JP5270712B2

JP5270712B2 - Assembled manifold

Info

Publication number: JP5270712B2
Application number: JP2011087846A
Authority: JP
Inventors: 久二男稲場
Original assignee: 株式会社リガルジョイント
Priority date: 2011-04-12
Filing date: 2011-04-12
Publication date: 2013-08-21
Anticipated expiration: 2026-05-30
Also published as: JP2011137554A

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an assembling type manifold 10 which is easily designed, constructed, disassembled and assembled and has high precision. <P>SOLUTION: A header part 12 includes: connection openings 20; smooth end faces 24 vertical to axial lines 22 of the connection openings 20; certain-length smooth inner walls 26; and steps 42 reducing the diameter of the inner walls 26. A branch pipe part 14 includes a branch opening 32 having one end 30 connected to the header part 12 and communicated with the header part 12. A sleeve 16 includes: a pair of sleeve parts 44 having an outer diameter inserted to the connection opening 20 of the adjacent header part 12 and length equal to or longer than a distance from the end face 24 of the connection opening 20 to the step part 42; and a mounting groove 40 for a seal ring 38 arranged between the inner face of the connection opening 20 of the header part 12 and the sleeve part 44. A header binding mechanism has a function of grasping the plurality of header parts 12 and fixing them in a connected condition. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、複数の任意の分岐を持つ配管に使用される組み立て式マニフォールドに関する。 The present invention relates to a built-in manifold used for piping having a plurality of arbitrary branches.

例えば、半導体製造装置には冷却水による冷却工程が必ず設けられる。これらの配管は複数の分岐を持ち、構造が複雑である。装置の小型化のためには分岐を持つ配管の省スペース化が望まれる。例えば、住宅内の配管の省スペース化について、次のような技術が知られている（特許文献１参照）。 For example, a semiconductor manufacturing apparatus is always provided with a cooling process using cooling water. These pipes have a plurality of branches and have a complicated structure. In order to reduce the size of the apparatus, it is desired to save space for piping having branches. For example, the following technique is known for space saving of piping in a house (see Patent Document 1).

特開２０００−１３０６７９号公報JP 2000-130679 A

既知の従来の技術には、次のような解決すべき課題があった。
配管に複雑な分岐構造が求められていると、適切な場所にチーズ（Ｔ分岐）配管等を配置して相互に接続をする工事が必要になる。しかしながら、従来の配管技術には下記のような解決すべき課題があった。 The known prior art has the following problems to be solved.
When a complicated branch structure is required for piping, it is necessary to construct a cheese (T-branch) pipe or the like at an appropriate location and connect them to each other. However, the conventional piping technology has the following problems to be solved.

配管の挿入にはねじ込み配管が採用される。しかし、ねじ込み配管は、ねじ込みピッチと枝管の回転角とが整合しないので、分岐場所の正確な位置決めが難しい。即ち、分岐位置を優先するとねじ込み量が不足したり、ねじ込み過ぎたりする。シールテープを使うとねじ込み位置を調整できるが、シールテープが配管の継ぎ目から露出していると発塵し、半導体の製造に悪影響を及ぼす。 Screwed pipes are used for pipe insertion. However, in the screwed pipe, the screwing pitch and the rotation angle of the branch pipe do not match, so that it is difficult to accurately position the branching place. That is, if priority is given to the branch position, the screwing amount is insufficient or the screwing is excessive. If the seal tape is used, the screwing position can be adjusted, but if the seal tape is exposed from the joint of the pipe, dust will be generated, which will adversely affect semiconductor manufacturing.

また、シールテープの巻き方にも熟練を要する。即ち、シールテープを使用したものは半導体製造装置等には不向きである。ねじ込み配管はねじ込み部分に設けられたテーパにより気密あるいは水密性を確保する。しかし、ねじ込み量を選定して仕上がり寸法を予測しながら適切な施工をするのは熟練作業であって、技能の差によるばらつきが大きい。 Moreover, skill is required also in how to wind the seal tape. That is, the one using the seal tape is not suitable for a semiconductor manufacturing apparatus or the like. The screwed pipe ensures airtightness or watertightness by a taper provided at the screwed portion. However, it is a skillful work to select the screwing amount and predict the finished dimensions and perform appropriate construction, and there are large variations due to skill differences.

一方溶接により枝管を取り付ける場合は、自由に取り付け位置を設定できる。しかしながら、配管が長くなると機械加工の工数や費用がかかる。しかも、継ぎ手を溶接するために熟練溶接工が必要になる。また、出来あがりに溶接熱ひずみが大きくて修正が必要になることもある。また、酸化膜処理や酸洗い処理等が必要になる。さらに、溶接漏れが生じたた場合には前工程まで戻りやり直しが必要になる。また、継ぎ手間隔が適度に必要なために、全長が長くなるといった問題があった。
本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、設計、施工、分解、組み立てが簡便で、高い精度を持つ組み立て式マニフォールド等を提供することを目的とする。 On the other hand, when the branch pipe is attached by welding, the attachment position can be freely set. However, when the piping becomes long, the man-hours and costs for machining are increased. Moreover, a skilled welder is required to weld the joint. In addition, there is a case where the welding thermal strain is large and the correction is necessary. Moreover, an oxide film treatment, a pickling treatment, etc. are needed. Furthermore, when welding leakage occurs, it is necessary to return to the previous process and start over. Further, there is a problem that the overall length becomes long because the joint interval is appropriately required.
The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide an assembly-type manifold and the like that are simple in design, construction, disassembly, and assembly and have high accuracy.

