JP5268108B2 - Memsの技術による温度センサ及びその製造方法 - Google Patents
Memsの技術による温度センサ及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5268108B2 JP5268108B2 JP2009067117A JP2009067117A JP5268108B2 JP 5268108 B2 JP5268108 B2 JP 5268108B2 JP 2009067117 A JP2009067117 A JP 2009067117A JP 2009067117 A JP2009067117 A JP 2009067117A JP 5268108 B2 JP5268108 B2 JP 5268108B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bimorph
- mems
- temperature
- plates
- temperature sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Micromachines (AREA)
Description
これらのセンサは、例えば保管中の荷物の温度が許容範囲内に保たれていたことを確認するなどの用途に用いられることを意図されており、例えば引用文献1であれば、顧客に温度センサ用バイモルフが反り返った状態を見せることにより、輸送中に温度上昇があったことを示すために用いられる。すなわち、これらのセンサは一種のヒューズとして作用する。これらの温度センサは、過去に温度が所定値以上に上昇したことを記憶することを目的に構成されているため、連続的な体温測定を行うことが必要な、上述の健康モニタリングの目的にはあまり適していない。例えば、特許文献1の構成では、バイモルフが反り返った状態を保持するという構造を有するため、連続的な体温測定を行うことは不可能である。また、特許文献1及び2のバイモルフ構造は、温度測定誤差を小さくすることができず、その点でも上述の健康モニタリングの目的に使用するには不十分である。
Helen Pilcher, "Increasing virulence of bird flu threatens mammals", Nature 430 (4), 4(2004) V.F. Mitin, P.C. McDonald, F. Pavese, N.S. Boltovets, V.V. Kholevchuk, I.Yu. Nemish, V.V. Basanets, V.K. Dugaev, P.V. Sorokin, R.V. Konakova, E.F. Venger and E.V. Mitin, "Ge-on-GaAs film resistance thermometers for cryogenic applications", Cryogenics 47 (9-10), 474-482 (2007). Suhao He, Matthew M. Mench and Srinivas Tadigadapa, "Thin film temperature sensor for real-time measurement of electrolyte temperature in a polymer electrolyte fuel cell", Sens. Actuators A 125 (2), 170-177 (2006). L. M. Reindl and I. M. Shrena, "Wireless measurement of temperature using surface acoustic waves sensors", IEEE Trans. Ultra. Ferroelectro. Freq. Control 51(11), 1457-1463 (2004). G. Scholl, F. Schmidt and U. Wolff, "Surface Acoustic Wave Devices for sensor applications", Phys. Stat. Sol. (A) 185 (1), 47-58 (2001). Y. Zhao, M. Mao, R. Horowitz, A. Majumdar, J. Varesi, P. Norton and J. Kitching, "Optomechanical uncooled infrared imaging system: design, microfabricaiton, and performance", J. Microelectromechanical Sys. 11 (2), 136-146 (2002). J. L. Corbeil, N. V. Lavrik and S. Rajic, "Self-leveling uncooled microcantilever thermal detector", Appl. Phys. Lett. 81 (7), 1306-13.8 (2002).
