JP5268047B2 - マイクロ波化学反応装置 - Google Patents
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Description
マイクロ波加熱にシングルモードの空胴共振器を使用すると、共振した状態で極めて強い電磁界を発生でき、しかも固有の電磁界分布が得られるので、例えば、マイクロ波吸収が極めて小さい試料のような、他のマイクロ波手段では加熱することができない試料を効率よくしかも均一に加熱できる可能性が生まれる。
特にこのシングルモード共振器が円筒状空胴共振器であって、この共振器をTM010モードで共振させた場合には、円周方向と軸方向に対して一定の強い電界が得られるので、共振器内部に配設した円筒あるいは円柱状の被照射体をほぼ均一に加熱することが可能になる。以下、TM010モードで共振する円筒状の空胴共振器を単に空胴共振器あるいは共振器と記載することにする。TM010を用いたマイクロ波装置の一例は特許文献1に示されている。
後述するように、空胴共振器には、マイクロ波に対し極めて厳しい要求があるため、いまだ一般的に使用される状況には至っていない。もしこの困難が解決できれば、その優れた特徴から、空胴共振器は
効果的なツールとして高い地位を築き、かつそれを維持できると考えられる。
マイクロ波を発生するためのデバイスとしては、マグネトロン発振器(以下単にマグネトロンという)が最も安価に利用できる装置である。しかし、マグネトロンは出力を変えたり、あるいは負荷からの反射波の大きさや位相が変化したりすると、発振周波数が変化するという欠点を持っている。また、マグネトロンの出力は単一の周波数ではなく、スペクトルがある幅を持って広がっているという問題がある。一方、空胴共振器には、共振周波数と一致するか、そのごく近傍の周波数成分を持つマイクロ波しか入射できず、その他の周波数成分を持つ大部分のマイクロ波が空胴の入り口で反射されてしまうという問題点がある。特に空胴共振器の中に配置されたマイクロ波吸収が小さい被照射体(以下、「空胴負荷」とも呼ぶ)に対しては、マイクロ波吸収が少ないほど入射できる周波数の幅が狭くなる傾向がある。この欠点のため、マグネトロンで空胴負荷を効率よくマイクロ波加熱することは不可能である。
マグネトロンの欠点を除去する方法として、マグネトロンにスペクトル特性の優れた発振器による信号を注入して、発振周波数を安定化し、スペクトル特性を改善する手段が特許文献2に記載されている。この改善されたマグネトロン装置を制御型マグネトロンと呼ぶことにする。制御型マグネトロンによって、空胴負荷の加熱効率を、3〜5倍程度、あるいはそれ以上に高めることが可能になる。
空胴負荷を加熱する場合、発振周波数と空胴の共振周波数を一致させる、すなわち同調をとることが必要である。同調に関していくつかの課題がある。
まず、空胴の共振周波数は、被照射体の誘電率、量、形状等によって大きく変化する。このため、まず、設計段階で、被照射体に合わせて最適な構造寸法を決める必要がある。被照射体が変わると空胴設計を新しくしなければならない場合も少なくない。
被照射体が決まり空胴の最適寸法が決まった後もさらに別の問題が発生する。すなわち、加熱の進行に伴って被照射体の誘電特性が変わり、それに伴って共振周波数が変化する。これに合わせて空胴共振器の共振周波数を補正することが必要になる。
空胴共振器の共振周波数を変えるには、通常、機械的な方法によらねばならないので、速い補正を望むことは無理である。また機械的な方法では、可変範囲もある程度、限定的である。
これに対して、発振周波数を変える方法は電子的な手段ですむので、速い補正ができる利点がある。制御型マグネトロンの場合、まず、電圧制御型発振器によりマグネトロンへの注入周波数を変え、マグネトロンをその周波数で発振させることができる。スペクトル特性は良好な発振である。空胴共振器には強い電磁界が発生する。そこで、この電磁界をピックアップし、この電磁界が最大となるように検出信号を帰還して、自動的にマグネトロンの発振周波数を変える方法を、特願2006−46349号において本出願人が提案した。
このような改善により、自動的に同調を維持することが可能になる。しかしながら、マグネトロン自体が共振器であるため、広い範囲で同調を維持することができない難点がある。その周波数可変幅はかなり狭く、例えば、マイクロ波の周波数が2,450MHzの場合、数MHz程度である。
同調に関する問題のほかに、マグネトロンはマイクロ波出力を規定の出力のほぼ1/10程度に下げると動作が不安定になり、さらに周波数を下げると発振が止まってしまう問題を持っている。制御型マグネトロンもこの問題を免れることはできない。