以下の構成は上記の課題を解決するための手段である。
〈構成１〉（実施例２の発明）
両端に連結用開口を有し、この連結用開口の軸線に垂直で滑らかな端面と一定長の滑らかな内壁と、この内壁上で内壁を縮径する段差を有する母管部と、一端を上記母管部に連結して上記母管部と連通する分岐開口を有する枝管部と、複数の母管部を上記連結用開口を介して連結するものであって、隣接する母管部の連結用開口に挿入される外径を有し、それぞれ連結用開口の端面から段差までの距離以上の長さを有する一対の袖部と、上記母管部の連結用開口の内面と上記袖部との間に配置するシール用リングの装着溝を有するスリーブと、上記スリーブを介して連結され、それぞれ上記枝管部の向きを決定された複数の母管部を把持して、連結状態で固定する機能を有する母管結束機構とを備えたことを特徴とする組み立て式マニフォールド。 The following configuration is means for solving the above problems.
<Configuration 1> (Invention of Example 2)
A connecting opening at both ends, a smooth end surface perpendicular to the axis of the connecting opening, a smooth inner wall having a fixed length, a mother pipe portion having a step for reducing the diameter of the inner wall on the inner wall, and one end of the opening A branch pipe part having a branch opening connected to the mother pipe part and communicating with the mother pipe part, and a plurality of mother pipe parts are connected through the connection opening, and the adjacent mother pipe parts are connected. A pair of sleeve portions each having an outer diameter inserted into the connection opening and having a length equal to or longer than a distance from an end surface of the connection opening to the step, an inner surface of the connection opening of the mother pipe portion, and the sleeve portion A sleeve having a seal ring mounting groove disposed between the sleeve and a plurality of mother pipe portions that are connected via the sleeve and in which the orientations of the branch pipe portions are determined and fixed in a connected state. Assembled manifold characterized by having a mother tube binding mechanism having a function De.

母管部を複数連結して配管を得る。複数の母管部は連結用開口を通じて相互に連結される。任意の数の母管部を連結して、全体として十分に小型な多分岐配管を得ることができる。母管部の連結用開口内壁上で、内壁を縮径する段差を設けて、スリーブの袖部が挿入される深さを規制している。 A plurality of pipes are connected to obtain a pipe. The plurality of mother pipe portions are connected to each other through a connection opening. By connecting the main pipe portion of any number, it is possible to obtain a sufficiently compact hyperbranched pipe as a whole. On the inner wall of the connecting opening of the mother pipe, a step for reducing the diameter of the inner wall is provided to regulate the depth at which the sleeve portion of the sleeve is inserted.

〈構成２〉（実施例２の発明） <Configuration 2> (Invention of Example 2)
前記スリーブ両端の一対の袖部を、前記母管部の連結用開口の端面から段差までの距離と等しくしたことを特徴とする組み立て式マニフォールド。 An assembly-type manifold characterized in that a pair of sleeve portions at both ends of the sleeve is made equal to a distance from an end surface of a connection opening of the mother pipe portion to a step.

スリーブ両端の袖部を、連結用開口の端面から段差までの距離と等しくすると、母管部端面が相互に密着し、母管部相互の接続距離を最小にできる。 When the sleeve portions at both ends of the sleeve are equal to the distance from the end surface of the connecting opening to the step, the end surfaces of the mother pipe portions are in close contact with each other, and the connection distance between the mother pipe portions can be minimized.

〈構成３〉（実施例４の発明）
構成１または２のいずれかに記載の組み立て式マニフォールドにおいて、上記母管結束機構は、相互に連結された複数の母管部の両端に配置された一対の押さえ金具と、上記複数の母管部の連結方向に平行に配置され、母管部外面に近接するように複数本が所定間隔で並べられ、上記母管部の連結用端面を相互に密着させて、上記押さえ金具を介して上記複数の母管部を挟み込む連結棒とを有していることを特徴とする組み立て式マニフォールド。 <Configuration 3> (Invention of Example 4)
In the assembly-type manifold according to any one of Configurations 1 and 2, the mother pipe bundling mechanism includes a pair of press fittings disposed at both ends of a plurality of mother pipe parts connected to each other, and the plurality of mother pipe parts Are arranged in parallel with each other in the connecting direction, and are arranged at a predetermined interval so as to be close to the outer surface of the mother pipe part, the connecting end faces of the mother pipe part are brought into close contact with each other, and the plurality And a connecting rod for sandwiching the mother pipe portion of the assembly type manifold.

母管部の連結用端面を相互に密着させて母管部の連結方向に力を加えて固定すると、複数の母管部が一本の配管と同様の機械的強度を保持し、たわみ等のおそれがない。 When the connecting end faces of the mother pipe part are brought into close contact with each other and force is applied in the connecting direction of the mother pipe part to fix it, the plurality of mother pipe parts maintain the same mechanical strength as a single pipe, such as bending There is no fear.

〈構成４〉（実施例５の発明）
構成１または２のいずれかに記載の組み立て式マニフォールドにおいて、相互に連結された母管部の連結用開口には、その端面周囲に連結用フランジが設けられ、相互に対向して連結されるフランジには、連通する連通孔が設けられ、この連通孔に打ち込まれた止めピンと、止めピン端部の貫通孔に打ち込むテーパピンとにより上記母管部が相互に連結されていることを特徴とする組み立て式マニフォールド。 <Configuration 4> (Invention of Example 5)
In the assembly type manifold according to any one of the configurations 1 and 2, the connection opening of the mutually connected mother pipe portions is provided with a connection flange around the end face, and the flanges are connected to face each other. Is provided with a communicating hole, and the mother pipe portion is connected to each other by a stop pin driven into the communication hole and a taper pin driven into the through hole at the end of the stop pin. Assembled manifold.

複数の母管部を現場で相互に順次連結するのに、作業性の良い構造である。 It is a structure with good workability for sequentially connecting a plurality of mother pipes to each other on site.

