
前記支持部材は、その上流側端部が、前記サブバイパス流路を流れる空気の流れ方向に対して前記一端側から前記他端側の自由端に向かって鋭角状に傾斜して配設されていて、
前記サブバイパス流路を流れる空気が前記上流側端部の傾斜に沿って前記自由端側へ分流することを特徴とする空気流量測定装置。 - 請求項1に記載の空気流量測定装置において、
前記支持部材は、その下流側端部が、前記上流側端部とは逆方向に傾斜して配設されており、全体として、前記一端側から前記他端側に向かって先細りとなる台形状を呈していることを特徴とする空気流量測定装置。 - 請求項1または請求項2に記載の空気流量測定装置において、
前記支持部材の前記上流側端部および前記下流側端部と前記サブバイパス流路を流れる空気の流れ方向とのなす傾斜角は、50〜70度であることを特徴とする空気流量測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009045222A JP5272801B2 (ja) | 2009-02-27 | 2009-02-27 | 空気流量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009045222A JP5272801B2 (ja) | 2009-02-27 | 2009-02-27 | 空気流量測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010197322A JP2010197322A (ja) | 2010-09-09 |
JP5272801B2 true JP5272801B2 (ja) | 2013-08-28 |
Family
ID=42822171
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009045222A Active JP5272801B2 (ja) | 2009-02-27 | 2009-02-27 | 空気流量測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5272801B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5826360B1 (ja) * | 2014-10-27 | 2015-12-02 | 三菱電機株式会社 | 流量測定装置 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5542614B2 (ja) * | 2010-10-27 | 2014-07-09 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 流量測定装置 |
KR102393036B1 (ko) * | 2020-06-11 | 2022-05-03 | 주식회사 원진일렉트로닉스 | 먼지로 인한 센서의 오염을 방지하는 먼지 측정 장치 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19524634B4 (de) * | 1995-07-06 | 2006-03-30 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums |
JP3569129B2 (ja) * | 1998-05-15 | 2004-09-22 | 株式会社日立ユニシアオートモティブ | 流量検出装置 |
DE19927818C2 (de) * | 1999-06-18 | 2003-10-23 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums |
DE10036290A1 (de) * | 2000-07-26 | 2002-02-07 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Bestimmung zumindest eines Parameters eines strömenden Mediums |
JP2003315116A (ja) * | 2002-04-18 | 2003-11-06 | Denso Corp | 流量測定装置 |
JP4754761B2 (ja) * | 2002-06-06 | 2011-08-24 | 株式会社デンソー | 流量測定装置 |
DE10246069A1 (de) * | 2002-10-02 | 2004-04-15 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur Bestimmung wenigstens eines Parameters eines in einer Leitung strömenden Mediums |
JP4073324B2 (ja) * | 2003-01-24 | 2008-04-09 | 株式会社日立製作所 | 熱式流量測定装置 |
JP2008020193A (ja) * | 2006-07-10 | 2008-01-31 | Mitsubishi Electric Corp | 熱式流量センサ |
JP4412357B2 (ja) * | 2007-06-14 | 2010-02-10 | 株式会社デンソー | 空気流量測定装置 |
JP4488031B2 (ja) * | 2007-06-14 | 2010-06-23 | 株式会社デンソー | 空気流量測定装置 |
-
2009
- 2009-02-27 JP JP2009045222A patent/JP5272801B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5826360B1 (ja) * | 2014-10-27 | 2015-12-02 | 三菱電機株式会社 | 流量測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010197322A (ja) | 2010-09-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4488031B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
JP5182314B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
JP4412357B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
JP2009122054A (ja) | 流量測定装置 | |
JP2013036892A (ja) | 空気流量測定装置 | |
JP2005315740A (ja) | 空気流量測定装置 | |
JP4488030B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
JP6477195B2 (ja) | 流量測定装置 | |
JP6365388B2 (ja) | 流量測定装置 | |
JP2010261771A (ja) | 空気流量測定装置 | |
JP5272801B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
JP5223708B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
JP4752472B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
JP2006234766A (ja) | 気体流量測定装置 | |
US6868722B2 (en) | Air flow rate measuring apparatus | |
JP2005315724A (ja) | 空気流量測定装置 | |
JP5477446B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
JP2005201684A (ja) | 空気流量測定装置 | |
JP2001004420A (ja) | 流量及び流速測定装置 | |
JP5542614B2 (ja) | 流量測定装置 | |
JP5634698B2 (ja) | 質量流量センサ装置の製造方法および質量流量センサ装置 | |
JP5370114B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
CN109196311B (zh) | 热式流量计 | |
JP2003090750A (ja) | 流量及び流速測定装置 | |
JP2007183212A (ja) | 発熱抵抗体式流体流量測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110314 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121120 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130111 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130325 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130416 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130429 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5272801 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |