JP5253517B2 - 真空処理装置のデータ収集システム - Google Patents
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Description
データ収集は、データ収集周期に合わせて、データ収集サーバがプロセスモジュールや搬送モジュールにソケット通信で送信要求を行い、これに応答してプロセスモジュールや搬送モジュールが状態データを送信することにより行われるのが一般的である。
これは、1つのモジュールに対してデータを要求し、そのモジュールからデータが返信された後に順に、次のモジュールに対してデータを要求していく為である。
このように、送信要求タイミングが異なると、モジュールは送信要求を受けたときの現在値をデータ収集装置に対して送信することから、データ収集装置において収集する状態データの各モジュールにおけるサンプリング時刻もずれることになる。通常はこのずれが問題とならない範囲にネットワークを構成する。しかし、例えば、データ収集装置が輻輳している場合など、データ収集装置の負荷状況によって、このずれが無視できないほど大きくなることがあり、データ収集の信頼性にかけると言う問題があった。
被処理体を搬送する搬送モジュールと、
前記搬送モジュールの状態データを第1のタイミングで取得し、当該状態データを含むデータを送信する搬送モジュール制御装置と、
前記搬送モジュールに接続され、搬送モジュールから搬送される被処理体に処理を施すプロセスモジュールと、
前記プロセスモジュールの状態データを第2のタイミングで取得し、当該状態データを含むデータを送信するプロセスモジュール制御装置と、
前記搬送モジュール及び前記プロセスモジュールの状態データを収集するデータ収集装置と、を備え、
前記搬送モジュール制御装置及びプロセスモジュール制御装置の少なくとも一方は、他方から前記状態データを含むデータを受信し、受信タイミングに応答して前記搬送モジュール及び前記プロセスモジュールの一方はその時に自己が取得している状態データで自己の状態データを更新し他の状態データを含む状態データセットを前記データ収集装置に送信することを特徴とする真空処理装置。
前記搬送モジュール制御装置及びプロセスモジュール制御装置は、受信した前記状態データセットのうち、自装置で取得した状態データ部分を更新している。
制御装置1は、本実施形態ではPLC(プログラマブルロジックコントローラ)より構成され、シーケンスユニット21と、ネットワークユニット22と、I/Oユニット23と、を備える。
データ収集装置1は、隣接する制御装置2との間で状態データセットを送受信するネットワークNW1−インターフェース部11を備える。ネットワークNW1−インターフェース部11は、状態データセット保持部11aを備える。この状態データセット保持部11aに、隣の制御装置2から所定の受信周期で受信した状態データセットを保持、更新し、所定の送信周期には、ここに保持される状態データセットを送信する。
なお、ループ接続した場合について述べたが、これに限らず、データ収集装置と、制御装置のうちのいずれかと、が末端となるチェーン接続を行ってもよい。この場合は、例えば、一端の制御装置から各制御装置を順に介してデータ収集装置に状態データが伝達される構成とする。
Claims (6)
- 被処理体を搬送する搬送モジュールと、
前記搬送モジュールの状態データを第1のタイミングで取得し、当該状態データを含むデータを送信する搬送モジュール制御装置と、
前記搬送モジュールに接続され、搬送モジュールから搬送される被処理体に処理を施すプロセスモジュールと、
前記プロセスモジュールの状態データを第2のタイミングで取得し、当該状態データを含むデータを送信するプロセスモジュール制御装置と、
前記搬送モジュール及び前記プロセスモジュールの状態データを収集するデータ収集装置と、を備え、
前記搬送モジュール制御装置及びプロセスモジュール制御装置の少なくとも一方は、他方から前記状態データを含むデータを受信し、受信タイミングに応答して前記搬送モジュール及び前記プロセスモジュールの一方はその時に自己が取得している状態データで自己の状態データを更新し他の状態データを含む状態データセットを前記データ収集装置に送信することを特徴とする真空処理装置。 - 前記搬送モジュール制御装置、プロセスモジュール制御装置及びデータ収集装置は、ループ接続されると共に、搬送モジュール及びプロセスモジュールの状態データを含む状態データセットを送受信可能に構成され、
前記搬送モジュール制御装置及びプロセスモジュール制御装置は、受信した前記状態データセットのうち、自装置で取得した状態データ部分を更新して、送信することを特徴とする請求項1に記載の真空処理装置。 - 前記プロセスモジュール制御装置及び搬送モジュール制御装置で更新した前記状態データ部分が前記データ収集装置に至るまでの到達時間が、前記プロセスモジュール制御装置および前記搬送モジュール制御装置におけるデータ収集間隔の2倍未満になるように、前記各プロセスモジュール制御装置及び搬送モジュール制御装置の状態データセットの送信周期を設定したことを特徴とする請求項2に記載の真空処理装置。
- 前記搬送モジュール制御装置及びプロセスモジュール制御装置は、前記状態データの取得処理と、前記状態データを含むデータの送信処理と、が並行して実行可能に構成されていることを特徴とする請求項1に記載の真空処理装置。
- 前記データ収集装置により取得した状態データの履歴を記憶する履歴記憶装置をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の真空処理装置。
- 前記搬送モジュールは、
搬送ロボットにより、前記プロセスモジュールに被処理体を供給する第1サブモジュールと、
前記搬送ロボットに被処理体を供給するための第2サブモジュールと、
を備え、
前記搬送モジュール制御装置は、前記第1及び第2サブモジュールに共通に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の真空処理装置。
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