〈構成１の効果〉
母管部を複数連結して配管を得る。複数の母管部は連結用開口を通じて相互に連結される。任意の数の母管部を連結して、全体として十分に小型な多分岐配管を得ることができる。母管部の連結用開口内壁上で、内壁を縮径する段差を設けて、スリーブの袖部が挿入される深さを規制している。
〈構成２の効果〉
スリーブ両端の袖部を、連結用開口の端面から段差までの距離と等しくすると、母管部端面が相互に密着し、母管部相互の接続距離を最小にできる。
〈構成３の効果〉
母管部の連結用端面を相互に密着させて母管部の連結方向に力を加えて固定すると、複数の母管部が一本の配管と同様の機械的強度を保持し、たわみ等のおそれがない。
〈構成４の効果〉
複数の母管部を現場で相互に順次連結するのに、作業性の良い構造である。 <Effect of Configuration 1>
A plurality of pipes are connected to obtain a pipe. The plurality of mother pipe portions are connected to each other through a connection opening. By connecting the main pipe portion of any number, it is possible to obtain a sufficiently compact hyperbranched pipe as a whole. On the inner wall of the connecting opening of the mother pipe, a step for reducing the diameter of the inner wall is provided to regulate the depth at which the sleeve portion of the sleeve is inserted.
<Effect of Configuration 2>
When the sleeve portions at both ends of the sleeve are equal to the distance from the end surface of the connecting opening to the step, the end surfaces of the mother pipe portions are in close contact with each other, and the connection distance between the mother pipe portions can be minimized.
<Effect of Configuration 3>
When the connecting end faces of the mother pipe part are brought into close contact with each other and force is applied in the connecting direction of the mother pipe part to fix it, the plurality of mother pipe parts maintain the same mechanical strength as a single pipe, such as bending There is no fear.
<Effect of Configuration 4>
It is a structure with good workability for sequentially connecting a plurality of mother pipes to each other on site.

実施例１の組み立て式マニフォールド１０を示す図で、（ａ）は同マニフォールドの組立要部を示す縦断面図、（ｂ）は同マニフォールドの一部品である母管部１２と枝管部１４を示す縦断面図、（ｃ）は同マニフォールドの一部品であるスリーブ１６を示す正面図、（ｄ）は同側面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the assembly-type manifold 10 of Example 1, (a) is a longitudinal cross-sectional view which shows the assembly principal part of the same manifold, (b) is the mother pipe part 12 and the branch pipe part 14 which are one part of the manifold. The longitudinal cross-sectional view shown, (c) is a front view which shows the sleeve 16 which is one part of the manifold, (d) is the side view. 組み立て式マニフォールド１０を構成する母管部１２と枝管部１４とを示す図で、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は縦断面図である。It is a figure which shows the mother pipe part 12 and the branch pipe part 14 which comprise the assembly-type manifold 10, (a) is a perspective view, (b) is a top view, (c) is a longitudinal cross-sectional view. 母管部に２つの枝管部を設けた例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the example which provided the two branch pipe parts in the mother pipe part. 実施例２の組み立て式マニフォールド１０を示す図で、（ａ）は同マニフォールドの組立要部を示す縦断面図、（ｂ）は同マニフォールドの一部品である母管部１２と枝管部１４を示す縦断面図、（ｃ）は同マニフォールドの一部品であるスリーブ１６を示す正面図、（ｄ）は同側面図である。図１に示した部分と共通する部分には同一符号を付している。FIG. 5 is a diagram illustrating an assembly-type manifold 10 according to a second embodiment, where (a) is a longitudinal sectional view illustrating an essential part of the manifold, and (b) is a diagram illustrating a main pipe portion 12 and a branch pipe portion 14 that are parts of the manifold. The longitudinal cross-sectional view shown, (c) is a front view which shows the sleeve 16 which is one part of the manifold, (d) is the side view. Portions common to those shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals. 実施例３の組み立て式マニフォールド１０を示す図で、（ａ）は同マニフォールドの組立要部を示す縦断面図、（ｂ）は同マニフォールドの一部品である母管部１２と枝管部１４を示す縦断面図、（ｃ）は同マニフォールドの一部品であるスリーブ１６を示す正面図である。図１に示した部分と共通する部分には同一符号を付している。FIG. 4 is a diagram illustrating an assembly-type manifold 10 according to a third embodiment, where (a) is a longitudinal cross-sectional view illustrating an essential part of the manifold, and (b) is a diagram illustrating a main pipe portion 12 and a branch pipe portion 14 that are parts of the manifold. The longitudinal cross-sectional view shown, (c) is a front view showing a sleeve 16 which is a part of the manifold. Portions common to those shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals. 実施例４の組み立て式マニフォールド１０の全体構成を示す図で、（ａ）は正面図、（ｂ）側面図である。It is a figure which shows the whole structure of the assembly-type manifold 10 of Example 4, (a) is a front view, (b) It is a side view. 実施例５の組み立て式マニフォールド１０の要部を示す説明図である。図１に示した部分と共通する部分には同一符号を付している。FIG. 10 is an explanatory diagram illustrating a main part of an assembly type manifold 10 according to a fifth embodiment. Portions common to those shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals. 本発明の組み立て式マニフォールドの組み立て各例の説明図である。It is explanatory drawing of each assembly example of the assembly-type manifold of this invention.

以下、本発明の実施の形態を具体例を用いて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described using specific examples.

図１は実施例１の組み立て式マニフォールド１０を示す図で、（ａ）は同マニフォールドの組立要部を示す縦断面図、（ｂ）は同マニフォールドの一部品である母管部１２と枝管部１４を示す縦断面図、（ｃ）は同マニフォールドの一部品であるスリーブ１６を示す正面図、（ｄ）は同側面図である。図２は組み立て式マニフォールド１０を構成する母管部１２と枝管部１４とを示す図で、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は縦断面図である。図３は母管部に２つの枝管部を設けた例を示す斜視図である。 1A and 1B are diagrams showing an assembly-type manifold 10 according to the first embodiment, in which FIG. 1A is a longitudinal sectional view showing an assembly main part of the manifold, and FIG. 1B is a main pipe portion 12 and branch pipes which are parts of the manifold. The longitudinal cross-sectional view which shows the part 14, (c) is a front view which shows the sleeve 16 which is one part of the manifold, (d) is the side view. 2A and 2B are views showing the main pipe portion 12 and the branch pipe portion 14 constituting the assembly-type manifold 10, wherein FIG. 2A is a perspective view, FIG. 2B is a plan view, and FIG. FIG. 3 is a perspective view showing an example in which two branch pipe portions are provided in the mother pipe portion.