Claims (2)
- 互いに向かい合うように、且つ、変位方向が相手に接近する方向となるように配される2枚のバイモルフ板であって、それぞれ、その先端部にその変位方向に***した突端部を備えると共に、他方の前記バイモルフ板に対向する面が絶縁体で形成され、さらに前記他方のバイモルフ板とは対向しない面は導電材で形成され、ただし前記他方のバイモルフ板と対向する面においても、変位によって前記他方のバイモルフ板と接触しうる箇所においては、前記導電材との導通が得られるように構成される、2枚のバイモルフ板を有するMEMSバイモルフ素子を複数有するMEMSバイモルフ素子複合体であって、各前記MEMSバイモルフ素子の前記2枚のバイモルフ板の間隔が、他の前記MEMSバイモルフ素子の前記2枚のバイモルフ板の間隔とは異なるように構成される、MEMSバイモルフ素子複合体。
- 請求項1に記載のMEMSバイモルフ素子複合体を備える温度センサであって、前記MEMSバイモルフ素子複合体の前記2枚のバイモルフ板の接触を検知することによって熱を検知するように構成される、温度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009067117A JP5268108B2 (ja) | 2009-03-18 | 2009-03-18 | Memsの技術による温度センサ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009067117A JP5268108B2 (ja) | 2009-03-18 | 2009-03-18 | Memsの技術による温度センサ及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010217120A JP2010217120A (ja) | 2010-09-30 |
JP5268108B2 true JP5268108B2 (ja) | 2013-08-21 |
Family
ID=42976116
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009067117A Expired - Fee Related JP5268108B2 (ja) | 2009-03-18 | 2009-03-18 | Memsの技術による温度センサ及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5268108B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015192110A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | 株式会社日本スペリア社 | Mems及びそれを機能する回路を応用した実装プロセス管理チップ並びにそれを応用した実装管理システム及びその装置 |
CN107727266A (zh) * | 2017-09-21 | 2018-02-23 | 广东电网有限责任公司惠州供电局 | 一种mems温度传感器及其开关柜测温*** |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3814617A1 (de) * | 1988-04-29 | 1989-11-09 | Fraunhofer Ges Forschung | Greifvorrichtung |
JP3408972B2 (ja) * | 1989-11-13 | 2003-05-19 | 株式会社日立製作所 | 荷電粒子ビーム装置及び加工方法 |
JPH0852673A (ja) * | 1994-08-12 | 1996-02-27 | Nikon Corp | 探針付き超小型グリッパー |
JP5046092B2 (ja) * | 2006-12-15 | 2012-10-10 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 温度センサ、生体の健康管理システム |
-
2009
- 2009-03-18 JP JP2009067117A patent/JP5268108B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010217120A (ja) | 2010-09-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11011323B2 (en) | Sensing devices, sensors, and methods for monitoring environmental conditions | |
US7509869B2 (en) | Microfabricated pressure and shear stress sensors | |
JP5819631B2 (ja) | 経時温度変化の変換を行うトランスデューサ、このトランスデューサを組み込んである電子チップ、およびこの電子チップの製造方法 | |
WO2013042680A1 (ja) | 触覚センサ及び多軸触覚センサ | |
JP5046092B2 (ja) | 温度センサ、生体の健康管理システム | |
CN109001486B (zh) | 一种宽量程风速传感器及其制作方法 | |
CN105092069B (zh) | 用于电容式温度计的***和方法 | |
JP5268108B2 (ja) | Memsの技術による温度センサ及びその製造方法 | |
JP6243040B2 (ja) | 被酸化性ガスを検出するセンサ | |
RU2658089C1 (ru) | Датчик деформации | |
Scott et al. | A capacitively-loaded MEMS slot element for wireless temperature sensing of up to 300 C | |
CN112432719A (zh) | 一种新型热电堆热流传感器 | |
US9599522B2 (en) | Device for measuring or evaluating a characteristic of a heat flux exchanged between a first medium and a second medium | |
JP4820124B2 (ja) | 温度分布測定装置 | |
EP3346238B1 (en) | Sensor with multiple sensing elements | |
Zhang et al. | Novel MEMS digital temperature sensor for wireless avian-influenza monitoring system in poultry farm | |
JP2002039739A (ja) | 衝突防止センサ | |
JP4849549B2 (ja) | 無線式センサシステム、生体の健康管理システム | |
KR102414116B1 (ko) | 단열구조를 갖는 가스센서와 가스센서 어레이 및 그 제조방법 | |
Zhang et al. | Novel MEMS-based thermometer with low power consumption for health-monitoring network application | |
CN111896121A (zh) | 一种mems热电堆红外探测器 | |
US20150043610A1 (en) | Stress detection system on small areas and method thereof | |
US20240067526A1 (en) | Arrangement of carbon nanotubes and a method for manufacturing the arrangement | |
JP5896395B2 (ja) | 加速度センサ及び鳥インフルエンザ監視システム | |
US20220074880A1 (en) | Mems hydrogen sensor and hydrogen sensing system |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110825 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121128 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121217 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130318 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130405 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130425 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130501 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5268108 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |