JP5263718B2 - 半導体光変調器 - Google Patents
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Description
(1)変調RF信号を伝搬させる伝送線路としてのインピーダンス整合条件、
(2)進行波型電極としての変調RF信号と被変調光信号との速度整合条件、
(3)導波路型光位相変調器として求められる単一モード伝搬条件、
(4)限られたバイアス電圧で(複素)屈折率を変化させるに十分な電場強度を発生させる最適なアンドープ層厚。
要するに、これらの条件を同時に満足する構造を実現するためには、構造パラメータの設計自由度が1つ足りないのである。ハイメサ=リッジ構造はこの他にも、以下の懸念がある。基本伝搬モードの楕円率が大きく、それゆえ信号光を光ファイバと入出力結合させる際にモード不整合による結合損失も生じやすい。またあるいはエッチングにより形成されたアンドープコア層側面の漏れ電流に起因した信頼性劣化を招きやすい。
以下、図面を参照しながら本発明を実施するための最良の形態について詳細に説明する。本実施の形態においては、アンドープコア層に印加される電場にほぼ平行な一対の導体壁がこのアンドープコア層両脇に設けられ、これが変調RF信号に対する遮断平行平板として機能する。
図4Aは、本発明の実施の第2形態における半導体光変調器の構成を示す平面図である。図4B〜4Gは、半導体光変調器の製造プロセスを示す断面図である。図4Bは第1の結晶成長までが完了した時点の断面構造を示す。図4Cはエッチングによるストライプ加工がなされた時点の断面構造を示す。図4Dは埋め込み成長まで完了した時点の断面構造を示す。図4Eは光導波路ストライプ両脇に溝が形成された時点の断面構造を示す。図4F、4Gは電極形成後のA−A’、B−B’における断面構造を、それぞれ示す図である。上部電極214、下部電極215は、下部クラッド層および上部クラッド層のそれぞれに独立の電位を与え、かつアンドープコア層を伝搬する信号光と並進するRF信号を伝搬させるための伝送線路を成す。
図6Aは、本発明の第3の実施の形態における半導体光変調器が適用される半導体マッハ=ツェンダー(MZ)光強度変調器の構成を示す平面図である。図6B〜6Gは、MZ光強度変調器の製造プロセスを示す断面図である。図6Bは第1の結晶成長までが完了した時点の断面構造を示す。図6Cはエッチングによりストライプ加工がなされた時点の断面構造を示す。図6Dは埋め込み成長まで完了した時点の断面構造を示す。図6Eは光導波路ストライプ両脇に溝が形成された時点の断面構造を示す。図6F、6Gはそれぞれ電極形成後のA−A’、B−B’における断面構造を示す。
Claims (10)
- 第1の導電性を持ち半導体基板上に形成された下部クラッド層と内部を伝搬する信号光に対する複素屈折率が印加された電場強度に応じて変化するアンドープコア層と第2の導電性を持つ上部クラッド層とが下から順に積層されたストライプ状光導波路と、
前記ストライプ状光導波路を左右から挟み込む一対の半絶縁性埋め込み層と
を備える埋め込みヘテロ構造単一モード半導体光導波路と、
前記半絶縁性埋め込み層の前記ストライプ状光導波路に接していない側の側壁に配置され、前記ストライプ状光導波路の左右に配置される一対の導体壁からなる遮断平行平板と、
前記下部クラッド層および前記上部クラッド層のそれぞれに独立の電位を与えかつ前記アンドープコア層を伝搬する信号光と並進するRF信号を伝搬させるための伝送線路を成す一対の電極
とを具備し、
前記一対の遮断平行平板の少なくとも一方は、前記上部クラッド層と導通する上部電極あるいは前記下部クラッド層と導通する下部電極のいずれかと導通している
半導体光変調器。 - 請求項1に記載された半導体光変調器であって、
前記一対の遮断平行平板は同電位である
半導体光変調器。 - 請求項1または2に記載された半導体光変調器であって、
前記上部クラッド層と前記下部クラッド層は共にn型半導体によって形成されている
半導体光変調器。 - 請求項1または2に記載された半導体光変調器であって、
更に、前記上部クラッド層と前記下部クラッド層との少なくとも一方と前記アンドープコア層との間に配置された電子注入阻止層
を具備する半導体光変調器。 - 請項4に記載された半導体光変調器であって、
前記電子注入阻止層はルテニウムまたは鉄がドーピングされた半絶縁性半導体によって形成されている
半導体光変調器。 - 請求項4に記載された半導体光変調器であって、
前記電子注入阻止層は亜鉛またはベリリウムまたは炭素がドーピングされたp型半導体によって形成されている
半導体光変調器。 - 請求項4から6のいずれかに記載された半導体光変調器であって、
更に、前記電子注入阻止層の、前記アンドープコア層に接する面から内側に厚さ10nm以下でかつ前記電子注入阻止層の電子トラップ濃度より高い不純物濃度のp型半導体層
を具備する半導体光変調器。 - 請求項1から7のいずれかに記載された半導体光変調器であって、
前記アンドープコア層においてフランツ・ケルディッシュ効果、ポッケルス効果、量子閉じ込めシュタルク効果又は量子閉じ込めポッケルス効果により光が変調される
半導体光変調器。 - 請求項1から8のいずれかに記載された半導体光変調器であって、
前記ストライプ状光導波路は、前記基板に形成される光合分波器を介して前記基板に形成される波長可変光源に結合する
半導体光変調器。 - 請求項1から9のいずれかに記載された半導体光変調器が光導波路型半導体マッハ・ツェンダー型光干渉器計の一対の光導波路の少なくとも一方に組み込まれている半導体マッハ・ツェンダー光変調器。
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