実施例１の組み立て式マニフォールド１０は、図１に示すように、母管部１２と枝管部１４とスリーブ１６と母管結束機構１８（図６）とを備えている。
母管部１２は、図示したように、両端に連結用開口２０を有し、この連結用開口２０は、母管部１２の軸線２２に垂直で滑らかな端面２４と一定長の滑らかな内壁２６と、この内壁２６の端面２４から一定の距離を拡径した拡径部２８を有するものである。枝管部１４は、一端３０を母管部１２に連結して母管部１２の内部と連通する分岐開口３２を有するものである。 As shown in FIG. 1, the assembly-type manifold 10 according to the first embodiment includes a mother pipe part 12, a branch pipe part 14, a sleeve 16, and a mother pipe binding mechanism 18 (FIG. 6).
As shown in the figure, the mother pipe part 12 has connection openings 20 at both ends. The connection opening 20 is perpendicular to the axis 22 of the mother pipe part 12 and has a smooth end face 24 and a smooth inner wall 26 having a fixed length. And an enlarged-diameter portion 28 whose diameter is increased by a certain distance from the end surface 24 of the inner wall 26. The branch pipe part 14 has a branch opening 32 that connects one end 30 to the mother pipe part 12 and communicates with the inside of the mother pipe part 12.

スリーブ１６は、複数の母管部１２を連結用開口２０を介して連結するものであって、隣接する母管部１２の連結用開口２０に挿入される一対の小径部３４と、一対の小径部３４の中間にあって、隣接する母管部１２の拡径部２８に収容される大径部３６と、母管部１２の連結用開口２０の内面と小径部３４との間に配置するシール用リング３８の装着溝４０を有するものである。 The sleeve 16 connects the plurality of mother pipe portions 12 via the connection openings 20, and includes a pair of small diameter portions 34 inserted into the connection openings 20 of the adjacent mother pipe portions 12 and a pair of small diameters. A seal disposed between the large diameter portion 36 in the middle of the portion 34 and accommodated in the enlarged diameter portion 28 of the adjacent mother pipe portion 12, and the inner diameter of the connection opening 20 of the mother pipe portion 12 and the small diameter portion 34. It has a mounting groove 40 for the ring 38 for use.

母管結束機構は、後述するが、スリーブ１６を介して連結され、それぞれ枝管部１４の向きを決定された複数の母管部１２を把持して、連結状態で固定する機能を有するものである。 As will be described later, the mother pipe bundling mechanism has a function of holding a plurality of mother pipe parts 12 that are connected through a sleeve 16 and whose branch pipe parts 14 have directions determined and fixed in a connected state. is there.

組み立て式マニフォールド１０では、複数の母管部１２を連結して、任意の数の分岐を有する配管を得る。複数の母管部１２は連結用開口２０を通じて相互に連結される。各母管部１２の連結用開口２０が、母管部１２の軸線２２に垂直で滑らかな端面２４を有するので、相互に連結した母管部１２を軸線２２を中心に自由に回転できる。母管部１２の連結用開口２０が一定長の滑らかな内壁２６を有するので、スリーブ１６を用いて気密あるいは水密の接続ができる。枝管部１４は、母管部１２のどの部分にいくつ設けられていても構わない。母管部１２を軸線２２を中心に回転すると、枝管部１４を任意の方向に向けることができる。 In the assembly-type manifold 10, a plurality of mother pipe portions 12 are connected to obtain a pipe having an arbitrary number of branches. The plurality of mother pipe portions 12 are connected to each other through the connection opening 20. Since the connection opening 20 of each mother pipe part 12 has a smooth end surface 24 perpendicular to the axis 22 of the mother pipe part 12, the mutually connected mother pipe parts 12 can be freely rotated around the axis 22. Since the connecting opening 20 of the mother pipe part 12 has a smooth inner wall 26 having a fixed length, an airtight or watertight connection can be made using the sleeve 16. Any number of branch pipe portions 14 may be provided in any portion of the mother pipe portion 12. When the mother pipe part 12 is rotated about the axis 22, the branch pipe part 14 can be directed in an arbitrary direction.

母管部１２の連結用開口２０の内面と前記小径部３４との間に配置するシール用リング３８により、母管部１２相互の接続を気密あるいは水密に保持できる。一対の小径部３４の装着溝４０にシール用リング３８を配置して、隣接する母管部１２の間にスリーブ１６を配置し、各母管部１２の連結用開口２０に小径部３４を挿入すると、簡単に接続作業が完了する。スリーブ１６の大径部４６３６は、スリーブ１６を母管部１２の連結部中央に位置決めする機能を持つ。任意の数の母管部１２を連結して、全体として十分に小型な多分岐配管を得ることができる。 The connection between the mother pipe parts 12 can be kept airtight or watertight by the sealing ring 38 disposed between the inner surface of the connecting opening 20 of the mother pipe part 12 and the small diameter part 34. A seal ring 38 is disposed in the mounting groove 40 of the pair of small diameter portions 34, the sleeve 16 is disposed between the adjacent mother pipe portions 12, and the small diameter portions 34 are inserted into the connection openings 20 of the respective mother pipe portions 12. Then, connection work is completed easily. The large diameter portion 4636 of the sleeve 16 has a function of positioning the sleeve 16 at the center of the connecting portion of the mother pipe portion 12. An arbitrary number of mother pipe portions 12 can be connected to obtain a sufficiently small multi-branch pipe as a whole.

