JP5267476B2 - 光デバイスおよび光送信装置 - Google Patents
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Description
付記1:
電気光学効果を有する基板と、
前記基板に設けられたメイン導波路と、
前記基板に設けられ前記メイン導波路に結合された複数の第1導波路と、少なくとも前記第1導波路間と前記第1導波路上とに設けられ前記第1導波路内にDC電界を発生させる第1DC電極と、を備える第1マッハツェンダ部と、
前記第1導波路それぞれに対応し、前記基板に設けられ前記第1導波路のそれぞれに複数結合された第2導波路と、前記第2導波路内にDC電界を発生させる第2DC電極と、を備える複数の第2マッハツェンダ部と、
を具備し、
前記複数の第2マッハツェンダ部のうち少なくとも1つは、前記第2DC電極が前記第2導波路間に設けられておらず少なくとも前記第2導波路上に設けられていることを特徴とする光デバイス。
付記2:
前記第2DC電極は、前記第2導波路上と前記複数の第2マッハツェンダ部間とに設けられたことを特徴とする付記1記載の光デバイス。
付記3:
前記複数の第2マッハツェンダ部のうち前記少なくとも1つにおいて、前記第2DC電極は、前記第2導波路上に設けられた第1電極と前記第2導波路の外側に設けられた第2電極とを備え、前記第1電極の間隔は、前記第1電極と前記第2電極との間隔より広いことを特徴とする付記1または2の光デバイス。
付記4:
前記複数の第2マッハツェンダ部のうち前記少なくとも1つの第2DC電極と第2導波路との相互作用長は、前記第1マッハツェンダ部の第1DC電極と第1導波路との相互作用長より大きいことを特徴とする付記1から3のいずれか一項記載の光デバイス。
付記5:
前記複数の第2マッハツェンダ部のうち前記少なくとも1つの前記第2DC電極の本数は、前記第1マッハツェンダ部の前記第1DC電極の本数より少ないことを特徴とする付記1から4のいずれか一項記載の光デバイス。
付記6:
前記複数の第2マッハツェンダ部間に設けられた前記第2DC電極の幅は、前記複数の第2マッハツェンダ部の外側に設けられた前記第2DC電極より狭いことを特徴とする付記1から5のいずれか一項記載の光デバイス。
付記7:
前記第1導波路に沿って設けられた前記第1DC電極の幅は、前記第2導波路に沿って設けられた前記第2DC電極の幅より広いことを特徴とする付記1から6のいずれか一項記載の光デバイス。
付記8:
前記複数の第2マッハツェンダ部は、それぞれ前記第2導波路上に設けられ前記第2導波路に高周波電界を印加する高周波電極を備えることを特徴とする付記1から7のいずれか一項記載の光デバイス。
付記9:
前記複数の第2マッハツェンダ部のうち前記少なくとも1つにおいて、前記高周波電極が設けられた領域の前記第2導波路間隔は、前記第2DC電極が設けられた領域の前記第2導波路間隔より広いことを特徴とする付記8記載の光デバイス。
付記10:
前記第1DC電極が設けられた領域の前記第1導波路間隔は、前記高周波電極が設けられた領域の前記第2導波路間隔より広いことを特徴とする付記9記載の光デバイス。
付記11:
前記複数の第2マッハツェンダ部のうち前記少なくとも1つにおいて、前記第2DC電極は、前記高周波電極が設けられた領域の前記第2導波路と前記第2DC電極が設けられた領域の前記第2導波路との間に位置する前記第2導波路間隔が変化する変化部まで延伸して設けられていることを特徴とする付記9または10記載の光デバイス。
付記12:
前記第2DC電極は、前記変化部内の前記第2導波路間に設けられていることを特徴とする付記11記載の光デバイス。
付記13:
前記複数の第2マッハツェンダ部のうち前記一方の前記第2導波路は、前記複数の第2マッハツェンダ部のうち他方の前記第2導波路より長く前記高周波電極が設けられ、
前記一方の前記第2導波路間には、前記第2DC電極が設けられ、前記一方の第2マッハツェンダ部の第2DC電極と第2導波路との相互作用長は、前記他方の第2マッハツェンダ部より短いことを特徴とする付記8から12のいずれか一項記載の光デバイス。
付記14:
前記複数の第2マッハツェンダ部間にグランド電極が設けられ、
前記変化部における前記第2導波路間隔は、前記グランド電極と前記第2DC電極間隔より広いことを特徴とする付記11記載の光デバイス。
付記15:
前記高周波電極の一部が前記第2DC電極側に突出し、前記一部は前記第2DC電極と並んで設けられていることを特徴とする付記8から14記載の光デバイス。