必要に応じ、空胴共振器内における前記被照射体の温度を検出する温度検出器と、この温度検出器の出力信号によって増幅器からの出力を、被照射体を適正温度に維持できる出力に制御する出力制御手段とを付加することにより、被照射体の温度を一定に保つようにする。
(1) 空胴共振器で検出した信号によってVCOを制御し発振させるので、VCOの発振周波数、HPAの増幅周波数は、空胴共振器の現在の共振周波数に常に一致する。
(2) VCO、HPAの出力スペクトルの幅は狭いので、空胴負荷のような狭帯域のマイクロ波のみを吸収する負荷に対して効率よくマイクロ波を導入できる。
(3) VCO自身は環境温度などの影響を受けて周波数がドリフトする欠点を持っているが、帰還制御手段の作用で自動的に空胴共振器の現在の負荷での共振周波数に修正される。このため、高価で周波数制御に手のかかるPLL型の発振器を使用する必要がない。
(4) 増幅器により出力を広範囲に変えることができる。帰還信号を受ける出力制御手段によって出力を制御するようにすれば、被照射体を規定の温度に維持できる。
本発明は、化学反応促進装置、排ガス浄化装置、空気清浄機、滅菌・殺菌装置、バイオ機器等への利用の可能性が大きい。
2 空胴共振器
3 HPA
4 サーキュレータ
5 パワーモニタ
6 スタブチューナ
7 検出素子
8 帰還制御器
9 無反射終端
10 温度検出器
11 出力制御手段
12 内側誘電体円管(被射照体保持部材)
13 外側誘電体円管(被射照体保持部材)
14 触媒(被照射体)
A 流体(被照射体)
B 流体(被照射体)
S 被照射体
Claims (8)
- 化学反応対象流体を保持する被射照体保持部材を具備する、TM010モード円筒形空胴共振器を用いたマイクロ波化学反応装置であって、マイクロ波を発生する電圧制御型固体発振器と、この発振器の出力を増幅するマイクロ波増幅器と、この増幅器の出力が入射されるTM010モード円筒形空胴共振器と、この空胴共振器に結合し内部のTM010モードの電磁界を検出する検出素子と、この検出素子の出力信号を受け、前記発振器の発振周波数を、TM010モード円筒形空胴共振器のTM010モード共振周波数に一致させ、当該出力信号が常時最大値付近にあるように制御する、検出素子の出力信号の前記発振器への帰還制御手段と、前記空胴共振器内にそれの中心軸とほぼ同心的に配置され内部に化学反応対象流体を保持するマイクロ波透過性で円筒管状の被射照体保持部材とを具備することを特徴とするマイクロ波化学反応装置。
- 前記空胴共振器内における前記被照射体の温度を検出する温度検出器と、この温度検出器の出力信号によって前記増幅器からの出力を、前記被照射体を適正温度に維持できる出力に制御する出力制御手段とをさらに具備することを特徴とする請求項1に記載のマイクロ波化学反応装置。
- 前記被照射体保持部材が、流体である前記被照射体を内部に流通させる円筒管流路であり、この円筒管流路が、マイクロ波の照射を受けて昇温するマイクロ波吸収体を内部に担持することを特徴とする請求項1又は2に記載のマイクロ波化学反応装置。
- 前記出力制御手段が、前記発振器と前記増幅器との間に介設され、前記温度検出器の出力信号によって前記発振器から前記増幅器へ入力されるマイクロ波電力の減衰量を制御する減衰器を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のマイクロ波化学反応装置。
- 前記出力制御手段が、前記温度検出器の出力信号によって前記増幅器の利得を制御する利得制御器を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のマイクロ波化学反応装置。
- 前記増幅器と前記空胴共振器との間に、当該空胴共振器から増幅器に向かって反射されるマイクロ波を無反射終端器へ導くためのサーキュレータが設けられることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のマイクロ波化学反応装置。
- 前記サーキュレータと前記空胴共振器との間に、パワーモニタとスタブチューナが設けられることを特徴とする請求項6に記載のマイクロ波化学反応装置。
- 前記空胴共振器で検出した信号によって自動的に電圧制御型固体発振器を制御し発振させ、電圧制御型固体発振器の発振周波数、およびこの発振器の出力を増幅するマイクロ波増幅器の増幅周波数が、化学反応対象流体を保持する被照射体保持部材を具備する空胴共振器の現在の共振周波数に常に一致することを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載のマイクロ波化学反応装置。
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