母管部１２とスリーブ１６とは挿入により着脱および回転可能に連結されている。そこで、これらを固定するために、母管結束機構を使用する。母管結束機構は、母管部１２の位置決めをして固定する機能を有するものならその構造は任意である。また、汎用品として市販されている母管部１２を切削加工するだけで適用できるので、この組み立て式マニフォールド１０は低コストで実現するという特徴を持つ。 The mother pipe part 12 and the sleeve 16 are connected so as to be detachable and rotatable by insertion. Therefore, in order to fix them, a mother tube binding mechanism is used. The structure of the mother tube bundling mechanism is arbitrary as long as it has a function of positioning and fixing the mother tube portion 12. Moreover, since it can apply only by cutting the main-tube part 12 marketed as a general purpose product, this assembly-type manifold 10 has the characteristics of implement | achieving at low cost.

母管部１２は相互に突き合わせ接続されるので、ねじ込み接続法と比較して寸法精度が高く、設計通りの配管を現場で組み立てることができる。また、大部分を予め組み立てていくこともできる。しかも、シールテープを使用しないので発塵がなく、半導体製造装置の配管に最適である。
枝管部１４は、図３に示すように母管部１２に対して２個あるいは任意の数設けられてもよいものである。 Since the mother pipe parts 12 are butt-connected to each other, the dimensional accuracy is higher than that of the screw connection method, and the designed pipe can be assembled on site. Moreover, most can also be assembled in advance. Moreover, since no seal tape is used, there is no dust generation and it is optimal for piping of semiconductor manufacturing equipment.
As shown in FIG. 3, two or any number of branch pipe parts 14 may be provided with respect to the mother pipe part 12.

図４は実施例２の組み立て式マニフォールド１０を示す図で、（ａ）は同マニフォールドの組立要部を示す縦断面図、（ｂ）は同マニフォールドの一部品である母管部１２と枝管部１４を示す縦断面図、（ｃ）は同マニフォールドの一部品であるスリーブ１６を示す正面図、（ｄ）は同側面図である。図１に示した部分と共通する部分には同一符号を付している。 4A and 4B are diagrams showing the assembly-type manifold 10 according to the second embodiment. FIG. 4A is a longitudinal cross-sectional view showing an essential part of the manifold, and FIG. 4B is a main pipe portion 12 and a branch pipe which are parts of the manifold. The longitudinal cross-sectional view which shows the part 14, (c) is a front view which shows the sleeve 16 which is one part of the manifold, (d) is the side view. Portions common to those shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals.

実施例２の組み立て式マニフォールド１０の母管部１２は、両端に連結用開口２０を有し、この連結用開口２０は、母管部１２の軸線２２に垂直で滑らかな端面２４と一定長の滑らかな内壁２６と、この内壁２６上で内壁２６を縮径する段差４２を有するものである。枝管部１４は、一端３０を母管部１２に連結して母管部１２と連通する分岐開口３２を有するものである。 The mother pipe part 12 of the assembly type manifold 10 of the second embodiment has connection openings 20 at both ends. The connection opening 20 is perpendicular to the axis 22 of the mother pipe part 12 and has a smooth end face 24 and a fixed length. A smooth inner wall 26 and a step 42 on the inner wall 26 for reducing the diameter of the inner wall 26 are provided. The branch pipe part 14 has a branch opening 32 that connects one end 30 to the mother pipe part 12 and communicates with the mother pipe part 12.

スリーブ１６は、複数の母管部１２を連結用開口２０を介して連結するものであって、隣接する母管部１２の連結用開口２０に挿入される外径を有し、それぞれ連結用開口２０の端面２４から段差４２までの距離以上の長さを有する一対の袖部４４と、母管部１２の連結用開口２０の内面と袖部４４との間に配置するシール用リング３８の装着溝４０を有するものである。母管結束機構は、スリーブ１６を介して連結され、それぞれ枝管部１４の向きを決定された複数の母管部１２を把持して、連結状態で固定する機能を有するものである。 The sleeve 16 connects the plurality of mother pipe portions 12 via the connection openings 20, and has an outer diameter inserted into the connection openings 20 of the adjacent mother pipe portions 12. A pair of sleeve portions 44 having a length equal to or greater than the distance from the end face 24 of the 20 to the step 42 and a seal ring 38 disposed between the inner surface of the connection opening 20 of the mother pipe portion 12 and the sleeve portion 44. A groove 40 is provided. The mother pipe bundling mechanism has a function of holding a plurality of mother pipe parts 12 that are connected through a sleeve 16 and whose branch pipe parts 14 have directions determined and fixed in a connected state.

母管部１２の両端には、連結用開口２０内壁２６上で、その内壁２６を縮径する段差４２を設けて、スリーブ１６の袖部４４が挿入される深さを規制している。スリーブ１６両端の一対の袖部４４は、いずれも連結用開口２０の端面２４から段差４２までの距離以上の長さを有するので、スリーブ１６の両端は確実に両側の母管部１２の段差４２に突き当たり、位置決めがされる。例えば、スリーブ１６両端の袖部４４を、連結用開口２０の端面２４から段差４２までの距離と等しくすると、母管部１２端面２４が相互に密着し、母管部１２相互の接続距離を最小にできる。 At both ends of the mother pipe portion 12, a step 42 for reducing the diameter of the inner wall 26 is provided on the inner wall 26 of the connection opening 20 to regulate the depth at which the sleeve portion 44 of the sleeve 16 is inserted. Each of the pair of sleeve portions 44 at both ends of the sleeve 16 has a length equal to or longer than the distance from the end face 24 of the connection opening 20 to the step 42, so that both ends of the sleeve 16 are surely at the step 42 of the mother pipe portion 12 on both sides. It hits and is positioned. For example, when the sleeve portions 44 at both ends of the sleeve 16 are equal to the distance from the end surface 24 of the connecting opening 20 to the step 42, the end surfaces 24 of the mother pipe portion 12 are in close contact with each other, and the connection distance between the mother pipe portions 12 is minimized. Can be.