付記16:
前記第2DC電極は、前記一部と並んで設けられた箇所において前記箇所以外より幅が狭くなっていることを特徴とする付記15記載の光デバイス。
付記17:
前記複数の第2マッハツェンダ部のうち前記少なくとも1つは、屈曲部において前記第2導波路が屈曲しており、
前記高周波電極が設けられた領域の前記第2導波路間隔は、第2DC電極が設けられた領域の前記第2導波路間隔より広く、
前記第2導波路間隔が変化する変化部において、前記屈曲部において内側となる第2導波路は曲がっており、前記屈曲部において外側となる第2導波路は直線であることを特徴とする付記8から16のいずれか一項記載の光デバイス。
付記18:
前記第1DC電極および前記第2DC電極を引き出すパッドが前記第1マッハツェンダ部横から、前記複数の第2マッハツェンダ部の一部横まで設けられ、
前記複数の第2マッハツェンダ部の一方と他方との間の前記第2導波路間隔は、前記第1マッハツェンダ部から離れるに従い広くなることを特徴とする付記1から17のいずれか一項記載の光デバイス。
付記19:
前記第2マッハツェンダ部が3つ以上設けられ、
前記第2マッハツェンダ部間の前記第2DC電極が設けられた前記第2導波路の間隔の平均は等しいことを特徴とする付記1から18のいずれか一項記載の光デバイス。
付記20:
付記1から19のいずれか一項記載の光デバイスを含む光送信装置。
12 メイン導波路
14 第1導波路
16 第2導波路
24 第1DC電極
26 第2DC電極
30 高周波電極
34 グランド電極
36 変化部
38 屈曲部
50 第1マッハツェンダ部
52 第2マッハツェンダ部
Claims (10)
- 電気光学効果を有する基板と、
前記基板に設けられたメイン導波路と、
前記基板に設けられ前記メイン導波路に結合された複数の第1導波路と、少なくとも前記第1導波路間と前記第1導波路上とに設けられ前記第1導波路内にDC電界を発生させる第1DC電極と、を備える第1マッハツェンダ部と、
前記第1導波路それぞれに対応し、前記基板に設けられ前記第1導波路のそれぞれに複数結合された第2導波路と、前記第2導波路内にDC電界を発生させる第2DC電極と、を備える複数の第2マッハツェンダ部と、
を具備し、
前記複数の第2マッハツェンダ部のうち少なくとも1つは、前記第2DC電極が前記第2導波路間に設けられておらず少なくとも前記第2導波路上に設けられ、
前記第1DC電極が前記第1導波路間に設けられていることを特徴とする光デバイス。 - 電気光学効果を有する基板と、
前記基板に設けられたメイン導波路と、
前記基板に設けられ前記メイン導波路に結合された複数の第1導波路と、少なくとも前記第1導波路間と前記第1導波路上と前記第1導波路の外側とに設けられ前記第1導波路内にDC電界を発生させる第1DC電極と、を備える第1マッハツェンダ部と、
前記第1導波路それぞれに対応し、前記基板に設けられ前記第1導波路のそれぞれに複数結合された第2導波路と、前記第2導波路内にDC電界を発生させる第2DC電極と、を備える複数の第2マッハツェンダ部と、
を具備し、
前記複数の第2マッハツェンダ部のうち少なくとも1つは、前記第2DC電極が前記第2導波路間に設けられておらず少なくとも前記第2導波路上に設けられ、
前記複数の第2マッハツェンダ部のうち前記少なくとも1つの第2DC電極と第2導波路との相互作用長は、前記第1マッハツェンダ部の第1DC電極と第1導波路との相互作用長より大きく、前記第1DC電極の単位長当りの電界印加効率は、前記少なくとも1つの第2DC電極の単位長当りの電界印加効率より大きいことを特徴とする光デバイス。 - 電気光学効果を有する基板と、
前記基板に設けられたメイン導波路と、
前記基板に設けられ前記メイン導波路に結合された複数の第1導波路と、少なくとも前記第1導波路間と前記第1導波路上とに設けられ前記第1導波路内にDC電界を発生させる第1DC電極と、を備える第1マッハツェンダ部と、
前記第1導波路それぞれに対応し、前記基板に設けられ前記第1導波路のそれぞれに複数結合された第2導波路と、前記第2導波路内にDC電界を発生させる第2DC電極と、を備える複数の第2マッハツェンダ部と、
を具備し、
前記複数の第2マッハツェンダ部のうち少なくとも1つは、前記第2DC電極が前記第2導波路間に設けられておらず少なくとも前記第2導波路上に設けられ、
前記複数の第2マッハツェンダ部間に設けられた前記第2DC電極の幅は、前記複数の第2マッハツェンダ部の外側に設けられた前記第2DC電極より狭く、