図５は実施例３の組み立て式マニフォールド１０を示す図で、（ａ）は同マニフォールドの組立要部を示す縦断面図、（ｂ）は同マニフォールドの一部品である母管部１２と枝管部１４を示す縦断面図、（ｃ）は同マニフォールドの一部品であるスリーブ１６を示す正面図である。図１に示した部分と共通する部分には同一符号を付している。 FIGS. 5A and 5B are diagrams showing the assembly-type manifold 10 according to the third embodiment, in which FIG. 5A is a longitudinal sectional view showing an assembly main part of the manifold, and FIG. 5B is a main pipe portion 12 and a branch pipe which are parts of the manifold. FIG. 8C is a front sectional view showing a sleeve 16 which is a part of the manifold. Portions common to those shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals.

実施例３の組み立て式マニフォールド１０の母管部１２は、両端に連結用開口２０を有し、この連結用開口２０は、母管部１２の軸線２２に垂直で滑らかな端面２４と一定長の滑らかな内壁２６を有するものである。枝管部１４は、一端３０を母管部１２に連結して母管部１２と連通する分岐開口３２を有するものである。 The mother pipe part 12 of the assembly type manifold 10 of the third embodiment has connection openings 20 at both ends. The connection opening 20 is perpendicular to the axis 22 of the mother pipe part 12 and has a smooth end face 24 and a fixed length. It has a smooth inner wall 26. The branch pipe part 14 has a branch opening 32 that connects one end 30 to the mother pipe part 12 and communicates with the mother pipe part 12.

スリーブ１６は、複数の母管部１２を連結用開口２０を介して連結するものであって、隣接する母管部１２の連結用開口２０に挿入される一対の小径部３４と、一対の小径部３４の中間にあって、隣接する母管部１２の連結用開口２０の端面２４に挟み込まれる大径部３６と、母管部１２の連結用開口２０の内面と小径部３４との間に配置するシール用リング３８の装着溝４０を有するものである。母管結束機構は、スリーブ１６を介して連結され、それぞれ枝管部１４の向きを決定された複数の母管部１２を把持して、連結状態で固定する機能を有するものである。 The sleeve 16 connects the plurality of mother pipe portions 12 via the connection openings 20, and includes a pair of small diameter portions 34 inserted into the connection openings 20 of the adjacent mother pipe portions 12 and a pair of small diameters. Between the large diameter portion 36 sandwiched between the end faces 24 of the connecting opening 20 of the adjacent mother pipe portion 12 and the inner diameter of the connecting opening 20 of the mother pipe portion 12 and the small diameter portion 34. It has a mounting groove 40 for the sealing ring 38 to be used. The mother pipe bundling mechanism has a function of holding a plurality of mother pipe parts 12 that are connected through a sleeve 16 and whose branch pipe parts 14 have directions determined and fixed in a connected state.

スリーブ１６の大径部３６が母管部１２の連結部に挟み込まれるので、母管部１２の連結用開口２０内壁２６の構造は単純化される。スリーブ１６の大径部４６３６の寸法を調整することにより、全体として十分に小型な多分岐配管を得ることができる。 Since the large diameter portion 36 of the sleeve 16 is sandwiched between the connecting portions of the mother pipe portion 12, the structure of the inner wall 26 of the connecting opening 20 of the mother pipe portion 12 is simplified. By adjusting the size of the large-diameter portion 4636 of the sleeve 16, a sufficiently small multi-branch pipe can be obtained as a whole.

図６は実施例４の組み立て式マニフォールド１０の全体構成を示す図で、（ａ）は正面図、（ｂ）側面図である。
母管結束機構１８は、一対の押さえ金具４８と複数本の連結棒５０とを備えている。一対の押さえ金具４８は、相互に連結された複数の母管部１２の両端に配置されている。連結棒５０は、複数の母管部１２の連結方向に平行に配置されている。母管部１２外面に近接するように複数本の連結棒５０が所定間隔で並べられる。連結棒５０のボルトを締め付けると、押さえ金具４８を介して複数の母管部１２を挟み込む。 6A and 6B are diagrams showing the overall configuration of the assembly-type manifold 10 of the fourth embodiment, where FIG. 6A is a front view and FIG. 6B is a side view.
The mother pipe bundling mechanism 18 includes a pair of presser fittings 48 and a plurality of connecting rods 50. The pair of presser fittings 48 are disposed at both ends of the plurality of mother pipe portions 12 connected to each other. The connecting rod 50 is disposed in parallel to the connecting direction of the plurality of mother pipe portions 12. A plurality of connecting rods 50 are arranged at predetermined intervals so as to be close to the outer surface of the mother pipe portion 12. When the bolts of the connecting rod 50 are tightened, the plurality of mother pipe portions 12 are sandwiched via the presser fitting 48.

相互に連結された複数の母管部１２の全長に合わせて、適切な長さの連結棒５０を使用すれば、任意の構成の多分岐配管を手軽に組み立てることができる。母管部１２の連結方向に平行に配置され、母管部１２外面に近接するように複数本が所定間隔で並べられるので、連結棒５０の位置決めが正確にでき、押さえ金具４８を適切な姿勢で連結できる。押さえ金具４８は相互に連結された複数の母管部１２の両端に配置されるから、多分岐配管を壁面等に固定する支持具としても利用できる。母管部１２の連結用端面２４を相互に密着させて母管部１２の連結方向に力を加えて固定すると、複数の母管部１２が一本の配管と同様の機械的強度を保持し、たわみ等のおそれがない。 If a connecting rod 50 having an appropriate length is used in accordance with the entire length of the plurality of mother pipe portions 12 connected to each other, a multi-branch pipe having an arbitrary configuration can be easily assembled. Since a plurality of rods are arranged at a predetermined interval so as to be close to the outer surface of the mother pipe part 12 and arranged parallel to the connecting direction of the mother pipe part 12, the connecting rod 50 can be accurately positioned, and the holding metal fitting 48 is in an appropriate posture. Can be linked with. Since the presser fittings 48 are disposed at both ends of the plurality of mother pipe portions 12 connected to each other, they can also be used as a support for fixing the multi-branch pipe to a wall surface or the like. When the connecting end surfaces 24 of the mother pipe part 12 are brought into close contact with each other and force is applied in the connecting direction of the mother pipe part 12 to fix them, the plurality of mother pipe parts 12 maintain the same mechanical strength as a single pipe. There is no risk of bending.

図７は実施例５の組み立て式マニフォールド１０の要部を示す説明図である。図１に示した部分と共通する部分には同一符号を付している。
相互に連結された母管部１２の端面２４の周囲に連結用のフランジ５５が設けられている。相互に対向して連結される両フランジ５５には、軸方向に連通する連通孔５６が設けられている。この連通孔５６に打ち込まれた止めピン５８と、この止めピン５８の端部に係止されたテーパピン５７とにより母管部１２が相互に連結されている。図７（ｃ）に示すように、止めピン５８の一端には頭部５８Ａが設けられ、他端にはテーパピン５７を挿入するための貫通孔５８Ｂが設けられている。図７（ｄ）に示すように、テーパピン５７の下方には、緩み止めの止めねじ５９をねじ込むための小孔５７Ａが設けられている。止めピン５８の貫通孔５８Ｂに打ち込まれたテーパピン５７は、小孔５７Ａにねじ込まれてフランジ５５の側面を押圧する止めねじ５９により緩み止めされて固定される。 FIG. 7 is an explanatory view showing a main part of the assembly-type manifold 10 of the fifth embodiment. Portions common to those shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals.
A connecting flange 55 is provided around the end face 24 of the mother pipe part 12 connected to each other. Both flanges 55 connected to face each other are provided with communication holes 56 communicating in the axial direction. The mother pipe portion 12 is connected to each other by a stop pin 58 driven into the communication hole 56 and a taper pin 57 locked to the end of the stop pin 58. As shown in FIG. 7C, a head 58A is provided at one end of the stop pin 58, and a through hole 58B for inserting the taper pin 57 is provided at the other end. As shown in FIG. 7D, a small hole 57 </ b> A for screwing a setscrew 59 for preventing loosening is provided below the taper pin 57. The taper pin 57 driven into the through hole 58B of the set pin 58 is fixed by being loosened by a set screw 59 that is screwed into the small hole 57A and presses the side surface of the flange 55.

母管部１２の端面２４の周囲に連結用のフランジ５５が設けられ、相互に対向して連結される両フランジ５５に連通して設けられた連通孔５６に止めピン５８を打ち込むことにより、現場で個別に母管部１２を順次連結することができる。さらに止めピン５８端部の貫通孔５８Ｂにテーパピン５７を打ち込むと両フランジ５５をしっかりと固定できる。これは、複数の母管部１２を現場で相互に順次連結するのに、作業性の良い構造である。 A connecting flange 55 is provided around the end surface 24 of the mother pipe portion 12, and a stop pin 58 is driven into a communication hole 56 provided in communication with both flanges 55 connected to face each other. Thus, the mother pipe portions 12 can be sequentially connected individually. Further, when the taper pin 57 is driven into the through hole 58B at the end of the stop pin 58, both flanges 55 can be firmly fixed. This is a structure with good workability for sequentially connecting the plurality of mother pipe parts 12 to each other on site.

図８は、本発明の組み立て式マニフォールドの組み立て例の説明図である。図１に示した部分と共通する部分には同一符号を付している。
図８（ａ）に示した例は、これまで説明した通り複数の枝管部１４を一定の方向に向けて配列したものである。また、図８（ｂ）に示すように任意の枝管部１４Ａを他の枝管部と別の方向に向けることもできる。図８（ｃ）では、中間の２個の枝管部１４Ａと１４Ｂがそれぞれ異なる方向に向いている。また、２つの枝管部１４Ｃと１４Ｄを備えた母管部１２Ａも利用されている。 FIG. 8 is an explanatory view of an assembly example of the assembly type manifold of the present invention. Portions common to those shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals.
In the example shown in FIG. 8A, a plurality of branch pipe portions 14 are arranged in a certain direction as described above. Further, as shown in FIG. 8B, an arbitrary branch pipe portion 14A can be directed in a different direction from other branch pipe portions. In FIG. 8C, the middle two branch pipe portions 14A and 14B are directed in different directions. Further, a mother pipe part 12A provided with two branch pipe parts 14C and 14D is also used.

図８（ｄ）では、各枝管部１４にバルブ１１が取り付けられている。このバルブ１１はハンドル１３操作によって枝管部１４を開閉するものであるが、電磁式に開閉するものでもよい。この図に示すように枝管部１４にバルブ１１を取り付ける作業は、組み立て後は非常に難しい。そこで、予めバルブ１１を取り付けたものを図のように配列し、既に説明した通りスリーブ１６を用いて連結すれば、容易にこの図のような構造が組み立てられる。 In FIG. 8D, a valve 11 is attached to each branch pipe portion 14. The valve 11 opens and closes the branch pipe portion 14 by operating the handle 13, but may be opened and closed electromagnetically. As shown in this figure, the operation of attaching the valve 11 to the branch pipe portion 14 is very difficult after assembly. Therefore, if the valves 11 attached in advance are arranged as shown in the figure and connected using the sleeve 16 as already described, the structure shown in this figure can be easily assembled.