前記複数の第2マッハツェンダ部間に設けられた前記第2DC電極と前記第2導波路との距離と、前記複数の第2マッハツェンダ部の外側に設けられた前記第2DC電極と前記第2導波路との距離と、は同じであることを特徴とする光デバイス。 - 電気光学効果を有する基板と、
前記基板に設けられたメイン導波路と、
前記基板に設けられ前記メイン導波路に結合された複数の第1導波路と、少なくとも前記第1導波路間と前記第1導波路上とに設けられ前記第1導波路内にDC電界を発生させる第1DC電極と、を備える第1マッハツェンダ部と、
前記第1導波路それぞれに対応し、前記基板に設けられ前記第1導波路のそれぞれに複数結合された第2導波路と、前記第2導波路内にDC電界を発生させる第2DC電極と、を備える複数の第2マッハツェンダ部と、
を具備し、
前記複数の第2マッハツェンダ部のうち少なくとも1つは、前記第2DC電極が前記第2導波路間に設けられておらず少なくとも前記第2導波路上に設けられ、
前記複数の第2マッハツェンダ部のうち前記少なくとも1つにおいて、前記高周波電極が設けられた領域の前記第2導波路間隔は、前記第2DC電極が設けられた領域の前記第2導波路間隔より広いことを特徴とする光デバイス。 - 電気光学効果を有する基板と、
前記基板に設けられたメイン導波路と、
前記基板に設けられ前記メイン導波路に結合された複数の第1導波路と、少なくとも前記第1導波路間と前記第1導波路上とに設けられ前記第1導波路内にDC電界を発生させる第1DC電極と、を備える第1マッハツェンダ部と、
前記第1導波路それぞれに対応し、前記基板に設けられ前記第1導波路のそれぞれに複数結合された第2導波路と、前記第2導波路内にDC電界を発生させる第2DC電極と、を備える複数の第2マッハツェンダ部と、
を具備し、
前記複数の第2マッハツェンダ部のうち少なくとも1つは、前記第2DC電極が前記第2導波路間に設けられておらず少なくとも前記第2導波路上に設けられ、
前記複数の第2マッハツェンダ部は、それぞれ前記第2導波路上に設けられ前記第2導波路に高周波電界を印加する高周波電極を備え、
前記複数の第2マッハツェンダ部のうち前記少なくとも1つは、屈曲部において前記第2導波路が屈曲しており、
前記高周波電極が設けられた領域の前記第2導波路間隔は、第2DC電極が設けられた領域の前記第2導波路間隔より広く、
前記第2導波路間隔が変化する変化部において、前記屈曲部において内側となる第2導波路は曲がっており、前記屈曲部において外側となる第2導波路は直線であることを特徴とする光デバイス。 - 電気光学効果を有する基板と、
前記基板に設けられたメイン導波路と、
前記基板に設けられ前記メイン導波路に結合された複数の第1導波路と、少なくとも前記第1導波路間と前記第1導波路上とに設けられ前記第1導波路内にDC電界を発生させる第1DC電極と、を備える第1マッハツェンダ部と、
前記第1導波路それぞれに対応し、前記基板に設けられ前記第1導波路のそれぞれに複数結合された第2導波路と、前記第2導波路内にDC電界を発生させる第2DC電極と、を備える複数の第2マッハツェンダ部と、
を具備し、
前記複数の第2マッハツェンダ部のうち少なくとも1つは、前記第2DC電極が前記第2導波路間に設けられておらず少なくとも前記第2導波路上に設けられ、
前記第1DC電極および前記第2DC電極を引き出すパッドが前記第1マッハツェンダ部横から、前記複数の第2マッハツェンダ部の一部横まで設けられ、
前記複数の第2マッハツェンダ部の一方と他方との間の前記第2導波路間隔は、前記パッドから離れるに従い広くなることを特徴とする光デバイス。 - 前記第2DC電極は、前記第2導波路上と前記複数の第2マッハツェンダ部間とに設けられたことを特徴とする請求項1から6のいずれか一項記載の光デバイス。
- 前記複数の第2マッハツェンダ部は、それぞれ前記第2導波路上に設けられ前記第2導波路に高周波電界を印加する高周波電極を備えることを特徴とする請求項1から4および6のいずれか一項記載の光デバイス。
- 前記複数の第2マッハツェンダ部のうち前記少なくとも1つにおいて、前記第2DC電極は、前記高周波電極が設けられた領域の前記第2導波路と前記第2DC電極が設けられた領域の前記第2導波路との間に位置する前記第2導波路間隔が変化する変化部まで延伸して設けられていることを特徴とする請求項4記載の光デバイス。
- 請求項1から9のいずれか一項記載の光デバイスを含む光送信装置。
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