以上説明したように、鋳物整形された汎用品の継ぎ手に、滑らかな内壁２６を形成するための加工処理をすれば、母管部１２を製造できる。シール用リング３８に、既存のＯ（オー）リングを使用すると、ガス漏れ、水漏れの心配が要らない。また、複雑な分岐ができるにもかかわらず、継ぎ手間の間隔を狭くすることが出きるので、組立のスペースが少なくて済む。組み立て分解が容易で、分岐方向も自由に調整できる。また、配管の連数も自由に選択できるので、設計や配管作業が短縮される。 As described above, the mother pipe portion 12 can be manufactured by performing processing for forming the smooth inner wall 26 on the joint of the cast-shaped general-purpose product. If an existing O (O) ring is used for the sealing ring 38, there is no need to worry about gas leakage and water leakage. In addition, the space between the joints can be reduced in spite of the complicated branching, so that the assembly space can be reduced. Assembly and disassembly is easy, and the branch direction can be adjusted freely. In addition, since the number of pipes can be freely selected, design and piping work can be shortened.

継ぎ手には、チーズ（Ｔ型分岐）、異型チーズ、クロス（十字型分岐）などがあるが、これらを自由に組み合わせることができる。押さえ金具４８と４本の連結棒５０を使用した母管結束機構を使用すると、例えば、既知のタイロットボルトを使用して４ヶ所の締め付け処理で作業が終了する。熟練が不要で、簡単に組み立て作業ができる効果がある。このとき、予め枝管部に、バルブや電磁弁やその他の配管部品を前もって取り付けておくと、現場での配管作業を簡略化することができる。 The joint includes cheese (T-shaped branch), atypical cheese, cross (cross-shaped branch), and the like, which can be freely combined. When the mother pipe bundling mechanism using the presser fitting 48 and the four connecting rods 50 is used, for example, a known tie-bolt is used to complete the work in four tightening processes. There is an effect that assembly is easy because no skill is required. At this time, if a valve, a solenoid valve, or other piping parts are previously attached to the branch pipe portion, piping work at the site can be simplified.

１０組み立て式マニフォールド
１２母管部
１４枝管部
１６スリーブ
１８母管結束機構
２０連結用開口
２２軸線
２４端面
２６内壁
２８拡径部
３０一端
３２分岐開口
３４小径部
３６大径部
３８シール用リング
４０装着溝
４２段差
４４袖部
４８押さえ金具
５０連結棒 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Assembling type manifold 12 Mother pipe part 14 Branch pipe part 16 Sleeve 18 Mother pipe bundling mechanism 20 Connection opening 22 Axis 24 End face 26 Inner wall 28 Wide diameter part 30 One end 32 Branching opening 34 Small diameter part 36 Large diameter part 38 Seal ring 40 Mounting groove 42 Step 44 Sleeve 48 Presser fitting 50 Connecting rod

Claims

両端に連結用開口を有し、この連結用開口の軸線に垂直で滑らかな端面と一定長の滑らかな内壁と、この内壁上で内壁を縮径する段差を有する母管部と、
一端を前記母管部に連結して前記母管部と連通する分岐開口を有する枝管部と、
複数の母管部を前記連結用開口を介して連結するものであって、隣接する母管部の連結用開口に挿入される外径を有し、それぞれ連結用開口の端面から段差までの距離以上の長さを有する一対の袖部と、前記母管部の連結用開口の内面と前記袖部との間に配置するシール用リングの装着溝を有するスリーブと、
前記スリーブを介して連結され、それぞれ前記枝管部の向きを決定された複数の母管部を把持して、連結状態で固定する機能を有する母管結束機構とを備え、
前記スリーブ両端の一対の袖部を、前記母管部の連結用開口の端面から段差までの距離と等しくし、
前記母管結束機構は、相互に連結された複数の母管部の両端に配置された一対の押さえ金具と、前記複数の母管部の連結方向に平行に配置され、母管部外面に近接するように複数本が所定間隔で並べられ、前記母管部の連結用端面を相互に密着させて、前記押さえ金具を介して前記複数の母管部を挟み込む連結棒とを有し、
相互に連結された母管部の連結用開口には、その端面周囲に連結用フランジが設けられ、相互に対向して連結されるフランジには、連通する連通孔が設けられ、この連通孔に打ち込まれた止めピンと、止めピン端部の貫通孔に打ち込むテーパピンとにより前記母管部が相互に連結されていることを特徴とする組み立て式マニフォールド。 A connecting opening at both ends, a smooth end face perpendicular to the axis of the connecting opening, a smooth inner wall having a fixed length, and a mother pipe having a step for reducing the diameter of the inner wall on the inner wall,
A branch pipe part having one end connected to the mother pipe part and having a branch opening communicating with the mother pipe part;
A plurality of mother pipe parts are connected through the connection openings, each having an outer diameter inserted into a connection opening of an adjacent mother pipe part, and a distance from an end surface of each connection opening to a step. A pair of sleeves having the above length, and a sleeve having a groove for attaching a seal ring disposed between the inner surface of the connection opening of the mother pipe and the sleeve;
A mother tube bundling mechanism having a function of holding and fixing in a connected state by gripping a plurality of mother pipe portions that are connected via the sleeve and in which the orientations of the branch pipe portions are respectively determined;
A pair of sleeve portions at both ends of the sleeve is made equal to the distance from the end face of the connection opening of the mother pipe portion to the step,
The mother pipe bundling mechanism is disposed in parallel to a pair of holding metal fittings arranged at both ends of a plurality of mother pipe parts connected to each other and a connection direction of the plurality of mother pipe parts, and is close to the outer surface of the mother pipe part A plurality of the rods are arranged at a predetermined interval, the connecting end faces of the mother pipe parts are closely attached to each other, and a connecting rod for sandwiching the plurality of mother pipe parts via the pressing metal fittings,
The connecting openings of the mutually connected mother pipe portions are provided with connecting flanges around the end faces thereof, and the flanges connected to face each other are provided with communication holes that communicate with each other. An assembly-type manifold, wherein the mother pipe portion is connected to each other by a driven stop pin and a taper pin driven into a through hole at an end portion of the stop pin .